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雙折射測(cè)定裝置以及雙折射測(cè)定方法與流程

文檔序號(hào):11529929閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的課題在于提供一種能夠以無(wú)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)時(shí)且精細(xì)地對(duì)測(cè)定對(duì)象物的雙折射的二維分布進(jìn)行測(cè)定的雙折射測(cè)定裝置。本發(fā)明涉及的雙折射測(cè)定裝置(1A)的特征在于,具備:光束生成單元(2),生成光束(L1);光束照射單元(3、4、5),使光束(L1)成為預(yù)先決定的偏振狀態(tài)并對(duì)測(cè)定對(duì)象物(20)進(jìn)行照射;成像光學(xué)系統(tǒng)(10),使透射過(guò)測(cè)定對(duì)象物(20)的光束(L4)成像;偏振光衍射光柵(8),配置在成像光學(xué)系統(tǒng)(10)的中途;攝像單元(12),生成與由成像光學(xué)系統(tǒng)(10)成像的像的明暗相關(guān)的明暗信號(hào);以及輸出單元,輸出與基于明暗信號(hào)所求出的、由于透射過(guò)測(cè)定對(duì)象物(20)而產(chǎn)生的光束(L4)中的相位差相關(guān)的信息,攝像單元(12)生成由偏振光衍射光柵(8)產(chǎn)生的多個(gè)衍射光中的至少一個(gè)衍射光(L7)的像的明暗信號(hào)。

技術(shù)研發(fā)人員:江本顯雄;大谷直毅;福田隆史
受保護(hù)的技術(shù)使用者:國(guó)立研究開(kāi)發(fā)法人產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所
技術(shù)研發(fā)日:2015.08.11
技術(shù)公布日:2017.08.18
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