電特性檢測裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠取得與設置在將多個基板層疊而成的檢測對象基板上的布線路徑的任意的對象部分的電阻值相關(guān)的信息的電特性檢測裝置。電特性檢測裝置（2）的存儲部（25）存儲與構(gòu)成設置在檢測對象基板上的布線路徑的布線以及通孔相關(guān)的設計數(shù)據(jù)。輸入接收部（24）接收用于確定應計算上述布線路徑的電阻值的對象部分的指示。控制部（27）基于在存儲部（25）中存儲的上述設計數(shù)據(jù)來計算根據(jù)輸入接收部（24）所接收的上述指示而確定的上述布線路徑的上述對象部分的電阻值并顯示在顯示部（26）上。
【專利說明】電特性檢測裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對設置在將多個基板層疊而成的檢測對象基板上的布線路徑的電阻值進行計算的電特性檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，伴隨著基板制造技術(shù)的發(fā)展，在多層化的基板中內(nèi)置有電容器、線圈等電子部件的內(nèi)置型基板(嵌入式基板)的研發(fā)也在不斷推進。在這樣的微細化且復雜化的基板中，可與外部裝置進行電連接的只有形成在基板上的接觸點，因此難以進行為檢查內(nèi)置的電子部件的電特性等而進行的檢測。
[0003]例如，在基板內(nèi)設置有第一?第三電子部件這三個電子部件被連接為三角狀而成的三角形電路的情況下，為了正確地檢測構(gòu)成這種三角形電路的三個電子部件中的第一以及第二電子部件這兩個電子部件的電特性，需要排除其余的那個第三電子部件的影響來進行電特性的檢測。因此，需要將第三電子部件的兩側(cè)的連接部的電壓電平維持在相同電平，同時向第一以及第二電子部件供給用于檢測電特性的電力。
[0004]在此，基板表面的、用于供給電特性檢測用的電力的探針所接觸的各個接觸點與第三電子部件的兩側(cè)的連接部之間的布線路徑的電阻值具有各種值。因此，為了正確地進行第一以及第二電子部件的電特性的檢測，需要考慮在電力供給中使用的基板表面的接觸點與第三電子部件的兩側(cè)的連接部之間的布線路徑的電阻值的值。但是，由于第三電子部件被埋入在基板內(nèi)部，因此憑借通常的測量技術(shù)難以測量第三電子部件的兩側(cè)的連接部與基板表面的接觸點之間的布線路徑的電阻值。
[0005]此外，作為測量設置在基板上的布線的電阻值的技術(shù)，例如可舉出專利文獻I所記載的技術(shù)。
[0006](專利文獻)
[0007]專利文獻1:日本特開2007-212194號公報
【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]因此，本發(fā)明所要解決的課題是提供一種能夠取得與設置在將多個基板層疊而成的檢測對象基板上的布線路徑的任意的對象部分的電阻值相關(guān)的信息的電特性檢測裝置。
[0009]為了解決上述課題，本發(fā)明的第一方面是對設置在將多個基板層疊而成的檢測對象基板上的布線路徑的電阻值進行計算的電特性檢測裝置，具備:存儲部，其存儲與構(gòu)成設置在上述檢測對象基板上的布線路徑的布線以及通孔(through-hole)相關(guān)的設計數(shù)據(jù)；輸入接收部，其接收用于確定應計算上述布線路徑的電阻值的對象部分的指示；顯示部；以及信息處理部，其基于存儲在上述存儲部中的上述設計數(shù)據(jù)來計算根據(jù)上述輸入接收部所接收的上述指示而確定的上述布線路徑的上述對象部分的電阻值并顯示在上述顯示部上。
