積分球、光源及紫外-真空紫外成像光譜儀參數(shù)校準(zhǔn)方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種積分球，包括球本體，球本體上開有分別用以輸入和輸出光線的入射口以及出射口，并且，球本體內(nèi)壁設(shè)置有反射層，用以減少球本體內(nèi)壁對光的吸收。本發(fā)明還提供了一種光源，包括氘燈/或氙燈以及上述的積分球，氘燈/或氙燈設(shè)置于積分球的入射口以向積分球射入光線。此外，本發(fā)明還提供了一種紫外-真空紫外成像光譜儀參數(shù)校準(zhǔn)方法，該方法中校準(zhǔn)采用的光源為權(quán)利要求以上所述的光源。采用本發(fā)明的技術(shù)方案對光具有更高的反射率，更好的耐久性，在提高了能量利用率的同時使得出射光均有更高的均勻性。
【專利說明】積分球、光源及紫外-真空紫外成像光譜儀參數(shù)校準(zhǔn)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及紫外-真空紫外勻光系統(tǒng)設(shè)計【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種積分球、光源及紫外-真空紫外成像光譜儀參數(shù)校準(zhǔn)方法。

【背景技術(shù)】
[0002]在勻光系統(tǒng)設(shè)計時，通常采用的勻光處理裝置為積分球、漫反射板及漫透射板，其中，積分球能夠使得入射光經(jīng)積分球內(nèi)壁的多次漫反射后在積分球的出口處形成均勻出射面，不論相較于漫反射板還是漫透射板所提供的出射面都具備更高的均勻性。在可見光及紅外波段，積分球?yàn)槭褂米疃嗟膭蚬馓幚硌b置。然而現(xiàn)有的積分球?qū)M(jìn)入其內(nèi)部的紫外-真空紫外波段光線具有過強(qiáng)的吸收，導(dǎo)致光線不能得到最大限度的有效利用。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種適用于紫外-真空紫外波段的具有更高的反射率以及出射光的均勾性的積分球，本發(fā)明還提供了一種在120nm?400nm波段范圍內(nèi)也具有較高能量的光源，此外，本發(fā)明還提供了一種具有較高的校準(zhǔn)精度的紫外-真空紫外成像光譜儀參數(shù)校準(zhǔn)方法。
[0004]為解決上述問題，本發(fā)明提出一種積分球，包括球本體，所述球本體上開有分別用以輸入和輸出光線的入射口以及出射口，并且，所述球本體內(nèi)壁設(shè)置有反射層，用以減少所述球本體內(nèi)壁對光的吸收。
[0005]優(yōu)選的，所述反射層為由噴涂有鋁粉的鋁粉涂層。
[0006]優(yōu)選的，所述反射層內(nèi)壁設(shè)置有保護(hù)層，用以保護(hù)所述反射層。
[0007]優(yōu)選的，所述隔離層為蒸鍍有氟化鎂的氟化鎂鍍層。
[0008]優(yōu)選的，所述入射口與出射口的夾角為90?135°。
[0009]優(yōu)選的，所述入射口與出射口的夾角為90°。
[0010]優(yōu)選的，所述球本體由金屬材質(zhì)制成。
[0011]優(yōu)選的，所述球本體由硬鋁合金制成。
[0012]本發(fā)明還提供了一種光源，包括氘燈/或氙燈以及上述的積分球，所述氘燈/或氙燈設(shè)置于所述積分球的入射口以向所述積分球射入光線。其中，氘燈在120nm?200nm波段范圍具有較強(qiáng)能量；氣燈在200nm?400nm波段范圍具有較強(qiáng)能量；因此使用者可以根據(jù)需要設(shè)置氘燈，或者設(shè)置氙燈，以根據(jù)120nm?400nm波段的不同使用要求提供具有較高能量的紫外-真空紫外均勻光源。
[0013]優(yōu)選的，若采用了氘燈，則采用所述氘燈的出射光F數(shù)為4.5?6，同時，作為一種優(yōu)選，該氘燈選用50?150W功率光源；若采用了氙燈，則采用所述氙燈的出射光F數(shù)為4?6，同時，作為一種優(yōu)選，該氙燈選用150?500W功率光源。
[0014]優(yōu)選的，若采用了氘燈，則采用所述氘燈的出射光F數(shù)為4.5，同時，作為一種優(yōu)選，該氘燈選用150W大功率光源；若采用了氙燈，則采用所述氙燈的出射光F數(shù)為4，同時，作為一種優(yōu)選，該氙燈選用150W大功率光源。
[0015]本發(fā)明還提供了一種紫外-真空紫外成像光譜儀參數(shù)校準(zhǔn)方法，該方法中校準(zhǔn)采用的光源為權(quán)利要求以上所述的光源。
[0016]采用本發(fā)明的技術(shù)方案通過在積分球內(nèi)壁設(shè)置反射層，對光具有更高的反射率，提高了能量利用率，并且使得出射光均有更高的均勻性；而保護(hù)層的設(shè)置能夠有效防止反射層在使用中因氧化等原因而不具耐久性，氘燈/或氙燈的設(shè)置則使得在120nm?400nm波段使用者可以根據(jù)具體需要進(jìn)行不同組合以滿足不同的要求。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0018]圖1為本發(fā)明實(shí)施例1中積分球的剖面圖。
[0019]圖2為本發(fā)明實(shí)施例3中光源的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖3為本發(fā)明實(shí)施例4中光源的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0021]下面參照附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施例。在本發(fā)明的一個附圖或一種實(shí)施方式中描述的元素和特征可以與一個或者更多個其他附圖或?qū)嵤┓绞街惺境龅脑睾吞卣飨嘟Y(jié)合。應(yīng)當(dāng)注意，為了清楚目的，附圖和說明中省略了與本發(fā)明無關(guān)的、本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的部件和處理的表示和描述。
[0022]實(shí)施例1:
[0023]如圖1所示，為本發(fā)明的積分球的剖面圖。其中，I為球本體，2為反射層，3為保護(hù)層，4為出射口，5為入射口。入射口 5以及出射口 4均設(shè)置于球本體I分別用以輸入和輸出光線。反射層2設(shè)置于球本體I內(nèi)壁，用以減少球本體I內(nèi)壁對光的吸收。保護(hù)層3設(shè)置于反射層2內(nèi)壁，用以保護(hù)反射層2，防止其由于氧化等作用的影響而不具有耐久性。在本實(shí)施例中，反射層2為由噴涂有鋁粉的鋁粉涂層。隔離層3為蒸鍍有氟化鎂的氟化鎂鍍層。入射口 5與出射口 4的夾角為90°。
[0024]實(shí)施例2:
[0025]在本實(shí)施例中入射口 5與出射口 4的夾角為135°。積分球直徑為Φ 220mm，入射口 5尺寸為Φ50mm，出射口 4尺寸為Φ80πιπι。其他與實(shí)施例1相同，在此不再贅述。
[0026]實(shí)施例3:
[0027]如圖2所示，為本發(fā)明的光源的一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，該光源包括氘燈以及上述的積分球，該氖燈設(shè)置于積分球的入射口 5以向積分球射入光線。在本實(shí)施例中氘燈的出射光F數(shù)為4.5，且該氘燈選用150W大功率光源。使用者可根據(jù)需要選擇出射光F數(shù)為4.5?6氘燈，同時，該氘燈選用50?150W功率光源均可。
[0028]實(shí)施例4:
[0029]如圖3所示，為本發(fā)明的光源的一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，該光源包括氙燈以及上述的積分球，該氣燈設(shè)置于積分球的入射口 5以向積分球射入光線。在本實(shí)施例中氙燈的出射光F數(shù)為4，且該氙燈選用150W大功率光源。使用者可根據(jù)需要選擇出射光F數(shù)為4?6的氙燈，同時，該氙燈選用150?500W功率光源均可。
[0030]本發(fā)明還提供了一種紫外-真空紫外成像光譜儀參數(shù)校準(zhǔn)方法，該方法在校準(zhǔn)時采用的光源為上述的光源。使用者可以根據(jù)需要設(shè)置在120nm?200nm波段范圍具有較強(qiáng)能量的氘燈，或者設(shè)置在200nm?400nm波段范圍具有較強(qiáng)能量的氙燈，且內(nèi)壁設(shè)置有反射層以及保護(hù)層的積分球?qū)饩哂懈叩姆瓷渎?，提高了能量利用率，并且使得出射光均有更高的均勻性同時也具有更好的耐久性。
[0031]雖然已經(jīng)詳細(xì)說明了本發(fā)明及其優(yōu)點(diǎn)，但是應(yīng)當(dāng)理解在不超出由所附的權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下可以進(jìn)行各種改變、替代和變換。而且，本申請的范圍不僅限于說明書所描述的過程、設(shè)備、手段、方法和步驟的具體實(shí)施例。本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員從本發(fā)明的公開內(nèi)容將容易理解，根據(jù)本發(fā)明可以使用執(zhí)行與在此所述的相應(yīng)實(shí)施例基本相同的功能或者獲得與其基本相同的結(jié)果的、現(xiàn)有和將來要被開發(fā)的過程、設(shè)備、手段、方法或者步驟。因此，所附的權(quán)利要求旨在它們的范圍內(nèi)包括這樣的過程、設(shè)備、手段、方法或者步驟。
【權(quán)利要求】
1.一種積分球，包括球本體(I)，所述球本體(I)上開有分別用以輸入和輸出光線的入射口(5)以及出射口(4)，其特征在于，所述球本體(I)內(nèi)壁設(shè)置有反射層(2)，用以減少所述球本體(I)內(nèi)壁對光的吸收。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的積分球，其特征在于，所述反射層(2)為由噴涂有鋁粉的鋁粉涂層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的積分球，其特征在于，所述反射層(2)內(nèi)壁設(shè)置有保護(hù)層(3)，用以保護(hù)所述反射層(2)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的積分球，其特征在于，所述隔離層(3)為蒸鍍有氟化鎂的氟化鎂鍍層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的積分球，其特征在于，所述入射口(5)與出射口(4)的夾角為90 ?135°。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的積分球，其特征在于，所述入射口(5)與出射口(4)的夾角為90。。
7.一種光源，其特征在于，包括氘燈/或氙燈以及權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的積分球，所述氘燈/或氙燈設(shè)置于所述積分球的入射口(5)以向所述積分球射入光線。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的積分球，其特征在于，所述氘燈的出射光F數(shù)為4.5?6，并且/或所述氙燈出射光F數(shù)為4?6。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的積分球，其特征在于，所述氘燈的出射光F數(shù)為4.5，并且/或所述氙燈出射光F數(shù)為4。
10.一種紫外-真空紫外成像光譜儀參數(shù)校準(zhǔn)方法，其特征在于，校準(zhǔn)采用的光源為權(quán)利要求7所述的光源。
【文檔編號】G01J3/10GK104501952SQ201410705359
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年12月1日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月1日
【發(fā)明者】孫廣尉, 王加朋, 任小婉 申請人:北京振興計量測試研究所