技術(shù)編號(hào):11822230
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及毛細(xì)管放電Z箍縮極紫外光源收集鏡片面型的簡(jiǎn)便檢測(cè)技術(shù)。背景技術(shù)毛細(xì)管放電Z箍縮極紫外光源(DPP技術(shù)),是在陶瓷毛細(xì)管兩端施以一個(gè)大電流,快脈沖進(jìn)行放電,此時(shí)在毛細(xì)管內(nèi)充填的工作介質(zhì)氣體,開(kāi)始沿管壁產(chǎn)生氣體電離,形成等離子體殼,隨之在內(nèi)部強(qiáng)大電磁場(chǎng)產(chǎn)生的勞倫茲力作用下,等離子體殼向軸心運(yùn)動(dòng),這一過(guò)程稱(chēng)之為Z箍縮,在箍縮同時(shí),會(huì)產(chǎn)生歐姆加熱,產(chǎn)生高溫等離子體,再與管內(nèi)氣體作用,產(chǎn)生更高價(jià)氣體的離子,如Xe氣介質(zhì)產(chǎn)生十價(jià)的Xe離子X(jué)e10+,該離子退激時(shí),會(huì)產(chǎn)生13.5nm的極紫外光輻射,...
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