對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的方法及設(shè)備的制作方法
【專利摘要】一種對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的方法及設(shè)備。所述方法包括：獲取至少一個(gè)真空規(guī)管測(cè)得的腔體的真空度及真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓；根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓及真空規(guī)管測(cè)得的真空度確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體的類型；根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制質(zhì)譜儀動(dòng)作。根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)崟r(shí)測(cè)量主要器件所在腔體的真空度并根據(jù)測(cè)量的腔體的真空度控制質(zhì)譜儀動(dòng)作以保護(hù)質(zhì)譜儀的關(guān)鍵器件。
【專利說(shuō)明】對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的方法及設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及質(zhì)譜儀【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地講，涉及一種對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的方法及設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]質(zhì)譜儀是用來(lái)分離和檢測(cè)不同同位素的儀器。質(zhì)譜儀的工作原理為:在真空條件下將樣品氣化、電離成離子束，經(jīng)電壓加速和聚焦，然后通過(guò)磁場(chǎng)電場(chǎng)區(qū)，不同質(zhì)量的離子受到磁場(chǎng)電場(chǎng)的偏轉(zhuǎn)不同，聚焦在不同的位置，從而獲得不同同位素的質(zhì)量譜。因此，質(zhì)譜儀在工作時(shí)，要確保質(zhì)譜儀的主要器件(例如，檢測(cè)器等)所在的腔體的真空度在預(yù)定范圍內(nèi)，以保證測(cè)量準(zhǔn)確、主要器件不受損壞等。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的方法及設(shè)備，其能夠?qū)崟r(shí)測(cè)量主要器件所在腔體的真空度并根據(jù)測(cè)量的腔體的真空度控制質(zhì)譜儀動(dòng)作以保護(hù)質(zhì)譜儀的關(guān)鍵器件。
[0004]本發(fā)明的一方面提供一種對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的方法，包括:獲取至少一個(gè)真空規(guī)管測(cè)得的腔體的真空度及真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓；根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓及真空規(guī)管測(cè)得的真空度確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體的類型；根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制質(zhì)譜儀動(dòng)作。
[0005]可選地，所述腔體的類型包括接口腔體、透鏡腔體和檢測(cè)器腔體，其中，接口腔體是接口所在的腔體、透鏡腔體是透鏡所在的腔體、檢測(cè)器腔體是檢測(cè)器所在的腔體。
[0006]可選地，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制質(zhì)譜儀動(dòng)作的步驟包括:根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟，其中，所述閥門是位于接口腔體與透鏡腔體之間的閥門。
[0007]可選地，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟的步驟包括:當(dāng)任意一真空規(guī)管測(cè)得的真空度大于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第一真空度閾值時(shí)，控制閥門關(guān)閉。
[0008]可選地，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟的步驟包括:當(dāng)接收到用戶開(kāi)啟閥門的操作時(shí)，確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值；當(dāng)確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值時(shí)，控制閥門開(kāi)啟。
[0009]可選地，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟的步驟包括:當(dāng)任意一真空規(guī)管測(cè)得的真空度大于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第三真空度閾值時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器關(guān)閉。
[0010]可選地，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟的步驟包括:當(dāng)接收到用戶開(kāi)啟透鏡和/或檢測(cè)器的操作時(shí)，確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值；當(dāng)確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器開(kāi)啟。
