技術總結
三維表面電位分布測量裝置(70)具有激光源(13)、Pockels結晶(11)、鏡、光檢測器(16)、一邊維持它們的相互的位置關系一邊保持它們的保持構造(31)、能夠將保持構造(31)三維地移動驅動的移動驅動部、保持試驗對象物(8)而能夠以試驗對象物(8)的長邊方向為軸進行旋轉驅動的旋轉驅動部(35)、以及對移動驅動部以及旋轉驅動部(35)進行控制的驅動控制部(37)。驅動控制部(37)一邊將Pockels結晶(11)的端面和試驗對象物(8)的表面的間隔保持為規(guī)定的間隔，一邊協調基于移動驅動部的保持構造(31)的移動驅動動作和基于旋轉驅動部(35)的試驗對象物(8)的旋轉驅動動作，以使Pockels結晶(11)的端面接近試驗對象物(8)的電場弛豫系統(3)的整個表面。

技術研發(fā)人員：古川真陽;牛渡廣大;吉滿哲夫;坪井雄一;日高邦彥;熊田亞紀子;池田久利
受保護的技術使用者：東芝三菱電機產業(yè)系統株式會社;國立大學法人東京大學
文檔號碼：201480079588
技術研發(fā)日：2014.06.06
技術公布日：2017.02.22