技術編號：6215781
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了。本發(fā)明包括包括非球面非零位干涉檢測系統(tǒng)、位移測量干涉系統(tǒng)和計算機數據處理模塊；具體包括如下步驟步驟1.選擇部分零位鏡，搭建高精度非球面組合干涉檢測裝置；步驟2.系統(tǒng)建模，并劃分子孔徑；步驟3.檢測裝置中非球面的定位；步驟4.子孔徑干涉圖采集處理；步驟5.子孔徑回程誤差校正；步驟6.全口徑面形拼接。本發(fā)明結合非球面部分零位補償法與環(huán)形子孔徑拼接干涉檢測法，可有效地減少覆蓋全口徑所需的子孔徑數目，增加各環(huán)帶子孔徑和重疊區(qū)寬度，有效地解決了由于重疊...
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