傳感器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種傳感器，其具有傳感器元件和尤其是用于加熱所述傳感器元件的加熱元件，其中所述傳感器元件具有可暴露于要測量物質(zhì)的前電極和相對電極，其中所述傳感器元件、尤其是所述前電極和所述相對電極能通過電接觸部被電接觸，尤其是其中所述加熱元件具有導電加熱結(jié)構(gòu)，其中所述導電加熱結(jié)構(gòu)、所述前電極、所述相對電極中的至少一個和所述電接觸部之一至少部分地由多個彼此連接的顆粒（12,14,24）構(gòu)成，其中所述顆粒（12,14,24）至少部分地由貴金屬或貴金屬合金構(gòu)成。這樣的傳感器、尤其是氣體傳感器或顆粒傳感器在良好性能的情況下允許改善的可制造性。
【專利說明】傳感器

【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種傳感器、譬如氣體傳感器、例如廢氣傳感器。

【背景技術(shù)】
[0002]許多應用需要并使用傳感器。例如，傳感器用作為廢氣傳感器，例如用作為Lambda探頭、譬如Lambda躍變探頭(Sprungsonde)、Lambda寬帶探頭或者氮氧化物傳感器。
[0003]這樣的傳感器常常包括作為有源元件的傳感器元件以及可將傳感器的有源傳感器元件加熱的加熱裝置。在此，在所述傳感器元件的情況下常常使用電極，所述電極施加在電解質(zhì)上，并且基于可能的催化活性以及金屬表面上的可能的氧傳輸而與要測量的物質(zhì)接觸，并且還與電解質(zhì)接觸以用于裝入或放出氧。因此，電極的材料的共同點是即使在高溫下仍盡可能高度地耐氧化或耐腐蝕。
[0004]因此公知的是，電極由作為電極材料的貴金屬制成。這樣的電極于是即使在提高的溫度下仍可以相對于腐蝕是足夠穩(wěn)定的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的主題是一種傳感器，其具有傳感器元件以及尤其是用于加熱傳感器元件的加熱元件，其中傳感器元件具有可暴露于要測量物質(zhì)的前電極和相對電極，其中傳感器元件、尤其是前電極和相對電極能夠通過電接觸部被電接觸，尤其是其中加熱元件具有導電加熱結(jié)構(gòu)，其中導電加熱結(jié)構(gòu)、前電極、相對電極中的至少一個和電接觸部至少之一至少部分地由多個彼此連接的顆粒構(gòu)成，其中顆粒至少部分地由貴金屬或貴金屬合金構(gòu)成。
[0006]這樣的傳感器尤其是可以低成本地制造，其中傳感器的選擇性和靈敏度同樣是高的。
[0007]為此，傳感器首先包括傳感器元件。在此，可以以公知方式將傳感器元件理解成傳感器的有源測量元件。例如而非限制地，傳感器元件可以基于本身為對于專業(yè)人員來說針對氣體傳感器、諸如Lambda探頭或氮氧化物傳感器所公知的構(gòu)造。在此，這樣的傳感器元件可以具有可暴露于要測量物質(zhì)的前電極和相對電極，其中傳感器元件、尤其是前電極和相對電極可以通過電接觸部被電接觸。在此，相對電極可以示例性地被構(gòu)造成背電極，或者布置為與前電極相鄰。在此，用語“前電極”和“相對電極”在本發(fā)明的意義上不應理解為限制性的。因此，以對于專業(yè)人員可清楚認識到的方式，可以設置僅僅一個前電極或任意多個前電極和/或僅僅一個相對電極或任意多個相對電極，其中所述特征可以以適當方式針對各一個前電極和/或相對電極或者針對任意多個前電極和/或相對電極來設置。純粹示例性地，可以針對寬帶Lambda探頭設置3至4個電極，諸如內(nèi)泵電極、外泵電極、能斯特電極、參考電極。