[0011]可選地，所述的方法還包括:根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓確定該真空規(guī)管的類型；根據(jù)低真空規(guī)管測(cè)得的真空度控制高真空規(guī)管開(kāi)啟。
[0012]本發(fā)明的另一方面提供一種對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的設(shè)備，包括:獲取單元，獲取至少一個(gè)真空規(guī)管測(cè)得的腔體的真空度及真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓；腔體類型確定單元，根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓及真空規(guī)管測(cè)得的真空度確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體的類型；控制單元，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制質(zhì)譜儀動(dòng)作。
[0013]可選地，所述腔體的類型包括接口腔體、透鏡腔體和檢測(cè)器腔體，其中，接口腔體是接口所在的腔體、透鏡腔體是透鏡所在的腔體、檢測(cè)器腔體是檢測(cè)器所在的腔體。
[0014]可選地，控制單元根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟，其中，所述閥門是位于接口腔體與透鏡腔體之間的閥門。
[0015]可選地，控制單元包括:閥門關(guān)閉控制單元，當(dāng)任意一真空規(guī)管測(cè)得的真空度大于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第一真空度閾值時(shí)，控制閥門關(guān)閉。
[0016]可選地，控制單元包括:第一確定單元，當(dāng)接收到用戶開(kāi)啟閥門的操作時(shí)，確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值；閥門開(kāi)啟控制單元，當(dāng)確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值時(shí)，控制閥門開(kāi)啟。
[0017]可選地，控制單元包括:器件關(guān)閉控制單元，當(dāng)任意一真空規(guī)管測(cè)得的真空度大于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第三真空度閾值時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器關(guān)閉。
[0018]可選地，控制單元包括:第二確定單元，當(dāng)接收到用戶開(kāi)啟透鏡和/或檢測(cè)器的操作時(shí)，確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值；器件開(kāi)啟控制單元，當(dāng)確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器開(kāi)啟。
[0019]可選地，所述的設(shè)備還包括:規(guī)管類型確定單元，根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓確定該真空規(guī)管的類型；高真空規(guī)管控制單元，根據(jù)低真空規(guī)管測(cè)得的真空度控制高真空規(guī)管開(kāi)啟。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制方法及設(shè)備，其能夠?qū)崟r(shí)測(cè)量主要器件所在腔體的真空度并根據(jù)測(cè)量的腔體的真空度控制質(zhì)譜儀動(dòng)作以保護(hù)質(zhì)譜儀的關(guān)鍵器件。
[0021]將在接下來(lái)的描述中部分闡述本發(fā)明總體構(gòu)思另外的方面和/或優(yōu)點(diǎn)，還有一部分通過(guò)描述將是清楚的，或者可以經(jīng)過(guò)本發(fā)明總體構(gòu)思的實(shí)施而得知。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]通過(guò)下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例進(jìn)行的描述，本發(fā)明的這些和/或其他方面和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚和更易于理解，其中:
[0023]圖1示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的方法的流程圖。
[0024]圖2示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的設(shè)備的框圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0025]現(xiàn)在對(duì)本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)的描述，其示例表示在附圖中。下面通過(guò)參照附圖對(duì)實(shí)施例進(jìn)行描述以解釋本發(fā)明。
[0026]圖1示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的方法的流程圖。
[0027]如圖1所示，在步驟101，獲取至少一個(gè)真空規(guī)管測(cè)得的腔體的真空度及真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓。
[0028]每個(gè)真空規(guī)管被布置在質(zhì)譜儀的一個(gè)腔體內(nèi)，以測(cè)量該腔體的真空度。所述腔體的類型可以是接口腔體、透鏡腔體、檢測(cè)器腔體等，其中，接口腔體是接口所在的腔體、透鏡腔體是透鏡所在的腔體、檢測(cè)器腔體是檢測(cè)器所在的腔體。
[0029]優(yōu)選地，所述腔體的類型包括接口腔體、透鏡腔體和檢測(cè)器腔體。
[0030]應(yīng)該理解，可使用現(xiàn)有的方法獲取至少一個(gè)真空規(guī)管測(cè)得的腔體的真空度及真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓，在此不再贅述。
