一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)裝置與方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)裝置與方法。本發(fā)明包括包括非球面非零位干涉檢測(cè)系統(tǒng)、位移測(cè)量干涉系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理模塊；具體包括如下步驟：步驟1.選擇部分零位鏡，搭建高精度非球面組合干涉檢測(cè)裝置；步驟2.系統(tǒng)建模，并劃分子孔徑；步驟3.檢測(cè)裝置中非球面的定位；步驟4.子孔徑干涉圖采集處理；步驟5.子孔徑回程誤差校正；步驟6.全口徑面形拼接。本發(fā)明結(jié)合非球面部分零位補(bǔ)償法與環(huán)形子孔徑拼接干涉檢測(cè)法，可有效地減少覆蓋全口徑所需的子孔徑數(shù)目，增加各環(huán)帶子孔徑和重疊區(qū)寬度，有效地解決了由于重疊區(qū)很小而影響拼接精度的難題。
【專利說明】一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)裝置與方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)裝置與方法。
【背景技術(shù)】
[0002]非球面面形精密檢測(cè)一直存在技術(shù)難點(diǎn)，傳統(tǒng)干涉檢測(cè)受分辨率和口徑限制，無法檢測(cè)大口徑深度非球面。上世紀(jì)80年代，子孔徑拼接干涉檢測(cè)技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生，通過將被測(cè)面或波前分割為不同的子孔徑區(qū)域分別檢測(cè)，克服了傳統(tǒng)干涉儀的檢測(cè)限制。其中，環(huán)形子孔徑拼接干涉檢測(cè)技術(shù)被廣泛應(yīng)用于檢測(cè)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱非球面。其主要采用透射球面鏡產(chǎn)生不同曲率半徑的參考球面波，用來匹配被測(cè)面不同子孔徑區(qū)域，使得每個(gè)環(huán)形子孔徑區(qū)域返回的波前可以被探測(cè)器分辨，再利用相應(yīng)的拼接算法將每個(gè)子孔徑的檢測(cè)數(shù)據(jù)拼接得到全口徑面形信息。該方法的關(guān)鍵在于，相鄰的環(huán)形子孔徑區(qū)域存在一定的重疊區(qū)，用以拼接時(shí)校正每個(gè)子孔徑的相對(duì)調(diào)整誤差。重疊區(qū)越大，則拼接精度越高。然而，該方法只適合中小口徑且非球面度較小的非球面。當(dāng)被測(cè)面口徑或非球面度較大時(shí)，檢測(cè)所需的子孔徑必然很多，各個(gè)子孔徑寬度相應(yīng)下降，尤其是邊緣區(qū)域的子孔徑寬度極小，很難產(chǎn)生足夠的重疊區(qū)域參與調(diào)整誤差校正，給子孔徑拼接帶來很大的不確定性，一直是影響子孔徑拼接精度的重要因素。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)裝置與方法。本發(fā)明結(jié)合非球面部分零位補(bǔ)償法與環(huán)形子孔徑拼接干涉檢測(cè)法，可有效地減少覆蓋全口徑所需的子孔徑數(shù)目，增加各環(huán)帶子孔徑和重疊區(qū)寬度，有效地解決了由于重疊區(qū)很小而影響拼接精度的難題。
[0004]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案如下:
[0005]一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)裝置，包括非球面非零位干涉檢測(cè)系統(tǒng)、位移測(cè)量干涉系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理模塊；
