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三維表面電位分布測量裝置的制作方法

文檔序號(hào):12287054閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種三維表面電位分布測量裝置,對沿著試驗(yàn)對象物的長邊方向?qū)嵤┑碾妶龀谠ハ到y(tǒng)的表面電位進(jìn)行測量,所述試驗(yàn)對象物模擬了旋轉(zhuǎn)電機(jī)的定子線圈端部即定子線圈端,其特征在于,具備:

激光源,射出激光;

Pockels結(jié)晶,從第一端面被入射從所述激光源射出的所述激光;

鏡,其表面被設(shè)置在所述Pockels結(jié)晶的所述第一端面的相反側(cè)的第二端面,將從所述Pockels結(jié)晶的所述第一端面入射的所述激光向與所述入射的方向相反的方向反射;

光檢測器,具有跟隨逆變器脈沖電壓的高頻分量的頻帶,接受由所述鏡反射的所述激光,檢測與輸出電壓對應(yīng)的所述激光的光強(qiáng)度,所述輸出電壓是所述Pockels結(jié)晶的所述第一端面和所述第二端面之間的電位差;

保持構(gòu)造,一邊維持所述激光源、所述Pockels結(jié)晶、所述鏡以及所述光檢測器的相互的相對位置關(guān)系,一邊保持所述激光源、所述Pockels結(jié)晶、所述鏡以及所述光檢測器;

移動(dòng)驅(qū)動(dòng)部,能夠?qū)⑺霰3謽?gòu)造三維地移動(dòng)驅(qū)動(dòng);

旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部,保持所述試驗(yàn)對象物,能夠以所述試驗(yàn)對象物的長邊方向?yàn)檩S而繞該軸向雙方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng);以及

驅(qū)動(dòng)控制部,對所述移動(dòng)驅(qū)動(dòng)部以及所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行控制,

所述驅(qū)動(dòng)控制部一邊將所述Pockels結(jié)晶的所述第二端面和所述試驗(yàn)對象物的表面的間隔保持為規(guī)定的間隔,一邊協(xié)調(diào)基于所述移動(dòng)驅(qū)動(dòng)部的所述保持構(gòu)造的移動(dòng)驅(qū)動(dòng)動(dòng)作和基于所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部的所述試驗(yàn)對象物的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)動(dòng)作,以使所述Pockels結(jié)晶的所述第二端面接近所述試驗(yàn)對象物的電場弛豫系統(tǒng)的整個(gè)表面。

2.如權(quán)利要求1所述的三維表面電位分布測量裝置,其特征在于,

所述Pockels結(jié)晶被形成為從所述第一端面朝向所述第二端面逐漸變細(xì)。

3.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的三維表面電位分布測量裝置,其特征在于,

所述保持構(gòu)造具有把持所述Pockels結(jié)晶而與所述Pockels結(jié)晶一體移動(dòng)的Pockels結(jié)晶把持部,所述保持構(gòu)造形成有對所述Pockels結(jié)晶把持部的移動(dòng)進(jìn)行限制的移動(dòng)限制部。

4.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3的任一項(xiàng)所述的三維表面電位分布測量裝置,其特征在于,

在所述保持構(gòu)造中,為了所述Pockels結(jié)晶移動(dòng)而形成有貫通所述Pockels結(jié)晶的移動(dòng)方向的導(dǎo)向孔,

所述導(dǎo)向孔被形成為朝向所述電場弛豫系統(tǒng)逐漸變細(xì),以使所述Pockels結(jié)晶的所述第二端部從所述保持構(gòu)造的突出被限制。

5.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4的任一項(xiàng)所述的三維表面電位分布測量裝置,其特征在于,

所述保持構(gòu)造還具有縫隙傳感器,所述縫隙傳感器對所述Pockels結(jié)晶和所述電場弛豫系統(tǒng)間的縫隙進(jìn)行測量,將縫隙信號(hào)輸出至所述驅(qū)動(dòng)控制部。

6.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求5的任一項(xiàng)所述的三維表面電位分布測量裝置,其特征在于,

所述Pockels結(jié)晶是BGO結(jié)晶。

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