1.一種用于集成波導(dǎo)光學(xué)拾取器(120)傳感器的方法，所述方法包括：
將由激光光源(126)產(chǎn)生的激光束發(fā)射到在第一基板(110)內(nèi)單片制作的集成波導(dǎo)光學(xué)拾取器(120)中，所述集成波導(dǎo)光學(xué)拾取器(120)包括光學(xué)輸入端口(121)、耦合端口(123)和光學(xué)輸出端口(125)；以及
通過(guò)測(cè)量在光學(xué)輸出端口(125)處激光束的衰減，檢測(cè)激光束從耦合端口(123)到與耦合端口(123)分離一定間隙的傳感器部件的耦合的量。
2.一種集成光學(xué)讀出傳感器，所述傳感器包括：
至少第一玻璃基板(110)；
集成波導(dǎo)光學(xué)拾取器(120)，在第一基板(110)內(nèi)單片制作，且包括光學(xué)輸入端口(121)、耦合端口(123)和光學(xué)輸出端口(125)；
移動(dòng)的傳感器部件(116)，鄰近于耦合端口(123)且具有在垂直于集成波導(dǎo)的耦合端口(123)的方向上的運(yùn)動(dòng)的自由度；
激光光源(126)，其經(jīng)由光學(xué)輸入端口(121)將光發(fā)射到第一玻璃基板(110)中，其中作為耦合端口(123)和移動(dòng)的傳感器部件(116)之間的間隙距離的函數(shù)，一部分光從耦合端口(123)耦合到移動(dòng)的傳感器部件(116)；
耦合到光學(xué)輸出端口(125)的至少一個(gè)光電檢測(cè)器(127)；以及
耦合到該至少一個(gè)光電檢測(cè)器的電子設(shè)備(510)，其基于從光學(xué)輸出端口(125)離開(kāi)的光的光強(qiáng)度的衰減來(lái)計(jì)算測(cè)量結(jié)果，其中衰減至少部分地是間隙距離的函數(shù)。
3.如權(quán)利要求2所述的傳感器，進(jìn)一步包括：
耦合到激光光源(126，621)的集成波導(dǎo)光學(xué)拾取漂移傳感器(620)，所述集成波導(dǎo)光學(xué)拾取漂移傳感器(620)包括：
第二耦合端口(623)和第二光學(xué)輸出端口(625)；
與第二光學(xué)輸出端口(125)分離具有固定距離的第二間隙(615)的靜態(tài)結(jié)構(gòu)(614)；
耦合到第二光學(xué)輸出端口(625)的第二光電檢測(cè)器(627)；
其中一部分光從第二耦合端口(623)跨第二間隙(615)耦合到靜態(tài)結(jié)構(gòu)(614)；
耦合到第二光電檢測(cè)器(627)的漂移誤差計(jì)算器(640)，其中漂移誤差計(jì)算器(640)基于從第二光學(xué)輸出端口(125)離開(kāi)的光的光強(qiáng)度的衰減來(lái)計(jì)算誤差。