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感應(yīng)式位移傳感器的制作方法

文檔序號(hào):12286769閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種裝置,包括:

初級(jí)電感器;

第一次級(jí)電感器,所述第一次級(jí)電感器場耦合至所述初級(jí)電感器;以及

第二次級(jí)電感器,所述第二次級(jí)電感器場耦合至所述初級(jí)電感器;

其中,所述第一次級(jí)電感器和所述第二次級(jí)電感器被配置為協(xié)調(diào)的電感器以用于檢測耦合器的運(yùn)動(dòng);并且

其中,所述協(xié)調(diào)的電感器被配置成用于提供參考信號(hào)和測量信號(hào),其中,所述參考信號(hào)跨所述耦合器的運(yùn)動(dòng)范圍具有恒定振幅。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置,其中,所述參考信號(hào)被配置為最大信號(hào)。

3.如權(quán)利要求1所述的裝置,其中,所述耦合器被配置成用于場耦合所述初級(jí)電感器與所述第一次級(jí)電感器和所述第二次級(jí)電感器。

4.如權(quán)利要求1所述的裝置,其中,所述測量信號(hào)相對(duì)于所述耦合器的運(yùn)動(dòng)而線性地變化。

5.如權(quán)利要求1所述的裝置,其中,所述測量信號(hào)相對(duì)于所述耦合器的運(yùn)動(dòng)而非線性地變化。

6.如權(quán)利要求1所述的裝置,進(jìn)一步包括:

比較器,所述比較器被配置成用于比較來自所述第一次級(jí)電感器的第一信號(hào)與來自所述第二次級(jí)電感器的第二信號(hào),其中,所述比較器被配置成用于確定哪個(gè)次級(jí)電感器信號(hào)表示所述參考信號(hào)以及哪個(gè)次級(jí)電感器信號(hào)表示所述測量信號(hào)。

7.如權(quán)利要求1所述的裝置,其中,以所述運(yùn)動(dòng)范圍將所述第一次級(jí)電感器和所述第二次級(jí)電感器分成多段,其中,所述運(yùn)動(dòng)范圍包括多個(gè)段。

8.如權(quán)利要求7所述的裝置,進(jìn)一步包括:

相位檢測器,所述相位檢測器被配置成用于從所述多個(gè)段中識(shí)別出當(dāng)前段,其中,所述當(dāng)前段對(duì)應(yīng)于所述耦合器的位置。

9.如權(quán)利要求1所述的裝置,其中,所述第一次級(jí)電感器和所述第二次級(jí)電感器被印刷在電路板上。

10.如權(quán)利要求1所述的裝置,其中,所述協(xié)調(diào)的電感器被配置成用于在提供所述參考信號(hào)與提供所述測量信號(hào)之間交替。

11.如權(quán)利要求1所述的裝置,其中,所述耦合器具有預(yù)定寬度,并且其中,所述第一次級(jí)電感器和所述第二次級(jí)電感器中的提供所述參考信號(hào)的那個(gè)次級(jí)電感器安排有沿著所述耦合器的行進(jìn)方向以周期性重復(fù)的方式改變的面積,其周期等于所述預(yù)定寬度。

12.一種方法,包括:

為初級(jí)電感器供能;

提供來自多個(gè)次級(jí)電感器中的至少一個(gè)次級(jí)電感器的參考信號(hào),其中,所述多個(gè)次級(jí)電感器場耦合至所述初級(jí)電感器,并且其中,來自所述多個(gè)次級(jí)電感器的一對(duì)次級(jí)電感器被配置為協(xié)調(diào)的電感器;

提供來自所述多個(gè)次級(jí)電感器中的至少一個(gè)另一個(gè)次級(jí)電感器的測量信號(hào),其中,所述測量信號(hào)被配置成用于反映耦合器的運(yùn)動(dòng),并且其中所述參考信號(hào)跨所述耦合器的運(yùn)動(dòng)范圍具有恒定振幅;以及