[0006]非球面非零位干涉檢測(cè)系統(tǒng)，包括穩(wěn)頻激光器、準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)、分光板、參考平面鏡、壓電陶瓷、成像鏡、探測(cè)器、部分零位鏡、非球面、夾持機(jī)構(gòu)、導(dǎo)軌；穩(wěn)頻激光器出射的細(xì)光束經(jīng)準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)被擴(kuò)束為寬光束平行光，寬光束平行光向前傳播至分光板處被分為兩路；其中一路經(jīng)分光板反射傳播至參考平面鏡后原路返回作為參考波；另一路經(jīng)分光板透射向前傳播至部分零位鏡后先會(huì)聚后發(fā)散，發(fā)散光經(jīng)非球面反射后再次經(jīng)過部分零位鏡后，形成檢測(cè)波；參考波和檢測(cè)波在分光板處發(fā)生干涉，經(jīng)成像鏡成像于探測(cè)器處；壓電陶瓷設(shè)置在參考平面鏡的反面，用于移相；非球面固定在夾持機(jī)構(gòu)上，夾持機(jī)構(gòu)安裝于導(dǎo)軌上，計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理模塊能夠驅(qū)動(dòng)夾持機(jī)構(gòu)沿導(dǎo)軌上下移動(dòng)，移動(dòng)距離由位移測(cè)量干涉系統(tǒng)控制；
[0007]位移測(cè)量干涉系統(tǒng)，包括干涉儀主機(jī)、半透半反棱鏡、線性反射棱鏡、測(cè)量反射鏡；位移測(cè)量干涉系統(tǒng)的主光軸與非球面非零位干涉檢測(cè)系統(tǒng)主光軸平行，測(cè)量反射鏡與夾持機(jī)構(gòu)固定，即測(cè)量反射鏡與被測(cè)的非球面一起沿各自光軸方向移動(dòng)，非球面移動(dòng)距離即測(cè)量反射鏡的移動(dòng)距離；干涉儀主機(jī)出射的激光經(jīng)半透半反棱鏡后，一部分經(jīng)半透半反棱鏡反射至線性反射棱鏡，被反射回半透半反棱鏡；另一部分經(jīng)半透半反棱鏡透射至測(cè)量反射鏡，同樣被反射回半透半反棱鏡，兩束反射光發(fā)生干涉；
[0008]計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理模塊，包括導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)控制單元、干涉圖采集處理單元、回程誤差校正單元、子孔徑拼接單元；干涉圖采集處理單元與探測(cè)器相連接，探測(cè)器采集到的圖像經(jīng)干涉圖采集處理單元處理后，輸出至回程誤差校正單元，再經(jīng)過子孔徑拼接單元，能得到全口徑面形信息。
[0009]所述的導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)控制單元通過位移測(cè)量干涉系統(tǒng)的干涉條紋計(jì)數(shù)對(duì)導(dǎo)軌的移動(dòng)進(jìn)行閉環(huán)反饋控制；干涉圖采集處理單元的輸入為探測(cè)器采集到各子孔徑干涉圖，輸出為各子孔徑返回波前相位；回程誤差校正單元的輸入為各子孔徑返回波前相位，輸出為各個(gè)子孔徑面形信息；各個(gè)子孔徑面形信息經(jīng)子孔徑拼接單元后能得到全口徑面形信息；
[0010]所述的測(cè)量反射鏡能夠沿光軸方向移動(dòng)，其移動(dòng)距離直接表現(xiàn)為兩束反射光干涉條紋的變化，通過干涉條紋計(jì)數(shù)能精確測(cè)量其移動(dòng)距離；干涉儀主機(jī)直接與導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)控制單元連接，通過導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)控制單元實(shí)時(shí)顯示被測(cè)非球面的移動(dòng)距離。
[0011]一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)方法，具體包括如下步驟:
[0012]步驟1.選擇部分零位鏡，搭建高精度非球面組合干涉檢測(cè)裝置；
[0013]步驟2.系統(tǒng)建模，并劃分子孔徑；
[0014]步驟3.檢測(cè)裝置中非球面的定位；
