技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種利用表面等離激元散射頻譜檢測(cè)納米顆粒形貌的方法和裝置。所述方法包括：在金薄膜上附著所述納米顆粒；在所述金薄膜表面激發(fā)表面等離激元，所述表面等離激元沿金薄膜表面?zhèn)鞑?，與所述納米顆粒發(fā)生散射；所述表面等離激元散射轉(zhuǎn)化為光信號(hào)與反射光一起被位于傅里葉平面的第一光電探測(cè)器接收，獲得空間頻域；根據(jù)所述空間頻域的能量分布，獲得所述納米顆粒的形貌，解決了現(xiàn)有技術(shù)中的檢測(cè)方法對(duì)樣品要求嚴(yán)格，掃描時(shí)間長(zhǎng)，無(wú)法快速獲得檢測(cè)結(jié)果，需要真空操作，成本高、體積大的技術(shù)問題。

技術(shù)研發(fā)人員：劉虹遙;路鑫超;陳魯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
文檔號(hào)碼：201510276304
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.26
技術(shù)公布日：2017.01.04