1.一種電感式溫度傳感器，其特征在于，所述電感式溫度傳感器為三明治結(jié)構(gòu)，包括：底層襯底(1)、上層蓋片(5)和設(shè)置于底層襯底(1)和上層蓋片(5)之間的檢測電感；所述檢測電感包括設(shè)有螺旋形凹槽的電感模具(3)，螺旋形凹槽內(nèi)注有作為液態(tài)電感的液態(tài)金屬合金(2)；螺旋形凹槽內(nèi)、液態(tài)金屬合金(2)的上表面設(shè)有一層氧化物保形層(4)；氧化物保形層(4)的高度低于螺旋形凹槽上表面的高度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電感式溫度傳感器，其特征在于，所述液態(tài)金屬合金(2)為共融鎵銦合金。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電感式溫度傳感器，其特征在于，所述底層襯底(1)、上層蓋片(5)和電感模具(3)均由材料PDMS制成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電感式溫度傳感器，其特征在于，所述底層襯底(1)、上層蓋片(5)和電感模具(3)均由材料N-異丙基丙烯酰胺制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電感式溫度傳感器，其特征在于，氧化物保形層(4)為金屬氧化物層。
6.一種電感式溫度傳感器的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：
(1)首先，制作底層襯底(1)、上層蓋片(5)和電感模具(3)的陽模；
(2)將PDMS樹脂和固化劑按體積比10：1的劑量配比，充分?jǐn)嚢?，真空抽氣取出所有氣泡，并澆注到成型的陽模上，再次去除氣泡后，置?5℃烘箱中2h以上進(jìn)行固化；
(3)固化后將整片PDMS揭下，分割為三張膜片；在其中一片膜片上按需要的形狀光刻出螺旋形凹槽，使用空心針鉆孔作為流體進(jìn)出口，用氮氣吹掉殘余細(xì)屑，即制備出電感模具(3)；
(4)將電感模具(3)與另一片作為底層襯底(1)的PDMS膜片對準(zhǔn)貼合，置于80℃烘箱中加熱，實現(xiàn)底層襯底(1)與電感模具(3)底部密封；
(5)在電感模具(3)上的螺旋形凹槽中注入液態(tài)金屬合金(2)，并在液態(tài)金屬合金(2)上表面生成氧化物保形層(4)；
(6)最后，將作為上層蓋片(5)的膜片與電感模具(3)上表面進(jìn)行對準(zhǔn)貼合，實現(xiàn)密封。