[0015]步驟4.子孔徑干涉圖采集處理；
[0016]步驟5.子孔徑回程誤差校正；
[0017]步驟6.全口徑面形拼接。
[0018]所述的步驟2具體如下:
[0019]2-1.根據(jù)檢測(cè)裝置中非球面非零位干涉檢測(cè)系統(tǒng)的具體器件的參數(shù)，在光線追跡軟件中對(duì)非球面非零位干涉檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行建模；
[0020]2~2.系統(tǒng)建|旲完成后，在系統(tǒng)|旲型中進(jìn)彳丁環(huán)帶子孔徑劃分
[0021]2-2-1.首先確定中心環(huán)帶寬度，通過系統(tǒng)模型中非球面的試探性移動(dòng)，進(jìn)行光線追跡并計(jì)算非球面返回波前的斜率，直至非球面中心某一圓形區(qū)域返回的波前斜率小于等于Nyquist采樣頻率,從而確定該圓形區(qū)域?yàn)橹行沫h(huán)帶；
[0022]2-2-2.對(duì)于外圍環(huán)帶，先以上一環(huán)帶的上邊界為該環(huán)帶的下邊界，通過步驟2-2-1中的試探性移動(dòng)方法確定該環(huán)帶的上邊界，獲得臨時(shí)的環(huán)帶寬度，再確定該環(huán)帶與前
一環(huán)帶重疊區(qū)大小。
[0023]所述的具體器件的參數(shù)包括:穩(wěn)頻激光器出射的激光波長(zhǎng)，準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)的通光口徑及放大倍數(shù)，分光板的口徑及厚度，參考平面鏡的口徑，成像鏡的口徑和表面曲率半徑以及厚度，部分零位鏡的口徑和表面曲率半徑以及厚度，被測(cè)非球面的名義面形方程和口徑；所述的光線追跡軟件為Zemax軟件,是由美國(guó)Radiant Zemax公司開發(fā)的光學(xué)設(shè)計(jì)軟件；所述的重疊區(qū)寬度設(shè)置為該環(huán)帶寬度的0.25倍，能夠確定該環(huán)帶新的下邊界，進(jìn)而通過2-2-1中的試探性移動(dòng)方法重新確定上邊界，依次類推，直至某一子孔徑上邊界超過被測(cè)面口徑。[0024]所述的步驟3具體如下:
[0025]根據(jù)系統(tǒng)模型中各個(gè)環(huán)帶子孔徑對(duì)應(yīng)的非球面與部分零位鏡間距，檢測(cè)裝置中非球面進(jìn)行定位，具體包括測(cè)量中心環(huán)帶時(shí)非球面的定位和測(cè)量外圍環(huán)帶時(shí)非球面的定位；測(cè)量中心環(huán)帶時(shí)，能夠通過波前的離焦系數(shù)對(duì)比法進(jìn)行精確定位；測(cè)量外圍環(huán)帶時(shí)，能夠根據(jù)位移測(cè)量干涉系統(tǒng)精確控制此時(shí)非球面與測(cè)量中心環(huán)帶時(shí)非球面位置的相對(duì)移動(dòng)量進(jìn)行定位；
[0026]所述的離焦系數(shù)對(duì)比法，即系統(tǒng)模型中非球面返回波前的離焦系數(shù)實(shí)際探測(cè)器接收波前的離焦系數(shù)的對(duì)比；其中，系統(tǒng)模型中非球面返回波前的離焦系數(shù)為光線追跡軟件Zemax自帶；實(shí)際探測(cè)器接收波前的離焦系數(shù)可通過干涉圖采集處理單元對(duì)干涉圖解調(diào)，并對(duì)解調(diào)所得的波前進(jìn)行Zernike多項(xiàng)式擬合得到；在裝置中不斷移動(dòng)非球面，直至二者的離焦系數(shù)一致，則認(rèn)為此時(shí)非球面定位準(zhǔn)確。
[0027]所述的步驟4具體如下:
[0028]通過干涉圖采集處理單元采集各個(gè)環(huán)帶子孔徑干涉圖，并利用相移算法進(jìn)行干涉圖相位解調(diào)，得到實(shí)驗(yàn)中探測(cè)器接收到的各環(huán)形子孔徑返回波前相位。
[0029]所述的步驟5具體如下:
[0030]在系統(tǒng)模型中，采集非球面位于每一子孔徑測(cè)量位置時(shí)探測(cè)器接收到的的理論環(huán)帶波前數(shù)據(jù)，設(shè)某一環(huán)帶子孔徑返回的理論波前數(shù)據(jù)為W，則W可表示為:
[0031]W = Wret,(I)
[0032]其中Wret即為該環(huán)帶子孔徑的回程誤差；步驟4中所得實(shí)驗(yàn)中該子孔徑返回波前數(shù)據(jù)f表示為:
[0033]r = 2ffasp+ffret+ffadj,(2)
[0034]其中Wasp表示子孔徑面形，Wadj表示調(diào)整誤差；由(2)式減去(I)式可校正子孔徑回程誤差，
[0035]r -W = 2ffasp+ffadj,(3)
[0036]從而得到環(huán)形子孔徑區(qū)域的面形信息，
【權(quán)利要求】
1.一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)裝置，其特征在于包括非球面非零位干涉檢測(cè)系統(tǒng)、位移測(cè)量干涉系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理模塊； 非球面非零位干涉檢測(cè)系統(tǒng)，包括穩(wěn)頻激光器、準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)、分光板、參考平面鏡、壓電陶瓷、成像鏡、探測(cè)器、部分零位鏡、非球面、夾持機(jī)構(gòu)、導(dǎo)軌；穩(wěn)頻激光器出射的細(xì)光束經(jīng)準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)被擴(kuò)束為寬光束平行光，寬光束平行光向前傳播至分光板處被分為兩路；其中一路經(jīng)分光板反射傳播至參考平面鏡后原路返回作為參考波；另一路經(jīng)分光板透射向前傳播至部分零位鏡后先會(huì)聚后發(fā)散，發(fā)散光經(jīng)非球面反射后再次經(jīng)過部分零位鏡后，形成檢測(cè)波；參考波和檢測(cè)波在分光板處發(fā)生干涉，經(jīng)成像鏡成像于探測(cè)器處；壓電陶瓷設(shè)置在參考平面鏡的反面，用于移相；非球面固定在夾持機(jī)構(gòu)上，夾持機(jī)構(gòu)安裝于導(dǎo)軌上，計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理模塊能夠驅(qū)動(dòng)夾持機(jī)構(gòu)沿導(dǎo)軌上下移動(dòng)，移動(dòng)距離由位移測(cè)量干涉系統(tǒng)控制；位移測(cè)量干涉系統(tǒng)，包括干涉儀主機(jī)、半透半反棱鏡、線性反射棱鏡、測(cè)量反射鏡；位移測(cè)量干涉系統(tǒng)的主光軸與非球面非零位干涉檢測(cè)系統(tǒng)主光軸平行，測(cè)量反射鏡與夾持機(jī)構(gòu)固定，即測(cè)量反射鏡與被測(cè)的非球面一起沿各自光軸方向移動(dòng)，非球面移動(dòng)距離即測(cè)量反射鏡的移動(dòng)距離；干涉儀主機(jī)出射的激光經(jīng)半透半反棱鏡后，一部分經(jīng)半透半反棱鏡反射至線性反射棱鏡，被反射回半透半反棱鏡；另一部分經(jīng)半透半反棱鏡透射至測(cè)量反射鏡，同樣被反射回半透半反棱鏡，兩束反射光發(fā)生干涉； 計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理模塊，包括導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)控制單元、干涉圖采集處理單元、回程誤差校正單元、子孔徑拼接單元；干涉圖采集處理單元與探測(cè)器相連接，探測(cè)器采集到的圖像經(jīng)干涉圖采集處理單元處理后，輸出至回程誤差校正單元，再經(jīng)過子孔徑拼接單元，能得到全口徑面形信息。