[0010]另外，在本發(fā)明的第二方面中，在上述第一方面的電特性檢測裝置的基礎(chǔ)上，上述信息處理部基于存儲在上述存儲部中的上述設計數(shù)據(jù)來制成布線電路圖，并將上述布線電路圖與上述對象部分的計算出的上述電阻值一起顯示在上述顯示部上，其中所述布線電路圖是連接表示上述對象部分所含的布線以及通孔的布線圖像要素以及通孔圖像要素來表示上述布線路徑的上述對象部分的結(jié)構(gòu)的布線電路圖。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的第一方面，設置在檢測對象基板上的布線路徑中的、根據(jù)輸入接收部所接收的指示而確定的對象部分的電阻值基于存儲在存儲部中的、與構(gòu)成布線路徑的布線以及通孔相關(guān)的設計數(shù)據(jù)被自動地計算并顯示于顯示部上。因此，能夠取得與設置在將多個基板層疊而成的檢測對象基板上的布線路徑的任意的對象部分的電阻值相關(guān)的信息。由此，在對檢測對象基板內(nèi)的電子部件的電特性進行檢測等時，能夠容易地掌握布線路徑的電阻值的影響等。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的第二方面，連接表示布線路徑的對象部分中所含的布線以及通孔的布線圖像要素以及通孔圖像要素來表示上述對象部分的結(jié)構(gòu)的布線電路圖是基于存儲在存儲部中的設計數(shù)據(jù)而自動地制成的，且上述布線電路圖與上述對象部分的計算出的上述的電阻值一起被顯示在顯示部上。因此，基于這種顯示內(nèi)容，能夠容易地了解設置在檢測對象基板內(nèi)的布線路徑的任意的對象部分的結(jié)構(gòu)以及電阻值。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是示意性地表示作為本發(fā)明的一個實施方式的電特性檢測裝置的檢測對象的檢測對象基板的結(jié)構(gòu)等的圖。
[0014]圖2是表示本發(fā)明的一個實施方式的電特性檢測裝置的電結(jié)構(gòu)的框圖。
[0015]圖3A示出由圖2的電特性檢測裝置制成的布線電路圖，該布線電路圖與圖1的檢測對象基板內(nèi)的第一電容器的第二連接部到各個第二接觸點為止的布線路徑的結(jié)構(gòu)對應。
[0016]圖3B示出由圖2的電特性檢測裝置制成的布線電路圖，該布線電路圖與圖1的檢測對象基板內(nèi)的第二電容器的第二連接部到各個第三接觸點為止的布線路徑的結(jié)構(gòu)對應。
[0017]圖4是表示利用圖2的電特性檢測裝置對圖1的檢測對象基板內(nèi)的第一以及第二電容器的電特性進行檢測時的電路結(jié)構(gòu)的圖。
[0018](附圖標記的說明)
[0019]1:檢測對象基板，2:電特性檢測裝置，3:第一電容器，3a:第一連接部，3b:第二連接部,4:第二電容器,4a:第一連接部,4b:第二連接部,5:阻抗元件,5a:第一連接部,5b:第二連接部，6a、6b:第一接觸點，7a?7d:第二接觸點，8a?8d:第三接觸點，9?11:布線路徑，21:檢查夾具，22:檢測部，22a:電源部，22b:電壓測量部，22c:電流測量部，23:連接切換部，24:輸入接收部，25:存儲部，26:顯示部，27:控制部，31、32:布線電路圖，31a、32a:布線圖像要素，31b、32b:通孔圖像要素，31c、32c:電子部件圖像要素，31d、32d:連接部圖像要素，31e、32e:接觸點圖像要素，Pl?PlO:探針。
【具體實施方式】
[0020]參照圖1?圖4對本發(fā)明的一個實施方式的電特性檢測裝置進行說明。
