技術領域

本發(fā)明涉及部件的制造方法和使用它的制造裝置、體積測定方法。

背景技術：

專利文獻1中記載了一種體積測定裝置，其對被測定物照射直線狀的狹縫光并從在與上述狹縫光的長度方向垂直的方向上離開規(guī)定距離的位置拍攝上述被測定物的光截面并計算上述被測定物的截面積，使上述狹縫光在與其長度方向垂直的方向上相對移動，對從上述光截面得到的截面積進行累計而測定上述被測定物的體積，構成為具有在供給測定開始信號之后發(fā)生主時鐘的主時鐘發(fā)生器，基于上述主時鐘進行上述狹縫光的相對移動，并且基于上述主時鐘進行計算上述截面積用的光截面的導入。

專利文獻2中記載了一種非接觸體積測定裝置，由使測定裝置測定物在規(guī)定方向移動規(guī)定距離的移動臺；對上述測定物照射狹縫光的狹縫光源；拍攝從該狹縫光源輸出的狹縫光照射到被測定物時的狹縫圖像的相機；具有根據從上述相機得到的狹縫圖像進行圖像處理得到三維數據并運算每個狹縫圖像的體積，對其積分而求出總體積的功能的圖像處理單元構成非接觸體積測定裝置。

現有技術文獻

專利方法

專利文獻1：日本特開平7-208945

專利文獻1：日本特開平4-301707

技術實現要素：

發(fā)明要解決的課題

應用了如專利文獻1、2所述的形狀計測的體積測定手段中，僅從單一方向使用了一般稱為光切法的方法，面的傾斜相對于入射光線較陡的情況下，精度下降而不能得到要求的結果。因此，難以用使用了這樣的體積測定手段的制造方法制造高精度的產品。于是，本發(fā)明目的在于提供一種高精度的部件的制造方法等。

用于解決課題的技術方案

為了解決上述課題，本發(fā)明的制造方法包括對部件進行加工的加工步驟、采用光學方式對在加工步驟中輸出的部件的體積進行測定計算的檢查步驟、對檢查步驟中得到的部件的體積值與預先設定的基準值進行比較來判斷部件的質量的評價步驟、根據評價步驟的評價結果對部件進行分選并將其分路的分路步驟、和輸送在分路步驟中分路后的部件的輸送步驟。

發(fā)明效果

根據本發(fā)明，能夠制造高精度的產品，提高產品的質量管理水準。

本發(fā)明的其他目的、特征和優(yōu)點將根據與附圖相關的以下本發(fā)明的實施例的記載說明。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的實施例1的非接觸體積計測裝置的結構圖。