[0031]在步驟102，根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓及真空規(guī)管測(cè)得的真空度確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體的類型。
[0032]應(yīng)該理解，每個(gè)真空規(guī)管被布置在質(zhì)譜儀的一個(gè)腔體內(nèi)，以測(cè)量該腔體的真空度。高真空規(guī)管被布置在需要高真空規(guī)管測(cè)量真空度的腔體(例如，檢測(cè)器腔體)內(nèi)，低真空規(guī)管被布置在需要低真空規(guī)管測(cè)量真空度的腔體(例如，接口腔體)內(nèi)。由于不同類型的真空規(guī)管的內(nèi)部識(shí)別電阻不同(例如，高真空規(guī)管的內(nèi)部識(shí)別電阻約為100千歐，低真空規(guī)管的內(nèi)部識(shí)別電阻約為27千歐)，真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓也就不同，因此，可以根據(jù)該真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體的類型。
[0033]在一個(gè)示例中，當(dāng)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓在第一預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體是接口腔體，當(dāng)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓在第二預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體是檢測(cè)器腔體或透鏡腔體。例如，當(dāng)一真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓為1.06V時(shí)，確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體是接口腔體，當(dāng)一真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓為2.5V時(shí)，確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體是檢測(cè)器腔體或透鏡腔體。
[0034]應(yīng)該理解，因?yàn)闇y(cè)量透鏡腔體和檢測(cè)器腔體的真空規(guī)管都是高真空規(guī)管、測(cè)量接口腔體的真空規(guī)管是低真空規(guī)管，所以根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓能確定真空規(guī)管所測(cè)量的腔體是接口腔體還是透鏡腔體和檢測(cè)器腔體，但不能區(qū)分透鏡腔體和檢測(cè)器腔體。然而，由于透鏡腔體和檢測(cè)器腔體是連通的，且檢測(cè)器腔體的真空度略低于透鏡腔體的真空度。因此，當(dāng)確定兩個(gè)真空規(guī)管測(cè)量的腔體是透鏡腔體或檢測(cè)器腔體時(shí)，通過(guò)比較兩個(gè)真空規(guī)管測(cè)得的真空度，來(lái)將兩個(gè)真空規(guī)管中測(cè)得的真空度較大的確定為透鏡腔體，將兩個(gè)真空規(guī)管中測(cè)得的真空度較小的確定為檢測(cè)器腔體。
[0035]在步驟103，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制質(zhì)譜儀動(dòng)作。
[0036]例如，在步驟101獲取一真空規(guī)管測(cè)得的腔體的真空度是450Pa，內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓是1.06V，在步驟102根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓1.06V確定了該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體的類型是接口腔體，因此，根據(jù)該真空規(guī)管測(cè)得的真空度(450Pa)及所測(cè)量的腔體的類型(即，接口腔體)控制質(zhì)譜儀動(dòng)作。
[0037]在一個(gè)實(shí)施例中，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟，其中，所述閥門是位于接口腔體與透鏡腔體之間的閥門。
[0038]在一個(gè)示例中，當(dāng)任意一真空規(guī)管測(cè)得的真空度大于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第一真空度閾值時(shí)，控制閥門關(guān)閉。
[0039]例如，當(dāng)一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(接口腔體的真空度)大于所測(cè)量的腔體的類型(接口腔體)對(duì)應(yīng)的第一真空度閾值(500Pa)時(shí)，控制閥門關(guān)閉。當(dāng)一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(透鏡腔體的真空度)大于所測(cè)量的腔體的類型(透鏡腔體)對(duì)應(yīng)的第一真空度閾值(IPa)時(shí)，控制閥門關(guān)閉。當(dāng)一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(檢測(cè)器腔體的真空度)大于所測(cè)量的腔體的類型(檢測(cè)器腔體)對(duì)應(yīng)的第一真空度閾值(9X 10_4Pa)時(shí)，控制閥門關(guān)閉。
[0040]在一個(gè)示例中，當(dāng)接收到用戶開(kāi)啟閥門的操作時(shí)，確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值。當(dāng)確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值時(shí)，控制閥門開(kāi)啟。