[0008]因此，可以針對這樣的傳感器以本身公知的方式將前電極尤其是構(gòu)造為在與要測量的物質(zhì)、譬如要測量的氣體相互作用的情況下影響傳感器元件的可改變的電特性。在此，可改變的電特性例如可以包括傳感器元件的電容值、電導值或電阻值。所述特性也可以是通過薄層離子導體的能斯特電壓或泵電流，其中例如Lambda躍變探頭情況下的電壓和用于Lambda寬帶傳感器的電流可以是優(yōu)選的。在此，特定值可以依賴于氣體的類型以及濃度，使得可以進行定性以及定量的測量。為了檢測可改變電特性的特定值，電接觸部可以將前電極和相對電極與對應的測量設備接觸。
[0009]另外，傳感器或例如傳感器元件尤其是具有用于對傳感器元件進行加熱的加熱元件。該加熱元件尤其是可以用于生成恒定的測量溫度。在此，可選的加熱元件尤其是包括導電加熱結(jié)構(gòu)。在此，加熱結(jié)構(gòu)可以作為加熱裝置的這樣的有源部分，并且因此譬如施加加熱所需的熱。在此，尤其是可以將導電加熱結(jié)構(gòu)理解成這樣的結(jié)構(gòu):該結(jié)構(gòu)可以具有例如處于5歐姆電阻范圍中的電導率，并且在電流導通的情況下尤其是可以生成對于所期望的應用或所期望的熱容而言足夠的焦耳熱。從前面可以看出，加熱結(jié)構(gòu)或其電阻值等等可以與傳感器的所期望的應用領域相匹配，因此確切的擴展方案可以以對于專業(yè)人員可理解的方式強烈變動。
[0010]另外，在前述傳感器的情況下規(guī)定:導電加熱結(jié)構(gòu)、前電極、相對電極中的至少一個和電接觸部之一至少部分地由貴金屬或貴金屬合金構(gòu)成。在此，導電加熱結(jié)構(gòu)、前電極、相對電極和/或至少一個電接觸部還至少部分地由多個彼此連接的顆粒構(gòu)成，其中顆粒至少部分地由貴金屬或貴金屬合金構(gòu)成。
[0011]在此，由彼此連接的、也即尤其是導電地彼此連接的顆粒構(gòu)成的前述構(gòu)造與根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的導電加熱結(jié)構(gòu)、前電極、相對電極和電接觸部的分別實心的構(gòu)造相比實現(xiàn)了顯著優(yōu)點。
[0012]關(guān)于這些顆粒,所述顆粒至少部分地由貴金屬或貴金屬合金構(gòu)造。在此，貴金屬合金可以是如下的合金:該合金具有貴金屬和至少一種另外的金屬或者多種貴金屬，例如可以僅僅由貴金屬構(gòu)成。
[0013]首先，可以通過前述構(gòu)造實現(xiàn)顯著的成本優(yōu)點。因為通過不再設置相應組件、即尤其是導電加熱結(jié)構(gòu)、前電極、相對電極和至少一個電接觸部的緊湊構(gòu)造，而是用彼此連接的顆粒來代替該組件，可以節(jié)省貴金屬的材料。即使在顆粒緊密地彼此連接并且在此譬如布置在密封包封中時，此外仍然設置有未被貴金屬或貴金屬合金填充的空間。由此為了生成相應結(jié)構(gòu)，需要的成本密集的貴金屬的量減少。
[0014]但是在此，顆粒彼此具有的接觸緊密得使得導電特性或熱特性不受影響或基本不受負面影響，使得傳感器的性能相對于制造成本而言繼續(xù)為特別高的。
[0015]此外，可以通過顆粒的具體構(gòu)造、其空間布置及其數(shù)目使得能夠?qū)щ娂訜峤Y(jié)構(gòu)、前電極、相對電極和電接觸部與所期望的應用領域特別良好地匹配。