圖2是表示本發(fā)明的實施例1的非接觸體積計測裝置的掃描軌跡的示意圖。

圖3是表示本發(fā)明的實施例1的非接觸體積計測裝置的計測流程的流程圖。

圖4是表示本發(fā)明的實施例1的計測面與距離傳感器的激光入射方向的示意圖。

圖5是表示本發(fā)明的實施例1的距離傳感器的計測誤差的面傾角依賴性的示意圖。

圖6是表示本發(fā)明的實施例1的φl＝θl＝0時的可計測范圍的示意圖。

圖7是表示本發(fā)明的實施例1的3個距離傳感器的最佳值、各自的可計測范圍的示意圖。

圖8是表示本發(fā)明的實施例1的3個距離傳感器的計測范圍的綜合結果的示意圖。

圖9是表示本發(fā)明的實施例1的3個距離傳感器的照射位置的示意圖。

圖10是表示本發(fā)明的實施例1的形狀計測部的處理流程的流程圖。

圖11是本發(fā)明的實施例1的形狀數據計算時的數據流圖。

圖12是本發(fā)明的實施例1的形狀數據計算的概要圖。

圖13是本發(fā)明的實施例1的校準用的基準試樣的示意圖。

圖14是表示本發(fā)明的實施例1的體積計算部分的示意圖。

圖15是表示本發(fā)明的實施例1的高度基準的示意圖。

圖16是表示本發(fā)明的實施例1的基于形狀比較的是否合格判斷流程的流程圖。

圖17是表示本發(fā)明的實施例1的3個距離傳感器的照射位置和偏振片的配置的圖。

圖18是本發(fā)明的實施例2的非接觸體積計測裝置的結構圖。

圖19是表示本發(fā)明的實施例3的活塞制造裝置和制造方法的圖。

圖20是表示本發(fā)明的實施例3的活塞制造裝置和制造方法的流程圖。

具體實施方式

實施例1

用圖1～圖17說明本發(fā)明的實施例1。

在圖1中示出本實施例的活塞體積檢查裝置的結構圖。是對于試樣100的頂面的計測面101的形狀用3臺使用了激光的非接觸式的距離傳感器110a～110c進行計測的結構，用旋轉臺120使試樣旋轉，同時用x軸臺130a、130b使距離傳感器110a～110c在x軸方向掃描，從而對計測面101螺旋狀地整面計測。距離傳感器可以考慮使用基于三角測量的光切方式傳感器、利用光的相位差的TOF(Time of Flight：飛行時間)方式、FMCW(Frequency Modulated Continuous Wave：高頻連續(xù)波)方式、光梳方式、利用光的干涉的OCT(Optical Coherence Tomography：光學相干斷層成像術)、應用錐光全息的方法等各種傳感器。x軸臺由x軸臺主軸130a和x軸臺從軸130b構成，采用這2個軸同步地同時移動的結構，從而能夠使搭載了距離傳感器110a～110c的板131穩(wěn)定地移動。此處，距離傳感器110a～110c成為能夠對計測面的任意形狀高精度地進行計測的適當的配置。關于傳感器配置的優(yōu)化在后文中敘述。

在圖2中示意性地示出通過移動X軸而使距離傳感器110a～110c的測定位置從計測面101的中心向著外周部掃描的情況下的計測點的軌跡105。另外，搭載了從外周夾緊固定試樣100的缸機構121、調整距離傳感器110a～110c與試樣100的高度的z軸臺、計測試樣100與旋轉臺120的中心位置關系的側面用距離傳感器140。

試樣100是接近圓柱形的形狀的情況下，使旋轉臺120旋轉，同時用側面用距離傳感器140連續(xù)地計測距離，通過計測其距離變動，在旋轉臺120旋轉一周時距離以正弦方式變動。試樣中心與旋轉臺120的旋轉中心的偏離量能夠根據該正弦波的振幅計算，偏離方向能夠根據相位計算，在計測前能夠得知試樣中心與旋轉臺120的旋轉中心的位置關系。

另外，試樣接近圓筒狀的情況下，通過根據該計測結果事先使試樣中心與旋轉中心對齊，可以得到減少因旋轉而在裝置整體中發(fā)生的振動的效果。z軸臺也與x軸臺同樣地采用使z軸臺主軸150a和z軸臺從軸150b這2個軸同步而同時移動的結構。為了使來自距離傳感器110a～110c的激光到達計測面101而在板131上開孔。旋轉臺120、x軸臺130a、130b、z軸臺150a、150b被臺驅動器160驅動，用控制部170進行旋轉臺120和x軸臺130a、130b和距離傳感器110a～110c、側面用距離傳感器140的同步檢測。對于計測結果，用信號處理部180自動進行試樣100的合格與否判斷。另外，信號處理部180由形狀計算部181、體積計算部182、體積合格與否判斷部183構成。

本實施例中，通過使臺旋轉并在X軸方向移動而描繪出如圖2所示的軌跡，但不限于使臺移動的方法，例如也可以通過使距離傳感器旋轉并在X軸方向移動而實現。另外，在旋轉與X軸方向移動的組合以外，也能夠采用Y軸方向移動代替旋轉，用X軸方向移動與Y軸方向移動的組合對整個測定面進行掃描。

在圖3中示出檢查流程。將試樣載置在旋轉臺上(S100)，用缸機構121夾緊固定S100中載置的試樣(S101)。為了將非接觸的距離傳感器與計測面的距離限制在距離傳感器110a～110c的工作距離以內而用z臺調整高度(S102)。試樣的高度信息已知的情況下，能夠自動地計算適當的z軸臺的位置。接著，使旋轉臺和x軸臺掃描，同時用距離傳感器對計測面進行計測，根據臺坐標計測位置數據，用距離傳感器計測距離數據(S103)。根據S103中計測得到的旋轉臺和x軸臺和z軸臺的位置數據和用各距離傳感器計測得到的距離數據，計算分布在三維坐標系中的計測點群，根據3個距離傳感器的計測點群計算計測面的形狀(S104)。根據S104中計算出的形狀，使用另外賦予的高度基準值計算計測面的體積(S105)，對計算出的體積與根據設計數據計算出的體積、或者使用合格品試樣用S100～S105的流程同樣計算出的體積進行比較，進行將在預先設定的閾值以下的試樣判斷為合格品、將閾值以上的判斷為不合格品的是否合格判斷(S106)。