基于所述測量信號(hào)的變化來確定所述耦合器的運(yùn)動(dòng)。

13.如權(quán)利要求12所述的方法,其中,所述參考信號(hào)被提供作為最大信號(hào)。

14.如權(quán)利要求12所述的方法,其中,所述測量信號(hào)相對(duì)于所述耦合器的運(yùn)動(dòng)而線性地變化。

15.如權(quán)利要求12所述的方法,其中,所述測量信號(hào)相對(duì)于所述耦合器的運(yùn)動(dòng)而非線性地變化。

16.如權(quán)利要求12所述的方法,進(jìn)一步包括:

使用比較器來比較來自所述第一次級(jí)電感器的第一信號(hào)與來自所述第二次級(jí)電感器的第二信號(hào);以及

從所述比較器處輸出指示哪個(gè)次級(jí)電感器信號(hào)表示所述參考信號(hào)以及哪個(gè)次級(jí)電感器信號(hào)表示所述測量信號(hào)的信號(hào)。

17.如權(quán)利要求12所述的方法,其中,以所述運(yùn)動(dòng)范圍將所述第一次級(jí)電感器和所述第二次級(jí)電感器分成多段,其中,所述運(yùn)動(dòng)范圍包括多個(gè)段。

18.如權(quán)利要求17所述的方法,進(jìn)一步包括:

使用相位檢測器從所述多個(gè)段中識(shí)別出當(dāng)前段,其中,所述當(dāng)前段對(duì)應(yīng)于所述耦合器的位置。

19.一種系統(tǒng),包括:

傳感器,所述傳感器包括初級(jí)電感器、場耦合至所述初級(jí)電感器的第一次級(jí)電感器、以及場耦合至所述初級(jí)電感器的第二次級(jí)電感器,其中,所述第一次級(jí)電感器和所述第二次級(jí)電感器被配置為協(xié)調(diào)的電感器以用于檢測耦合器的運(yùn)動(dòng),其中,所述協(xié)調(diào)的電感器被配置成用于提供參考信號(hào)和測量信號(hào),并且其中,所述參考信號(hào)跨所述耦合器的運(yùn)動(dòng)范圍具有恒定振幅;以及

輸出,所述輸出被配置成用于提供對(duì)由所述傳感器檢測到的所述運(yùn)動(dòng)的表示。

20.如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng),其中,所述測量信號(hào)相對(duì)于所述耦合器的運(yùn)動(dòng)而線性地變化。

21.如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng),其中,所述測量信號(hào)相對(duì)于所述耦合器的運(yùn)動(dòng)而非線性地變化。

22.如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng),進(jìn)一步包括:

比較器,所述比較器被配置成用于比較來自所述第一次級(jí)電感器的第一信號(hào)與來自所述第二次級(jí)電感器的第二信號(hào),其中,所述比較器被配置成用于確定哪個(gè)次級(jí)電感器信號(hào)表示所述參考信號(hào)以及哪個(gè)次級(jí)電感器信號(hào)表示所述測量信號(hào)。

23.如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng),其中,以所述運(yùn)動(dòng)范圍將所述第一次級(jí)電感器和所述第二次級(jí)電感器分成多段,其中,所述運(yùn)動(dòng)范圍包括多個(gè)段。

24.如權(quán)利要求23所述的系統(tǒng),進(jìn)一步包括:

相位檢測器,所述相位檢測器被配置成用于從所述多個(gè)段中識(shí)別出當(dāng)前段,其中,所述當(dāng)前段對(duì)應(yīng)于所述耦合器的位置。

25.如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng),其中,所述耦合器具有預(yù)定寬度,并且其中,所述第一次級(jí)電感器和所述第二次級(jí)電感器中的提供所述參考信號(hào)的那個(gè)次級(jí)電感器安排有沿著所述耦合器的行進(jìn)方向以周期性重復(fù)的方式改變的面積,其周期等于所述預(yù)定寬度。

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