一種des檢驗平臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種DES檢驗平臺，包括臺體、臺面、清潔裝置和線寬線距測量裝置；所述臺面設(shè)置在臺體正面；所述清潔裝置活動的貼合臺面；所述線寬線距測量裝置安裝在臺面的一側(cè)；本實用新型的DES檢驗平臺整體性好，操作人員可以流水線作業(yè)；可以在一個平臺上實現(xiàn)所有檢測目的，完成結(jié)果登記，使用簡單、效率高。
【專利說明】—種DES檢驗平臺
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型具體涉及一種DES檢驗平臺。
【背景技術(shù)】
[0002]DES檢驗是蝕刻作業(yè)中的一道重要的工序，必須經(jīng)過DES檢驗才能進一步操作，一 般DES檢驗有首檢和全檢兩種檢測方式，首檢一般都是針對首板的，只有通過首檢才可以 進一步操作，如果發(fā)生檢驗不合格品，將作出標志，退回重新修改，現(xiàn)有的DES檢驗普遍都 是通過零散的幾個工具組成的，這樣不利于整體操作，檢測效率不高。
實用新型內(nèi)容
[0003](一)要解決的技術(shù)問題
[0004]針對上述問題，本實用新型目的是提供一種流水線檢測、效率高的DES檢驗平臺。
[0005]( 二 )技術(shù)方案
[0006]本實用新型的DES檢驗平臺，包括臺體、臺面、清潔裝置和線寬線距測量裝置；所 述臺面設(shè)置在臺體正面；所述清潔裝置活動的貼合臺面；所述線寬線距測量裝置安裝在臺 面的一側(cè)。
[0007]進一步地，所述的臺體一側(cè)還設(shè)置有結(jié)果記錄平臺。
[0008]進一步地，所述的線寬線距測量裝置為百倍鏡。
[0009]進一步地，所述的清潔裝置為可拆卸結(jié)構(gòu)。
[0010](三)有益效果
[0011]本實用新型相比較與現(xiàn)有技術(shù)，其具有以下有益效果:本實用新型的DES檢驗平 臺整體性好，操作人員可以流水線作業(yè)，通過清潔裝置將臺面清潔干凈，接著目測首板是否 正常，然后通過線寬線距測量裝置進一步檢測首板的線寬線距，判斷是否正常，如果有無效 區(qū)，則用筆標出，在結(jié)果記錄平臺上做好記錄，操作者可以在一個平臺上實現(xiàn)所有檢測目 的，完成結(jié)果登記，使用簡單、效率高。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]1-臺體；2_臺面；3_清潔裝置；4_線寬線距測量裝置；5_結(jié)果記錄平臺。
【具體實施方式】
[0014]如圖1所示的DES檢驗平臺，包括臺體1、臺面2、清潔裝置3和線寬線距測量裝置 4 ;所述臺面2設(shè)置在臺體I正面；所述清潔裝置3活動的貼合臺面2 ;所述線寬線距測量裝 置4安裝在臺面2的一側(cè)。
[0015]所述的臺體I 一側(cè)還設(shè)置有結(jié)果記錄平臺5。
[0016]所述的線寬線距測量4裝置為百倍鏡。[0017]所述的清潔裝置3為可拆卸結(jié)構(gòu)。
[0018]本實用新型的DES檢驗平臺整體性好，操作人員可以流水線作業(yè)，通過清潔裝置 將臺面清潔干凈，接著目測首板是否正常，然后通過線寬線距測量裝置進一步檢測首板的 線寬線距，判斷是否正常，如果有無效區(qū)，則用筆標出，在結(jié)果記錄平臺上做好記錄，操作者 可以在一個平臺上實現(xiàn)所有檢測目的，完成結(jié)果登記，使用簡單、效率高。
[0019]上面所述的實施例僅僅是對本實用新型的優(yōu)選實施方式進行描述，并非對本實用 新型的構(gòu)思和范圍進行限定。在不脫離本實用新型設(shè)計構(gòu)思的前提下，本領(lǐng)域普通人員對 本實用新型的技術(shù)方案做出的各種變型和改進，均應(yīng)落入到本實用新型的保護范圍，本實 用新型請求保護的技術(shù)內(nèi)容，已經(jīng)全部記載在權(quán)利要求書中。
【權(quán)利要求】
1.一種DES檢驗平臺，其特征在于，包括臺體、臺面、清潔裝置和線寬線距測量裝置；所 述臺面設(shè)置在臺體正面；所述清潔裝置活動的貼合臺面；所述線寬線距測量裝置安裝在臺 面的一側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的DES檢驗平臺，其特征在于:所述的臺體一側(cè)還設(shè)置有結(jié)果 記錄平臺。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的DES檢驗平臺，其特征在于:所述的線寬線距測量裝置為百倍鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的DES檢驗平臺，其特征在于:所述的清潔裝置為可拆卸結(jié)構(gòu)。
【文檔編號】G01B11/02GK203414415SQ201320394399
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2013年7月2日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月2日
【發(fā)明者】顧麗紅 申請人:蘇州福萊盈電子有限公司