[0041]具體地說(shuō)，當(dāng)接收到用戶基于觸摸屏、計(jì)算機(jī)、控制按鈕等開(kāi)啟閥門的操作時(shí)，確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值，當(dāng)確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值時(shí)，控制閥門開(kāi)啟。
[0042]例如，當(dāng)確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值，即，一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(接口腔體的真空度)小于所測(cè)量的腔體的類型(接口腔體)對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值(300Pa)、一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(透鏡腔體的真空度)小于所測(cè)量的腔體的類型(透鏡腔體)對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值(IPa)、一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(檢測(cè)器腔體的真空度)小于所測(cè)量的腔體的類型(檢測(cè)器腔體)對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值(9X10_4Pa)時(shí)，控制閥門開(kāi)啟。
[0043]在一個(gè)示例中，當(dāng)任意一真空規(guī)管測(cè)得的真空度大于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第三真空度閾值時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器關(guān)閉。即，停止為透鏡和/或檢測(cè)器供電。
[0044]例如，當(dāng)一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(接口腔體的真空度)大于所測(cè)量的腔體的類型(接口腔體)對(duì)應(yīng)的第三真空度閾值(400Pa)時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器關(guān)閉。當(dāng)一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(透鏡腔體的真空度)大于所測(cè)量的腔體的類型(透鏡腔體)對(duì)應(yīng)的第三真空度閾值(IPa)時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器關(guān)閉。當(dāng)一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(檢測(cè)器腔體的真空度)大于所測(cè)量的腔體的類型(檢測(cè)器腔體)對(duì)應(yīng)的第三真空度閾值(9X 10_4Pa)時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器關(guān)閉。
[0045]在一個(gè)示例中，當(dāng)接收到用戶開(kāi)啟透鏡和/或檢測(cè)器的操作時(shí)，確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值。當(dāng)確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器開(kāi)啟。
[0046]例如，當(dāng)確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值，即，一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(接口腔體的真空度)小于所測(cè)量的腔體的類型(接口腔體)對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值(300Pa)、一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(透鏡腔體的真空度)小于所測(cè)量的腔體的類型(透鏡腔體)對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值(IPa)、一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(檢測(cè)器腔體的真空度)小于所測(cè)量的腔體的類型(檢測(cè)器腔體)對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值(9X 10_4Pa)時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器開(kāi)啟。
[0047]此外，還可將各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型發(fā)送到計(jì)算機(jī)和/或顯示器。
[0048]具體地說(shuō)，可使用有線或者無(wú)線的方式將各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型發(fā)送到計(jì)算機(jī)和/或顯示器，以便于用戶通過(guò)計(jì)算機(jī)和/或顯示器獲知每個(gè)類型的腔體的真空度。
[0049]在一個(gè)實(shí)施例中，對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的方法還包括:根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓確定該真空規(guī)管的類型，根據(jù)低真空規(guī)管測(cè)得的真空度控制高真空規(guī)管開(kāi)啟。
[0050]具體地說(shuō)，低真空規(guī)管上電后直接開(kāi)啟，根據(jù)低真空規(guī)管測(cè)得的真空度控制高真空規(guī)管開(kāi)啟。例如，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管測(cè)得的真空度小于預(yù)定閾值(例如，0.1Pa)時(shí)，控制高真空規(guī)管開(kāi)啟。
[0051]圖2示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的設(shè)備的框圖。
