技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種便于觀察金屬襯底上CVD石墨烯表面褶皺分布的方法，包括：將長(zhǎng)有石墨烯的金屬襯底置于氧化性氣氛中，以氧化石墨烯褶皺處的金屬；然后將氧化后的金屬襯底置于光學(xué)顯微鏡下觀察，納米級(jí)褶皺分布情況在光學(xué)顯微鏡下清晰顯現(xiàn)出來；所述的金屬襯底為銅、鎳或者銅鎳合金。本發(fā)明的表征方法重復(fù)性高、簡(jiǎn)單易行，使這些處理前需要超高放大倍數(shù)顯微鏡才能觀察到的納米級(jí)褶皺分布在低放大倍數(shù)光學(xué)顯微鏡下能夠清晰地顯現(xiàn)出來。

技術(shù)研發(fā)人員：張燕輝;于廣輝;陳志鎣;王彬;張浩然
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
文檔號(hào)碼：201310237684
技術(shù)研發(fā)日：2013.06.14
技術(shù)公布日：2017.07.21