高回收率氣體分析儀采樣裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種高回收率氣體分析儀采樣裝置，其包含：一分析裝置，該分析裝置具有一進(jìn)樣口與一出樣口，該進(jìn)樣口連接有一進(jìn)樣管路；一第一泵，該第一泵與該分析裝置的該出樣口之間通過一抽氣管路相連接或內(nèi)建于該分析裝置中，又該第一泵連接有一排氣管路；一進(jìn)樣分流回路，該進(jìn)樣分流回路一端與該進(jìn)樣管路一側(cè)相連通，又該排氣管路與該進(jìn)樣分流回路一側(cè)相連通；一第二泵，該第二泵設(shè)置在該進(jìn)樣分流回路上；借由該進(jìn)樣分流回路與該第二泵，通過空氣樣本適度分流以及第二泵的協(xié)同抽氣作用，提高空氣樣本的流速，避免空氣樣本因流速過低而附著殘留在管路內(nèi)，導(dǎo)致空氣樣本的回收率降低，造成測(cè)量準(zhǔn)確度變差的缺陷。
【專利說明】高回收率氣體分析儀采樣裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型是有關(guān)于一種氣體分析儀采樣裝置，特別是關(guān)于一種可提高回收率的氣體分析儀采樣裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]一般半導(dǎo)體或面板產(chǎn)業(yè)的無塵室(clean room)，通常必須針對(duì)空氣中含有的酸喊氣或有機(jī)類等AMC (Airborne Molecular Contamination,氣體分子污染物)或VOC (Volatile Organic Compound,揮發(fā)性有機(jī)化合物)的濃度加以測(cè)量并監(jiān)控，以避免這些有害氣體影響到產(chǎn)品的優(yōu)良率或精密昂貴的機(jī)器設(shè)備，目前對(duì)于無塵室環(huán)境中AMC或VOC的測(cè)量監(jiān)控，請(qǐng)參閱圖1所示，通常是利用采氣袋或不銹鋼桶等工具人工取樣，或是利用取樣管路自動(dòng)取樣，以獲得一空氣樣本Al，再將該空氣樣本Al通過一進(jìn)樣管路10送入一分析裝置2內(nèi)進(jìn)行測(cè)量分析，其中，該分析裝置2可為氣相層析質(zhì)譜分析儀(GC-MS,Gas Chromatography-Mass Spectrometer)、氣相層析火焰離子化檢測(cè)器(GC-FID,Gas Chromatography-Flame 1nization Detector)、選擇離子流動(dòng)管質(zhì)譜儀(SIFT-MS，Selected 1n Flow Tube Mass Spectrometry)、飛行式質(zhì)譜儀(TOF-MS, Time-of-FlightMass Spectrometry、離子層析儀(IC, 1n Chromatography)等氣體化學(xué)分析裝置,該分析裝置2通常還會(huì)通過一抽氣管路11連接一泵13，該泵13可內(nèi)建于分析裝置2內(nèi)或獨(dú)立于分析裝置2之外，用以抽取需分析的空氣樣本Al使之流經(jīng)分析裝置2，以進(jìn)行氣體的分析，此外，該空氣樣本Al在進(jìn)入分析裝置2之前，有時(shí)會(huì)先經(jīng)過一前處理裝置例如熱脫附裝置(Thermal Desorption,TD)等進(jìn)行樣本的前處理，在此，該前處理裝置與分析裝置2的基本結(jié)構(gòu)、動(dòng)作原理與功用皆為本領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知，于此不再贅述。
[0003]現(xiàn)有的氣體測(cè)量分析架構(gòu)，雖可達(dá)到對(duì)該空氣樣本Al進(jìn)行采樣及分析的目的，但所有的空氣樣本Al皆只能自單一的進(jìn)樣管路10及抽氣管路11進(jìn)出該分析裝置2，如此一來，將使該空氣樣本Al的流速降低，導(dǎo)致該空氣樣本Al中待分析的污染物容易殘留附著在各個(gè)管路內(nèi)，造成空氣樣本Al的濃度及回收率(percent recovery, %R)降低,進(jìn)而影響測(cè)量的準(zhǔn)確性與產(chǎn)品的可靠度，若是為了避免或減輕前述缺陷則必須縮短取樣管路的長(zhǎng)度，但如此將使該分析裝置2的設(shè)置地點(diǎn)受限，影響操作或使用的便利性，此外，空氣樣本Al的低流速也容易對(duì)該進(jìn)樣管路10造成污染及下一次測(cè)量的干擾，因此，如何針對(duì)上述缺陷加以改良，即為本案 申請(qǐng)人:所欲解決的技術(shù)困難點(diǎn)所在。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]有鑒于現(xiàn)有的氣體測(cè)量分析架構(gòu)，因空氣樣本在進(jìn)樣時(shí)流速較低，造成回收率降低并影響測(cè)量分析的精確度，因此本實(shí)用新型的目的在于提供一種可提高回收率的氣體分析儀采樣裝置。
