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一種光纖耦合太赫茲時(shí)域光譜測(cè)試系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):12590758閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種光纖耦合太赫茲時(shí)域光譜測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,包括激光器、反射鏡組、主體光纖耦合系統(tǒng)、發(fā)射器傳輸光纖、接收器傳輸光纖、獨(dú)立光纖耦合太赫茲發(fā)射器、獨(dú)立光纖耦合太赫茲接收器、二維成像移動(dòng)平臺(tái)、電機(jī)控制模塊、集成控制器和PC輸出端,激光器發(fā)出的激光經(jīng)反射鏡組反射進(jìn)入主體光纖耦合系統(tǒng),光纖耦合系統(tǒng)將激光分為兩路光信號(hào),其中一路光信號(hào)通過(guò)發(fā)射器傳輸光纖輸入到獨(dú)立光纖耦合太赫茲發(fā)射器中用于產(chǎn)生太赫茲信號(hào),另一路光信號(hào)通過(guò)接收器傳輸光纖輸入到獨(dú)立光纖耦合太赫茲接收器中用于探測(cè)太赫茲信號(hào),獨(dú)立光纖耦合太赫茲發(fā)射器與獨(dú)立光纖耦合太赫茲接收器被安裝在二維成像移動(dòng)平臺(tái)上,獨(dú)立光纖耦合太赫茲發(fā)射器發(fā)射的太赫茲透過(guò)樣品或經(jīng)樣品反射進(jìn)入獨(dú)立光纖耦合太赫茲接收器,對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)試或成像,主體光纖耦合系統(tǒng)、獨(dú)立光纖耦合太赫茲發(fā)射器、獨(dú)立光纖耦合太赫茲接收器、電機(jī)控制模塊、PC輸出端均與集成控制器相連接,電機(jī)控制模塊與二維成像移動(dòng)平臺(tái)相連接,集成控制器控制電機(jī)的運(yùn)動(dòng),最終測(cè)試或成像結(jié)果由集成控制器通過(guò)USB數(shù)據(jù)線(xiàn)傳輸至PC輸出端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖耦合太赫茲時(shí)域光譜測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述激光器為外部自由空間或者光纖耦合的1560 nm飛秒脈沖激光器,要求平均功率大于200 mW,脈寬小于100 fs。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖耦合太赫茲時(shí)域光譜測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述發(fā)射器傳輸光纖和接收器傳輸光纖均為1560 nm單模保偏光纖。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的光纖耦合太赫茲時(shí)域光譜測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述主體光纖耦合系統(tǒng)將輸入的激光進(jìn)行脈沖壓縮后分為泵浦和探測(cè)兩路光,分別送獨(dú)立光纖耦合太赫茲發(fā)射器和獨(dú)立光纖耦合太赫茲接收器,主體光纖耦合系統(tǒng)并在探測(cè)光中加入延遲線(xiàn),以控制兩路光的光程差。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光纖耦合太赫茲時(shí)域光譜測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述獨(dú)立光纖耦合太赫茲發(fā)射器,包括倍頻模塊、高速延遲模塊、光電導(dǎo)天線(xiàn)以及發(fā)射器出口處的TPX透鏡,所述倍頻模塊將輸入的1560 nm激光倍頻成780 nm激光,并經(jīng)過(guò)螺旋線(xiàn)延遲線(xiàn)與高速旋轉(zhuǎn)電機(jī)組成的高速延遲模塊后打到光電導(dǎo)天線(xiàn)上激發(fā)太赫茲,太赫茲經(jīng)TPX透鏡聚焦后射出,光線(xiàn)打在螺旋線(xiàn)延遲線(xiàn)的不同位置,形成光程的改變。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光纖耦合太赫茲時(shí)域光譜測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述獨(dú)立光纖耦合太赫茲接收器,采用電光采樣對(duì)太赫茲進(jìn)行探測(cè),太赫茲接收器入口處裝有TPX透鏡,用于聚焦接收太赫茲信號(hào),太赫茲接收器內(nèi)部設(shè)有一個(gè)校準(zhǔn)激光器,其出射的激光用于模擬太赫茲波的光路走向,便于系統(tǒng)的快速校準(zhǔn)與調(diào)節(jié),在測(cè)試或者成像時(shí)打開(kāi),以觀測(cè)太赫茲波打在樣品上的實(shí)時(shí)位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的光纖耦合太赫茲時(shí)域光譜測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述二維成像移動(dòng)平臺(tái)包括包括發(fā)射器安裝底座、帶刻度的旋轉(zhuǎn)安裝盤(pán)、接收器安裝底座、樣品臺(tái)安裝臺(tái)和兩臺(tái)一維移動(dòng)電機(jī),兩臺(tái)一維移動(dòng)電機(jī)可帶動(dòng)整個(gè)樣品臺(tái)做二維運(yùn)動(dòng),以對(duì)樣品進(jìn)行透射模式測(cè)試或成像,樣品臺(tái)位于移動(dòng)平臺(tái)的中間位置,移動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)樣品臺(tái)做平移運(yùn)動(dòng),以對(duì)樣品的不同位置進(jìn)行測(cè)試或者成像,透射模式下發(fā)射器和接收器固定在樣品的兩側(cè);反射模式下發(fā)射器和接收器固定在樣品的同一側(cè);帶刻度的旋轉(zhuǎn)安裝盤(pán)上直接讀出發(fā)射器與接收器之間的夾角,可以記錄發(fā)射器與接收器的相對(duì)角度,可以進(jìn)行不同角度的反射式測(cè)量。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光纖耦合太赫茲時(shí)域光譜測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述樣品臺(tái)可根據(jù)需求帶有不同尺寸的樣品槽,測(cè)量時(shí)將樣品放置在合適的樣品槽中,再將整個(gè)樣品臺(tái)放置在二維成像移動(dòng)平臺(tái)上,再控制移動(dòng)平臺(tái)將待測(cè)樣品移動(dòng)至測(cè)試區(qū)域,或?qū)⒍鄠€(gè)樣品一次性放置在樣品臺(tái)上,通過(guò)位置移動(dòng),對(duì)多個(gè)樣品進(jìn)行時(shí)域光譜測(cè)試或者成像。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光纖耦合太赫茲時(shí)域光譜測(cè)試系統(tǒng),其特征在于,所述集成控制器控制主體光纖耦合系統(tǒng)中的直線(xiàn)電機(jī)延遲線(xiàn)、獨(dú)立光纖耦合太赫茲發(fā)射器中的高速旋轉(zhuǎn)電機(jī)的運(yùn)動(dòng)以及通過(guò)一個(gè)電機(jī)控制模塊控制二維成像移動(dòng)平臺(tái)的二維運(yùn)動(dòng),并為獨(dú)立光纖耦合太赫茲發(fā)射器中的光電導(dǎo)天線(xiàn)施加偏壓,采集獨(dú)立光纖耦合太赫茲接收器輸出的信號(hào),集成控制器內(nèi)集成了鎖相放大器,將小信號(hào)進(jìn)行放大輸出。

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