(距離傳感器配置優(yōu)化)

在圖4中示出表示計測面與距離傳感器的激光入射方向的示意圖。圖1所示的距離傳感器110a～110c需要適當配置為能夠對計測面101的任意形狀進行計測。此處，非接觸的利用激光的距離傳感器的計測精度，較大依賴于計測面的傾斜。如圖4所示，用θs、φs表示計測面的法線矢量102的方向，用θl、φl表示距離傳感器的入射激光方向矢量112的方向。另外，設計測得到的距離為l。設計測面101的法線矢量102與距離傳感器的入射激光方向矢量112所成的角的絕對值為α，在圖5中示出距離傳感器的計測誤差的α依賴性的一例。一般而言，計測誤差存在隨著α增大而增大的傾向。從而，通過事先取得圖5所示的誤差的α依賴性作為基礎數據，設定計測允許的誤差最大值，能夠決定作為決定裝置結構的判斷材料的α最大值。

此處，考慮距離傳感器的設定條件的優(yōu)化。設想計測面的方向θs、φs包括0<θs<90、0<φs<360的所有面方向的情況。α<αth是可計測范圍。在圖6中示出使距離傳感器的入射方向為θl＝0、φl＝0時對于計測面的方向能否計測。斜線部分是可計測區(qū)域200，將可計測區(qū)域的面積相對于0<θs<90、0<φs<360的全部區(qū)域的面積的比率作為覆蓋率γ時，γ＝αth/90。將多個距離傳感器的設定位置組合，尋找γ＝1的條件。將此時的距離傳感器的設定位置作為優(yōu)化條件。用Ai表示θl＝θ1i、φl＝φli時的可計測區(qū)域時，覆蓋率γ能夠如下表達：

此處N表示組合數量。尋找在盡量小的N下實現γ＝1的條件。例如，設想αth＝70°，求最佳條件時，計算出θl1＝θl2＝θl3＝45°，|φl1-φl2|＝|φl2-φl3|＝|φl3-φl1|＝120°或者240°。

在圖7中示出φl1＝0時的各條件，在圖8中示出將3個條件合并得到的區(qū)域。通過進行這樣的優(yōu)化，能夠導出用最少的計測次數應對所有形狀的計測裝置的結構。圖1的裝置結構中，為了提高吞吐率而同時計測3個檢測條件，所以搭載了3個傳感器。用1個距離傳感器進行3次計測也能夠實現γ＝1。

此處，說明同時使用3個距離傳感器的情況下的裝置結構。利用激光的距離傳感器中，對測定試樣照射從距離傳感器發(fā)出的激光，接收來自計測面的反射、散射光，根據其相位和強度信息計測距離。從而，使用多個距離傳感器的情況下，對于因某個距離傳感器的入射激光113a～113c而發(fā)生的來自計測面的反射、散射光，用其他距離傳感器接收時，存在距離計測精度降低的可能性。該計測精度降低能夠通過改進裝置結構以使各距離傳感器的受光面中不會有其他距離傳感器的激光進入而解決。在圖9中示出其一例。設想上述3個距離傳感器的裝置結構，對試樣照射來自各距離傳感器的激光。此處，設各距離傳感器的受光面與入射激光位于同一軸上。設計測面的計測部位上的z軸的最低點為Za。另外，設來自3個距離傳感器的激光的交點的z軸坐標為Zb。要使距離傳感器在試樣面上的光斑相距d時，設定為：

d＝(Z_a-Z_b)tan^-1θ (數式2)

此處，θ表示距離傳感器對于z軸的傾角，本例中在3個距離傳感器中都是45°。本次考慮激光在z比計測面小的位置交叉，但z比計測面大的情況下也能夠同樣考慮而使計測面上的激光光斑離開。如上所述，通過使各距離傳感器的激光光斑離開一定以上的距離而不重合，能夠不使形狀計測精度降低地同時使用多個距離傳感器。考慮使用的距離傳感器、和計測對象的面狀態(tài)適當地決定光斑間的距離d。例如，在較多發(fā)生散射光的情況下d需要設定為較大。