[0021]首先，基于圖1對作為本實施方式的電特性檢測裝置2的檢測對象的檢測對象基板I進行說明。該檢測對象基板I為將多個基板層疊而構(gòu)成的層疊基板，如圖1所示，在其內(nèi)部設置有被連接成三角狀而構(gòu)成三角形電路的第一以及第二電容器3、4以及具有阻抗的阻抗元件(例如電感器))5。所述第一以及第二電容器3、4與本發(fā)明的第一以及第二電子部件對應，阻抗元件與本發(fā)明的第三電子部件對應。第一電容器3的第一連接部3a與第二電容器4的第一連接部4a通過布線路徑連接，第一電容器3的第二連接部3b與阻抗元件5的第一連接部5a通過布線路徑連接，第二電容器4的第二連接部4b與阻抗元件5的第二連接部5b通過布線路徑連接。
[0022]在本實施方式中，對作為第一以及第二電容器3、4的電子部件具有相同的電特性(在此為電容量)的情況進行了說明，但兩個電容器3、4的電容也可以不同。另外，第一以及第二電容器3、4為第一以及第二電子部件的例示，并不限定于此。另外，阻抗元件5也是第三電子部件的例示，并不限定于此。
[0023]另外，在檢測對象基板I的表面上設置有至少一個(圖1例中為兩個)第一接觸點6a、6b (統(tǒng)稱時使用附圖標記“6”)、多個(圖1例中為四個)第二接觸點7a?7d (統(tǒng)稱時使用附圖標記“7”)以及多個(圖1例中為四個)第三接觸點8a?8d (統(tǒng)稱時使用附圖標記“8”)。此外，在本實施方式中為了簡化說明，簡化了檢測對象基板I的結(jié)構(gòu)來進行說明，但在通常情況下，在檢測對象基板I內(nèi)不僅設置有電容器3、4以及阻抗元件5，還設置有其它電子部件以及與其相伴的布線(例如、布線圖案)等，并且在檢測對象基板I的表面上還設置有第一?第三接觸點6?8以外的多個接觸點。在此，接觸點7?8由設置在布線的連接盤部或者在所述連接盤部上賦予的焊錫球等構(gòu)成。
[0024]第一接觸點6經(jīng)由布線路徑9分別與第一電容器3的第一連接部3a以及第二電容器4的第一連接部4a連接。第二接觸點7經(jīng)由布線路徑10與第一電容器3的第二連接部3b以及阻抗元件5的第一連接部5a分別連接。第三接觸點8經(jīng)由布線路徑11與第二電容器4的第二連接部4b以及阻抗元件5的第二連接部5b分別連接。
[0025]接下來，參照圖2對電特性檢測裝置2的結(jié)構(gòu)進行說明。如圖2所示，電特性檢測裝置2具備檢查夾具21、檢測部22、連接切換部23、輸入接收部24、存儲部25、顯示部26以及控制部27，用于對檢測對象基板I的第一以及第二電容器3、4的電特性(在本實施方式中為電容量)的檢測?？刂撇?7與本發(fā)明的信息處理部對應。此外，在本實施方式中，利用電特性檢測裝置2對第一以及第二電容器3、4的電容量進行檢測，但并不局限于此，也可以檢測各種電子部件的其它電特性(例如，阻抗、電阻等)。
[0026]檢查夾具21具備與檢測對象基板I的第一?第三接觸點6?8分別接觸并連接的多個探針Pi?Pio (統(tǒng)稱時使用附圖標記“P”)。此外，作為變形例，也可以對各個接觸點6?8的一部分或者全部，每次使多根探針P (例如，兩根)接觸。另外，在圖2所示的結(jié)構(gòu)中為了簡化而進行了省略，但檢查夾具21具有與檢測對象基板I的上表面?zhèn)纫约跋卤砻鎮(zhèn)确謩e抵接的上側(cè)夾具部和下側(cè)夾具部。在圖1的圖示例中，探針P1、P2與第一接觸點6a、6b分別接觸，探針P3?P6與第二接觸點7a?7d分別接觸，探針P7?PlO與第三接觸點8a?8d分別接觸。
[0027]檢測部22具有電源部22a、電壓測量部22b以及電流測量部22c。電源部22a通過控制部27的控制并經(jīng)由檢查夾具21的探針P將用于檢測第一以及第二電容器3、4的電容量的電力(例如，交流電流或者電流值周期性變動的直流變動電流)供給至檢測對象基板I的接觸點6?8間。電壓測量部22b通過控制部27的控制并經(jīng)由檢查夾具21的探針P來測量施加至檢測對象基板I的接觸點6?8間的電壓，并將測量結(jié)果提供給控制部27。電流測量部22c通過控制部27的控制并經(jīng)由檢查夾具21的探針P來測量供給至檢測對象基板I的接觸點6?8間的電流，并將測量結(jié)果提供給控制部27。
