技術(shù)總結(jié)
收集鏡片面型的簡(jiǎn)便檢測(cè)裝置及基于該裝置的檢測(cè)方法，涉及毛細(xì)管放電Z箍縮極紫外光源收集鏡片面型的簡(jiǎn)便檢測(cè)技術(shù)。為了解決現(xiàn)有檢測(cè)裝置無法檢測(cè)軸長(zhǎng)比較長(zhǎng)的大口徑收集鏡片的內(nèi)表面面型的問題。半導(dǎo)體激光器出射的激光入射至毛玻璃，由毛玻璃的小圓孔透射的光經(jīng)收集鏡片匯聚至CCD傳感器；計(jì)算機(jī)用于測(cè)量CCD傳感器接收到的光斑和記錄光斑信息。調(diào)整第一五維調(diào)整臺(tái)使半導(dǎo)體激光器出射激光的光軸與毛玻璃上小圓孔的軸線重合；調(diào)節(jié)收集鏡片支撐件，使收集鏡片的軸線與所述光軸重合；調(diào)節(jié)第二五維調(diào)整臺(tái)及可升降套筒使CCD傳感器接收到光束；根據(jù)計(jì)算機(jī)得到光斑信息，判斷收集鏡片是否符合要求。本發(fā)明適用于檢測(cè)收集鏡片的內(nèi)表面面型。

技術(shù)研發(fā)人員：祝東遠(yuǎn);趙永蓬;徐強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610437986
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.17
技術(shù)公布日：2016.11.23