糾偏裝置及等離子設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種糾偏裝置及等離子設(shè)備，所述糾偏裝置包括糾偏傳感器、信號接收器和包覆有保護層的電纜，所述糾偏傳感器通過所述電纜與所述信號接收器連接；所述糾偏傳感器包括第一耐腐蝕性材料制作的支架以及固定于所述支架上的紅外受光鏡頭，所述紅外受光鏡頭覆蓋有第二耐腐蝕性材料制作的耐腐蝕層。在使用時，信號接收器位于常壓環(huán)境中，糾偏傳感器位于真空離子環(huán)境中，糾偏傳感器的支架和紅外受光鏡頭均由耐腐蝕性材料制成，可以保護支架和紅外鏡頭不被等離子蝕刻的酸性氣體腐蝕。而位于常壓環(huán)境中的信號接收器，其內(nèi)部電路板不受等離子蝕刻環(huán)境的影響，可長期使用。采用上述糾偏裝置的等離子設(shè)備，性能穩(wěn)定，使用壽命長。
【專利說明】糾偏裝置及等離子設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及等離子處理領(lǐng)域，特別是涉及糾偏裝置及等離子設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子處理設(shè)備廣泛應用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面活化、改性等場合。通過其處理，能夠改善材料的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。卷性等離子處理設(shè)備是用來處理柔性卷式電路板和卷性電子材料，如聚酰亞胺(Polyimide，PI)，電路板覆
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[0003]一般地，卷性等離子處理設(shè)備中設(shè)有糾偏裝置，其糾偏裝置包括糾偏傳感器和信號接收器，糾偏傳感器和信號接收器均置于卷性等離子設(shè)備的真空端。當?shù)入x子設(shè)備工作時，糾偏裝置處于等離子蝕刻環(huán)境中，此時，信號接收器內(nèi)部的電路板以及糾偏傳感器的紅外受光鏡頭在等離子蝕刻環(huán)境中容易被腐蝕，影響糾偏裝置的性能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]基于此，有必要提供一種信號接收器內(nèi)部的電路板以及糾偏傳感器的紅外受光鏡頭不易被腐蝕的糾偏裝置及等離子設(shè)備。
[0005]一種糾偏裝置，包括糾偏傳感器和信號接收器，所述糾偏裝置還包括包覆有保護層的電纜，所述糾偏傳感器通過所述電纜與所述信號接收器連接；
[0006]所述糾偏傳感器包括第一耐腐蝕性材料制作的支架以及固定于所述支架上的紅外受光鏡頭，所述紅外受光鏡頭覆蓋有第二耐腐蝕性材料制作的耐腐蝕層。
[0007]在其中一個實施例中，所述保護層的厚度為所述電纜直徑的0.5倍?3倍。
[0008]在其中一個實施例中，所述保護層的材質(zhì)為聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡膠。聚四氟乙烯具有較好的耐酸堿性，采用聚四氟乙烯作為保護層的材質(zhì)可以保護電纜免遭等離子環(huán)境的腐蝕。
[0009]在其中一個實施例中，所述紅外受光鏡頭包括發(fā)射端和接收端，所述發(fā)射端與接收端相對設(shè)置。
[0010]在其中一個實施例中，所述第一耐腐蝕性材料為鋁合金或鈦。鋁合金不僅具有耐腐蝕性能，而且還具有密度小的優(yōu)點，采用鋁合金制作支架，可以減輕糾偏裝置的重量。
[0011]在其中一個實施例中，所述第二耐腐蝕性材料為玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。
[0012]一種等離子設(shè)備，包括真空腔室以及設(shè)置在所述真空腔室內(nèi)的放料軸和收料軸，所述放料軸和所述收料軸分別由伺服電機驅(qū)動，所述真空腔室內(nèi)設(shè)有等離子區(qū)域，所述等離子設(shè)備還設(shè)有糾偏裝置，所述糾偏裝置包括糾偏傳感器、信號接收器和包覆有保護層的電纜，所述糾偏穿感器位于所述等離子區(qū)域內(nèi)，所述電纜穿出所述真空腔室，所述電纜一端與糾偏傳感器連接，另一端與所述信號接收器連接；[0013]所述糾偏傳感器包括第一耐腐蝕性材料制作的支架以及固定于所述支架上的紅外受光鏡頭，所述紅外受光鏡頭覆蓋有第二耐腐蝕性材料制作的耐腐蝕層。
[0014]在其中一個實施例中，所述保護層的厚度為所述電纜直徑的0.5倍?3倍。
[0015]在其中一個實施例中，所述紅外受光鏡頭包括發(fā)射端和接收端，所述發(fā)射端與所述接收端相對設(shè)置。