[0016]在此，以對于專業(yè)人員可理解的方式，在相應地構(gòu)造前電極或相對電極的情況下，在此擴展方案在本發(fā)明的意義上被屬于電極的組件、如尤其是有源電極結(jié)構(gòu)、電極引線等等包括。在本發(fā)明的意義上，相應的情況適用于加熱結(jié)構(gòu)以及亦稱接觸墊的接觸部。
[0017]總之，在如前述構(gòu)造的傳感器的情況下，制造成本可以被顯著降低并且另外還可以將性能保持得高。
[0018]在一個擴展方案的范圍內(nèi)，顆?？梢灾辽俨糠值?、即已有顆粒的至少一部分可以具有芯和至少部分地、尤其是完全包圍芯的包封體，所述芯具有導電材料，所述包封體具有貴金屬或貴金屬合金，其中貴金屬或貴金屬合金不同于芯的導電材料。在該擴展方案中，可以實現(xiàn)仍進一步改善的成本減小以及還有進一步改善的與所期望的領用領域的匹配。
[0019]尤其是，所述包封體可以僅僅由貴金屬或貴金屬合金構(gòu)成，例如組成。因此，僅僅需要相應組件的非常小的份額由成本密集的材料制成。在此，芯可以由任意導電材料、例如金屬制成，該導電材料可以比尤其是貴金屬或貴金屬合金明顯成本更低。在此，芯僅僅需要高達傳感器的工作范圍的一定溫度穩(wěn)定性以及對電極或接觸部來說相應良好的或?qū)訜峤Y(jié)構(gòu)而言足夠小的電導率。在此，所希望的電導率的精確值可以根據(jù)所期望的應用領域和所期望的性能數(shù)據(jù)來選擇。在此，連續(xù)的熱傳導性以及電傳導性尤其是可以通過顆粒彼此的固定連接來進行。所述傳導性在此可以通過包封體的材料以及芯的材料來實現(xiàn)。
[0020]另外，通過芯的包封體至少部分地、優(yōu)選完全地包封芯，可以保護芯免受在使用傳感器時的測量條件的影響。顆粒例如相對于腐蝕性侵蝕的穩(wěn)定性因此也可以在穩(wěn)定性更低的芯材料的情況下得到保持。
[0021]此外,在亦稱芯一包封體一顆粒的前述顆粒結(jié)構(gòu)的情況下,貴金屬或貴金屬合金與要探測物質(zhì)和與電解質(zhì)接觸，使得與要探測的成分以及與電解質(zhì)的相互作用以及由此傳感器的性能不受限制。因此，為了探測，與實心電極可比較地，例如可以實現(xiàn)貴金屬或貴金屬合金針對與要探測成分的催化反應的催化活性，并且氣體、譬如氧到包封體表面中的擴散也可以得到保持。
[0022]關(guān)于這樣的顆粒的制造，這例如可以如在M.Neergat, J.的“Electrochem”(Soc., 2012，卷159，期號7)中所述那樣進行。例如，具有芯和帶優(yōu)選與芯不同的材料的包封體的顆?？梢园慈缦路绞街圃?。金屬鹽可以在溶液中被還原，由此產(chǎn)生純金屬作為芯。然后，包封體的金屬可以作為鹽被添加，然后該鹽在例如較不貴重的芯金屬的表面處被還原并且沉積在芯的表面上?？商娲?，合適大小的芯可以通過本身公知的例如物理沉積法或化學沉積法來鍍層。
[0023]在另一擴展方案的范圍內(nèi)，芯可以具有選自由下列各項構(gòu)成的組的金屬:銅(Cu)、鈦(Ti)、鉻(Cr)、錳(Mn)、鐵(Fe)、鈷(Co)、鎳(Ni)、鋯(Zr)、鑰(Mo)、鎢(W)、鋨(Os)，其中前述金屬示例性地在使用鉬或銠的情況下可以適于作為包封材料，并且在此可以至少部分地例如與鉬相比帶來顯著的成本優(yōu)點。芯的另外的材料包括釩(V)和鉭(Ta)，它們同樣可以允許成本節(jié)省并且示例性地可以有利地與鈀(Pd)相組合作為包封體的材料。另外，芯可以由銀構(gòu)成，其中銀的特點是價格、傳導性和氧化穩(wěn)定性。此外，具有前述金屬中的一種或多種的合金可以適于作為芯材料?？商娲鼗蚋郊拥?，包封體可以具有選自由下列各項構(gòu)成的組的金屬:鉬(Pt)、銠(Rh)、鈀(Pd)或具有前述金屬中的一種或多種的合金。