2.如權(quán)利要求1所述的一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)裝置，其特征在于所述的導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)控制單元通過位移 測(cè)量干涉系統(tǒng)的干涉條紋計(jì)數(shù)對(duì)導(dǎo)軌的移動(dòng)進(jìn)行閉環(huán)反饋控制；干涉圖采集處理單元的輸入為探測(cè)器采集到各子孔徑干涉圖，輸出為各子孔徑返回波前相位；回程誤差校正單元的輸入為各子孔徑返回波前相位，輸出為各個(gè)子孔徑面形信息；各個(gè)子孔徑面形信息經(jīng)子孔徑拼接單元后能得到全口徑面形信息； 所述的測(cè)量反射鏡能夠沿光軸方向移動(dòng)，其移動(dòng)距離直接表現(xiàn)為兩束反射光干涉條紋的變化，通過干涉條紋計(jì)數(shù)能精確測(cè)量其移動(dòng)距離；干涉儀主機(jī)直接與計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理模塊中導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)控制單元連接，通過導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)控制單元實(shí)時(shí)顯示被測(cè)非球面的移動(dòng)距離。
3.一種使用權(quán)利要求1所述裝置的高精度非球面組合干涉檢測(cè)方法，其特征在于具體包括如下步驟: 步驟1.選擇部分零位鏡，搭建高精度非球面組合干涉檢測(cè)裝置； 步驟2.系統(tǒng)建模，并劃分子孔徑； 步驟3.檢測(cè)裝置中非球面的定位； 步驟4.子孔徑干涉圖采集處理； 步驟5.子孔徑回程誤差校正； 步驟6.全口徑面形拼接。
4.如權(quán)利要求3所述的一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)方法，其特征在于步驟2具體如下: 2-1.根據(jù)檢測(cè)裝置中非球面非零位干涉檢測(cè)系統(tǒng)的具體器件的參數(shù)，在光線追跡軟件中對(duì)非球面非零位干涉檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行建模； 2-2.系統(tǒng)建模完成后，在系統(tǒng)模型中進(jìn)行環(huán)帶子孔徑劃分 2-2-1.首先確定中心環(huán)帶寬度，通過系統(tǒng)模型中非球面的試探性移動(dòng)，進(jìn)行光線追跡并計(jì)算非球面返回波前的斜率，直至非球面中心某一圓形區(qū)域返回的波前斜率小于等于Nyquist采樣頻率,從而確定該圓形區(qū)域?yàn)橹行沫h(huán)帶； 2-2-2.對(duì)于外圍環(huán)帶，先以上一環(huán)帶的上邊界為該環(huán)帶的下邊界，通過步驟2-2-1中的試探性移動(dòng)方法確定該環(huán)帶的上邊界，獲得臨時(shí)的環(huán)帶寬度，再確定該環(huán)帶與前一環(huán)帶重疊區(qū)大小。
5.如權(quán)利要求4所述的一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)方法，其特征在于所述的具體器件的參數(shù)包括:穩(wěn)頻激光器出射的激光波長(zhǎng)，準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)的通光口徑及放大倍數(shù)，分光板的口徑及厚度，參考平面鏡的口徑，成像鏡的口徑和表面曲率半徑以及厚度，部分零位鏡的口徑和表面曲率半徑以及厚度，被測(cè)非球面的名義面形方程和口徑；所述的光線追跡軟件為Zemax軟件,是由美國(guó)Radiant Zemax公司開發(fā)的光學(xué)設(shè)計(jì)軟件；所述的重疊區(qū)寬度設(shè)置為該環(huán)帶寬度的0.25倍，能夠確定該環(huán)帶新的下邊界，進(jìn)而通過2-2-1中的試探性移動(dòng)方法重新確定上邊界，依次類推，直至某一子孔徑上邊界超過被測(cè)面口徑。