[0028]連接切換部23構(gòu)成為具備通過控制部27的控制進行接通、關(guān)斷動作的多個開關(guān)元件，通過控制部27的控制對檢查夾具21的各個探針P與檢測部22的電源部22a、電壓測量部22b以及電流測量部22c之間的電連接關(guān)系進行切換。
[0029]輸入接收部24具有接收對電特性檢測裝置2的操作輸入的未圖示的操作部，并且具備從網(wǎng)絡或者拆裝式的記錄介質(zhì)(盤狀記錄介質(zhì)、拆裝式的半導體記錄介質(zhì)等)等取得信息的未圖示的信息取得部等。關(guān)于檢測對象基板I的結(jié)構(gòu)的基板數(shù)據(jù)經(jīng)由該輸入接收部24從網(wǎng)絡或者拆裝式的記錄介質(zhì)等輸入。
[0030]存儲部25構(gòu)成為具備半導體存儲器或者硬盤等，存儲有電特性檢測裝置2的檢測動作所需的各種數(shù)據(jù)。例如，在存儲部25中存儲與檢測對象基板I的結(jié)構(gòu)相關(guān)的基板數(shù)據(jù)。在該基板數(shù)據(jù)中包含與設置在檢測對象基板I上的、構(gòu)成包含上述的布線路徑9?11等的各布線路徑的布線以及通孔的三維配置構(gòu)造(路徑上的各位置的位置信息、形狀等)相關(guān)的設計數(shù)據(jù)。另外，在所述設計數(shù)據(jù)中還含有與設置在各個布線路徑上的各個連接部(例如，連接部3a、3b、4a、4b、5a、5b等)以及各個接觸點(例如，接觸點6?8等)相關(guān)的位置信息。另外，在基板數(shù)據(jù)中含有與設置在檢測對象基板I上的布線的電阻率以及通孔的電阻率相關(guān)的電阻率數(shù)據(jù)。
[0031]顯示部26通過控制部27的控制來顯示與電特性檢測裝置2的操作相關(guān)的操作信息以及與檢測對象基板I相關(guān)的檢測結(jié)果等。
[0032]控制部27負責電特性檢測裝置2整體的控制，具體地說，進行接收經(jīng)由輸入接收部24等的指示以及信息、將接收到的信息向存儲部25保存、以及控制電源部22a、電壓測量部22b、電流測量部22c、連接切換部23以及顯示部26等的控制。
[0033]接下來，關(guān)于控制部27的控制動作進行說明，并且對該電特性檢測裝置2的動作進打說明。在控制部27的功能中，包括接觸點選擇功能以及電特性檢測功能。在此，在電特性檢測裝置2的動作步驟中，包括接觸點選擇功能起作用的接觸點選擇步驟和電特性檢測功能起作用的電特性檢測步驟。在接觸點選擇步驟中，從設置在檢測對象基板I上的多個第二以及第三接觸點7、8中選擇在用于檢測第一以及第二電容器3、4的電容量的電力供給中使用的接觸點7、8各一個，詳細情況將在后文中描述。在電特性檢測步驟中，經(jīng)由所選擇的接觸點7、8等進行第一以及第二電容器3、4的電容量的檢測。此外，在繼續(xù)對具有相同結(jié)構(gòu)的同種類的檢測對象基板I進行電容量的檢測的情況下，對第二個及以后的檢測對象基板I，省略接觸點選擇步驟。
[0034]在控制部27的接觸點選擇功能中，從多個第二以及第三接觸點7、8中，以第二接觸點7與阻抗元件5的第一連接部5a之間的布線路徑10的電阻值和第三接觸點8與阻抗元件5的第二連接部5b之間的布線路徑11的電阻值成為最接近的值的組合的方式，選擇第二接觸點7以及第三接觸點8各一個作為第一以及第二選擇接觸點。在此，作為判斷電阻值的接近度的指標，例如可以使用將比較對象的兩個電阻值之差除以這兩個電阻值中的任意一個電阻值而得出的商值。在此情況下，以該商值為最小的電阻值的組合的方式來選擇第一以及第二選擇接觸點。此外，作為變形例，也可以基于第二接觸點7與第一電容器3的第二連接部3b之間的布線路徑10的電阻值和第三接觸點8與第二電容器4的第二連接部4b之間的布線路徑11的電阻值來進行第一以及第二選擇接觸點的選擇。