[0024]尤其是銅特別有利地適于作為芯材料，因為銅具有良好的電傳導性并因此可以特別有利地實現(xiàn)傳感器的良好的性能。
[0025]另外，銅具有相對小的成本因素，使得也可以特別有利地減少成本。另外，尤其是鉬有利地適于作為包封體的唯一材料或者合金的組分，因為對于多種傳感器、尤其是對于氣體傳感器而言，鉬對于與要探測成分的相互作用的合適活性是合適的。此外，鉬具有良好的穩(wěn)定性，使得其可以特別良好地適于作為包封體并因此作為芯的保護體。
[0026]在加熱結(jié)構(gòu)的情況下，所期望的高或低的傳導性還可以通過印制導線的宏觀幾何結(jié)構(gòu)來調(diào)整。通過芯、包封體的大小改變或?qū)饘倩虿牧系倪x擇，可以實現(xiàn):也可以改變加熱器的電阻的溫度系數(shù)。
[0027]在另一擴展方案的范圍內(nèi)，包封體可以具有如下厚度:該厚度處于大于或等于相應貴金屬或貴金屬合金的原子層的厚度的范圍中。這樣的厚度可能足以實現(xiàn)充分的腐蝕穩(wěn)定性。在此，這樣的薄金屬層或合金層的可制造性原則上對于專業(yè)人員來說尤其是以名稱“超薄金屬膜”或“表面合金”(在合金的情況下)所公知的。
[0028]在另一擴展方案的范圍內(nèi)，芯半徑與顆粒半徑的比例處于大于或等于0.25的范圍中。換言之，內(nèi)芯的半徑r與總顆粒包封體的半徑R的比例可以處于r/R彡0.25、尤其是處于大于或等于0.5的范圍中、例如大于或等于0.9。在此，包封體的合適層厚度的示例性而非限制性的示例包括處于總顆粒的大約1nm和/或10nm的范圍中的值。相應地，包封體的厚度d與芯的半徑的比例d/r可以處于小于或等于3的范圍中。在此，前述值在非平坦厚度的情況下分別涉及半徑或厚度的平均值。在該擴展方案中，尤其是也可以在高溫下在同時成本低的可制造性的情況下實現(xiàn)非常好的電性能的優(yōu)點。
[0029]尤其是在該擴展方案中，尤其是在包封體完全包封或容納芯時已經(jīng)可以發(fā)揮對芯的適當?shù)谋Ｗo效果。但是在此，該層還可以具有可特別有效地降低傳感器成本的厚度。
[0030]在另一擴展方案的范圍內(nèi)，顆?？梢灾辽俨糠值?、即已有顆粒的至少一部分在其材料組成方面被構(gòu)造為均勻的。在該擴展方案中，顆粒因此不具有或至少不全部具有、即不是全部已有顆粒都具有由芯和包封體構(gòu)成的結(jié)構(gòu)，而是更確切地被構(gòu)造為均勻的并且因此沿著其直徑包括僅僅一種材料或一種材料組成，尤其是可以由一種材料、如貴金屬或貴金屬合金制成。在該擴展方案中，尤其是制造方法可以特別簡單地執(zhí)行，使得在該擴展方案中也已經(jīng)可以與緊湊組件相比實現(xiàn)明顯的成本節(jié)省。此外，該擴展方案可以在如下情況時是有利的:存在特別嚴酷的或侵蝕性的探測條件，該探測條件可能導致包封體盡管其原則上的穩(wěn)定性仍可能受到損傷。因為在該擴展方案中，在那時仍然沒有由相對不穩(wěn)定材料制成的芯露出，而是全部顆粒的所期望的穩(wěn)定性得到保持，并且即使在表面損傷的情況下仍然可靠地存在。
[0031]在另一擴展方案的范圍內(nèi)，顆?？梢跃哂刑幱诖笥诨虻扔?.5nm至小于或等于Imm范圍中的直徑D50。尤其是在該擴展方案中可以通過充分考慮的方法實現(xiàn)相應組件結(jié)構(gòu)的特別簡單的制造。此外，顆粒可以以非常厚的布置相互布置，使得傳感器的性能能力特別良好并且還實現(xiàn)突出的成本節(jié)省。
