技術(shù)總結(jié)
偏心量計測方法對配置在計測軸上的被檢光學(xué)系統(tǒng)照射光束來計測偏心量，該偏心量計測方法具有以下步驟：取得步驟(S100)，根據(jù)從被檢光學(xué)系統(tǒng)射出的光束取得波面數(shù)據(jù)；第1提取步驟(S200)，從波面數(shù)據(jù)中提取規(guī)定的像差成分；第2提取步驟(S300)，從規(guī)定的像差成分中提取第1像差成分；以及解析步驟(S400)，對與第1像差成分、偏心像差靈敏度和偏心量有關(guān)的聯(lián)立一次方程式進行解析，規(guī)定的像差成分是包含由于偏心而產(chǎn)生的像差成分在內(nèi)的像差成分，第1像差成分是規(guī)定的像差成分中的與偏心量的一次方成比例的像差成分，偏心像差靈敏度是與偏心量的一次方成比例的像差靈敏度。

技術(shù)研發(fā)人員：佐藤陽輔
受保護的技術(shù)使用者：奧林巴斯株式會社
文檔號碼：201580036032
技術(shù)研發(fā)日：2015.03.25
技術(shù)公布日：2017.03.01