[0035]作為具體例，例如對阻抗元件5的第一連接部5a與第二接觸點7a?7d之間的各個布線路徑10的電阻值分別為81.3ι?Ω、78.6ι?Ω、74.7ι?Ω、75.9m Ω，阻抗元件5的第二連接部5b與第三接觸點8a?8d之間的各個布線路徑11的電阻值分別為72.7πιΩ、73.6m Ω、77.1mQ ,79.3mΩ的情況進行說明。在此情況下，由于第一連接部5a與第二接觸點7b之間的電阻值78.6mΩ和第二連接部5b與第三接觸點8d之間的電阻值79.3mΩ最為接近，因此第二接觸點7b被選擇為第一選擇接觸點，第三接觸點8d被選擇為第二選擇接觸點。
[0036]這種用于接觸點7、8的選擇的、各個第二接觸點7與第一連接部5a之間的布線路徑10的電阻值以及各個第三接觸點8與第二連接部5b之間的布線路徑11的電阻值，利用控制部27基于預先存儲在存儲部25中的上述的設計數(shù)據(jù)來計算。關(guān)于電阻值的計算，例如在第一連接部5a與第二接觸點7a之間為布線路徑10的情況下，基于沿著第一連接部5a與第二接觸點7a之間的布線路徑10的布線路徑10的路徑長度、布線路徑10上的布線以及通孔的橫截面面積、以及布線和通孔的電阻率來計算所述布線路徑10的電阻值。
[0037]另外，控制部27的接觸點選擇功能還包括制成示意性地表示設置在檢測對象基板I上的上述的布線路徑10、11的結(jié)構(gòu)的如圖3A以及圖3B所示的布線電路圖31、32并顯示在顯示部26上的功能。該布線電路圖31是連接分別表示布線路徑10所含的布線、通孔、阻抗元件5、第一連接部5a以及第二接觸點7的布線圖像要素31a、通孔圖像要素31b、電子部件圖像要素31c、連接部圖像要素31d以及接觸點圖像要素31e來表示各個第二接觸點7與阻抗元件5的第一連接部5a之間的布線路徑10的結(jié)構(gòu)的圖。布線電路圖32是連接分別表示布線路徑11所含的布線、通孔、阻抗元件5、第二連接部5b以及第三接觸點8的布線圖像要素32a、通孔圖像要素32b、電子部件圖像要素32c、連接部圖像要素32d以及接觸點圖像要素32e來表示各個第三接觸點8與阻抗元件5的第二連接部5b之間的布線路徑11的結(jié)構(gòu)的圖。這樣的布線電路圖31、32基于預先存儲在存儲部25中的上述的設計數(shù)據(jù)而制成。
[0038]另外，如圖3A以及圖3B所示，如上述那樣計算出的第一連接部5a與各個第二接觸點7a?7d之間的電阻值以及第二連接部5b與各個第三接觸點8a?8d之間的電阻值分別與顯示在顯示部26上的布線電路圖31、32中的、與各個第二接觸點7a?7d對應的接觸點圖像要素31e以及與各個第三接觸點8a?8d對應的接觸點圖像要素32e對應地顯示。另外，進行用于將被選擇為第一以及第二選擇接觸點的第二接觸點7a?7d以及第三接觸點8a?8d與未被選擇的其它接觸點7a?7d、8a?8d進行區(qū)別的顯示。例如，被選擇為選擇接觸點的接觸點7a?7d、8a?8d所對應的接觸點圖像要素31e、32e以與未被選擇的其它接觸點7a?7d、8a?8d所對應的接觸點圖像要素31e、32e不同的顯示方式(例如，顯示顏色、閃爍-非閃爍、有無箭頭顯示等)進行顯示。
