技術(shù)編號：6222862
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種對質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測量和控制的方法及設(shè)備。所述方法包括獲取至少一個(gè)真空規(guī)管測得的腔體的真空度及真空規(guī)管內(nèi)部識別電阻的端電壓；根據(jù)真空規(guī)管內(nèi)部識別電阻的端電壓及真空規(guī)管測得的真空度確定該真空規(guī)管所測量的腔體的類型；根據(jù)各真空規(guī)管測得的真空度及所測量的腔體的類型控制質(zhì)譜儀動作。根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)崟r(shí)測量主要器件所在腔體的真空度并根據(jù)測量的腔體的真空度控制質(zhì)譜儀動作以保護(hù)質(zhì)譜儀的關(guān)鍵器件。專利說明對質(zhì)譜儀進(jìn)行真空度測量和控制的方法及設(shè)備[0001]本發(fā)明涉及質(zhì)...
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