本發(fā)明的實(shí)施方式涉及檢查系統(tǒng)和檢查方法。
背景技術(shù)：
：以往，提出了如下技術(shù)：對(duì)被檢查體照射光，拍攝來自該被檢查體的表面的反射光作為圖像數(shù)據(jù)，根據(jù)該圖像數(shù)據(jù)的亮度變化等來檢測(cè)被檢查體的異常。提出了如下技術(shù)：在此時(shí)使照射到被檢查體的光的強(qiáng)度周期性地變化，根據(jù)所拍攝到的圖像數(shù)據(jù)的亮度變化來檢測(cè)異?！，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開2014-2125號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的問題然而，雖然在現(xiàn)有技術(shù)中使光的強(qiáng)度變化，但是，在所拍攝到的圖像數(shù)據(jù)中并不包含與使光的強(qiáng)度變化時(shí)的時(shí)間的遷移相關(guān)的信息。因此，在利用所拍攝到的圖像數(shù)據(jù)檢測(cè)被檢查體的異常時(shí)，檢測(cè)精度可能變低。用于解決問題的手段在實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)中具有：面方式的照明部，其通過光強(qiáng)度的條紋圖案的空間移動(dòng)，賦予光強(qiáng)度的周期性的時(shí)間變化；時(shí)間相關(guān)圖像生成部，其通過時(shí)間相關(guān)照相機(jī)或進(jìn)行與時(shí)間相關(guān)照相機(jī)等效的動(dòng)作的攝像系統(tǒng)生成時(shí)間相關(guān)圖像；以及運(yùn)算處理部，其根據(jù)時(shí)間相關(guān)圖像計(jì)算與檢查對(duì)象面的法線向量的分布對(duì)應(yīng)的特征，該特征是通過與周圍的不同和與參照表面的不同中的至少一方來檢測(cè)異常的特征。附圖說明圖1是示出第1實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例的圖。圖2是示出第1實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的框圖。圖3是表述在第1實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)中按時(shí)間序列依次蓄積的幀的概念圖。圖4是示出第1實(shí)施方式的照明裝置照射的條紋圖案的一例的圖。圖5是示出第1實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)進(jìn)行的被檢查體的異常的第1檢測(cè)例的圖。圖6是示出在被檢查體中存在圖5所示的異常的情況下，根據(jù)該異常而變化的光的振幅的例子的圖。圖7是示出第1實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)進(jìn)行的被檢查體的異常的第2檢測(cè)例的圖。圖8是示出第1實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)進(jìn)行的被檢查體的異常的第3檢測(cè)例的圖。圖9是示出第1實(shí)施方式的照明控制部向照明裝置輸出的條紋圖案的例子的圖。圖10是示出表示經(jīng)由第1實(shí)施方式的屏幕后的條紋圖案的波的形狀的例子的圖。圖11是示出第1實(shí)施方式的異常檢測(cè)處理部中的基于振幅的異常檢測(cè)處理的步驟的流程圖。圖12是示出第1實(shí)施方式的異常檢測(cè)處理部中的基于相位的異常檢測(cè)處理的步驟的流程圖。圖13是示出第1實(shí)施方式的異常檢測(cè)處理部中的基于振幅和強(qiáng)度的異常檢測(cè)處理的步驟的流程圖。圖14是示出第1實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)中的被檢查體的檢查處理的步驟的流程圖。圖15是示出變形例2的照明控制部輸出的條紋圖案的切換例的圖。圖16是變形例2的照明控制部向包含異常(缺陷)的表面照射了條紋圖案的例子的圖。圖17是在y方向上使條紋圖案變化的情況下的異常(缺陷)與屏幕上的條紋圖案之間的關(guān)系的圖。圖18是示出變形例3的照明控制部向照明裝置輸出的條紋圖案的例子的圖。圖19是示出第2實(shí)施方式的照明控制部向照明裝置輸出的條紋圖案的例子的圖。圖20是示出第2實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)中的圖像傳感器、屏幕、被檢查體的表面形狀之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系的圖。圖21是示出第2實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)的檢查對(duì)象、即二階微分fxx＜0的情況下的被檢查體的表面形狀的例子的圖。圖22是示出第2實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)的檢查對(duì)象、即fxx＞0的情況下的被檢查體的表面形狀的例的圖。圖23是示出使條紋圖案中的條紋寬度進(jìn)行各種變化的情況下的g/p的標(biāo)志。圖24是示出第2實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)所使用的振幅比對(duì)應(yīng)表的例子的圖。圖25是示出第3實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)的、從屏幕照射了與被檢查體的表面形狀一致的條紋圖案的圖。圖26是示出第3實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)的被檢查體的檢查處理的步驟的流程圖。圖27是示出第3實(shí)施方式的照明裝置在屏幕中顯示的條紋圖案的例子的圖。圖28是示出用于生成圖27的條紋圖案的利用明暗(濃淡)表示被檢查體或屏幕的表面中的初始的相位分布(空間相位分布)的例子的圖。圖29是示出在球面狀的被檢查體上投影的條紋圖案的例子的圖，其中，該條紋圖案如圖25所示，在從時(shí)間相關(guān)照相機(jī)觀察的視線中為移動(dòng)的平行條紋。具體實(shí)施方式(第1實(shí)施方式)對(duì)本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)進(jìn)行說明。第1實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)具有用于檢查被檢查體的各種結(jié)構(gòu)。圖1是示出本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例的圖。如圖1所示，本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)具有PC100、時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110、照明裝置120、屏幕130、臂140。臂140用于固定被檢查體150，根據(jù)來自PC100的控制，使時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110能夠拍攝的被檢查體150的表面的位置和朝向變化。照明裝置120是向被檢查體150照射光的裝置，能夠按照來自PC100的條紋圖案以區(qū)域單位對(duì)要照射的光的強(qiáng)度進(jìn)行控制。進(jìn)而，照明裝置120能夠按照周期性的時(shí)間的遷移來控制該區(qū)域單位的光的強(qiáng)度。換言之，照明裝置120能夠賦予光強(qiáng)度的周期性的時(shí)間變化和空間變化。另外，后面記述具體的光強(qiáng)度的控制方法。屏幕130使從圖照明裝置120輸出的光擴(kuò)散，然后以面的方式對(duì)被檢查體150照射光。本實(shí)施方式的屏幕130以面的方式向被檢查體150照射從照明裝置120輸入的被賦予了周期性的時(shí)間變化和空間變化的光。另外，在照明裝置120與屏幕130之間，也可以設(shè)置聚光用的菲涅爾透鏡等光學(xué)系統(tǒng)部件(未圖示)。另外，在本實(shí)施方式中說明了組合照明裝置120和屏幕130來構(gòu)成賦予光強(qiáng)度的周期性的時(shí)間變化和空間變化的面方式的照射部的例子，但是，不限于這樣的的組合，例如，也可以以面的方式配置LED來構(gòu)成照明部。時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110具有光學(xué)系統(tǒng)210、圖像傳感器220、數(shù)據(jù)緩沖器230、控制部240、參照信號(hào)輸出部250。圖2是示出本實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110的結(jié)構(gòu)的框圖。光學(xué)系統(tǒng)210包含拍攝鏡頭等，使來自時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110的外部的被攝體(包含被檢查體)的光束透射，使通過該光束形成的被攝體的光學(xué)像成像。圖像傳感器220是這樣的傳感器：能夠按照每個(gè)像素高速地輸出經(jīng)由光學(xué)系統(tǒng)210入射的光的強(qiáng)弱作為光強(qiáng)度信號(hào)。本實(shí)施方式的光強(qiáng)度信號(hào)是指，檢查系統(tǒng)的照明裝置120對(duì)被攝體(包含被檢查體)照射光，由圖像傳感器220取得來自該被攝體的反射光而得到的光強(qiáng)度信號(hào)。圖像傳感器220例如是與以往相比能夠高速進(jìn)行讀出的傳感器，構(gòu)成為在行方向(x方向)、列方向(y方向)這2種方向上排列像素的二維平面狀。而且，將圖像傳感器220的各像素設(shè)為像素P(1，1)、……、P(i，j)、……、P(X，Y)(另外，本實(shí)施方式的圖像尺寸為X×Y。)。另外，不限制圖像傳感器220的讀出速度，也可以與以往相同。圖像傳感器220接收通過光學(xué)系統(tǒng)210而透射的來自被攝體(包含被檢查體)的光束并進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，由此，生成通過表示從被攝體反射的光的強(qiáng)弱的光強(qiáng)度信號(hào)(拍攝信號(hào))而構(gòu)成的二維平面狀的幀，并將其輸出到控制部240。本實(shí)施方式的圖像傳感器220按照能夠讀出的每個(gè)單位時(shí)間輸出該幀。本實(shí)施方式的控制部240例如由CPU、ROM和RAM等構(gòu)成，通過執(zhí)行ROM中存儲(chǔ)的檢查程序來實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)送部241、讀出部242、強(qiáng)度圖像用重疊部243、第1乘法器244、第1相關(guān)圖像用重疊部245、第2乘法器246、第2相關(guān)圖像用重疊部247、圖像輸出部248。另外，不限于通過CPU等來實(shí)現(xiàn)，也可以通過FPGA或ASIC來實(shí)現(xiàn)。轉(zhuǎn)送部241按照時(shí)間序列在數(shù)據(jù)緩沖器230中依次蓄積從圖像傳感器220輸出的由光強(qiáng)度信號(hào)構(gòu)成的幀。