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一種共軛差分法檢測(cè)柱面鏡絕對(duì)面形的裝置的制作方法

文檔序號(hào):12588812閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種共軛差分法檢測(cè)柱面鏡絕對(duì)面形的裝置,其特征在于:包括氣浮光學(xué)抗震平臺(tái)(1)、干涉儀(2)、標(biāo)準(zhǔn)平面鏡(3)、柱面CGH(4)、精密電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)(5)、精密三維位移臺(tái)(6)、萬向調(diào)節(jié)鏡架(7)、待測(cè)柱面(8)、連接底板(9)、連接片(10)和連接桿(11);干涉儀(2)、柱面CGH(4)和精密電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)(5)均設(shè)置在氣浮光學(xué)抗震平臺(tái)(1)上;標(biāo)準(zhǔn)平面鏡(3)設(shè)置在干涉儀(2)的出光口,使干涉儀(2)的出射波前為平面波,精密電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)(5)頂部設(shè)有連接底板(9),精密三維位移臺(tái)(6)固定在連接底板(9)頂部,萬向調(diào)節(jié)鏡架(7)通過連接片(10)與精密位移臺(tái)(6)連接,待測(cè)柱面(8)通過連接桿(11)設(shè)置在萬向調(diào)節(jié)鏡架(7)上,干涉儀(2)、柱面CGH(4)和待測(cè)柱面(8)共光軸,精密電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)(5)的中心位于所述光軸的正下方。

2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的共軛差分法檢測(cè)柱面鏡絕對(duì)面形的裝置,其特征在于:所述柱面CGH(4)由計(jì)算全息片夾持裝置夾持。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共軛差分法檢測(cè)柱面鏡絕對(duì)面形的裝置,其特征在于:所述連接底板(9)底部為楔形。

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