技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明描述了用于檢查間接帶隙半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)（140）的方法（600）和系統(tǒng)（100）。光源（110）生成適于在所述間接帶隙半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)（140）中引發(fā)光致發(fā)光的光（612）。短通濾波器單元（114）減少所生成的光中的高于指定發(fā)射峰值的長波長光。準(zhǔn)直器（112）對所述光進(jìn)行準(zhǔn)直。利用所述經(jīng)過準(zhǔn)直以及短通濾波的光基本上均勻地且同時地照射所述間接帶隙半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)（140）的大面積（618）。圖像捕獲設(shè)備（130）捕獲由入射在所述間接帶隙半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的所述大面積上的所述基本上均勻的同時照射所引發(fā)的光致發(fā)光的圖像（620）。對所述光致發(fā)光圖像進(jìn)行圖像處理（622），以便利用在所述大面積內(nèi)所引發(fā)的所述光致發(fā)光的空間變化來量化所述間接帶隙半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)（140）的空間分辨的指定電子特性。

技術(shù)研發(fā)人員：T.特魯普克;R.A.巴多斯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：BT成像股份有限公司
文檔號碼：201410770974
技術(shù)研發(fā)日：2006.10.11
技術(shù)公布日：2017.09.29