數(shù)據(jù)緩沖器230按照時(shí)間序列依次蓄積從圖像傳感器220輸出的由光強(qiáng)度信號(hào)構(gòu)成的幀。圖3是表示在本實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110中按照時(shí)間序列依次蓄積的幀的概念圖。如圖3所示，在本實(shí)施方式的數(shù)據(jù)緩沖器230中，按照時(shí)間序列依次蓄積每個(gè)時(shí)刻t(t＝t0、t1、t2、……、tn)的多個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)G(1，1，t)、……、G(i，j，t)、……、G(X，Y，t)的組合所構(gòu)成的多個(gè)幀F(xiàn)k(k＝1、2、……、n)。另外，在時(shí)刻t生成的一個(gè)幀由光強(qiáng)度信號(hào)G(1，1，t)、……、G(i，j，t)、……、G(X，Y，t)構(gòu)成。本實(shí)施方式的光強(qiáng)度信號(hào)(攝像信號(hào))G(1，1，t)、……、G(i，j，t)、……、G(X，Y，t)與構(gòu)成幀圖像Fk(k＝1、2、……、n)的各像素P(1、1)、……、P(i，j)、……、P(X，Y)對(duì)應(yīng)起來。從圖像傳感器220輸出的幀僅由光強(qiáng)度信號(hào)構(gòu)成，換言之能夠認(rèn)為是單色的圖像數(shù)據(jù)。另外，在本實(shí)施方式中，考慮分辨率、感光度和成本等，對(duì)圖像傳感器220生成單色的圖像數(shù)據(jù)的例子進(jìn)行說明，但是，作為圖像傳感器220，不限于單色用的圖像傳感器，也可以使用彩色用的圖像傳感器。返回圖2，本實(shí)施方式的讀出部242以幀為單位，按照時(shí)間序列從數(shù)據(jù)緩沖器230依次讀出光強(qiáng)度信號(hào)G(1，1，t)、……、G(i，j，t)、……、G(X，Y，t)，并輸出到第1乘法器244、第2乘法器246、強(qiáng)度圖像用重疊部243。本實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110按照讀出部242的每個(gè)輸出目的地生成圖像數(shù)據(jù)。換言之，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110生成3種圖像數(shù)據(jù)。本實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110生成強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)和2種時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)來作為3種圖像數(shù)據(jù)。另外，本實(shí)施方式不限于生成3種圖像數(shù)據(jù)，也考慮不生成強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)的情況，和生成1種或3種以上的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)的情況。如上所述，本實(shí)施方式的圖像傳感器220按照每個(gè)單位時(shí)間輸出由光強(qiáng)度信號(hào)構(gòu)成的幀。然而，為了生成通常的圖像數(shù)據(jù)，需要拍攝所需要的曝光時(shí)間的量的光強(qiáng)度信號(hào)。因此，在本實(shí)施方式中，強(qiáng)度圖像用重疊部243重疊拍攝所需要的曝光時(shí)間的量的多個(gè)幀，生成強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)。另外，強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)的各像素值(表示光的強(qiáng)度的值)G(X，Y)能夠由以下所示的式(1)導(dǎo)出。另外，曝光時(shí)間為t0與tn的時(shí)間差。G(x,y)=∫t0tnG(x,y,t)dt...(1)]]>由此，與以往的照相機(jī)的拍攝同樣，生成拍攝被攝體(包含被檢查體)得到的強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)。然后，強(qiáng)度圖像用重疊部243將所生成的強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)輸出到圖像輸出部248。時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)是表示與時(shí)間遷移對(duì)應(yīng)的光的強(qiáng)弱變化的圖像數(shù)據(jù)。即，在本實(shí)施方式中，按照時(shí)間序列順序的每個(gè)幀，對(duì)該幀所包含的光強(qiáng)度信號(hào)乘以表示時(shí)間遷移的參照信號(hào)，生成由參照信號(hào)和光強(qiáng)度信號(hào)的相乘結(jié)果即時(shí)間相關(guān)值構(gòu)成的時(shí)間相關(guān)值幀，重疊多個(gè)時(shí)間相關(guān)值幀，從而生成時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。但是，為了使用時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)來檢測(cè)被檢查體的異常，需要使輸入到圖像傳感器220的光強(qiáng)度信號(hào)與參照信號(hào)同步地變化。因此，如上所述，照明裝置120進(jìn)行經(jīng)由屏幕130周期性地賦予時(shí)間變化和條紋的空間移動(dòng)這樣的，面方式的光的照射。在本實(shí)施方式中，生成2種時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。參照信號(hào)是表示時(shí)間遷移的信號(hào)即可，但是，在本實(shí)施方式中，使用復(fù)數(shù)正弦波e-jωt。另外，設(shè)為角頻率ω、時(shí)刻t。將角頻率ω設(shè)定成，使得表示參照信號(hào)的復(fù)數(shù)正弦波e-jωt與上述的曝光時(shí)間(換言之，生成強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)、時(shí)間相關(guān)圖像所需要的時(shí)間)的一個(gè)周期取得相關(guān)。換言之，關(guān)于通過照明裝置120和屏幕130等的照明部形成的面方式且動(dòng)態(tài)的光，在被檢查體150的表面(反射面)的各位置處賦予第一周期(時(shí)間周期)的時(shí)間上的照射強(qiáng)度的變化，并且，按照沿著表面的至少一個(gè)方向賦予第二周期(空間周期)的空間上的照射強(qiáng)度的增減分布。該面方式的光在表面被反射時(shí)，根據(jù)該表面的規(guī)格(法線向量的分布等)而被進(jìn)行復(fù)數(shù)調(diào)制。時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110接收在表面被進(jìn)行復(fù)數(shù)調(diào)制后的光，使用第一周期的參照信號(hào)進(jìn)行正交檢波(正交解調(diào))，由此，得到作為復(fù)數(shù)信號(hào)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。通過這樣的基于復(fù)數(shù)時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)的調(diào)制/解調(diào)，能夠檢測(cè)與表面的法線向量的分布對(duì)應(yīng)的特征。復(fù)數(shù)正弦波e-jωt還能夠表示為e-jωt＝cos(ωt)-j·sin(ωt)。因此，時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)的各像素值C(X，Y)能夠由以下所示的式(2)導(dǎo)出。C(x,y)=∫t0tnG(x,y,t)·e-jωtdt=∫t0tnG(x,y,t)·(cos(ωt)-j·sin(ωt))dt...(2)]]>在本實(shí)施方式中，在式(2)中，區(qū)分表示實(shí)數(shù)部的像素值C1(X，Y)和表示虛數(shù)部的像素值C2(X，Y)而生成2種時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。因此，參照信號(hào)輸出部250對(duì)第1乘法器244和第2乘法器246分別生成并輸出不同的參照信號(hào)。本實(shí)施方式的參照信號(hào)輸出部250將與復(fù)數(shù)正弦波e-jωt的實(shí)數(shù)部對(duì)應(yīng)的第1參照信號(hào)cosωt輸出到第1乘法器244，將與復(fù)數(shù)正弦波e-jωt的虛數(shù)部對(duì)應(yīng)的第2參照信號(hào)sinωt輸出到第2乘法器246。這樣，對(duì)本實(shí)施方式的參照信號(hào)輸出部250輸出表現(xiàn)為彼此構(gòu)成希爾伯特變換對(duì)的正弦波和余弦波的時(shí)間函數(shù)的2種參照信號(hào)的例進(jìn)行了說明，但是，參照信號(hào)只要是時(shí)間函數(shù)那樣的根據(jù)時(shí)間遷移而變化的參照信號(hào)即可。然后，第1乘法器244按照從讀出部242輸入的幀單位，按照該幀的每個(gè)光強(qiáng)度信號(hào)，乘以從參照信號(hào)輸出部250輸入的復(fù)數(shù)正弦波e-jωt的實(shí)數(shù)部cosωt。第1相關(guān)圖像用重疊部245針對(duì)拍攝所需要的曝光時(shí)間的量的多個(gè)幀，進(jìn)行按照每個(gè)像素重疊第1乘法器244的相乘結(jié)果的處理。由此，第1時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)的各像素值C1(X，Y)由以下的式(3)導(dǎo)出。C1(x,y)=∫t0tn(G(x,y,t)·cosωt)dt...(3)]]>然后，第2乘法器246針對(duì)從讀出部242輸入的幀的光強(qiáng)度信號(hào)，乘以從參照信號(hào)輸出部250輸入的復(fù)數(shù)正弦波e-jωt的虛數(shù)部sinωt。第2相關(guān)圖像用重疊部247針對(duì)拍攝所需要的曝光時(shí)間的量的多個(gè)幀，進(jìn)行按照每個(gè)像素重疊第2乘法器246的相乘結(jié)果的處理。由此，第2時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)的各像素值C2(x，y)由以下的式(4)導(dǎo)出。C2(x,y)=∫t0tn(G(x,y,t)·sinωt)dt...(4)]]>通過進(jìn)行上述的處理，能夠生成2種時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，換言之為具有2自由度的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。此外，本實(shí)施方式不限制參照信號(hào)的種類。例如，在本實(shí)施方式中，生成復(fù)數(shù)正弦波e-jωt的實(shí)部和虛部這2種時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，但是，也可以生成基于光的振幅和光的相位得到的2種圖像數(shù)據(jù)。