[0052]如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的設(shè)備200包括:獲取單元210、腔體類型確定單元220和控制單元230。
[0053]獲取單元210獲取至少一個(gè)真空規(guī)管測(cè)得的腔體的真空度及真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓。
[0054]每個(gè)真空規(guī)管被布置在質(zhì)譜儀的一個(gè)腔體內(nèi)，以測(cè)量該腔體的真空度。所述腔體的類型可以是接口腔體、透鏡腔體、檢測(cè)器腔體等，其中，接口腔體是接口所在的腔體、透鏡腔體是透鏡所在的腔體、檢測(cè)器腔體是檢測(cè)器所在的腔體。
[0055]優(yōu)選地，所述腔體的類型包括接口腔體、透鏡腔體和檢測(cè)器腔體。
[0056]應(yīng)該理解，獲取單元210可使用現(xiàn)有的方法獲取至少一個(gè)真空規(guī)管測(cè)得的腔體的真空度及真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓，在此不再贅述。
[0057]腔體類型確定單元220根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓及真空規(guī)管測(cè)得的真空度確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體的類型。
[0058]應(yīng)該理解，每個(gè)真空規(guī)管被布置在質(zhì)譜儀的一個(gè)腔體內(nèi)，以測(cè)量該腔體的真空度。高真空規(guī)管被布置在需要高真空規(guī)管測(cè)量真空度的腔體(例如，檢測(cè)器腔體)內(nèi)，低真空規(guī)管被布置在需要低真空規(guī)管測(cè)量真空度的腔體(例如，接口腔體)內(nèi)。由于不同類型的真空規(guī)管的內(nèi)部識(shí)別電阻不同(例如，高真空規(guī)管的內(nèi)部識(shí)別電阻約為100千歐，低真空規(guī)管的內(nèi)部識(shí)別電阻約為27千歐)，真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓也就不同，因此，腔體類型確定單元220可以根據(jù)該真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體的類型。
[0059]在一個(gè)示例中，當(dāng)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓在第一預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，腔體類型確定單元220確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體是接口腔體，當(dāng)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓在第二預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，腔體類型確定單元220確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體是檢測(cè)器腔體或透鏡腔體。例如，當(dāng)一真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓為1.06V時(shí)，腔體類型確定單元220確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體是接口腔體，當(dāng)一真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓為2.5V時(shí)，腔體類型確定單元220確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體是檢測(cè)器腔體或透鏡腔體。
[0060]應(yīng)該理解，因?yàn)闇y(cè)量透鏡腔體和檢測(cè)器腔體的真空規(guī)管都是高真空規(guī)管、測(cè)量接口腔體的真空規(guī)管是低真空規(guī)管，所以根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓能確定真空規(guī)管所測(cè)量的腔體是接口腔體還是透鏡腔體和檢測(cè)器腔體，但不能區(qū)分透鏡腔體和檢測(cè)器腔體。然而，由于透鏡腔體和檢測(cè)器腔體是連通的，且檢測(cè)器腔體的真空度略低于透鏡腔體的真空度。因此，腔體類型確定單元220當(dāng)確定兩個(gè)真空規(guī)管測(cè)量的腔體是透鏡腔體或檢測(cè)器腔體時(shí)，通過(guò)比較兩個(gè)真空規(guī)管測(cè)得的真空度，來(lái)將兩個(gè)真空規(guī)管中測(cè)得的真空度較大的確定為透鏡腔體，將兩個(gè)真空規(guī)管中測(cè)得的真空度較小的確定為檢測(cè)器腔體。
[0061]控制單元230根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制質(zhì)譜儀動(dòng)作。
[0062]例如，獲取單元210獲取一真空規(guī)管測(cè)得的腔體的真空度是450Pa，內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓是1.06V，腔體類型確定單元220根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓1.06V確定了該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體的類型是接口腔體，因此，控制單元230根據(jù)該真空規(guī)管測(cè)得的真空度(450Pa)及所測(cè)量的腔體的類型(即，接口腔體)控制質(zhì)譜儀動(dòng)作。
[0063]在一個(gè)實(shí)施例中，控制單元230根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟，其中，所述閥門是位于接口腔體與透鏡腔體之間的閥門。
[0064]在一個(gè)示例中，控制單元230包括:閥門關(guān)閉控制單元(未示出)。