[0005]為達(dá)成以上的目的，本實(shí)用新型提供一種高回收率氣體分析儀采樣裝置，其包含:一分析裝置，該分析裝置具有一進(jìn)樣口與一出樣口，該進(jìn)樣口連接有一進(jìn)樣管路;一第一泵，該第一泵與該分析裝置的該出樣口之間通過一抽氣管路相連接，又該第一泵連接有一排氣管路；一進(jìn)樣分流回路，該進(jìn)樣分流回路一端與該進(jìn)樣管路一側(cè)相連通，又該排氣管路與進(jìn)樣分流回路一側(cè)相連通；一第二泵，該第二泵設(shè)置在該進(jìn)樣分流回路上。
[0006]借由本實(shí)用新型設(shè)有的該進(jìn)樣分流回路與第二泵，可通過空氣樣本適度分流以及第二泵的協(xié)同抽氣作用，提高空氣樣本的流速，可避免空氣樣本因流速過低而附著殘留在管路內(nèi)，導(dǎo)致待測(cè)物的回收率降低，造成測(cè)量精確度變差的缺陷，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升測(cè)量精確度及產(chǎn)品可靠度的功效。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1是現(xiàn)有的架構(gòu)示意圖；
[0008]圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的架構(gòu)示意圖；
[0009]圖2A是本實(shí)用新型其第二實(shí)施例的架構(gòu)示意圖；
[0010]圖3是本實(shí)用新型的動(dòng)作示意圖；
[0011]圖4是本實(shí)用新型其第三實(shí)施例的架構(gòu)示意圖。
[0012]附圖標(biāo)記說明:10_進(jìn)樣管路；11_抽氣管路；12_排氣管路；13_泵；2-分析裝置；Al-空氣樣本；3-分析裝置；31-進(jìn)樣口 ；32_出樣口 ；33_進(jìn)樣管路；331-加熱裝置；34-抽氣管路；35_排氣管路；4_第一泵；41_第一流量計(jì)；5_進(jìn)樣分流回路；51_第二流量計(jì)；6-第二泵；7-可擴(kuò)充取樣裝置；71-閥組件；711-樣本出口 ；712_非樣本出口 ；713_樣本入口 ；72_非樣本排氣管路；73_取樣管；A2-空氣樣本。
【具體實(shí)施方式】
[0013]請(qǐng)參閱圖2所示，本實(shí)用新型提供一種高回收率氣體分析儀采樣裝置，其包含:
[0014]一分析裝置3，具體地，該分析裝置3可為一氣相層析質(zhì)譜分析儀(GC-MS)等氣體化學(xué)分析裝置，該氣體化學(xué)分析裝置的具體構(gòu)造或動(dòng)作原理是屬現(xiàn)有技術(shù)且非本案技術(shù)特征，于此不再贅述，該分析裝置3具有一進(jìn)樣口 31與一出樣口 32，該進(jìn)樣口 31連接有一進(jìn)樣管路33，請(qǐng)?jiān)倥浜蠀㈤唸D3所示，用以供空氣樣本A2通過并進(jìn)入該分析裝置3，在此，該空氣樣本A2可通過進(jìn)樣管路33 (或由其所延伸出來的取樣管路)直接在現(xiàn)場(chǎng)(例如待監(jiān)控或分析的無塵室內(nèi)某一區(qū)域)以自動(dòng)化方式取得，或該空氣樣本A2也可由人工方式采樣而得，此部分的詳細(xì)操作方式同樣為本領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知，在此不予詳述，此外，較佳地，該進(jìn)樣管路33周圍可進(jìn)一步設(shè)有一加熱裝置331，該加熱裝置331可為加熱管；