另外，本實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110能夠生成多個(gè)系統(tǒng)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。由此，例如在照射組合了多種寬度的條紋的光時(shí)，能夠按照條紋的每個(gè)寬度來生成基于上述的實(shí)部和虛部的2種時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。因此，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110能夠具有多個(gè)系統(tǒng)的由2個(gè)乘法器和2個(gè)相關(guān)圖像用重疊部構(gòu)成的組合，并且，參照信號(hào)輸出部250能夠輸出適合每個(gè)系統(tǒng)的角頻率ω的參照信號(hào)。然后，圖像輸出部248將2種時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)和強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)輸出到PC100。由此，PC100使用2種時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)和強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)，檢測(cè)被檢查體的異常。因此，需要對(duì)被攝體照射光。本實(shí)施方式的照明裝置120照射高速移動(dòng)的條紋圖案。圖4是示出本實(shí)施方式的照明裝置120照射的條紋圖案的一例的圖。在圖4所示的例中，設(shè)為使條紋圖案在x方向上滾動(dòng)(移動(dòng))的例子。白色的區(qū)域是與條紋對(duì)應(yīng)的亮區(qū)域，黑色區(qū)域是與條紋和條紋之間對(duì)應(yīng)的間隔區(qū)域(暗區(qū)域)。在本實(shí)施方式中，在時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110對(duì)強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)和時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行拍攝的曝光時(shí)間內(nèi)，使照明裝置120照射的條紋圖案移動(dòng)一個(gè)周期的量。由此，照明裝置120通過光的強(qiáng)度的條紋圖案的空間移動(dòng)而賦予光的強(qiáng)度的周期性的時(shí)間變化。在本實(shí)施方式中，使圖4的條紋圖案移動(dòng)一個(gè)周期的量的時(shí)間與曝光時(shí)間對(duì)應(yīng)，由此，在時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)的各像素中至少插入與條紋圖案一個(gè)周期的量的光的強(qiáng)度信號(hào)有關(guān)的信息。如圖4所示，在本實(shí)施方式中，對(duì)照明裝置120照射基于矩形波的條紋圖案的例子進(jìn)行說明，但是，也可以使用矩形波以外的波形圖案。在本實(shí)施方式中，照明裝置120經(jīng)由屏幕130而被照射，由此，能夠使矩形波的明暗的邊界區(qū)域模糊。在本實(shí)施方式中，將照明裝置120照射的條紋圖案表示為A(1+cos(ωt+kx)。即，在條紋圖案中反復(fù)地(周期性地)包含多個(gè)條紋。另外，能夠在0～2A之間調(diào)整照射到被檢查體的光的強(qiáng)度，將光的相位設(shè)為kx。k是條紋的波數(shù)。x是相位變化的方向。而且，幀的各像素的光強(qiáng)度信號(hào)f(x，y，t)的基本頻率成分能夠表示為以下的式(5)。如式(5)所示，條紋的明暗在x方向上變化。f(x，y，t)＝A(1+cos(ωt+kx))＝A+A/2{ej(ωt+kx)+e-j(ωt+kx)}……(5)如式(5)所示，能夠認(rèn)為照明裝置120照射的條紋圖案的強(qiáng)度信號(hào)為復(fù)數(shù)。而且，來自該照明裝置120的光從被攝體(包含被檢查體)反射而輸入到圖像傳感器220。因此，能夠?qū)⑤斎氲綀D像傳感器220中的光強(qiáng)度信號(hào)G(x，y，t)設(shè)為照明裝置120被照射時(shí)的幀的各像素的光強(qiáng)度信號(hào)f(x，y，t)。因此，如果在用于導(dǎo)出強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)的式(1)中代入式(5)，則能夠?qū)С鍪?6)。另外，設(shè)相位為kx。G(x,y)=∫0Tf(x,y,t)dt=∫0T{A+A2(ej(ωt+kx)+e-j(ωt+kx))}dt=AT...(6)]]>根據(jù)式(6)，能夠確認(rèn)到在強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)的各像素中輸入了將曝光時(shí)間T與照明裝置120輸出的光的強(qiáng)度的中間值A(chǔ)相乘得到的值。進(jìn)而，如果在用于導(dǎo)出時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)的式(2)中代入式(5)，則能夠?qū)С鍪?7)。另外，設(shè)AT/2為振幅，kx為相位。C(x,y)=∫0Tf(x,y,t)e-jωtdt=∫0T{A+A2(ej(ωt+kx)+e-j(ωt+kx))}e-jωtdt=AT2ejkx...(7)]]>由此，在式(7)中示出的由復(fù)數(shù)表示的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)能夠置換為上述的2種時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。即，在上述的由實(shí)部和虛部構(gòu)成的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)中包含有照射到檢查體上的光強(qiáng)度變化中的相位變化和振幅變化。換言之，本實(shí)施方式的PC100能夠根據(jù)2種時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，檢測(cè)從照明裝置120照射的光的相位變化和光的振幅變化。因此，本實(shí)施方式的PC100根據(jù)時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)和強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)，生成表示入射到每個(gè)像素的光的振幅的振幅圖像數(shù)據(jù)和表示入射到每個(gè)像素的光的相位變化的相位圖像數(shù)據(jù)。進(jìn)而，PC100根據(jù)所生成的振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)來檢測(cè)被檢查體的異常。但是，在被檢查體的表面形狀中產(chǎn)生基于凹凸的異常的情況下，在被檢查體的表面的法線向量的分布中產(chǎn)生與異常對(duì)應(yīng)的變化。此外，在被檢查體的表面產(chǎn)生吸收光這樣的異常的情況下，在反射的光的強(qiáng)度中產(chǎn)生變化。檢測(cè)光的相位變化和振幅變化中的至少任意一方作為法線向量的分布的變化。因此，在本實(shí)施方式中，使用時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)和強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)，檢測(cè)與法線向量的分布的變化對(duì)應(yīng)的、光的相位變化和振幅變化中的至少任意一方的變化。由此，能夠檢測(cè)表面形狀的異常。接著，對(duì)被檢查體的異常、法線向量和光的相位變化或振幅變化的關(guān)系進(jìn)行說明。圖5是示出第1實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110進(jìn)行的被檢查體的異常的第1檢測(cè)例的圖。在圖5所示的例中，設(shè)為在被檢查體500中存在突形狀的異常501的狀況。在該狀況中，在異常501的點(diǎn)502的附近區(qū)域中，能夠確認(rèn)到法線向量521、522、523朝向不同的方向。而且，由于該法線向量521、522、523朝向不同的方向，從異常501反射的光產(chǎn)生擴(kuò)散(例如，光511、512、513)，進(jìn)入時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110的圖像傳感器220的任意的像素531中的條紋圖案的寬度503變寬。圖6是示出在被檢查體500中存在圖5所示的異常501的情況下，根據(jù)該異常而變化的光的振幅的例子的圖。在圖6所示的例中，將光的振幅分為實(shí)部(Re)和虛部(Im)表示在二維平面上。在圖6中，與圖5的光511、512、513對(duì)應(yīng)的光的振幅表示為611、612、613。而且，光的振幅611、612、613彼此抵消，在圖像傳感器220的該任意的像素531中入射振幅621的光。因此，在圖6所示的狀況下，能夠確認(rèn)到在拍攝到檢查體500的異常501的區(qū)域中振幅較小。換言之，在示出振幅變化的振幅圖像數(shù)據(jù)中存在與周圍相比較暗的區(qū)域的情況下，能夠推測(cè)為在該區(qū)域中產(chǎn)生了光之間的振幅的抵消，因此，能夠判斷為在與該區(qū)域?qū)?yīng)的被檢查體500的位置處產(chǎn)生了異常501。在本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)中，不限于如圖5的異常501那樣傾斜急劇地變化，也能夠檢測(cè)緩慢地變化的異常。圖7是示出第1實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110進(jìn)行的被檢查體的異常的第2檢測(cè)例的圖。在圖7所示的例中，正常的情況為被檢查體的表面成為平面(換言之為法線平行)，但是，設(shè)為被檢查體700中產(chǎn)生了緩慢的斜坡701的狀況。在這樣的狀況下，斜坡701上的法線向量721、722、723也同樣緩慢地變化。因此，輸入到圖像傳感器220中的光711、712、713也一點(diǎn)一點(diǎn)地偏移。在圖7所示的例中，由于是緩慢的斜坡701而不產(chǎn)生光的振幅的抵消，因此，圖5、圖6中表示的光的振幅基本不變化。然而，本來從屏幕130投影的光應(yīng)該原樣地平行入射到圖像傳感器中，但是，由于緩慢的斜坡701，因此，從屏幕130投影的光不會(huì)以平行的狀態(tài)進(jìn)入圖像傳感器，因此，光產(chǎn)生相位變化。因此，針對(duì)光的相位變化，檢測(cè)與周圍等之間的不同，由此，能夠檢測(cè)圖7所示那樣的緩慢的斜坡701的異常。此外，存在還在被檢查體的表面形狀(換言之，被檢查體的法線向量的分布)以外產(chǎn)生異常的情況。圖8示出第1實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110進(jìn)行的被檢查體的異常的第3檢測(cè)例的圖。