[0065]當(dāng)任意一真空規(guī)管測(cè)得的真空度大于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第一真空度閾值時(shí)，閥門關(guān)閉控制單元控制閥門關(guān)閉。
[0066]例如，當(dāng)一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(接口腔體的真空度)大于所測(cè)量的腔體的類型(接口腔體)對(duì)應(yīng)的第一真空度閾值(500Pa)時(shí)，閥門關(guān)閉控制單元控制閥門關(guān)閉。當(dāng)一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(透鏡腔體的真空度)大于所測(cè)量的腔體的類型(透鏡腔體)對(duì)應(yīng)的第一真空度閾值(IPa)時(shí)，閥門關(guān)閉控制單元控制閥門關(guān)閉。當(dāng)一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(檢測(cè)器腔體的真空度)大于所測(cè)量的腔體的類型(檢測(cè)器腔體)對(duì)應(yīng)的第一真空度閾值OXlO-4Pa)時(shí)，閥門關(guān)閉控制單元控制閥門關(guān)閉。
[0067]在一個(gè)示例中，控制單元230包括:第一確定單元(未示出)和閥門開(kāi)啟控制單元(未示出)。
[0068]當(dāng)接收到用戶開(kāi)啟閥門的操作時(shí)，第一確定單元確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值。當(dāng)?shù)谝淮_定單元確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值時(shí)，閥門開(kāi)啟控制單元控制閥門開(kāi)啟。
[0069]具體地說(shuō)，當(dāng)接收到用戶基于觸摸屏、計(jì)算機(jī)、控制按鈕等開(kāi)啟閥門的操作時(shí)，第一確定單元確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值，當(dāng)?shù)谝淮_定單元確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值時(shí)，閥門開(kāi)啟控制單元控制閥門開(kāi)啟。
[0070]例如，當(dāng)?shù)谝淮_定單元確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值，即，一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(接口腔體的真空度)小于所測(cè)量的腔體的類型(接口腔體)對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值(300Pa)、一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(透鏡腔體的真空度)小于所測(cè)量的腔體的類型(透鏡腔體)對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值(IPa)、一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(檢測(cè)器腔體的真空度)小于所測(cè)量的腔體的類型(檢測(cè)器腔體)對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值(9 X IO-4Pa)時(shí)，閥門開(kāi)啟控制單元控制閥門開(kāi)啟。
[0071]在一個(gè)示例中，控制單元230包括:器件關(guān)閉控制單元(未示出)。
[0072]當(dāng)任意一真空規(guī)管測(cè)得的真空度大于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第三真空度閾值時(shí)，器件關(guān)閉控制單元控制透鏡和/或檢測(cè)器關(guān)閉。即，停止為透鏡和/或檢測(cè)器供電。
[0073]例如，當(dāng)一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(接口腔體的真空度)大于所測(cè)量的腔體的類型(接口腔體)對(duì)應(yīng)的第三真空度閾值(400Pa)時(shí)，器件關(guān)閉控制單元控制透鏡和/或檢測(cè)器關(guān)閉。當(dāng)一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(透鏡腔體的真空度)大于所測(cè)量的腔體的類型(透鏡腔體)對(duì)應(yīng)的第三真空度閾值(IPa)時(shí)，器件關(guān)閉控制單元控制透鏡和/或檢測(cè)器關(guān)閉。當(dāng)一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(檢測(cè)器腔體的真空度)大于所測(cè)量的腔體的類型(檢測(cè)器腔體)對(duì)應(yīng)的第三真空度閾值(9X 10_4Pa)時(shí)，器件關(guān)閉控制單元控制透鏡和/或檢測(cè)器關(guān)閉。
[0074]在一個(gè)示例中，控制單元230包括:第二確定單元(未示出)和器件開(kāi)啟控制單元(未示出)。
[0075]當(dāng)接收到用戶開(kāi)啟透鏡和/或檢測(cè)器的操作時(shí)，第二確定單元確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值。當(dāng)?shù)诙_定單元確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值時(shí)，器件開(kāi)啟控制單元控制透鏡和/或檢測(cè)器開(kāi)啟。
