技術總結
提供了用于高度集成的光學讀出MEMS傳感器的系統(tǒng)和方法。在一個實施例中，一種用于集成波導光學拾取器傳感器的方法包括：將由激光光源產(chǎn)生的激光束發(fā)射到在第一基板內單片制作的集成波導光學拾取器中，該集成波導光學拾取器包括光學輸入端口、耦合端口和光學輸出端口；以及通過測量在光學輸出端口處激光束的衰減，檢測激光束從耦合端口到與耦合端口分離一定間隙的傳感器部件的耦合的量。

技術研發(fā)人員：G·羅登;R·D·霍爾寧
受保護的技術使用者：霍尼韋爾國際公司
文檔號碼：201610542711
技術研發(fā)日：2016.04.28
技術公布日：2016.12.21