在圖8所示的例中示出如下的例子：被檢查體800上附著有污垢801，因此，對(duì)從照明裝置120照射的光進(jìn)行吸收或擴(kuò)散反射，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110對(duì)污垢801進(jìn)行拍攝的任意的像素區(qū)域中，光的強(qiáng)度基本不變化。換言之，示出如下例子：在拍攝到污垢801的任意的像素區(qū)域中，光強(qiáng)度產(chǎn)生相位抵消，振動(dòng)成分被消除，基本成為直流的亮度。在這樣的情況下，在拍攝到污垢801的像素區(qū)域中，由于基本沒有光的振幅，因此，在表示振幅圖像數(shù)據(jù)時(shí)，產(chǎn)生與周圍相比變暗的區(qū)域。因此，能夠推定在與該區(qū)域?qū)?yīng)的被檢查體800的位置處存在污垢等異常801。這樣，在本實(shí)施方式中，根據(jù)時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，檢測(cè)光的振幅的變化和光的相位的變化，由此能夠推定在被檢查體中存在異常。返回圖1，對(duì)PC100進(jìn)行說明。PC100進(jìn)行檢測(cè)系統(tǒng)整體的控制。PC100具有臂控制部101、照明控制部102、控制部103。臂控制部101對(duì)臂140進(jìn)行控制，以變更被作為檢查體150的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110的攝像對(duì)象的表面。在本實(shí)施方式中，在PC100中，預(yù)先設(shè)定多個(gè)作為被檢查體的拍攝對(duì)象的表面。然后，在每次時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110結(jié)束被檢查體150的拍攝時(shí)，臂控制部101按照該設(shè)定，利用臂140使被檢查體150移動(dòng)，使得能夠由時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110對(duì)所設(shè)定的表面進(jìn)行拍攝。另外，在本實(shí)施方式中，不限于重復(fù)地在每次拍攝結(jié)束時(shí)使臂移動(dòng)，并在開始拍攝前停止，也可以持續(xù)地驅(qū)動(dòng)臂140。另外，臂140也可以被稱作搬運(yùn)部、移動(dòng)部、位置變更部、姿勢(shì)變更部等。照明控制部102輸出由照明裝置120照射的條紋圖案，以檢查被檢查體150。本實(shí)施方式的照明控制部102向照明裝置120交付至少3幅以上的條紋圖案，并對(duì)照明裝置120進(jìn)行指示，使得在曝光時(shí)間內(nèi)切換顯示該條紋圖案。圖9是示出照明控制部102向照明裝置120輸出的條紋圖案的例子的圖。根據(jù)圖9的(B)所示的矩形波，照明控制部102進(jìn)行控制，使得輸出圖9的(A)所示的設(shè)定了黑區(qū)域和白區(qū)域的條紋圖案。本實(shí)施方式中照射的每個(gè)條紋圖案的條紋的間隔是根據(jù)作為檢測(cè)對(duì)象的異常(缺陷)的大小而設(shè)定的，這里省略詳細(xì)說明。此外，用于輸出條紋圖案的矩形波的角頻率ω為與參照信號(hào)的角頻率ω相同的值。如圖9所示，照明控制部102輸出的條紋圖案能夠表示為矩形波，但是，通過經(jīng)由屏幕130，使條紋圖案的邊界區(qū)域模糊，即，使條紋圖案中的亮區(qū)域(條紋的區(qū)域)與暗區(qū)域(間隔的區(qū)域)之間的邊界處的光的強(qiáng)度變化緩和(減弱)，由此，能夠近似為正弦波。圖10是示出表示經(jīng)由屏幕130后的條紋圖案的波的形狀的例子的圖。如圖10所示，波的形狀接近正弦波，由此，能夠提高計(jì)測(cè)精度。此外，也可以在條紋中追加明亮度多段階地變化的灰區(qū)域，或者賦予漸變(gradation)。此外，也可以使用包含彩色的條紋的條紋圖案。返回圖1，控制部103具有振幅-相位圖像生成部104和異常檢測(cè)處理部105，根據(jù)從時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110輸入的強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)和時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行用于計(jì)算與被檢查體150的檢查對(duì)象面的法線向量的分布對(duì)應(yīng)的特征的處理，其中，該特征是通過與周圍的不同來檢測(cè)異常的特征。另外，在本實(shí)施方式中，為了進(jìn)行檢查，代替由復(fù)數(shù)表示的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)(稱作復(fù)數(shù)時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù))，從時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110接收通過復(fù)數(shù)相關(guān)圖像數(shù)據(jù)的實(shí)部和虛部而劃分的2種時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。振幅-相位圖像生成部104根據(jù)從時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110輸入的強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)和時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，生成振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)。振幅圖像數(shù)據(jù)為表示入射到每個(gè)像素的光的振幅的圖像數(shù)據(jù)。相位圖像數(shù)據(jù)為表示入射到每個(gè)像素的光的相位的圖像數(shù)據(jù)。在本實(shí)施方式中不限制振幅圖像數(shù)據(jù)的計(jì)算方法，例如，振幅-相位圖像生成部104使用式(8)從2種時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)的像素值C1(x，y)和C2(x，y)導(dǎo)出振幅圖像數(shù)據(jù)的各像素值F(x，y)。F(x,y)=C1(x,y)2+C2(x,y)2...(8)]]>而且，在本實(shí)施方式中，根據(jù)振幅圖像數(shù)據(jù)的像素值(振幅)和強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)的像素值，能夠判定是否存在產(chǎn)生了異常的區(qū)域。例如，能夠推測(cè)為在強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)的像素值(AT)除以2得到的值與振幅圖像數(shù)據(jù)的振幅(在未產(chǎn)生抵消的情況下為AT/2)在某種程度一致的區(qū)域中未產(chǎn)生異常。另一方面，針對(duì)未一致的區(qū)域，能夠推測(cè)為產(chǎn)生了振幅的抵消。另外，后面記述具體的方法。同樣，振幅-相位圖像生成部104使用式(9)，從像素值C1(x，y)和C2(x，y)導(dǎo)出相位圖像數(shù)據(jù)的各像素值P(x，y)。P(x,y)=arctan(C2(x,y)C1(x,y))...(9)]]>異常檢測(cè)處理部105根據(jù)由振幅-相位圖像生成部104生成的振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)，檢測(cè)與檢查對(duì)稱面的法線向量的分布對(duì)應(yīng)的特征，該特征是通過與周圍的不同而與被檢查體150的異常關(guān)聯(lián)的特征。在本實(shí)施方式中，作為與法線向量的分布對(duì)應(yīng)的特征，對(duì)使用復(fù)數(shù)時(shí)間相關(guān)圖像的振幅的分布的例子進(jìn)行說明。另外，復(fù)數(shù)時(shí)間相關(guān)圖像的振幅的分布是表示復(fù)數(shù)時(shí)間相關(guān)圖像的各像素的振幅的分布的數(shù)據(jù)，與振幅圖像數(shù)據(jù)相當(dāng)。接著，對(duì)本實(shí)施方式的異常檢測(cè)處理部105中的基于振幅的異常檢測(cè)處理進(jìn)行說明。圖11是示出本實(shí)施方式的異常檢測(cè)處理部105中的該處理的步驟的流程圖。首先，異常檢測(cè)處理部105從振幅圖像數(shù)據(jù)的各像素中存儲(chǔ)的光的振幅值(表示該光的振幅值的像素值)中以該像素為基準(zhǔn)(例如中心)減去N×N區(qū)域的平均振幅值(步驟S1101)，生成振幅的平均差分圖像數(shù)據(jù)。振幅的平均差分圖像數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)于振幅的梯度。另外，能夠根據(jù)實(shí)施方式而將整數(shù)N設(shè)定為適當(dāng)?shù)闹怠＝又?，異常檢測(cè)處理部105針對(duì)通過減法而生成的振幅的平均差分圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行使用了預(yù)定的振幅的閾值的屏蔽(mask)處理(步驟S1102)。進(jìn)而，異常檢測(cè)處理部105按照平均差分圖像數(shù)據(jù)的屏蔽區(qū)域內(nèi)的每個(gè)像素計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)偏差(步驟S1103)。另外，在本實(shí)施方式中，對(duì)基于標(biāo)準(zhǔn)偏差的方法進(jìn)行說明，但是，不限于使用標(biāo)準(zhǔn)偏差的情況，也可以使用例如平均值等。然后，異常檢測(cè)處理部105檢測(cè)減去平均后的振幅像素值小于-4.5σ(σ：標(biāo)準(zhǔn)偏差)的值的像素，作為存在異常(缺陷)的區(qū)域(步驟S1104)。通過上述的處理步驟，根據(jù)各像素的振幅值(換言之，振幅的分布)能夠檢測(cè)被檢查體的異常。然而，在本實(shí)施方式中，不限于根據(jù)復(fù)數(shù)時(shí)間相關(guān)圖像的振幅的分布來檢測(cè)異常。作為與檢查對(duì)稱面的法線向量的分布對(duì)應(yīng)的特征，也可以使用相位的分布的梯度。因此，接著對(duì)使用相位的分布的梯度的例子進(jìn)行說明。接著，對(duì)本實(shí)施方式的異常檢測(cè)處理部105中的基于相位的異常檢測(cè)處理進(jìn)行說明。圖12是示出本實(shí)施方式的異常檢測(cè)處理部105中的該處理的步驟的流程圖。首先，異常檢測(cè)處理部105從相位圖像數(shù)據(jù)的每個(gè)像素的光的相位值(表示該光的相位值的像素值)中以該像素為基準(zhǔn)(例如中心)減去N×N區(qū)域的平均相位值(步驟S1201)，生成相位的平均差分圖像數(shù)據(jù)。相位的平均差分圖像數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)于相位的梯度。