[0076]例如，當(dāng)?shù)诙_定單元確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值，即，一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(接口腔體的真空度)小于所測(cè)量的腔體的類型(接口腔體)對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值(300Pa)、一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(透鏡腔體的真空度)小于所測(cè)量的腔體的類型(透鏡腔體)對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值(IPa)、一真空規(guī)管測(cè)得的真空度(檢測(cè)器腔體的真空度)小于所測(cè)量的腔體的類型(檢測(cè)器腔體)對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值(9X 10_44Pa)時(shí)，器件開(kāi)啟控制單元控制透鏡和/或檢測(cè)器開(kāi)啟。
[0077]此外，對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的設(shè)備200還可包括:發(fā)送單元(未示出)，將各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型發(fā)送到計(jì)算機(jī)和/或顯示器。
[0078]具體地說(shuō)，發(fā)送單元可使用有線或者無(wú)線的方式將各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型發(fā)送到計(jì)算機(jī)和/或顯示器，以便于用戶通過(guò)計(jì)算機(jī)和/或顯示器獲知每個(gè)類型的腔體的真空度。
[0079]在一個(gè)實(shí)施例中，對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的設(shè)備200還包括:規(guī)管類型確定單元(未示出)和高真空規(guī)管控制單元(未示出)。
[0080]規(guī)管類型確定單元根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓確定該真空規(guī)管的類型。
[0081]高真空規(guī)管控制單元根據(jù)低真空規(guī)管測(cè)得的真空度控制高真空規(guī)管開(kāi)啟。
[0082]具體地說(shuō)，低真空規(guī)管上電后直接開(kāi)啟，高真空規(guī)管控制單元根據(jù)低真空規(guī)管測(cè)得的真空度控制高真空規(guī)管開(kāi)啟。例如，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管測(cè)得的真空度小于預(yù)定閾值(例如，0.1Pa)時(shí)，高真空規(guī)管控制單元控制高真空規(guī)管開(kāi)啟。
[0083]此外，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的上述方法可以被實(shí)現(xiàn)為計(jì)算機(jī)程序，從而當(dāng)運(yùn)行該程序時(shí)，實(shí)現(xiàn)上述方法。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的設(shè)備中的各個(gè)單元可被實(shí)現(xiàn)硬件組件。本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)限定的各個(gè)單元所執(zhí)行的處理，可以例如使用現(xiàn)場(chǎng)可編程門陣列(FPGA)或?qū)Ｓ眉呻娐?ASIC)來(lái)實(shí)現(xiàn)各個(gè)單元。
[0084]根據(jù)本發(fā)明的對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制方法及設(shè)備，能夠?qū)崟r(shí)測(cè)量主要器件所在腔體的真空度并根據(jù)測(cè)量的腔體的真空度控制質(zhì)譜儀動(dòng)作以保護(hù)質(zhì)譜儀的關(guān)鍵器件。
[0085]雖然已表示和描述了本發(fā)明的一些實(shí)施例，但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，在不脫離由權(quán)利要求及其等同物限定其范圍的本發(fā)明的原理和精神的情況下，可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行修改。
【權(quán)利要求】
1.一種對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的方法，包括: 獲取至少一個(gè)真空規(guī)管測(cè)得的腔體的真空度及真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓； 根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓及真空規(guī)管測(cè)得的真空度確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體的類型； 根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制質(zhì)譜儀動(dòng)作。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述腔體的類型包括接口腔體、透鏡腔體和檢測(cè)器腔體，其中，接口腔體是接口所在的腔體、透鏡腔體是透鏡所在的腔體、檢測(cè)器腔體是檢測(cè)器所在的腔體。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制質(zhì)譜儀動(dòng)作的步驟包括: 根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟，其中，所述閥門是位于接口腔體與透鏡腔體之間的閥門。
4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟的步驟包括: 當(dāng)任意一真空規(guī)管測(cè)得的真空度大于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第一真空度閾值時(shí)，控制閥門關(guān)閉。
5.如權(quán)利要求3所述的方法，其中，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟的步驟包括: 當(dāng)接收到用戶開(kāi)啟閥門的操作時(shí)，確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值； 當(dāng)確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值時(shí)，控制閥門開(kāi)啟。
