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一種芯片級(jí)核磁共振原子陀螺儀表頭的制造方法與工藝

文檔序號(hào):11623560閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種芯片級(jí)核磁共振原子陀螺儀表頭,包括密閉結(jié)構(gòu),位于密閉結(jié)構(gòu)內(nèi)的激光光源、光學(xué)組件、光電探測(cè)器件、MEMS原子泡玻璃,所述激光光源為兩個(gè),光學(xué)組件也為兩個(gè)并分別位于激光光源下方,MEMS原子泡玻璃位于光學(xué)組件下方,光學(xué)探測(cè)器件為兩個(gè),其中一個(gè)位于MEMS原子泡玻璃下方并位于其中一個(gè)激光光源正下方,另一個(gè)位于MEMS原子泡玻璃上方,所述MEMS原子泡玻璃內(nèi)設(shè)有兩個(gè)硅基反射面,所述其中一個(gè)激光光源所產(chǎn)生的光束經(jīng)過其中一個(gè)硅基反射面后反射至另一個(gè)硅基反射面后反射至另一個(gè)光學(xué)探測(cè)器件。本發(fā)明結(jié)構(gòu)特殊,解決了現(xiàn)有陀螺儀表頭磁場(chǎng)波動(dòng)大、測(cè)量精度不高的問題,并且體積小,應(yīng)用廣泛。

技術(shù)研發(fā)人員:杜潤(rùn)昌;劉小赤
受保護(hù)的技術(shù)使用者:成都天奧電子股份有限公司
文檔號(hào)碼:201410604174
技術(shù)研發(fā)日:2014.10.30
技術(shù)公布日:2017.07.28

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