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原位測量固-液相界面電化學(xué)反應(yīng)的芯片組件的制作方法

文檔序號:12358111閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種原位測量固-液相界面電化學(xué)反應(yīng)的芯片組件,包括第一電極(310)、第二電極(320)、第一絕緣膜(510)、第二絕緣膜(520)、第三絕緣膜(530)、第四絕緣膜(540)以及相對設(shè)置且兩側(cè)對應(yīng)密封結(jié)合的上芯片(100)和下芯片(200);上芯片(100)具有通孔(110);通孔(110)下的第一絕緣膜(510)上設(shè)有第一電極(310);下芯片(200)具有與通孔(110)相對的凹槽(210);凹槽(210)一側(cè)的第四絕緣膜(540)上設(shè)有第二電極(320)。該芯片組件無需特制樣品桿,大幅降低測試成本;同時,第一電極(310)具有的柵格結(jié)構(gòu)還有利于對待測樣品的形貌變化進行觀察。

技術(shù)研發(fā)人員:張躍鋼;榮根蘭;馬碩
受保護的技術(shù)使用者:中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
文檔號碼:201510267214
技術(shù)研發(fā)日:2015.05.22
技術(shù)公布日:2017.01.04

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