[0039]接下來，對控制部27的電特性檢測功能進行說明。在該電特性檢測功能中，首先，控制連接切換部23，如圖4所示，在與第一接觸點6a、6b接觸的探針P1、P2中的、與任意一個第一接觸點6a、6b接觸的探針P1、P2 (圖4的圖示例中為與接觸點6a接觸的探針Pl)經(jīng)由連接切換部23與檢測部22連接。另外，與第二接觸點7a?7d接觸的探針P3?P6中的、與被選擇為第一選擇接觸點的任意一個第二接觸點7a?7d接觸的探針P3?P6 (圖4的圖示例中為與接觸點7b接觸的探針P4)經(jīng)由連接切換部23與檢測部22連接。另外，與第三接觸點8a?8d接觸的探針P7?PlO中的、與被選擇為第二選擇接觸點的任意一個第三接觸點8a?8d接觸的探針P7?PlO (圖4的圖示例中為與接觸點8d接觸的探針P10)經(jīng)由連接切換部23與檢測部22連接。此時，探針P1、P4、P10以外的探針P與檢測部22的連接關(guān)系被連接切換部23關(guān)斷。
[0040]接著，在第一以及第二電容器3、4的第一連接部3a、4a與第二連接部3b、4b之間，經(jīng)由接觸點6a、7b、8d以及探針P1、P4、P10由檢測部22的電源部22a施加用于檢測電容量的電力(在本實施方式中，例如為恒定輸出的交流電流)，利用電壓測量部22b以及電流測量部22c中的任意一方或者雙方檢測供給給電容器3、4的電壓以及電流中的任意一方或者雙方，并基于該檢測結(jié)果來檢測電容器3、4的電容量。
[0041]在此，作為該電容量的檢測手法，能夠采用各種方法。例如，在本實施方式中，兩個電容器3、4的電容量相同，因此通過對處于并聯(lián)關(guān)系的兩個電容器3、4的合成電容進行檢測，并將所檢測出的合成電容除以2，可得到各電容器3、4的電容量。關(guān)于電容器3、4的合成電容的測量手法，也可以采用各種手法，作為一個例子，例如可舉出下述方法:在向連接部3a、4a與連接部3b、4b之間施加交流電流時,測量連接部3a、4a與連接部3b、4b之間的電壓以及流過連接部3a、4a與連接部3b、4b之間的電流，基于這種電壓測量值以及電流測量值來計算合成電容。
[0042]此外，在本實施方式中，對第一以及第二電容器3、4的電容量相同的情況進行了說明，但在兩電容器3、4的電容量不同的情況下，只要預先知曉兩個電容器3、4的電容比，就能夠基于該電容比和如上所述檢測出的兩電容器3、4的合成電容來得到各個電容器3、4的電容量。此外，在不清楚兩個電容器3、4的電容比的情況下，例如可使用本 申請人:在之前的專利申請(日本特愿2011-255349號)中記載的方法，通過利用檢測部22檢測兩個電容器3、4的電容比來得到各個電容器3、4的電容量。在此情況下，需要在檢測部22中設置兩個電源部22a，并且電壓測量部22b以及電流測量部22c中的至少任意一方需要設置為兩個。另外，在此情況下，電容比的檢測也使用接觸點6a、6b中的任意一方和如上述那樣設定的第一以及第二選擇接觸點(例如，接觸點7b、8d)來進行。
[0043]如上所述，根據(jù)本實施方式，在檢測第一以及第二電容器3、4的電容量時，從多個第二接觸點7a?7d以及第三接觸點8a?8d中，按照第二接觸點7a?7d與阻抗元件5的第一連接部5a之間的布線路徑10的電阻值和第三接觸點8a?8d與阻抗元件5的第二連接部5b之間的布線路徑11的電阻值為最接近的值的組合的方式，選擇第二接觸點7a?7d以及第三接觸點8a?8d各一個作為第一以及第二選擇接觸點。另外，經(jīng)由與任意一個第一接觸點6連接的探針P1、P2、與被分別選擇為第一選擇接觸點以及第二選擇接觸點的任意一個第二接觸點7a?7d以及第三接觸點8a?8d分別連接的探針P3?P6以及探針P7?PlO來檢測第一以及第二電容器3、4的電容量。因此，可以將阻抗元件5的兩側(cè)的連接部5a、5b的電壓電平維持在實際上相同的電平，充分抑制阻抗元件5的影響，可以正確地檢測第一以及第二電容器3、4的電容量。
[0044]另外,在選擇第一以及第二選擇接觸點時,各個第二接觸點7a?7d與連接部5a之間的布線路徑10的電阻值以及各個第三接觸點8a?8d與連接部5b之間的布線路徑11的電阻值基于與各個布線路徑10、11中的布線以及通孔相關(guān)的設計數(shù)據(jù)等而被自動計算，基于這種計算結(jié)果自動地進行第一以及第二選擇接觸點的選擇。因此，能夠減輕與第一以及第二選擇接觸點的選擇作業(yè)相關(guān)的操作者的負擔。