6.如權(quán)利要求3所述的一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)方法，其特征在于步驟3具體如下: 根據(jù)系統(tǒng)模 型中各個(gè)環(huán)帶子孔徑對(duì)應(yīng)的非球面與部分零位鏡間距，檢測(cè)裝置中非球面進(jìn)行定位，具體包括測(cè)量中心環(huán)帶時(shí)非球面的定位和測(cè)量外圍環(huán)帶時(shí)非球面的定位；測(cè)量中心環(huán)帶時(shí)，能夠通過波前的離焦系數(shù)對(duì)比法進(jìn)行精確定位；測(cè)量外圍環(huán)帶時(shí)，能夠根據(jù)位移測(cè)量干涉系統(tǒng)精確控制此時(shí)非球面與測(cè)量中心環(huán)帶時(shí)非球面位置的相對(duì)移動(dòng)量進(jìn)行定位； 所述的離焦系數(shù)對(duì)比法，即系統(tǒng)模型中非球面返回波前的離焦系數(shù)實(shí)際探測(cè)器接收波前的離焦系數(shù)的對(duì)比；其中，系統(tǒng)模型中非球面返回波前的離焦系數(shù)為光線追跡軟件Zemax自帶；實(shí)際探測(cè)器接收波前的離焦系數(shù)可通過干涉圖采集處理單元對(duì)干涉圖解調(diào)，并對(duì)解調(diào)所得的波前進(jìn)行Zernike多項(xiàng)式擬合得到；在裝置中不斷移動(dòng)非球面，直至二者的離焦系數(shù)一致，則認(rèn)為此時(shí)非球面定位準(zhǔn)確。
7.如權(quán)利要求3所述的一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)方法，其特征在于步驟4具體如下:通過干涉圖采集處理單元采集各個(gè)環(huán)帶子孔徑干涉圖，并利用相移算法進(jìn)行干涉圖相位解調(diào)，得到實(shí)驗(yàn)中探測(cè)器接收到的各環(huán)形子孔徑返回波前相位。
8.如權(quán)利要求3所述的一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)方法，其特征在于步驟5具體如下: 在系統(tǒng)模型中，采集非球面位于每一子孔徑測(cè)量位置時(shí)探測(cè)器接收到的的理論環(huán)帶波前數(shù)據(jù)，設(shè)某一環(huán)帶子孔徑返回的理論波前數(shù)據(jù)為W，則W可表示為: w = Wret,(I) 其中Iet即為該環(huán)帶子孔徑的回程誤差；步驟4中所得實(shí)驗(yàn)中該子孔徑返回波前數(shù)據(jù)W'表示為: r = 2Wasp+ffret+ffadJ,(2) 其中Wasp表示子孔徑面形，Wadj表示調(diào)整誤差；由(2)式減去(I)式可校正子孔徑回程誤差， W' -W= 2ffasp+ffadJ,(3) 從而得到環(huán)形子孔徑區(qū)域的面形信息，
9.如權(quán)利要求3所述的一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)方法，其特征在于步驟6具體如下:在子孔徑拼接單元中，利用全局拼接算法，剔除外圍子孔徑與中心子孔徑的相對(duì)調(diào)整誤差，并拼接各個(gè)環(huán)形子孔徑數(shù)據(jù)成為連續(xù)面形數(shù)據(jù)；再將拼接所得的連續(xù)面形數(shù)據(jù)擬合為Zernike多項(xiàng)式形式= 1，2，…，37，式中，Bi和Zi分別為第i項(xiàng)擬合系數(shù)和第i項(xiàng)Zernike多項(xiàng)式；剔除前四項(xiàng)系數(shù):位移項(xiàng)系數(shù)B1, x方向傾斜項(xiàng)系數(shù)B2, y方向傾斜項(xiàng)系數(shù)B3,離焦項(xiàng)系數(shù)B4,從而校正中心子孔徑的調(diào)整誤差，得到被測(cè)非球面全口徑面形。
10.如權(quán)利要求3所述的一種高精度非球面組合干涉檢測(cè)方法，其特征在于所述的步驟4和步驟3是交叉進(jìn)行的，即一次非球面定位對(duì)應(yīng)一次干涉圖采集處理。
【文檔編號(hào)】G01B11/24GK103776389SQ201410012476
【公開日】2014年5月7日 申請(qǐng)日期:2014年1月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月10日
【發(fā)明者】楊甬英, 劉 東, 張磊, 師途, 卓永模 申請(qǐng)人:浙江大學(xué)