接著，異常檢測(cè)處理部105對(duì)通過減法運(yùn)算而生成的相位的平均差分圖像數(shù)據(jù)的大小(絕對(duì)值)和閾值進(jìn)行比較，檢測(cè)平均差分圖像數(shù)據(jù)的大小為閾值以上的像素，作為存在異常(缺陷)的像素(步驟S1202)。根據(jù)通過該S1202的檢測(cè)結(jié)果，異常檢測(cè)處理部105能夠根據(jù)平均差分圖像數(shù)據(jù)的正負(fù)、即像素的相位值與平均相位值之間的大小關(guān)系來判別凹凸(步驟S1203)。關(guān)于在像素的相位值和平均相位值中的哪一方較大的情況下會(huì)成為凸，根據(jù)各部的設(shè)定而變化，但是，當(dāng)大小關(guān)系不同時(shí)，凹凸不同。另外，能夠根據(jù)通過其他方法得到的相位的分布的梯度來檢測(cè)異常。例如，作為另外的方法，異常檢測(cè)處理部105在歸一化后的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)的N×N的區(qū)域的平均向量與歸一化后的各像素的向量之差的大小大于閾值的情況下，能夠檢測(cè)為存異常(缺陷)的像素。此外，不限于相位的分布的梯度，根據(jù)與相位的分布對(duì)應(yīng)的信息檢測(cè)被檢查體的異常即可。接著，對(duì)本實(shí)施方式的異常檢測(cè)處理部105中的基于振幅和強(qiáng)度的異常檢測(cè)處理進(jìn)行說明。圖13是示出本實(shí)施方式的異常檢測(cè)處理部105中的該處理的步驟的流程圖。首先，異常檢測(cè)處理部105根據(jù)時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)和強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)，針對(duì)各像素，使用下式(100)來計(jì)算振幅(表示該振幅的像素值)C(x，y)(參照式(7))與強(qiáng)度(表示該強(qiáng)度的像素值)G(x，y)(參照式(6))之比值R(x，y)(步驟S1301)。R(x，y)＝C(x，y)/G(x，y)……(100)接著，異常檢測(cè)處理部105對(duì)比值R(x，y)和閾值進(jìn)行比較，檢測(cè)比值R(x，y)的值為對(duì)應(yīng)的閾值以下的像素作為存在異常(缺陷)的像素(步驟S1302)。此外，異常檢測(cè)處理部105對(duì)比值R(x，y)和閾值進(jìn)行比較，檢測(cè)比值R(x，y)的值為對(duì)應(yīng)的另外的閾值以上的像素作為存在斑點(diǎn)(污垢等)的像素(步驟S1303)。在由于法線向量的分布的異常而使振幅的抵消(抵消)顯著的情況下，與強(qiáng)度相比，振幅更加大幅下降。另一方面，在法線向量的分布中沒有那樣的異常，但是通過被檢查體150的表面的污垢等顯著地吸收光的情況下，與振幅相比，強(qiáng)度更加大幅下降。因此，異常檢測(cè)處理部105能夠進(jìn)行基于步驟S1302和步驟S1303的異常類別的檢測(cè)。接著，對(duì)本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)中的被檢查體的檢查處理進(jìn)行說明。圖14是示出本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)中的上述的處理的步驟的流程圖。另外，被檢查體150在已經(jīng)被固定在臂140上的狀態(tài)下，被配置在檢查的初始位置。本實(shí)施方式的PC100向照明裝置120輸出用于檢測(cè)被檢查體的條紋圖案(步驟S1401)。照明裝置120存儲(chǔ)從PC100輸入的條紋圖案(步驟S1421)。然后，照明裝置120按照時(shí)間遷移使所存儲(chǔ)的條紋圖案變化的方式進(jìn)行顯示(步驟S1422)。另外，照明裝置120開始顯示的條件不限于條紋圖案被存儲(chǔ)時(shí)，例如也可以是檢查者對(duì)照明裝置120進(jìn)行開始操作時(shí)。然后，PC100的控制部103對(duì)時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110發(fā)送拍攝的開始指示(步驟S1402)。接著，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110按照所發(fā)送來的拍攝指示，開始對(duì)包含被檢查體150的區(qū)域進(jìn)行拍攝(步驟S1411)。接著，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110的控制部240生成強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)和時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)(步驟S1412)。然后，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110的控制部240將強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)和時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)輸出到PC100(步驟S1413)。PC100的控制部103接收強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)和時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)(步驟S1403)。然后，振幅-相位圖像生成部104根據(jù)所接收到的強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)和時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，生成振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)(步驟S1404)。然后，異常檢測(cè)處理部105根據(jù)振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行被檢查體的異常檢測(cè)控制(步驟S1405)。然后，異常檢測(cè)處理部105將異常檢測(cè)結(jié)果輸出到PC100所具有的(未圖示)顯示裝置(步驟S1406)。作為異常檢測(cè)結(jié)果的輸出例，考慮顯示強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)，并且，針對(duì)與根據(jù)振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)檢測(cè)到異常的區(qū)域?qū)?yīng)的強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)的區(qū)域，以使得檢查者能夠識(shí)別異常的方式進(jìn)行裝飾顯示等。此外，不限于基于視覺的輸出，也可以通過聲音等輸出檢測(cè)到異常的情況?？刂撇?03判定該被檢查體的檢查是否已經(jīng)結(jié)束(步驟S1407)。在判定為檢查未結(jié)束的情況下(步驟S1407：“否”)，臂控制部101按照預(yù)定的設(shè)定進(jìn)行臂的移動(dòng)控制，使得能夠通過時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110拍攝作為接下來的檢查對(duì)象的被檢查體的表面(步驟S1408)。在臂的移動(dòng)控制結(jié)束后，控制部103再次對(duì)時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110發(fā)送拍攝的開始指示(步驟S1402)。另一方面，控制部103在判定為該被檢查體的檢查結(jié)束的情況下(步驟S1407：“是”)，將結(jié)束指示輸出到時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110(步驟S1409)，結(jié)束處理。然后，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110判定是否接收到結(jié)束指示(步驟S1414)。在未收到結(jié)束指示的情況下(步驟S1414：“否”)，再次從步驟S1411進(jìn)行處理。另一方面，在接收到結(jié)束指示的情況下(步驟S1414：“是”)，結(jié)束處理。另外，照明裝置120的結(jié)束處理也可以由檢查者來進(jìn)行，還可按照來自其他結(jié)構(gòu)的指示來結(jié)束。此外，在本實(shí)施方式中，對(duì)生成使用時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110而生成的強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)和時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)的例子進(jìn)行了說明。然而，不限于使用時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110來生成強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)和時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，也可以使用能夠通過模擬處理實(shí)現(xiàn)的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)、或者進(jìn)行與其等效的動(dòng)作的攝像系統(tǒng)。例如也可以是，輸出由通常的數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)生成的圖像數(shù)據(jù)，信息處理裝置使用由數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)生成的圖像數(shù)據(jù)作為幀圖像數(shù)據(jù)，對(duì)參照信號(hào)進(jìn)行重疊，由此，生成時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，還可以是，使用在圖像傳感器內(nèi)將參照信號(hào)與光強(qiáng)度信號(hào)重疊這樣的數(shù)字照相機(jī)，來生成時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。(變形例1)在本實(shí)施方式中，對(duì)根據(jù)與周圍的不同來檢測(cè)與異常關(guān)聯(lián)的特征的例子進(jìn)行了說明，但是，不限于根據(jù)與周圍的不同來檢測(cè)該特征，也可以根據(jù)與參照形狀的數(shù)據(jù)(參照數(shù)據(jù)，例如，時(shí)間相關(guān)數(shù)據(jù)、振幅圖像數(shù)據(jù)、相位圖像數(shù)據(jù)等)之間的差異來檢測(cè)該特征。該情況下，在參照數(shù)據(jù)的情況下，需要空間相位調(diào)制照明(條紋圖案)的位置對(duì)齊和同步。