1.一種非接觸式非連續(xù)平面平面度測量系統(tǒng)和方法,其特征在于:
(1)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)為:激光位移傳感器(2)和位置敏感器(3)固連,可安裝在機(jī)床(1)上;激光發(fā)射裝置(4)與待測平面(6)安裝固定在同一地基上;計算機(jī)(5)分別與機(jī)床(1)、激光位移傳感器(2)和位置敏感器(3)的對應(yīng)接口連接,進(jìn)行數(shù)據(jù)交換;
(2)測量原理為:激光發(fā)射裝置(4)對激光旋轉(zhuǎn),形成測量的參考基準(zhǔn)光平面;激光位移傳感器(2)和位置敏感器(3)組合,可以測量待測平面(6)上某個待測點到基準(zhǔn)光平面間的高度距離;機(jī)床(1)帶動激光位移傳感器(2)和位置敏感器(3)移動,按照事先設(shè)定的測量路徑,獲得待測平面(6)上所有待測點到基準(zhǔn)光平面間的高度z;待測點在水平面上的二維坐標(biāo)(x,y)可由機(jī)床(1)的控制系統(tǒng)給出;根據(jù)所有待測點的三維坐標(biāo),采用平面度評定方法計算得到待測平面(6)的平面度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式非連續(xù)平面平面度測量系統(tǒng),其特征在于僅需要單個激光位移傳感器(2)測量待測點與激光位移傳感器(2)之間的距離。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式非連續(xù)平面平面度測量系統(tǒng),其特征在于采用激光發(fā)射裝置(4)利用旋轉(zhuǎn)的五角棱鏡使激光線旋轉(zhuǎn)掃描,或柱面鏡等其他器件,形成測量時的參考基準(zhǔn)光平面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式非連續(xù)平面平面度測量系統(tǒng),其特征在于激光位移傳感器(2)與位置敏感器(3)固連且可以安裝在機(jī)床(1)上,并且由機(jī)床(1)提供待測點的水平面坐標(biāo)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式非連續(xù)平面平面度測量系統(tǒng),其特征在于所述的測量原理中利用激光位移傳感器(2)和位置敏感器(3)相結(jié)合的方法是激光位移傳感器(2)測量待測點與其之間的距離,位置敏感器(3)測量其中心與基準(zhǔn)光平面間的距離,兩者相加得到待測點的高度信息。