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光柵位移測(cè)量裝置的制作方法

文檔序號(hào):6072522閱讀:206來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):光柵位移測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及光柵位移測(cè)量裝置,屬于位移測(cè)量?jī)x器。
背景技術(shù)
光柵作為精密測(cè)量的一種工具,已在精密儀器、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、高精度精密加工等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。對(duì)于大量程、高精度的位置、位移檢測(cè)系統(tǒng),目前世界上普遍采用雙頻激光法和光柵測(cè)量技術(shù)。從精度上說(shuō),雙頻激光測(cè)量法優(yōu)于光柵測(cè)量;但雙頻激光測(cè)量裝置成本高,技術(shù)復(fù)雜,對(duì)使用的環(huán)境要求比較苛刻。而光柵測(cè)量在大多數(shù)場(chǎng)合下都能滿(mǎn)足高精度的要求,加上它可靠性好、量程大、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本相對(duì)較低、對(duì)環(huán)境要求不嚴(yán)、抗干擾性好等一系列優(yōu)點(diǎn),因而在精密測(cè)量和機(jī)床工業(yè)中得到廣泛的應(yīng)用。光柵測(cè)量要求光柵尺和讀數(shù)頭分別安裝與一對(duì)相對(duì)平行移動(dòng)的部件上,在機(jī)床工業(yè)中,光柵測(cè)量裝置體積較大,光柵尺安裝于導(dǎo)軌旁的基座上,讀數(shù)頭安裝于沿導(dǎo)軌移動(dòng)的部件上,移動(dòng)部件可承載一定重量的其它部件,導(dǎo)軌和基座的相對(duì)位置是不能變動(dòng)的;在精密測(cè)量中,光柵位移測(cè)量裝置往往設(shè)計(jì)成一體化形式,體積小,光柵尺安裝與移動(dòng)部件上,讀數(shù)頭安裝于固定部件上,移動(dòng)部件不能承載重物。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠承載一定重量、體積小的光柵位移測(cè)量裝置技術(shù)解決方案本實(shí)用新型包括光柵傳感器、花鍵導(dǎo)軌,花鍵導(dǎo)軌沿軸向開(kāi)有通槽,光柵傳感器由金屬光柵尺、光柵讀數(shù)頭組成,金屬光柵尺粘貼于通槽上,光柵讀數(shù)頭固定于花鍵導(dǎo)軌滑動(dòng)套上。本實(shí)用新型金屬光柵尺粘貼于通槽內(nèi),光柵讀數(shù)頭固定于花鍵導(dǎo)軌的滑動(dòng)套上,滑動(dòng)套沿花鍵導(dǎo)軌移動(dòng)的距離可由光柵傳感器準(zhǔn)確測(cè)得。由于花鍵導(dǎo)軌具有一定的抗彎曲強(qiáng)度,所以滑動(dòng)套上可以安裝其它功能部件,實(shí)現(xiàn)對(duì)特定位置測(cè)量或控制操作,滿(mǎn)足了體積小又能承載一定重量的光柵測(cè)量需求。

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型包括光柵傳感器、花鍵導(dǎo)軌2,花鍵導(dǎo)軌2沿軸向開(kāi)條形槽,光柵傳感器由金屬光柵尺1、光柵讀數(shù)頭3組成,金屬光柵尺I粘貼于條形槽上,光柵讀數(shù)頭3固定于花鍵導(dǎo)軌滑動(dòng)套4上。工作時(shí),滑動(dòng)套4沿花鍵導(dǎo)軌2移動(dòng),讀數(shù)頭3讀取金屬光柵尺I的位置信號(hào),實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測(cè)量。
權(quán)利要求1.光柵位移測(cè)量裝置,其特征是,包括光柵傳感器、花鍵導(dǎo)軌,花鍵導(dǎo)軌沿軸向開(kāi)通槽,光柵傳感器由金屬光柵尺、光柵讀數(shù)頭組成,金屬光柵尺粘貼于通槽上,光柵讀數(shù)頭固定于花鍵導(dǎo)軌 滑動(dòng)套上。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及光柵位移測(cè)量裝置,屬于位移測(cè)量?jī)x器。本實(shí)用新型包括光柵傳感器、花鍵導(dǎo)軌,花鍵導(dǎo)軌沿軸向開(kāi)有通槽,光柵傳感器由金屬光柵尺、光柵讀數(shù)頭組成,金屬光柵尺粘貼于通槽上,光柵讀數(shù)頭固定于花鍵導(dǎo)軌滑動(dòng)套上。本實(shí)用新型滑動(dòng)套沿花鍵導(dǎo)軌移動(dòng)的距離可由光柵傳感器準(zhǔn)確測(cè)得。由于花鍵導(dǎo)軌具有一定的抗彎曲強(qiáng)度,所以滑動(dòng)套上可以安裝其它功能部件,實(shí)現(xiàn)對(duì)特定位置測(cè)量或控制操作。
文檔編號(hào)G01B11/02GK203163691SQ20132009214
公開(kāi)日2013年8月28日 申請(qǐng)日期2013年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月28日
發(fā)明者任紹卿, 張荔萍, 王衛(wèi)東 申請(qǐng)人:內(nèi)蒙古北方重工業(yè)集團(tuán)有限公司
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