另外，作為進一步減少來自其他激光的噪聲影響的方案，在圖17中示出在距離傳感器前配置了偏振片114a、114b的裝置結構。偏振片114a設定在使距離傳感器的入射激光113a透射的方位。來自試樣的反射、散射光也保持同樣的偏振狀態(tài)，所以透過偏振片114a而被檢測，對距離進行計測。同樣地，偏振片114b的方位也與入射激光113b相應地設定。此處，入射激光113a和113b入射方向不同，所以入射激光113a引起的反射、散射光被偏振片114b減少，同樣地，入射激光113b引起的反射、散射光被偏振片114a減少。這樣，能夠用偏振片減少其他距離傳感器引發(fā)的激光，從而能夠抑制精度降低。

(信號處理部)

對于距離傳感器得到的距離計測結果，用信號處理部實施各種處理，最終自動地進行試樣的合格與否判斷。此處，信號處理部由根據臺位置信息和用距離傳感器計測得到的資料和距離傳感器之間的距離信息計算形狀的形狀計算部、使用形狀計算部計算出的形狀和任意設定的高度基準計算活塞冠面上的體積的體積計算部、進行用體積計算部計算出的體積的合格與否判斷的合格與否判斷部構成。以下對于各部進行詳細說明。

(形狀計算部)

在圖10中示出形狀計算部的流程，在圖11中示出形狀數據計算時的數據流圖。如圖11所示，根據來自各距離傳感器的距離數據301、x軸臺和θ臺的坐標數據302、以及表示距離傳感器與臺的位置關系的校準數據303，將各計測點變換至xyz坐標系，計算形狀數據(點群)310(S201a～S201c)。對于S201a～S201c中計算出的各形狀數據，用統(tǒng)計處理除去離群值等噪聲成分(S202a～S202c)。對于S202a～S202c中除去噪聲后的形狀數據，除去距離傳感器的激光入射方向與計測面的方向所成的角α在閾值以上的設想為精度低的點(S203a～S203c)。

在圖12中示出形狀計算部中的處理的概念圖。此處為了簡單而二維地表達點群。相對于用實線表示的計測面101，用點表示計測點。首先，推測計測點各自的法線方向。以關注的計測點為中心，在三維空間內設定區(qū)域，根據該區(qū)域中包括的多個點的統(tǒng)計分布推測法線。法線推測使用主成分分析(PRINCIPAL COMPONENT ANALYSIS，PCA)。首先，計算設定的區(qū)域內的計測點的集合的重心，根據重心與各點的差，生成協方差矩陣。該協方差矩陣是3×3矩陣，具有3個特征值。冠面計測的情況下，計測點形成平面，3個特征值中1個特征值是相對于其他2個特征值較小的值。此處，較小特征值的方向表示區(qū)域內的計測點集合的法線方向。將該法線方向作為關注的計測點的法線矢量102。此時，區(qū)域設定可以設定為點的數量固定，也可以是預先決定的形狀、體積的區(qū)域。假設距離傳感器的入射激光方向已知時，使用通過上述主成分分析求出的各點的面方向，能夠得到除去了不合格點的形狀數據。對于表示S203a～S203c中計算出的各形狀數據的點群，使用ICP等進行位置對齊并綜合而取得綜合形狀數據(S204)，S204中計算出的綜合形狀數據存在密度因部位而有較大不同的情況。特別是平坦部在哪一個距離傳感器中都存在計測值，所以存在與傾斜部相比密度更高的傾向。點群密度必要以上地高的部位，在之后的處理中會耗費時間，所以實施低密度化的處理，使各部位的點群密度均衡化(S205)，得到最終的高精度形狀數據。

此處，對表示距離傳感器與臺的位置關系的校準數據303的取得方法進行說明。用如圖13所示的基準平面(平面有一定傾斜)401、基準高度402已知的基準試樣進行計測，對距離傳感器與臺的位置關系進行修正。具體而言，對各距離傳感器計算使計測值成為基準試樣的設計值的距離傳感器的校準數據θl、φl、l。

(體積計算部)

