技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的分光測(cè)量裝置具備：分割光學(xué)系統(tǒng)，其將從位于被測(cè)量物的測(cè)量區(qū)域內(nèi)的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)分別發(fā)出的測(cè)量光束分割為第一測(cè)量光束和第二測(cè)量光束；成像光學(xué)系統(tǒng)，其使第一測(cè)量光束與第二測(cè)量光束發(fā)生干涉；光程差賦予單元，其對(duì)第一測(cè)量光束和第二測(cè)量光束之間賦予連續(xù)的光程差分布；檢測(cè)部，其包括用于檢測(cè)與上述連續(xù)的光程差分布對(duì)應(yīng)的干涉光的強(qiáng)度分布的多個(gè)像素；處理部，其基于由檢測(cè)部檢測(cè)出的干涉光的光強(qiáng)度分布來(lái)求出被測(cè)量物的測(cè)量點(diǎn)的干涉圖，通過(guò)對(duì)該干涉圖進(jìn)行傅立葉變換來(lái)獲取光譜；共軛面成像光學(xué)系統(tǒng)，其配置在被測(cè)量物與分割光學(xué)系統(tǒng)之間，具有與該分割光學(xué)系統(tǒng)共用的共軛面；以及周期性賦予單元，其配置于共軛面，對(duì)從多個(gè)測(cè)量點(diǎn)發(fā)出的測(cè)量光束進(jìn)行空間上的周期調(diào)制。

技術(shù)研發(fā)人員：石丸伊知郎
受保護(hù)的技術(shù)使用者：國(guó)立大學(xué)法人香川大學(xué)
文檔號(hào)碼：201380052250
技術(shù)研發(fā)日：2013.10.02
技術(shù)公布日：2017.05.10