[0045]另外，在選擇第一以及第二選擇接觸點時，示意性地表示各個第二接觸點7a?7d與連接部5a之間的布線路徑10的結(jié)構(gòu)以及各個第三接觸點8a?8d與連接部5b之間的布線路徑11的結(jié)構(gòu)的布線電路圖31、32基于設計數(shù)據(jù)而被自動地制成，并與計算得出的布線路徑10、11的上述的電阻值一起顯示在顯示部26上。因此，基于該顯示部26的顯示內(nèi)容，操作者能夠容易地了解各個第二接觸點7a?7d與連接部5a之間的布線路徑10的結(jié)構(gòu)和電阻值、以及各個第三接觸點8a?8d與連接部5b之間的布線路徑11的結(jié)構(gòu)和電阻值，能夠容易地對所選擇的第一以及第二選擇接觸點的正確性進行確認等。
[0046]接下來，對上述的實施方式的結(jié)構(gòu)的變形例進行說明。在上述的結(jié)構(gòu)中，使控制部27自動進行從多個第二接觸點7a?7d以及第三接觸點8a?8d中選擇第一以及第二選擇接觸點，但也可以是由操作者進行第一以及第二選擇接觸點的選擇，并將選擇出的內(nèi)容經(jīng)由輸入接收部24輸入至電特性檢測裝置2。在此情況下，例如通過參照表示由控制部27賦予的各個第二接觸點7a?7d與連接部5a之間的布線路徑10的結(jié)構(gòu)以及各個第三接觸點8a?8d與連接部5b之間的布線路徑11的結(jié)構(gòu)的上述的布線電路圖31、32、以及布線路徑IOUl的電阻值，操作者能夠容易地進行第一以及第二選擇接觸點的選擇。
[0047]另外，在上述的實施方式中，將設置在檢測對象基板I上的布線路徑中的、使控制部27進行電阻值的計算以及布線電路圖的制成的對象部分預先設定為各個第二接觸點7a?7d與連接部5a之間的布線路徑10以及各個第三接觸點8a?8d與連接部5b之間的布線路徑11。作為關(guān)于這點的變形例，可以根據(jù)由操作者經(jīng)由輸入接收部24輸入的指示來確定(設定輸入)設置在檢測對象基板I上的布線路徑中的、使控制部27進行電阻值的計算以及布線電路圖的制成的對象部分。
【權(quán)利要求】
1.一種對設置在將多個基板層疊而成的檢測對象基板上的布線路徑的電阻值進行計算的電特性檢測裝置，其特征在于，具備: 存儲部，其存儲與構(gòu)成設置在上述檢測對象基板上的布線路徑的布線以及通孔相關(guān)的設計數(shù)據(jù)； 輸入接收部，其接收用于確定應計算上述布線路徑的電阻值的對象部分的指示； 顯示部；以及 信息處理部，其基于存儲在上述存儲部中的上述設計數(shù)據(jù)來計算根據(jù)上述輸入接收部所接收的上述指示而確定的上述布線路徑的上述對象部分的電阻值并顯示在上述顯示部上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電特性檢測裝置，其特征在于， 上述信息處理部基于存儲在上述存儲部中的上述設計數(shù)據(jù)來制成布線電路圖，并將上述布線電路圖與上述對象部分的計算出的上述電阻值一起顯示在上述顯示部上，其中上述布線電路圖是連接表示上述對象部分所含的布線以及通孔的布線圖像要素以及通孔圖像要素來表示上述布線路徑的上述對象部分的結(jié)構(gòu)的布線電路圖。
【文檔編號】G01R27/26GK103487654SQ201310224099
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2013年6月6日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月11日
【發(fā)明者】山下宗寛 申請人:日本電產(chǎn)理德株式會社