[0016]在其中一個實施例中，所述保護層的材質(zhì)為聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡膠，所述第一耐腐蝕性材料為鋁合金或鈦，所述第二耐腐蝕性材料為玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。
[0017]上述糾偏裝置，采用包覆有保護層的電纜將糾偏傳感器和信號接收器連接起來，糾偏傳感器和信號接收器分體式設(shè)置，糾偏傳感器和信號接收器可以在不同的工作環(huán)境中運行。在使用時，信號接收器位于常壓環(huán)境中，糾偏傳感器位于真空離子環(huán)境中，糾偏傳感器的支架和紅外鏡頭均由防腐蝕性材料制成，可以保護支架和紅外鏡頭不被等離子蝕刻的酸性氣體腐蝕。而位于常壓環(huán)境中的信號接收器，其內(nèi)部電路板不受等離子蝕刻環(huán)境的影響，不容易被腐蝕，可長期使用。采用上述糾偏裝置的等離子設(shè)備，性能穩(wěn)定，使用壽命長。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1為一實施方式的糾偏裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2為一實施方式的糾偏裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0020]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似改進，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施的限制。
[0021]請參閱圖1和圖2，一實施方式的糾偏裝置，包括糾偏傳感器10、信號接收器20和包覆有保護層30的電纜40，糾偏傳感器10通過電纜40與信號接收器20連接。將糾偏傳感器10和信號接收器20采用具有一定長度的電纜40連接，可以靈活設(shè)置糾偏傳感器10和信號接收器20的安裝位置。電纜40的長度可以根據(jù)等離子區(qū)的大小以及糾偏裝置的大小進行選擇，其長度只要可以實現(xiàn)信號接收器20位于常壓環(huán)境中即可。保護層30的材質(zhì)為耐腐蝕性材料，可以在等離子蝕刻的酸性氣體環(huán)境中保持性能不變。保護層30既可以是包覆整個電纜40，也可以是僅僅包覆暴露在等離子區(qū)部分的電纜40。在本實施方式，保護層30包覆整個電纜40。
[0022]糾偏傳感器10包括第一耐腐蝕性材料制作的支架12以及固定于支架12上的紅外受光鏡頭14，紅外受光鏡頭14覆蓋有第二耐腐蝕性材料制作的耐腐蝕層(圖未示)。第一耐腐蝕性材料與第二耐腐蝕性材料均可以保護糾偏傳感器10不被等離子蝕刻的酸性氣體腐蝕。紅外受光鏡頭14的材料可以為玻璃或者其他透明材料，其耐腐蝕層可以采用噴涂工藝進行制作。
[0023]上述糾偏裝置，通過電纜40將糾偏傳感器10和信號接收器20連接起來，可以使得糾偏傳感器10和信號接收器20位于不同的工作環(huán)境中。在使用時，信號接收器20位于常壓環(huán)境中，糾偏傳感器10位于真空離子環(huán)境中，糾偏傳感器10的支架12和紅外受光鏡頭14均由防腐蝕性材料制成，可以保護支架12和紅外鏡頭不被等離子蝕刻的酸性氣體腐蝕，而位于常壓環(huán)境中的信號接收器20，其內(nèi)部電路板不受等離子蝕刻環(huán)境的影響，不容易被腐蝕，可長期使用。
[0024]在一實施方式中，保護層30的材質(zhì)為聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡膠。在其他實施方式中，保護層30的材質(zhì)也可以為其他耐腐蝕性材料，如丁腈橡膠等。
[0025]在一實施方式中，保護層30的厚度為電纜40直徑的0.5倍?3倍。保護層30的厚度如果太厚會增加制作成本，如果太薄，又會達不到理想的耐腐蝕效果。當保護層30的厚度為電纜40直徑的0.5倍?3倍時，既可以實現(xiàn)電纜40的耐腐蝕功能，又能節(jié)約制作成本。
[0026]在一實施方式中，紅外受光鏡頭14包括接收端140和發(fā)射端142，接收端140與發(fā)射端142相對設(shè)置。接收端140位于發(fā)射端142的正上方，當發(fā)射端142與接收端140檢測到偏移信號時，偏移信號被發(fā)送至信號接收器20，然后對偏移信號進行處理。
[0027]在一實施方式中，第一耐腐蝕性材料為鋁合金或鈦。鋁合金不僅具有較好的耐腐性，而且密度小，使用鋁合金制作支架12，可以減輕糾偏裝置的重量。在其他實施方式中，第一耐腐蝕性材料也可以為鈦。
[0028]在一實施方式中，第二耐腐蝕性材料為玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。在制作紅外受光鏡頭14時，采用噴涂工藝在紅外受光鏡頭14上涂覆一層耐腐蝕層?？梢岳斫獾氖?，耐腐蝕層應該是透明的，即耐腐蝕層并不影響紅外受光鏡頭14的透光性。在其他實施方式中，也可以直接采用透明的耐腐蝕性材料制作紅外受光鏡頭14。
