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光譜掃描測試裝置及其測試方法與流程

文檔序號:11945781閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種光譜掃描測試裝置,其特征在于,包括:

制冷樣品室,用于向待測樣品提供一預(yù)定溫度的測試環(huán)境;

樣品臺,設(shè)置于所述制冷樣品室中且用于承載所述待測樣品,所述樣品臺以預(yù)定數(shù)量級的位移精度進行移動;

顯微光路系統(tǒng),至少包括顯微鏡及激光光源,其中,所述激光光源發(fā)出的激光經(jīng)由所述顯微鏡傳遞至承載于所述樣品臺上的所述待測樣品,以激發(fā)所述待測樣品產(chǎn)生激發(fā)光譜;

光譜測試系統(tǒng),用于接收并測試所述激發(fā)光譜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置,其特征在于,所述顯微光路系統(tǒng)還包括:半反半透元件,設(shè)置于所述顯微鏡與所述激光光源之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的測試裝置,其特征在于,所述顯微光路系統(tǒng)還包括:白光光源,鄰近于所述激光光源設(shè)置,所述白光光源發(fā)出的白光經(jīng)由所述顯微鏡傳遞至承載于所述樣品臺上的所述待測樣品,以產(chǎn)生所述待測樣品的表面形貌圖。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置,其特征在于,所述制冷樣品室為無液氦低溫制冷設(shè)備。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置,其特征在于,所述樣品臺以納米級的位移精度進行移動。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測試裝置,其特征在于,所述樣品臺的位移精度為10nm。

7.一種光譜掃描測試裝置的測試方法,其特征在于,所述光譜掃描測試裝置包括制冷樣品室、樣品臺、顯微光路系統(tǒng)以及光譜測試系統(tǒng),顯微光路系統(tǒng)至少包括顯微鏡及激光光源,其中,所述測試方法包括步驟:

將待測樣品置于所述制冷樣品室中的所述樣品臺上,并對所述待測樣品進行制冷至預(yù)定溫度;

所述激光光源發(fā)射激光,所述激光經(jīng)由所述顯微鏡傳遞至承載于所述樣品臺上的所述待測樣品,以激發(fā)所述待測樣品產(chǎn)生激發(fā)光譜;

所述光譜測試系統(tǒng)接收并測試經(jīng)由所述顯微鏡傳遞的所述激發(fā)光譜。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測試方法,其特征在于,所述顯微光路系統(tǒng)還包括設(shè)置于所述顯微鏡與所述激光光源之間的半反半透元件,其中,所述激光光源發(fā)射激光,所述激光經(jīng)所述半反半透元件反射后,再經(jīng)由所述顯微鏡傳遞至承載于所述樣品臺上的所述待測樣品,以激發(fā)所述待測樣品產(chǎn)生激發(fā)光譜。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的測試方法,其特征在于,所述顯微光路系統(tǒng)還包括鄰近于所述激光光源設(shè)置的白光光源,其中,在所述激光光源發(fā)射激光之前,所述測試方法還包括步驟:

所述白光光源發(fā)射白光,所述白光經(jīng)由所述顯微鏡傳遞至承載于所述樣品臺上的所述待測樣品,以產(chǎn)生所述待測樣品的表面形貌圖。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測試方法,其特征在于,所述制冷樣品室為無液氦低溫制冷設(shè)備。

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