參考圖14說明體積計算部。對于由形狀計算部得到的高精度形狀數據與任意的高度基準312構成的區(qū)域的體積313進行計算，作為試樣頂面的體積。此時，對于高度基準312，在試樣100是圖15所示的活塞的情況下，存在將距離活塞銷孔的中心位置起一定高度作為高度基準312a、或者將冠面上的一部分作為高度基準312b的方法。在冠面上使用高度基準312b的情況下，預先在制造時加工出高度基準312b則能夠進行更高精度的體積檢查。

(合格與否判斷部)

在合格與否判斷部中，判斷體積計算部中計算出的體積的合格與否。例如，對于設計值、或者用合格品求出的體積，設定閾值，將閾值以上作為不合格品，閾值以下作為合格品。另外，根據合格與否判斷的傾向，在不良值持續(xù)的情況下，也能夠對制造工藝進行反饋。試樣是鑄造品的情況下，關系到模具的磨耗、缺損的早期發(fā)現。進而，通過對形狀計算部計算出的高精度形狀數據與設計形狀或合格品形狀進行比較，能夠更高精度地正確地確定模具的磨耗、缺損的量、部位。

在圖16中示出合格與否判斷部的處理流程。S401～S404是與圖3所示的S101～S104同樣的處理。對S404中計算出的形狀數據與設計形狀(CAD：Computer Aided Design：計算機輔助設計)、合格品形狀進行比較，對其差異設定閾值，進行是否合格判斷。例如，有各點的偏差量的標準差、最大偏差量、平均偏差量、對重要部位加權計算出的偏差量等指標。

實施例2

用圖18說明本發(fā)明的實施例2。表示實施例1的圖1中搭載了3個距離傳感器，但表示本實施例的圖18中是2個。實施例1中x軸臺130的掃描距離是從試樣中心到外周部。該情況下，為了對計測面101的任意形狀高精度地計測需要3個距離傳感器的組合。實施例2中，使x軸臺130的掃描距離是通過試樣中心的從外周至外周的相當于試樣直徑的量的掃描，從而能夠用2個距離傳感器對計測面101的任意形狀進行計測。

該情況下，與實施例1同樣地進行傳感器配置的優(yōu)化時，可以導出θl1＝θl2＝45°，|φl1-φl2|＝90°。

實施例2中傳感器數量是2個，所以與實施例1相比裝置結構更簡單，可以實現成本降低。另一方面，計測時間加倍，所以在進行高速檢查的情況下優(yōu)選使用實施例1的結構。另外，使距離傳感器為2個的情況下的處理傳感器的配置不限定于圖18，也能夠配置在任意位置。

實施例3

用圖19、20說明本發(fā)明的實施例3。圖19示出了用配置在活塞制造線中的體積檢查部對加工后的活塞進行檢查的工序。由對活塞1進行加工的活塞加工部500、輸送加工后的活塞1的輸送部510、檢查活塞的體積的體積檢查部520、顯示體積檢查部得到的合格與否判斷結果的顯示部530、與合格與否判斷結構相應地分路為合格品活塞1a和不合格品活塞1b的輸送通路的分路部540、輸送檢查合格的合格品活塞1a的合格品線510a、輸送檢查不合格的不合格品活塞1b的不合格品線510b構成。

參考圖20的檢查流程圖說明各部位的詳情。用由鑄造工序501和機械加工工序502構成的活塞加工部500加工活塞1，附加活塞種類和制造編號等可識別的編號并用刻印等將該信息標記在活塞1上(S500)，S500中加工的活塞1被輸送部510輸送至體積檢查部520(S501)。對于S501中輸送的活塞1，用信息讀取部521讀取活塞1的種類、制造編號等(S502)，接著，用3個距離傳感器110a、110b、110c和旋轉/平移臺部155進行距離計測，基于其計測數據用信號處理部180計算體積(S503)。另外，用信號處理部180計測計算出的計測體積與基準體積的差(S504)，通過閾值判斷進行合格與否判斷(S504)，在顯示部530上顯示其結果和信息讀取部521讀取的信息。體積檢查部520的裝置結構、體積計算方法、合格與否判斷方法與實施例1相同，所以省略詳述。在顯示部530上，顯示活塞1的種類531、制造編號532、基準體積值533、計測體積值534、基準體積值與計測體積值的差和合格與否判斷結果535。對于用信號處理部180進行合格與否判斷后的活塞1，用分路部540分路為合格品活塞1a和不合格品活塞1b并輸送。不合格品活塞1b被輸送至不合格品線510b(S506)，判斷是否對不良部分追加加工、修正(S507)，進行追加加工、修正的情況下，在追加加工、修正后，再次輸送至體積檢查部(S508)，不進行的情況下直接廢棄(S509)。是進行追加加工、修正還是直接廢棄的判斷根據體積檢查的結果決定。例如，體積較小的情況下，認為加工不充分，所以對加工不足部位進行追加加工。另外，也能夠根據不合格品的頻度、傾向推測加工裝置的故障等。另一方面，判斷為合格品的活塞1被作為合格品活塞1a輸送至合格品線510a(S510)，包裝并出廠(S511)。