[0032]在另一擴展方案的范圍內(nèi)，顆粒可以具有多模態(tài)的大小分布。在此，尤其是應當將多模態(tài)的大小分布理解成:顆粒具有雙模態(tài)、三模態(tài)或多模態(tài)的大小分布。在雙模態(tài)的大小分布的情況下，例如可以在必要時通過如下方式提高包封厚度:較大顆粒形成一種具有空腔的框架或者基質(zhì)，其中較小顆粒充當一種“填充材料”并且可以布置在空腔中。由此，空腔的體積被減小，這附加地在加熱器/接觸墊的“宏觀外部”區(qū)域的腐蝕方面限制了侵蝕面積。較小顆粒在示例性雙模態(tài)分布情況下的可能但非限制性的直徑處于較大顆粒的直徑的大約10%。在此，全部顆粒都可以具有擁有包封體和芯或均勻芯的前述構(gòu)造。
[0033]可替代地可以規(guī)定，具有多模態(tài)大小分布的顆粒這樣存在，使得較小顆粒是僅由較大顆粒的包封材料或者由較大顆粒的芯材料構(gòu)造的。這可能已經(jīng)足夠了，因為在相對小的顆粒的情況下，節(jié)省可能性較小。在此，對相應顆粒的構(gòu)造的選擇可以根據(jù)相應大小來選擇。
[0034]另外，尤其是在電極材料的情況下可能有利的是，通過利用例如納米微粒的催化活性的大小依賴性來改善電極的催化活性。
[0035]在另一擴展方案的范圍內(nèi)，顆?？梢詷?gòu)成顆粒復合體，尤其是其中顆粒復合體具有處于大于或等于0.3 μ m至小于或等于3mm范圍中的大小。換言之，構(gòu)成顆粒復合體的顆?？梢砸郧笆龃笮〈嬖冢窃诖祟w粒復合體相應地更大。這樣的顆粒復合體可以基本上利用與顆?？杀容^的方法例如被加工成電極結(jié)構(gòu)，但是在此可以進一步具有優(yōu)點。例如，這樣的顆粒復合體可以具有減小的毒性。另外，可在該擴展方案中生成的電極例如可以在其特性和處理方面更好地與沒有納米結(jié)構(gòu)化的構(gòu)造的現(xiàn)有電極相匹配，這可以簡化更換。在此，為了制造這樣的復合體，可以將具有多個顆粒的顆粒復合體例如在封閉的設備中燒結(jié)，并且接著通過研磨被置于合適的大小。在此，構(gòu)成顆粒復合體的顆粒又可以構(gòu)造為均勻的或者具有擁有芯和包封體的結(jié)構(gòu)。在該擴展方案中，前面和后面針對顆粒所描述的特征因此尤其是可以用于形成顆粒復合體的小顆粒。
[0036]在另一擴展方案的范圍內(nèi)，顆粒以及必要時顆粒復合體可以被燒結(jié)。尤其是通過經(jīng)燒結(jié)的顆粒，可以實現(xiàn)顆粒結(jié)構(gòu)的高穩(wěn)定性，因為各個顆粒彼此牢固地粘接。在此，后者同樣可以導致相應組件以及由此整個傳感器的性能能力可以是特別高的。此外，尤其是可以通過燒結(jié)顆粒來實現(xiàn)具有高氣密性的總結(jié)構(gòu)，這尤其對于氣體傳感器可以是有利的。在此，所期望的結(jié)構(gòu)例如可以作為分散在溶劑中的顆粒的膏體而存在，所述膏體被涂覆(例如滾刷或印刷)到襯底上，譬如在電極的情況下被涂覆(例如滾刷或印刷)到電解質(zhì)上或者被涂覆(例如滾刷或印刷)到陶瓷襯底上，并且然后在提高的溫度下經(jīng)歷燒結(jié)過程，以便獲得最終結(jié)構(gòu)。