6.如權(quán)利要求3所述的方法，其中，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟的步驟包括: 當(dāng)任意一真空規(guī)管測(cè)得的真空度大于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第三真空度閾值時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器關(guān)閉。
7.如權(quán)利要求3所述的方法，其中，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟的步驟包括: 當(dāng)接收到用戶開(kāi)啟透鏡和/或檢測(cè)器的操作時(shí)，確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值； 當(dāng)確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器開(kāi)啟。
8.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括: 根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓確定該真空規(guī)管的類型； 根據(jù)低真空規(guī)管測(cè)得的真空度控制高真空規(guī)管開(kāi)啟。
9.一種對(duì)質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測(cè)量和控制的設(shè)備，包括: 獲取單元，獲取至少一個(gè)真空規(guī)管測(cè)得的腔體的真空度及真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓； 腔體類型確定單元，根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓及真空規(guī)管測(cè)得的真空度確定該真空規(guī)管所測(cè)量的腔體的類型； 控制單元，根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制質(zhì)譜儀動(dòng)作。
10.如權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其中，所述腔體的類型包括接口腔體、透鏡腔體和檢測(cè)器腔體，其中，接口腔體是接口所在的腔體、透鏡腔體是透鏡所在的腔體、檢測(cè)器腔體是檢測(cè)器所在的腔體。
11.如權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其中，控制單元根據(jù)各真空規(guī)管測(cè)得的真空度及所測(cè)量的腔體的類型控制閥門、透鏡、檢測(cè)器中的至少一個(gè)的關(guān)閉和/或開(kāi)啟，其中，所述閥門是位于接口腔體與透鏡腔體之間的閥門。
12.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中，控制單元包括: 閥門關(guān)閉控制單元，當(dāng)任意一真空規(guī)管測(cè)得的真空度大于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第一真空度閾值時(shí)，控制閥門關(guān)閉。
13.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中，控制單元包括: 第一確定單元，當(dāng)接收到用戶開(kāi)啟閥門的操作時(shí)，確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值； 閥門開(kāi)啟控制單元，當(dāng)確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第二真空度閾值時(shí)，控制閥門開(kāi)啟。
14.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中，控制單元包括: 器件關(guān)閉控制單元，當(dāng)任意一真空規(guī)管測(cè)得的真空度大于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第三真空度閾值時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器關(guān)閉。
15.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中，控制單元包括: 第二確定單元，當(dāng)接收到用戶開(kāi)啟透鏡和/或檢測(cè)器的操作時(shí)，確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度是否都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值； 器件開(kāi)啟控制單元，當(dāng)確定各真空規(guī)管測(cè)得的真空度都小于所測(cè)量的腔體的類型對(duì)應(yīng)的第四真空度閾值時(shí)，控制透鏡和/或檢測(cè)器開(kāi)啟。
16.如權(quán)利要求9所述的設(shè)備，還包括: 規(guī)管類型確定單元，根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識(shí)別電阻的端電壓確定該真空規(guī)管的類型； 高真空規(guī)管控制單元，根據(jù)低真空規(guī)管測(cè)得的真空度控制高真空規(guī)管開(kāi)啟。
【文檔編號(hào)】G01L21/00GK103884466SQ201410128779
【公開(kāi)日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2014年4月1日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月1日
【發(fā)明者】李明, 李凱, 王超剛, 梁斌, 何小意, 唐興斌, 姚君, 呂海馬 申請(qǐng)人:鋼研納克檢測(cè)技術(shù)有限公司