另外，也能夠保存不良的個數、種類的歷史，在特定的不良數量超過一定比例的情況下，變更加工部500的鑄造工序501、機械加工工序502的加工條件，或者停止加工，從而進行加工的活塞的質量保障。

在體積檢查部520中根據活塞的形狀計算體積，也能夠通過對計測得到的活塞形狀與設計信息或對已知為合格品的活塞進行計測得到的結果等基準活塞形狀進行比較而進行合格與否判斷?；谛螤钸M行合格與否判斷時，對要管理的尺寸或計測得到的形狀與基準形狀進行比較，對于不同部位及其偏差的大小等設定閾值而進行合格與否判斷。存在多個指標的情況下，也可以設定對其加權相加得到的綜合指標，對于綜合指標進行閾值處理。該情況下，在顯示部530上顯示尺寸536、537、形狀比較結果538和表示偏差大小的彩色條538a、比較結果的標準差539等。

另外，通過根據缺陷的形狀識別缺陷種類并進行分類，也能夠確定問題工序，自動地進行加工工序的條件變更，或者使制造線停止。對于計測出的缺陷，根據尺寸、深寬比、深度、缺陷部體積、發(fā)生部位等分類。與缺陷的分類結果相應地，根據過去的加工數據或者物理上的工序特征推測在加工工序的何處發(fā)生了問題，與其相應地發(fā)出改善或者停止命令。使用過去的加工數據的情況下，對過去數據進行分析，用表保存發(fā)生的缺陷的種類、和實際有問題的工序，與發(fā)生的缺陷相應地確定問題工序。使用工序特征的情況下，如果發(fā)生凹缺陷則判斷為氣孔，推測為鑄造工序導致的，在深寬比高的缺陷的情況下，判斷為損傷，推測為加工工序中發(fā)生的缺陷。這樣，通過在活塞制造檢查中使用冠面形狀，與僅用冠面體積相比能夠進行更詳細的問題工序的確定、改善。

以上說明的實施例都僅表示實施本發(fā)明時的具體化的一例，本發(fā)明的技術范圍并不受其限定性地解釋。即，本發(fā)明能夠不脫離其技術思想或其主要特征地以各種形式實施。

上述記載是關于實施例的，但本發(fā)明不限于此，對于本領域技術人員而言顯然能夠在本發(fā)明的精神和附帶的權利要求書的范圍內進行各種變更和修正。

附圖標記說明

1 活塞

1a 合格品活塞

1b 不合格品活塞

100 試樣

101 計測面

102 法線矢量

105 軌跡

110a～110c 距離傳感器

112 入射激光方向矢量

113a～113c 入射激光

114a，114b 偏振片

120 旋轉臺

121 缸機構

130a x軸臺主軸

130b x軸臺從軸

131 板

140 側面用距離傳感器

150a z軸臺主軸

150b z軸臺從軸

160 臺驅動器

170 控制部

180 信號處理部

181 形狀計算部

182 體積計算部

183 合格與否判斷部

200 可計測區(qū)域

301 距離數據

302 坐標數據

303 校準數據

310 形狀數據

311 高精度形狀數據

312，312a，312b 高度基準

313 體積

401 基準平面

402 基準高度

500 活塞加工部

501 鑄造工序

502 機械加工工序

510 輸送部

510a 合格品線

510b 不合格品線

520 體積檢查部

521 信息讀取部

530 顯示部

531 種類

532 制造編號

533 基準體積值

534 計測體積值

535 基準體積值與計測體積值的差

536，537 尺寸

538 形狀比較結果

538a 表示偏差大小的彩色條

539 比較結果的標準差

540 分路部。