[0037]在另一擴展方案的范圍內(nèi)，傳感器可以是氣體傳感器或顆粒傳感器、尤其是廢氣傳感器。尤其是對于廢氣傳感器來說，前述傳感器可以有利地適用，因為這樣的傳感器常常需要貴金屬或貴金屬合金作為催化活性物質(zhì)，其因此允許高度的成本節(jié)省。在此，廢氣傳感器的非限制性示例是布置在車輛的廢氣系統(tǒng)中的傳感器，例如用于表征燃燒氣體中的殘余氧份額的氣體傳感器，尤其是躍變和寬帶Lambda探頭、顆粒傳感器或氮氧化物傳感器(NOx)傳感器。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0038]根據(jù)本發(fā)明的主題的另外的優(yōu)點和有利擴展方案通過附圖來解釋并在下面的描述中予以闡述。在此應當注意，附圖僅僅具有描述性特征，而不應認為以任何形式限制本發(fā)明。其中:
圖1示出了電解質(zhì)結(jié)構(gòu)的示意圖，在該電解質(zhì)結(jié)構(gòu)上布置有顆粒的不同構(gòu)造以用于生成根據(jù)本發(fā)明的傳感器；和
圖2示出了導電層的截面的示意性視圖，該導電層具有擁有芯和包封體的顆粒。

【具體實施方式】
[0039]在圖1中示出了電解質(zhì)10,在該電解質(zhì)10上示例性地示出了顆粒12、14、24，所述顆粒根據(jù)圖1可以被構(gòu)造成傳感器的電極。
[0040]要這樣生成的傳感器包括傳感器元件以及尤其是用于對傳感器元件進行加熱的加熱元件，其中傳感器元件具有可暴露于要測量物質(zhì)的前電極和相對電極，其中傳感器元件、尤其是前電極和相對電極能夠通過電接觸部被電接觸，其中加熱元件具有導電加熱結(jié)構(gòu)。在圖1中現(xiàn)在純粹示例性地示出了顆粒12、14、24，所述顆粒布置在電解質(zhì)10上并且在此尤其是在設置有多個這樣的顆粒12、14或24的情況下可以構(gòu)成電極結(jié)構(gòu)。以專業(yè)人員可理解的方式，所示顆?？梢砸员舜诉B接的大數(shù)量同樣地構(gòu)成接觸部或加熱結(jié)構(gòu)。
[0041]圖1中所述的顆粒在其材料組成方面被構(gòu)造為均勻的，根據(jù)圖1由僅僅一種材料、例如由鉬制成。
[0042]圖1中所示的顆粒14具有:芯18，其具有導電材料；和至少部分包圍芯18的包封體20，其具有貴金屬或貴金屬合金。在此，芯18可以具有選自由下列各項構(gòu)成的組的金屬:銅(Cu)、鈦(Ti)、鉻(Cr)、錳(Mn)、鐵(Fe)、鈷(Co)、鎳(Ni)、鋯(Zr)、鑰(Mo)、鎢(W)、鋨(Os)、釩(V)和鉭(Ta)、銀(Ag)或具有前述金屬至少之一的合金，和/或包封體20可以具有選自由下列各項構(gòu)成的組的金屬:鉬(Pt)、銠(Rh)、鈀(Pd)或具有前述金屬至少之一的合金。另外，包封體可以具有處于大于或等于原子層范圍中的厚度。
[0043]圖2中示出了具有顆粒14的層的截面，所述顆粒14例如構(gòu)成電極結(jié)構(gòu)22、或者接觸部或者加熱元件。能夠認識到，芯18通過包封體20例如通過燒結(jié)過程彼此連接。在此，與顆粒的包封相對應的自由空間保持開放，或者整個自由空間可以通過貴金屬或貴金屬合金封閉。
[0044]圖1中所示的顆粒24還形成顆粒復合體16，該顆粒復合體16因此由顆粒24構(gòu)成。在此，顆粒24可以被構(gòu)造成均勻顆粒12或者優(yōu)選地構(gòu)造成具有芯18和包封體20的顆粒14。
[0045]原則上，顆粒12、14、24可以具有處于大于或等于1.5nm至小于或等于Imm范圍中的直徑D50，其中尤其是由多個顆粒24構(gòu)成的顆粒復合體16可以具有處于大于或等于
0.3μπι至小于或等于Imm范圍中的大小。另外，顆粒12、14、24可以在完成的結(jié)構(gòu)中具有多模態(tài)的大小分布。