在本變形例中，異常檢測(cè)處理部105對(duì)預(yù)先在(未圖示)存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的從參照表面得到的振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)、與被檢查體150的振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，判定在被檢查體150的表面與參照表面之間，光的振幅和光的相位中的任意一方以上是否存在規(guī)定的基準(zhǔn)以上的不同。本變形例使用與第1實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)的檢查系統(tǒng)，設(shè)為使用正常的被檢查體的表面作為參照表面的例。在照明裝置120經(jīng)由屏幕130照射條紋圖案的期間內(nèi)，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110對(duì)正常的被檢查體的表面進(jìn)行拍攝，生成時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。然后，PC100輸入在時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110中生成的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，生成振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)，在PC100的未圖示的存儲(chǔ)部中預(yù)先存儲(chǔ)有振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)。然后，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110對(duì)要判定是否產(chǎn)生了異常的被檢查體進(jìn)行拍攝，生成時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。然后，PC100根據(jù)時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)生成振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)，之后，與存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的正常的被檢查體的振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)之間進(jìn)行比較。此時(shí)，輸出正常的被檢查體的振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)與檢查對(duì)象的被檢查體的振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)之間的比較結(jié)果，作為表示檢測(cè)異常的特征的數(shù)據(jù)。然后，檢測(cè)異常的特征為該規(guī)定的基準(zhǔn)以上的情況下，能夠推測(cè)為被檢查體150存在異常。由此，在本變形例中，能夠判定是否與正常的被檢查體的表面之間產(chǎn)生了差異，換言之，能夠判定是否在被檢查體的表面產(chǎn)生了異常。另外，關(guān)于振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)的比較方法，可以使用任意的方法，因此省略說明。進(jìn)而，在本變形例中說明了根據(jù)參照表面的不同來輸出表示檢測(cè)異常的特征的數(shù)據(jù)的例子，但是，也可以組合參照表面的不同和第1實(shí)施方式中示出的與周圍的不同，來計(jì)算檢測(cè)異常的特征。關(guān)于組合方法，可以使用任意的方法，因此省略說明。(變形例2)在第1實(shí)施方式中，說明了使條紋圖案在x方向上運(yùn)動(dòng)來檢測(cè)被檢查體的異常(缺陷)的例子。然而，在被檢查體中產(chǎn)生了法線的分布在與x方向垂直的y方向上急劇變化的異常(缺陷)的情況下，相比于在x方向上使條紋圖案運(yùn)動(dòng)，有時(shí)在y方向上使條紋圖案運(yùn)動(dòng)更容易進(jìn)行缺陷的檢測(cè)。因此，在變形例中，對(duì)交替切換在x方向上移動(dòng)的條紋圖案和在y方向上移動(dòng)的條紋圖案的例進(jìn)行說明。本變形例的照明控制部102按照每個(gè)規(guī)定的時(shí)間間隔，切換向照明裝置120輸出的條紋圖案。由此，照明裝置120針對(duì)一個(gè)檢查對(duì)象面，輸出在不同的方向上延伸的多個(gè)條紋圖案。圖15是示出本變形例的照明控制部102輸出的條紋圖案的切換例的圖。在圖15的(A)中，照明控制部102使照明裝置120顯示的條紋圖案在x方向上遷移。然后，如(B)所示，照明控制部102使照明裝置120顯示的條紋圖案在y方向上遷移。然后，PC100的控制部103根據(jù)由圖15的(A)的條紋圖案照射得到的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行異常檢測(cè)，并根據(jù)由圖15的(B)的條紋圖案照射得到的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行異常檢測(cè)。圖16是示出本變形例的照明控制部102對(duì)包含異常(缺陷)1601的表面照射了條紋圖案的例子的圖。在圖16所示的例中，異常(缺陷)1601在x方向上延伸。該情況下，照明控制部102設(shè)定成使得條紋圖案在與x方向交叉的y方向上，換言之為在與異常(缺陷)1601的長(zhǎng)度方向交叉的方向上移動(dòng)。通過該設(shè)定，能夠提高檢測(cè)精度。圖17是示出使條紋圖案在y方向、換言之為與缺陷1601的長(zhǎng)度方向正交的方向上變化的情況下的異常(缺陷)1701和屏幕130上的條紋圖案的關(guān)系的圖。如圖17所示，在產(chǎn)生了在y方向上寬度較窄、且以與該y方向交叉的x方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向的異常(缺陷)1701的情況下，從照明裝置120照射的光在與x方向交叉的y方向上，光的振幅的抵消變大。因此，在PC100中，能夠根據(jù)與在y方向上移動(dòng)的條紋圖案對(duì)應(yīng)的振幅圖像數(shù)據(jù)來檢測(cè)該異常(缺陷)。在本變形例的檢查系統(tǒng)中，在被檢查體中產(chǎn)生的缺陷的長(zhǎng)度方向隨機(jī)的情況下，通過在多個(gè)方向(例如，x方向和與該x方向交叉的y方向等)上顯示條紋圖案，能夠無關(guān)于缺陷的形狀地檢測(cè)該缺陷，能夠提高異常(缺陷)的檢測(cè)精度。此外，通過對(duì)與異常的形狀相符的條紋圖案進(jìn)行投影，能夠提高異常的檢測(cè)精度。(變形例3)此外，上述的變形例2在進(jìn)行x方向的異常檢測(cè)和y方向的異常檢測(cè)時(shí)，不限制對(duì)條紋圖案進(jìn)行切換的方法。因此，在變形例3中，對(duì)照明控制部102使輸出到照明裝置120的條紋圖案在x方向和y方向上同時(shí)運(yùn)動(dòng)的例子進(jìn)行說明。圖18是示出本變形例的照明控制部102向照明裝置120輸出的條紋圖案的例子的圖。在圖18所示的例中，照明控制部102使條紋圖案在方向1801上移動(dòng)。圖18所示的條紋圖案在x方向上包含1個(gè)周期1802的條紋圖案，在y方向上包含一個(gè)周期1803的條紋圖案。即，圖18所示的條紋圖案具有寬度不同的在交叉的方向上延伸的多個(gè)條紋。另外，需要使x方向的條紋圖案的寬度與y方向的條紋圖案的寬度不同。由此，在生成與x方向?qū)?yīng)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)和與y方向?qū)?yīng)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)時(shí)，能夠使對(duì)應(yīng)的參照信號(hào)不同。另外，基于條紋圖案的光的強(qiáng)度的變化的周期(頻率)發(fā)生變化即可，因此，也可以代替使條紋的寬度變化，而使條紋圖案(條紋)的移動(dòng)速度變化。然后，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110根據(jù)與x方向的條紋圖案對(duì)應(yīng)的參照信號(hào)，生成與x方向的條紋圖案對(duì)應(yīng)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，根據(jù)與y方向的條紋圖案對(duì)應(yīng)的參照信號(hào)，生成與y方向的條紋圖案對(duì)應(yīng)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。然后，PC100的控制部103在根據(jù)與x方向的條紋圖案對(duì)應(yīng)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行異常檢測(cè)后，根據(jù)與y方向的條紋圖案對(duì)應(yīng)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行異常檢測(cè)。由此，在本變形例中，能夠無關(guān)于缺陷的產(chǎn)生方向而進(jìn)行檢測(cè)，能夠提高異常(缺陷)的檢測(cè)精度。(第2實(shí)施方式)在第1實(shí)施方式中，對(duì)照明裝置120在x方向上將條紋的寬度顯示為一種條紋圖案的例進(jìn)行了說明。然而，上述的實(shí)施方式不將x方向的條紋的寬度限制為一種，也可以將x方向的條紋的寬度設(shè)為多種。因此，在本實(shí)施方式中，對(duì)將x方向的條紋的寬度設(shè)為多種的例進(jìn)行說明。本實(shí)施方式為如下的例子，針對(duì)被檢查體的一個(gè)檢查對(duì)象面，在x方向上使用多種條紋的寬度，換言之使用條紋不同的多個(gè)條紋圖案，來判定被檢查體中產(chǎn)生的異常是否為突形狀。第2實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)具有與第1實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)同樣的結(jié)構(gòu)，因此，省略說明。接著，對(duì)第2實(shí)施方式的照明控制部102輸出的條紋圖案進(jìn)行說明。圖19是示出第2實(shí)施方式的照明控制部102向照明裝置120輸出的條紋圖案的例子的圖。如圖19所示，照明控制部102進(jìn)行控制，以輸出具有寬度不同的在同一方向上延伸的多個(gè)條紋的條紋圖案。在圖19所示的例中，通過照明控制部102輸出與矩形波(C)對(duì)應(yīng)的條紋圖案(D)，該矩形波(C)是重疊圖19的矩形波(A)和矩形波(B)而得到的。在本實(shí)施方式中，在距離1901之間，矩形波(A)為1個(gè)周期，矩形波(B)為8個(gè)周期。在本實(shí)施方式中，設(shè)定為由矩形波(B)表示的條紋的數(shù)量為由矩形波(A)表示的條紋的數(shù)量的偶數(shù)倍。這基于在矩形波上重疊了奇數(shù)倍的諧波成分，通過設(shè)為偶數(shù)倍能夠抑制與諧波成分的干擾。在使用多個(gè)種類的條紋圖案進(jìn)行解析處理的情況下，優(yōu)選針對(duì)多個(gè)種類之間的條紋圖案存在適當(dāng)?shù)臈l紋寬度的差異。例如，得到如下解析結(jié)果：相對(duì)于一方的條紋的寬度，另一方的條紋的寬度為6倍以上。