[0015]一第一泵4，該第一泵4與分析裝置3其出樣口 32之間通過一抽氣管路34相連接，用以提供空氣樣本A2進(jìn)出該分析裝置3的外在動(dòng)力來源，又該第一泵4連接有一排氣管路35，用以將空氣樣本A2排出，又該排氣管路35上可進(jìn)一步設(shè)有一第一流量計(jì)41(f lowmeter),也即在本實(shí)施例中，該第一泵4是外接于該分析裝置3外部；此外，請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D4所示為本實(shí)用新型的第三實(shí)施例，其中該第一泵4也可內(nèi)建于該分析裝置3內(nèi)，此時(shí)，該抽氣管路34是與分析裝置3其進(jìn)樣口 31相連接，該排氣管路35則與出樣口 32相連接；
[0016]一進(jìn)樣分流回路5，該進(jìn)樣分流回路5 —端與該進(jìn)樣管路33 —側(cè)相連通，又該排氣管路35與進(jìn)樣分流回路5 —側(cè)相連通；
[0017]一第二泵6，該第二泵6設(shè)置在該進(jìn)樣分流回路5上，此外，該第二泵6后方的進(jìn)樣分流回路5上可進(jìn)一步設(shè)有一第二流量計(jì)51，也即該第二泵6是位于該第二流量計(jì)51與進(jìn)樣管路33之間；
[0018]請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D2與圖3所示，借由本實(shí)用新型設(shè)有的該進(jìn)樣分流回路5與第二泵6，使當(dāng)空氣樣本A2進(jìn)入該進(jìn)樣管路33后，當(dāng)其經(jīng)過該進(jìn)樣分流回路5時(shí)，該空氣樣本A2會(huì)因第一泵4與第二泵6的動(dòng)力作用而一分為二，故有一部分的空氣樣本A2會(huì)流往該分析裝置3中進(jìn)行測(cè)量分析，另一部分的空氣樣本A2則會(huì)直接流到該進(jìn)樣分流回路5內(nèi)，也即相較于現(xiàn)有的氣體測(cè)量分析架構(gòu)，本實(shí)用新型的空氣樣本A2不會(huì)全部都由該進(jìn)樣管路33進(jìn)入分析裝置3，在此，通過將空氣樣本A2適度分流以及該第二泵6的協(xié)同抽氣作用，如此即可顯著提高空氣樣本A2的流速，使可避免空氣樣本A2因流速過低而附著殘留在管路內(nèi)，導(dǎo)致分析裝置3所測(cè)得的空氣樣本A2的濃度及回收率降低，造成測(cè)量精確度變差的缺陷，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升測(cè)量精確度及產(chǎn)品可靠度的功效；此外，再借由該排氣管路35上設(shè)有一第一流量計(jì)41，該進(jìn)樣分流回路5上設(shè)有的一第二流量計(jì)51，使操作者可實(shí)時(shí)得知空氣樣本A2的流量或流速，而可視需要以自動(dòng)控制或手動(dòng)操作方式調(diào)整該第一泵4或第二泵6的運(yùn)轉(zhuǎn)速度，進(jìn)而可微調(diào)控制空氣樣本A2的流量及流速，使提升本實(shí)用新型的實(shí)用性；另外，又借由該進(jìn)樣管路33周圍設(shè)有該加熱裝置331，使該進(jìn)樣管路33可保持一定的溫度，而使該進(jìn)樣管路33內(nèi)的空氣樣本A2因溫度上升使分子動(dòng)能上升而更不易掉落附著在管路內(nèi)壁，進(jìn)而使本實(shí)用新型可兼具達(dá)到更佳產(chǎn)品可靠度的功效；
[0019]請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D4所示，為本實(shí)用新型的第三實(shí)施例，其中還進(jìn)一步包含有一可擴(kuò)充取樣裝置7，該可擴(kuò)充取樣裝置7內(nèi)包含有一閥組件71，該閥組件71可為電磁閥或手動(dòng)閥等可作為管路切換的閥件、至少一個(gè)非樣本排氣管路72與至少兩個(gè)取樣管73，該閥組件71具有一樣本出口 711、至少一個(gè)非樣本出口 712以及至少兩個(gè)與該取樣管73相對(duì)應(yīng)的樣本入口 713，其中，各該取樣管73—端分別與該閥組件71的樣本入口 713相連接，而各該取樣管73另一端則可依使用者需求分別設(shè)置于各欲取樣的地點(diǎn)，該閥組件71其樣本出口 711則可與該進(jìn)樣管路33相連接，該非樣本排氣管路72 —端是與該閥組件71其非樣本出口712相連接，該非樣本排氣管路72另一端則與第二泵6相連通，借此，本實(shí)用新型即可借由控制該閥組件71中各閥件的方向與開通時(shí)間，而令同一時(shí)間內(nèi)，僅有其中一個(gè)取樣管73的空氣樣本A2可通過該樣本出口 711并進(jìn)入進(jìn)樣管路33，而其他取樣管73的空氣樣本A2則會(huì)經(jīng)由該非樣本出口 712及非樣本排氣管路72而被第二泵6所排出，使本實(shí)用新型可具有多點(diǎn)采樣的功能，同時(shí)，又借由本實(shí)施例采用閥組件71取代一般孔位數(shù)量固定的多向閥，而可方便依實(shí)際需求擴(kuò)充調(diào)整該閥組件71的閥件數(shù)量，提升系統(tǒng)配置或擴(kuò)充的彈性，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到更佳的產(chǎn)品實(shí)用性。
【權(quán)利要求】
1.一種高回收率氣體分析儀采樣裝置，其特征在于，包含: 一分析裝置，該分析裝置具有一進(jìn)樣口與一出樣口，該進(jìn)樣口連接有一進(jìn)樣管路； 一第一泵，該第一泵與該分析裝置的該出樣口之間通過一抽氣管路相連接，用以提供空氣樣本進(jìn)出該分析裝置的外在動(dòng)力來源，又該第一泵連接有一排氣管路，用以將空氣樣本排出； 一進(jìn)樣分流回路，該進(jìn)樣分流回路一端與該進(jìn)樣管路一側(cè)相連通，又該排氣管路與該進(jìn)樣分流回路一側(cè)相連通； 一第二泵，該第二泵設(shè)置在該進(jìn)樣分流回路上。
2.如權(quán)利要求1所述的高回收率氣體分析儀采樣裝置，其特征在于，該排氣管路上設(shè)有一第一流量計(jì)。
3.如權(quán)利要求1所述的高回收率氣體分析儀采樣裝置，其特征在于，該第二泵后方的該進(jìn)樣分流回路上設(shè)有一第二流量計(jì)。
4.如權(quán)利要求1所述的高回收率氣體分析儀采樣裝置，其特征在于，該進(jìn)樣管路周圍設(shè)有一加熱裝置。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的高回收率氣體分析儀采樣裝置，其特征在于，還進(jìn)一步包含有一可擴(kuò)充取樣裝置。
6.如權(quán)利要求5所述的高回收率氣體分析儀采樣裝置，其特征在于，該可擴(kuò)充取樣裝置內(nèi)包含有一閥組件、至少一個(gè)非樣本排氣管路與至少兩個(gè)取樣管，該閥組件分別與各該取樣管、該進(jìn)樣管路以及該非樣本排氣管路相連接。
7.一種高回收率氣體分析儀采樣裝置，其特征在于，包含: 一分析裝置，該分析裝置具有一進(jìn)樣口與一出樣口，該進(jìn)樣口連接有一進(jìn)樣管路； 一第一泵，該第一泵設(shè)置于該分析裝置內(nèi)，該第一泵與該分析裝置的該進(jìn)樣口之間通過一抽氣管路相連接，用以提供空氣樣本進(jìn)出該分析裝置的外在動(dòng)力來源，又該第一泵連接有一排氣管路，用以將空氣樣本排出，該排氣管路與該出樣口相連接； 一進(jìn)樣分流回路，該進(jìn)樣分流回路一端與該進(jìn)樣管路一側(cè)相連通，又該排氣管路與進(jìn)樣分流回路一側(cè)相連通； 一第二泵，該第二泵設(shè)置在該進(jìn)樣分流回路上。
8.如權(quán)利要求7所述的高回收率氣體分析儀采樣裝置，其特征在于，該排氣管路上設(shè)有一第一流量計(jì)，且該第二泵后方的該進(jìn)樣分流回路上設(shè)有一第二流量計(jì)。
9.如權(quán)利要求7所述的高回收率氣體分析儀采樣裝置，其特征在于，該進(jìn)樣管路周圍設(shè)有一加熱裝置。
10.如權(quán)利要求7至9中任一項(xiàng)所述的高回收率氣體分析儀采樣裝置，其特征在于，進(jìn)一步包含有一可擴(kuò)充取樣裝置，該可擴(kuò)充取樣裝置內(nèi)包含有一閥組件、至少一個(gè)非樣本排氣管路與至少兩個(gè)取樣管，該閥組件分別與各該取樣管、該進(jìn)樣管路以及該非樣本排氣管路相連接。
【文檔編號(hào)】G01N35/10GK203786134SQ201420087079
【公開日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2014年2月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月27日
【發(fā)明者】柯安, 徐熠圳 申請(qǐng)人:奇鼎科技股份有限公司