【權(quán)利要求】
1.傳感器，具有傳感器元件和尤其是用于加熱所述傳感器元件的加熱元件，其中所述傳感器元件具有能暴露于要測量物質(zhì)的前電極和相對電極，其中所述傳感器元件、尤其是所述前電極和所述相對電極能夠通過電接觸部被電接觸，尤其是其中所述加熱元件具有導電加熱結(jié)構(gòu)，其中所述導電加熱結(jié)構(gòu)、所述前電極、所述相對電極中的至少一個和所述電接觸部之一至少部分地由多個彼此連接的顆粒(12，14，24)構(gòu)成，其中所述顆粒(12，14，24)至少部分地由貴金屬或貴金屬合金構(gòu)成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其中顆粒(14，24)至少部分地具有芯(18)和至少部分地包圍芯(18 )的包封體(20 )，所述芯(18 )具有導電材料，并且所述包封體(20 )具有貴金屬或貴金屬合金。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器，其中芯(18)具有選自由下列各項構(gòu)成的組的金屬:銅(Cu)、鈦(Ti)、鉻(Cr)、錳(Mn)、鐵(Fe)、鈷(Co)、鎳(Ni)、鋯(Zr)、鑰(Mo)、鎢(W)、鋨(Os)、釩(V)和鉭(Ta)、銀(Ag)或具有前述金屬至少之一的合金，和/或其中包封體(20)具有選自由下列各項構(gòu)成的組的金屬:鉬(Pt)、銠(Rh)、鈀(Pd)或具有前述金屬中的至少一種或多種的合金。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的傳感器，其中芯半徑與顆粒半徑的比例處于大于或等于0.25的范圍中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4之一所述的傳感器，其中顆粒(12)被構(gòu)造為至少部分地在其材料組成方面是均勻的。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5之一所述的傳感器，其中顆粒(12，14，24)具有處于大于或等于1.5nm至小于或等于Imm范圍中的直徑D50。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6之一所述的傳感器，其中顆粒(12，14，24)具有多模態(tài)的大小分布。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7之一所述的傳感器，其中顆粒(24)構(gòu)成顆粒復合體(16)，尤其是其中顆粒復合體(16)具有處于大于或等于0.3 μ m至小于或等于3mm范圍中的大小。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8之一所述的傳感器，其中顆粒(12，14，24)是經(jīng)燒結(jié)的。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9之一所述的傳感器，其中所述傳感器是氣體傳感器或顆粒傳感器。
【文檔編號】G01N27/407GK104237355SQ201410247919
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年6月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月7日
【發(fā)明者】諾爾特 P. 申請人:羅伯特·博世有限公司