因此，在本實(shí)施方式中，作為一例，設(shè)定為相對(duì)于一方的條紋的寬度，另一方的條紋的寬度為8倍。另外，在本實(shí)施方式中，說明了相對(duì)于矩形波(A)為1個(gè)周期，矩形波(B)為8個(gè)周期的例子，但是，不限于這樣的例子，矩形波(A)和矩形波(B)的頻率(周期)不同即可。然后，照明裝置120將從照明控制部102輸出的圖19所示的條紋圖案經(jīng)由屏幕130照射到被檢查體150。與此相伴，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110對(duì)圖19所示的條紋圖案的從被檢查體反射的反射光進(jìn)行拍攝。本實(shí)施方式的時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110生成2個(gè)系統(tǒng)的量的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)作為拍攝結(jié)果。具體而言，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110根據(jù)與矩形波(A)的條紋圖案對(duì)應(yīng)的參照信號(hào)，生成與矩形波(A)的條紋圖案對(duì)應(yīng)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，根據(jù)與矩形波(B)的條紋圖案對(duì)應(yīng)的參照信號(hào)，生成與矩形波(B)的條紋圖案對(duì)應(yīng)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。將所輸出的2種(2個(gè)系統(tǒng))的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)和強(qiáng)度圖像數(shù)據(jù)輸出到PC100。另外，在1個(gè)種類的每個(gè)時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)中，如第1實(shí)施方式所示，包含實(shí)部和虛部的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。然后，PC100的控制部103根據(jù)與矩形波(A)的條紋圖案對(duì)應(yīng)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)和與矩形波(B)的條紋圖案對(duì)應(yīng)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，進(jìn)行被檢查體的異常檢測(cè)。本實(shí)施方式的PC100接收與矩形波(A)的條紋圖案對(duì)應(yīng)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)和與矩形波(B)的條紋圖案對(duì)應(yīng)的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，由此，除了第1實(shí)施方式所示的基于相位的不同的異常和基于振幅的不同的異常以外，還能夠容易地確認(rèn)被檢查體的表面的形狀。另外，在本實(shí)施方式中，對(duì)在一個(gè)條紋圖案中重疊了多個(gè)種類的條紋寬度的例子進(jìn)行說明，但是作為使用多個(gè)種類的條紋寬度的方法，不限于進(jìn)行重疊的方法，只要針對(duì)一個(gè)檢查對(duì)象面能夠輸出寬度不同的多個(gè)條紋圖案即可，可以使用任何方法，例如，也可以控制成切換并顯示寬度不同的多個(gè)條紋圖案。圖20是示出本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)中的圖像傳感器220、屏幕130、被檢查體的表面形狀之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系的圖。在圖20所示的例中，經(jīng)由屏幕130照射的條紋圖案在x方向上移動(dòng)，從該屏幕130照射的光在被檢查體的表面形狀2001處反射，進(jìn)入圖像傳感器220。圖像傳感器220的像素2011的寬度為p。在圖20所示的例中，被檢查體的表面形狀2001中的以該坐標(biāo)2002為中心而在-p/2～p/2的區(qū)域1902中反射的光進(jìn)入像素2011。X是空間相位調(diào)制照明(條紋圖案)的移動(dòng)方向(相位變化方向)，x’是從x分開距離H的與x平行的方向。屏幕130和圖像傳感器220位于沿著該x’的位置。z方向是與x方向和x’方向正交的正交方向。N是法線向量，α是計(jì)測(cè)對(duì)象位置的x方向的梯度(角度)，并且，z方向與法線向量之間的角度θ0為屏幕130和z方向所形成的角度。這里，將x方向的被檢查體的表面形狀定義為f(x)。該情況下，能夠用以下的式(10)表示對(duì)f(x)進(jìn)行泰勒展開的結(jié)果。在式(10)中，被檢查體的表面形狀的初始位置為f0(偏移)，設(shè)被檢查體的表面形狀的曲率為R(＝1/fxx)。fxx是f(x)的2階微分。另外，由于僅考慮來自與移位量對(duì)應(yīng)的屏幕位置的反射即可，因此省略fx、fxxx等。f(x)＝f0+1/2fxxx2…(10)接著，對(duì)二階微分fxx進(jìn)行說明。圖21是示出二階微分fxx＜0的情況下的被檢查體的表面形狀的例子的圖。如圖21所示，在二階微分fxx＜0的情況下，被檢查體的表面形狀2001為突形狀。該情況下，相比于圖像傳感器220的各像素的寬度，照射入射到該像素的光的屏幕130的寬度變大。圖22是示出fxx＞0的情況下的被檢查體的表面形狀的例子的圖。如圖22所示，在fxx＞0的情況下，被檢查體的表面形狀2001成為凹陷形狀。該情況下，相比于圖像傳感器220的各像素的寬度，照射入射到該像素的光的屏幕130的寬度變窄。即，根據(jù)圖21、22可知，如果能夠?qū)С龆A微分fxx的正負(fù)，則即使不進(jìn)行視覺辨認(rèn)，也能夠把握被檢查體的表面形狀。返回圖20，在被檢查體的坐標(biāo)2002中的表面形狀的傾斜為α的情況下，以下的式(11)的關(guān)系成立。tanα＝fxxx…(11)能夠根據(jù)以下的式(12)計(jì)算視線的反射角。tan(θ0+2α)=tanθ0+tan2α1-tanθ0tan2α=γ+tan2α1-γtan2α=γ(1-tan2α)+2tanα(1-tan2α)-2γtanα=γ(1-(fxxx)2)+2fxxx(1-(fxxx)2)-2γfxxx≈γ+2fxxx+2γ2fxxx=γ+2(1+γ2)+fxxx...(12)]]>另外，γ是tanθ0。這里，式(12)的左邊所包含的(θ0+2α)是與表面形狀2001上的檢查對(duì)象位置(圖20中為x＝0)對(duì)應(yīng)且與來自圖像傳感器220的視線對(duì)應(yīng)的檢查對(duì)象位置處的相對(duì)于z方向的反射角，與相位對(duì)應(yīng)(成比例)。此外，根據(jù)式(11)，式(12)的右邊所包含的fxxx是tanα。因此，根據(jù)圖20可知，該式(12)示出，對(duì)法線向量n賦予特征的角度α與空間相位調(diào)制照明(條紋圖案)的相位對(duì)應(yīng)。能夠通過以下的式(13)導(dǎo)出對(duì)被檢查體的表面形狀的坐標(biāo)x照射光的屏幕130的坐標(biāo)x’。另外，設(shè)坐標(biāo)2002的x軸方向的坐標(biāo)為x0。距離H設(shè)為從坐標(biāo)2002到配置有圖像傳感器220和屏幕130的面的距離。x’＝x-Htan(θ0+2α)…(13)通過利用像素2011的寬度p對(duì)從屏幕130輸出的相位ejkx’進(jìn)行積分，來求出進(jìn)入像素2011中的復(fù)數(shù)相關(guān)像素值g。即，能夠由式(14)導(dǎo)出復(fù)數(shù)相關(guān)像素值g。另外，設(shè)為條紋的波數(shù)k＝2π/λ，設(shè)λ為條紋的寬度。g=∫-p/2p-2ejkx′dx=∫-p/2p-2ejk(-H(γ+2(1+γ2)fxxx))dx=psinc(πpλω)e-jkHtanθ0...(14)]]>這里，變量w為以下的式(15)。w＝1-2H(1+γ2)fxx…(15)在本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)中，在照明裝置120照射重疊了多種條紋寬度的條紋圖案的情況下，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110以劃分為實(shí)部和虛部的方式生成與2種條紋寬度對(duì)應(yīng)的2種時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)。然后，PC100的振幅-相位圖像生成部104根據(jù)所輸入的時(shí)間相關(guān)圖像數(shù)據(jù)，按照每種條紋寬度，生成振幅圖像數(shù)據(jù)和相位圖像數(shù)據(jù)。圖23是示出使條紋圖案的條紋寬度進(jìn)行各種變化的情況下的g/p的標(biāo)志。圖23的橫軸是w，縱軸是g/p。根據(jù)式(15)，以w＝1為邊界，分為fxx＞0的情況和fxx＜0的情況。這里，如果被檢查體150的表面的法線向量的分布和檢查系統(tǒng)的位置關(guān)系(圖20)中沒有變化，則變量w的值成為與被檢查位置對(duì)應(yīng)的值。因此，根據(jù)圖23能夠理解，通過得到作為使條紋的寬度變化的情況下的各個(gè)結(jié)果的多個(gè)g/p的值，并搜索與這些比率一致的變量w，能夠估計(jì)變量w的值，進(jìn)而能夠估計(jì)fxx的值。具體而言，例如，使用由式(14)導(dǎo)出的下式(16)。α=sinc(k2P2W)sinc(k1P2W)...(16)]]>變量α相當(dāng)于式(14)的條紋寬度較大時(shí)的復(fù)數(shù)相關(guān)像素值(振幅值)g1與條紋的寬度較窄時(shí)的復(fù)數(shù)相關(guān)像素值(振幅值)g2之比g2/g1。另外，關(guān)于波數(shù)k1、k2，設(shè)為k1＜k2。圖24是示出振幅比對(duì)應(yīng)表的例子的圖。圖24所示的振幅比對(duì)應(yīng)表示出式(16)。圖24的橫軸是w，縱軸是α。該振幅比對(duì)應(yīng)表預(yù)先存儲(chǔ)在控制部103內(nèi)的(未圖示)存儲(chǔ)部中。這里，得到基于針對(duì)特定的被檢查位置(像素)改變條紋寬度的結(jié)果的由下式(17)所示的值α0。α0=sinc(k2P2W)sinc(k1P2W)...(17)]]>而且，如圖24所示，在式(16)中，能夠得到滿足α＝α0的變量w。如果是在能夠選擇二個(gè)變量w中的一方的條件下，則根據(jù)所選擇的變量w，能夠根據(jù)式(15)導(dǎo)出fxx。由此，例如，能夠判定被檢查體150中產(chǎn)生的缺陷(異常)是否是突形狀。這樣，在本實(shí)施方式中，通過使用多種條紋寬度的條紋圖案，能夠提高被檢查體的檢查精度。此外，根據(jù)圖23可知，在各sinc函數(shù)中，在w＞0的情況下，如果是大于最初的g/p為0的變量w(作為最初的橫軸切片的w)的變量w的范圍，則容易檢測(cè)到相對(duì)于g/p的最大值的減少，即振幅的抵消。根據(jù)sinc函數(shù)為0的條件，在式(14)中，(π·p·w/λ)＞π即可，以滿足下式(18)的方式設(shè)定條紋寬度(即空間相位調(diào)制照明的相位變化方向的周期長(zhǎng)度)即可。