[0029]上述糾偏裝置可以用于等離子設(shè)備中，特別是卷性等離子設(shè)備，用于解決卷性材料在等離子處理過程中的偏移問題。下面以一具體的等離子設(shè)備進行舉例。
[0030]一實施方式的等離子設(shè)備，包括上述糾偏裝置，真空腔室以及設(shè)置在真空腔室內(nèi)的放料軸和收料軸，放料軸和收料軸分別由伺服電機驅(qū)動，真空腔室內(nèi)設(shè)有等離子區(qū)域，其中，等離子區(qū)域是由正電極和負電極構(gòu)成的。
[0031]糾偏傳感器位于等離子區(qū)域內(nèi)，電纜穿出真空腔室，一端與糾偏傳感器連接，一端與信號接收器連接。
[0032]上述等離子設(shè)備，糾偏傳感器置于真空腔室內(nèi)的等離子區(qū)，而信號接收器位于真空腔室外部，糾偏傳感器與信號接收器通過包覆有保護層的電纜連接。位于等離子區(qū)的糾偏傳感器由于受到耐腐蝕層的保護，可以不被等離子蝕刻的酸性氣體腐蝕，而位于常壓環(huán)境中的信號接收器，不受等離子環(huán)境的影響，避免了被腐蝕。上述等離子設(shè)備性能穩(wěn)定，使用壽命長。
[0033]以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應以所附權(quán)利要求為準。
【權(quán)利要求】
1.一種糾偏裝置，包括糾偏傳感器和信號接收器，其特征在于，所述糾偏裝置還包括包覆有保護層的電纜，所述糾偏傳感器通過所述電纜與所述信號接收器連接； 所述糾偏傳感器包括第一耐腐蝕性材料制作的支架以及固定于所述支架上的紅外受光鏡頭，所述紅外受光鏡頭覆蓋有第二耐腐性材料制作的耐腐蝕層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的糾偏裝置，其特征在于，所述保護層的厚度為所述電纜直徑的0.5倍?3倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的糾偏裝置，其特征在于，所述保護層的材質(zhì)為聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡膠。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的糾偏裝置，其特征在于，所述紅外受光鏡頭包括發(fā)射端和接收端，所述發(fā)射端與所述接收端相對設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的糾偏裝置，其特征在于，所述第一耐腐蝕性材料為鋁合金或鈦。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的糾偏裝置，其特征在于，所述第二耐腐蝕性材料為玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。
7.一種等離子設(shè)備，包括真空腔室以及設(shè)置在所述真空腔室內(nèi)的放料軸和收料軸，所述放料軸和所述收料軸分別由伺服電機驅(qū)動，所述真空腔室內(nèi)設(shè)有等離子區(qū)域，其特征在于，所述等離子設(shè)備還設(shè)有糾偏裝置，所述糾偏裝置包括糾偏傳感器、信號接收器和包覆有保護層的電纜，所述糾偏傳感器位于所述等離子區(qū)域內(nèi)，所述電纜穿出所述真空腔室，所述電纜一端與糾偏傳感器連接，另一端與所述信號接收器連接； 所述糾偏傳感器包括第一耐腐蝕性材料制作的支架以及固定于所述支架上的紅外受光鏡頭，所述紅外受光鏡頭覆蓋有第二耐腐性材料制作的耐腐蝕層。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的等離子設(shè)備，其特征在于，所述保護層的厚度為所述電纜直徑的0.5倍?3倍。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的等離子設(shè)備，其特征在于，所述紅外受光鏡頭包括發(fā)射端和接收端，所述發(fā)射端與接收端相對設(shè)置。
10.根據(jù)權(quán)利要求7-9任一項所述的等離子設(shè)備，其特征在于，所述保護層的材質(zhì)為聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡膠，所述第一耐腐蝕性材料為鋁合金或鈦，所述第二耐腐蝕性材料為玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。
【文檔編號】G01V8/10GK103592693SQ201310557325
【公開日】2014年2月19日 申請日期:2013年11月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月11日
【發(fā)明者】趙公魄, 趙芝強, 梁冠雄, 丁雪苗, 劉玉平 申請人:珠海寶豐堂電子科技有限公司