技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種共軛差分法檢測柱面鏡絕對面形的裝置，包括氣浮光學(xué)抗震平臺、干涉儀、標(biāo)準(zhǔn)平面鏡、柱面CGH、精密電控旋轉(zhuǎn)臺、精密三維位移臺、萬向調(diào)節(jié)鏡架、待測柱面、連接底板、連接片和連接桿,利用該裝置可對待測柱面實現(xiàn)在沿母線方向及繞中心軸方向上的共軛運(yùn)動，從而實現(xiàn)對柱面面形的絕對檢測。通過測得柱面這兩個方向上的差分量，通過波面復(fù)原算法即可恢復(fù)出待測波面。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、易于裝調(diào)、抗震性能好。

技術(shù)研發(fā)人員：馬駿;孫瑋苑;朱日宏;高志山;魏家冬;何慶浩;王磊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京理工大學(xué)
文檔號碼：201510348879
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.23
技術(shù)公布日：2017.01.11