p·w/λ＞1…(18)此外，根據(jù)圖23，實(shí)際上，認(rèn)為即使進(jìn)一步使變量w為其一半程度，也能夠確保基于g/p的差異的檢測(cè)性，因此，以滿足下式(19)的方式設(shè)定條紋寬度(即空間相位調(diào)制照明的相位變化方向的周期長(zhǎng)度)即可。p·w/λ＞0.5…(19)(第3實(shí)施方式)在第1～第2實(shí)施方式中，對(duì)將明暗等間隔的條紋圖案照射到被檢查體的例子進(jìn)行了說明。然而，上述的實(shí)施方式不限于照射等間隔的條紋圖案。因此，在第3實(shí)施方式中，對(duì)結(jié)合被檢查體的形狀來變更條紋圖案的間隔的例子進(jìn)行說明。在檢查系統(tǒng)中，不限制作為檢查對(duì)象的被檢查體的形狀，因此，作為被檢查體的表面形狀，可考慮各種形狀。而且，本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)的PC100在對(duì)被檢查體進(jìn)行拍攝時(shí)，控制臂140，以能夠適當(dāng)檢測(cè)被檢查體的表面的方式設(shè)定被檢查體的位置。此時(shí)，PC100將適合被檢查體的表面的條紋圖案交付給照明裝置120。圖25是示出從屏幕130照射了與被檢查體2501的表面形狀一致的條紋圖案的例子的圖。在圖25所示的例中，為了使檢查系統(tǒng)檢測(cè)被檢查體2501的異常，優(yōu)選輸入到時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110中的條紋圖案是等間隔的。因此，如圖25所示的例子那樣，照明裝置120以使得在被檢查體2501反射后的條紋圖案為等間隔的方式，對(duì)屏幕130照射條紋圖案。在PC100的存儲(chǔ)部中，按照被檢查體2501的作為拍攝對(duì)象的每個(gè)表面，預(yù)先存儲(chǔ)對(duì)應(yīng)的(在反射后成為等間隔)條紋圖案。該條紋圖案為根據(jù)被檢查體2501的作為檢查對(duì)象的表面的傾斜而設(shè)定的條紋圖案。例如采用如下條紋圖案：在該表面反射后，在輸入到時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110時(shí)條紋的寬度基本均等。然后，PC100在每次通過臂140變更被檢查體2501的作為拍攝對(duì)象的表面時(shí)，將根據(jù)該表面的傾斜而設(shè)定的條紋圖案輸出到照明裝置120。然后，照明裝置120開始照射所輸入的條紋圖案。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)適合于被檢查體2501的表面形狀的條紋圖案的照射。接著，對(duì)本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)的被檢查體的檢查處理進(jìn)行說明。圖26是示出本實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)中的上述的處理的步驟的流程圖。另外，被檢查體150在已經(jīng)固定在臂140上的狀態(tài)下，被配置在檢查的初始位置。本實(shí)施方式的PC100對(duì)照明裝置120輸出與臂的位置對(duì)應(yīng)的條紋圖案(步驟S2601)。即，在本實(shí)施方式中，與臂的位置對(duì)應(yīng)的條紋圖案成為適合于該臂上所固定的被檢查體的作為拍攝對(duì)象的表面形狀的條紋圖案。照明裝置120存儲(chǔ)從PC100輸入的條紋圖案(步驟S2621)。然后，照明裝置120將與檢查對(duì)象的初始位置對(duì)應(yīng)的條紋圖案顯示為按照時(shí)間遷移而變化(步驟S2622)。然后，利用與圖14所示的步驟S1402～S1406、步驟S1411～S1413同樣的處理，進(jìn)行從拍攝起到被檢查體的異常檢測(cè)結(jié)果的輸出為止的處理(步驟S2602～S2606，步驟S2611～S2613)。然后，控制部103判定該被檢查體的檢查是否結(jié)束(步驟S2607)。在判定為檢查未結(jié)束的情況下(步驟S2607：“否”)，臂控制部101按照預(yù)定的設(shè)定進(jìn)行臂的移動(dòng)控制，以使得能夠利用時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110拍攝接下來的作為檢查對(duì)象的被檢查體的表面(步驟S2608)。在步驟S2608的臂的移動(dòng)控制結(jié)束后，控制部103再次對(duì)照明裝置120輸出與臂的位置對(duì)應(yīng)的條紋圖案(步驟S2601)。由此，能夠在每次切換作為拍攝對(duì)象的表面時(shí)，切換要輸出的條紋圖案。另一方面，控制部103在判定為該被檢查體的檢查已結(jié)束的情況下(步驟S2607：“是”)，對(duì)時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110輸出結(jié)束指示(步驟S2609)，結(jié)束處理。然后，時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110判定是否受理了結(jié)束指示(步驟S2614)。在未受理結(jié)束指示的情況下(步驟S2614：“否”)，再次從步驟S2611進(jìn)行處理。另一方面，在受理了結(jié)束指示的情況下(步驟S2614：“是”)，結(jié)束處理。另外，照明裝置120的結(jié)束處理可以由檢查者進(jìn)行，也可以按照來自其他結(jié)構(gòu)的指示來結(jié)束。(第4實(shí)施方式)在上述的實(shí)施方式和變形例中，對(duì)照明裝置120顯示直線狀的條紋圖案的例子進(jìn)行了說明。然而，不限于照明裝置120顯示直線狀的條紋圖案的情況，也可以顯示其他形態(tài)的條紋圖案。因此，在第4實(shí)施方式中，對(duì)顯示與上述的實(shí)施方式不同的條紋圖案的例子進(jìn)行說明。圖27是示出本實(shí)施方式的照明裝置120在屏幕130中顯示的條紋圖案的例子的圖。在圖27所示的條紋圖案中，在發(fā)生點(diǎn)2701、2702(發(fā)散點(diǎn))處發(fā)生的條紋圖案被顯示為收斂于收斂點(diǎn)2703(吸入點(diǎn))。如圖27所示，如果光的強(qiáng)度以規(guī)定的間隔發(fā)生變化，則能夠檢測(cè)被檢查體的異常(缺陷)。接著對(duì)條紋圖案的生成方法進(jìn)行說明。圖28是示出用于生成圖27的條紋圖案的利用明暗(濃淡)表示被檢查體150或屏幕130的表面處的初始的相位分布φ0(x，y)(空間相位分布)的例子的圖。白點(diǎn)(亮點(diǎn))的值是π，黑點(diǎn)(暗點(diǎn))的值是-π。在圖28中，例如，點(diǎn)2701處的值為π，點(diǎn)2702處的值為π/2，點(diǎn)2703(底點(diǎn))處的初值為-π，將這些點(diǎn)作為約束條件，將各點(diǎn)作為頂點(diǎn)或底點(diǎn)，以生成與到各點(diǎn)的距離對(duì)應(yīng)的例如吊鐘型的分布的方式，設(shè)定初始的相位分布φ0(x，y)。根據(jù)圖28的相位分布φ0(x，y)生成圖27的條紋圖案。能夠通過波數(shù)k來調(diào)整頂點(diǎn)與底點(diǎn)之間的條紋的數(shù)量。在該例中，波數(shù)k是頂點(diǎn)與底點(diǎn)之間的條紋的根數(shù)?？紤]了波數(shù)k后的相位分布φ(x，y)成為φ(x，y)＝k·φ0(x，y)。在要形成白黑條紋的情況下，根據(jù)φ(x，y)的值進(jìn)行二值化即可。具體而言，例如，將相位φ(x，y)為-π到0的區(qū)域設(shè)為暗區(qū)域，將0到π的區(qū)域設(shè)為亮區(qū)域即可。由此，能夠得到圖27所示那樣的靜止的條紋圖案。靜止的條紋圖案表示為R[ejφ(X，Y)]。這里，R[]是取復(fù)數(shù)的實(shí)部的運(yùn)算。運(yùn)動(dòng)的條紋圖案對(duì)調(diào)制項(xiàng)ejωt進(jìn)行乘法運(yùn)算而表示為R[ejωt·ejφ(x,y)]。這樣，運(yùn)動(dòng)的條紋圖案能夠根據(jù)ejωt·ejφ(x,y)而生成。這里例示的相位分布φ(x，y)和條紋圖案僅是一例。通過適當(dāng)設(shè)定與被檢查體150的形狀對(duì)應(yīng)的初始相位分布，能夠得到任意的條紋圖案。根據(jù)要檢測(cè)的缺陷的尺寸將波數(shù)k設(shè)定為適當(dāng)?shù)闹?。在圖28所示的例中，將被檢查體的表面上的任意的點(diǎn)設(shè)定為光強(qiáng)度較強(qiáng)的點(diǎn)2801、2802和光強(qiáng)度較弱的點(diǎn)2803。然而，在生成相位分布時(shí)，還考慮根據(jù)光強(qiáng)度較強(qiáng)的點(diǎn)和光強(qiáng)度較弱的點(diǎn)以及被檢查體的表面形狀來進(jìn)行設(shè)定。圖29是示出在球面狀的被檢查體150上投影的條紋圖案的例子的圖，該條紋圖案如圖25所示，是在來自時(shí)間相關(guān)照相機(jī)110的視線中移動(dòng)的平行的條紋。在圖29的例中，在左右方向上，越靠左側(cè)，則傾斜(梯度)越大，在上下方向上，相比于中央越朝向上側(cè)和下側(cè)，則傾斜(梯度)越大。根據(jù)本實(shí)施方式，通過設(shè)定與被檢查體150的形狀對(duì)應(yīng)的相位分布φ(x，y)，能夠得到容易得到更適當(dāng)?shù)臋z查結(jié)果的條紋圖案。還能夠根據(jù)CAD數(shù)據(jù)來設(shè)定相位分布φ(x，y)。另外，根據(jù)考慮了被檢查體150的立體形狀的相位分布φ(x，y)來設(shè)定該被檢查體150的表面的條紋圖案，通過對(duì)該表面的條紋圖案進(jìn)行坐標(biāo)變換等，能夠計(jì)算屏幕130等照明部的條紋圖案。在上述的實(shí)施方式的PC100中執(zhí)行的檢查程序通過可安裝的形式或可執(zhí)行的形式的文件被記錄在CD-ROM、軟盤(FD)、CD-R、DVD(DigitalVersatileDisk：數(shù)字通用光盤)等計(jì)算機(jī)可讀取的記錄介質(zhì)中來提供。此外，也可以構(gòu)成為，將上述的實(shí)施方式的PC100中執(zhí)行的檢查程序存儲(chǔ)在與互聯(lián)網(wǎng)等網(wǎng)絡(luò)連接的計(jì)算機(jī)上，通過經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)下載來提供。此外，也可以構(gòu)成為經(jīng)由互聯(lián)網(wǎng)等網(wǎng)絡(luò)來提供或發(fā)布上述的實(shí)施方式的PC100中執(zhí)行的檢查程序。說明了本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施方式，但是，這些實(shí)施方式只是提示的例子，沒有意圖限定發(fā)明的范圍。這些新的實(shí)施方式能夠通過其他的各種方式來實(shí)施，能夠在不脫離發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種省略、置換、變更。這些實(shí)施方式及其變形包含在發(fā)明的范圍和主旨中，并且，包含在權(quán)利要求書所記載的發(fā)明及其均等的范圍內(nèi)。當(dāng)前第1頁1 2 3