質(zhì)量分析裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供質(zhì)量分析裝置（100），其測(cè)定試樣的更換容易，且能抑制帶水。該質(zhì)量分析裝置具有：分離被離子化的試樣氣體的質(zhì)量分析部（102）；利用來自質(zhì)量分析部的差動(dòng)排氣對(duì)內(nèi)部進(jìn)行減壓，并對(duì)上述試樣氣體進(jìn)行離子化的離子源（101）；使測(cè)定試樣氣化，并且產(chǎn)生試樣氣體的試樣容器（17）；將在試樣容器產(chǎn)生的試樣氣體導(dǎo)入離子源的細(xì)管（11）；連接試樣容器與細(xì)管，且開閉自如的彈性管（12）；以?shī)A住彈性管的方式關(guān)閉或打開彈性管的堰（13a、13b）；以及使試樣容器、細(xì)管以及彈性管一體化，并能一并地從主體裝卸的筒（8）。試樣容器在筒的脫離狀態(tài)時(shí)，能相對(duì)于筒裝卸。
【專利說明】質(zhì)量分析裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及質(zhì)量分析裝置，尤其涉及適于小型輕量化的質(zhì)量分析裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在質(zhì)量分析裝置中，利用質(zhì)量分析部對(duì)離子化的測(cè)定試樣(試樣氣體)進(jìn)行質(zhì)量分析。質(zhì)量分析部被收放在真空房間內(nèi)，在0.1Pa以下的高真空中被保管，另一方面，試樣氣體的離子化利用在專利文獻(xiàn)I所示的大氣壓下離子化的方式、在專利文獻(xiàn)2所示那樣的10?IOOPa左右的減壓下離子化的方式，因此進(jìn)行離子化的環(huán)境下的壓力與進(jìn)行質(zhì)量分析的環(huán)境下的壓力存在差。因此，在將質(zhì)量分析部的真空度(壓力)維持為能質(zhì)量分析的范圍的狀態(tài)下，為了將離子化了的試樣氣體導(dǎo)入質(zhì)量分析部，提出了專利文獻(xiàn)3所示的差動(dòng)排氣方式。另外，在專利文獻(xiàn)4中，除了差動(dòng)排氣方式，還提出了將離子化了的試樣氣體間歇性地導(dǎo)入質(zhì)量分析部的方式。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)I =US7OM32O
[0005]專利文獻(xiàn)2:US4849628
[0006]專利文獻(xiàn)3:US7592589
[0007]專利文獻(xiàn)4:W02009/023361
[0008]根據(jù)專利文獻(xiàn)4的將離子化了的測(cè)定試樣間歇性地導(dǎo)入質(zhì)量分析部的方式，在停止導(dǎo)入的期間恢復(fù)由于導(dǎo)入而下降的質(zhì)量分析部的真空度，能夠在高真空下實(shí)施質(zhì)量分析。在該方式中，即使小型的真空泵，也能夠使質(zhì)量分析部為高真空，因此有利于質(zhì)量分析裝置的小型輕量化。
[0009]但是，在專利文獻(xiàn)4的將離子化了的試樣氣體間歇性地導(dǎo)入質(zhì)量分析部的方式中，有可能產(chǎn)生在用于調(diào)整間歇導(dǎo)入的試樣氣體的氣體量的利用不銹毛細(xì)管或夾閥開閉的硅管上殘留上次測(cè)定的試樣氣體的帶水的問題(污染問題)。作為該對(duì)策，考慮加熱不銹毛細(xì)管或硅管，從而防止污染的方法。但是，該方法會(huì)導(dǎo)致加熱器或其電源等的增設(shè)，因此無法適用于質(zhì)量分析裝置的小型輕量化。另外，一般地，為了通過加熱防止污染，需要將配管等加熱為200°C以上，其結(jié)果，將硅管加熱為200°C以上是不恰當(dāng)?shù)摹?br> [0010]因此，期望在每次測(cè)定時(shí)更換(更換測(cè)定試樣)不銹毛細(xì)管或硅管等有可能產(chǎn)生污染問題的部位。但是，通過重新產(chǎn)生該更換作業(yè)，質(zhì)量分析裝置的質(zhì)量分析的作業(yè)必然變得麻煩。即，如果與更換試樣一起進(jìn)行具有產(chǎn)生污染問題(帶水)的可能性的部位的更換，則是有用的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]因此，本發(fā)明所要解決的課題在于提供測(cè)定試樣的更換容易，并能夠抑制帶水的質(zhì)量分析裝置。
[0012]為了解決上述課題，本發(fā)明的特征在于，具有:[0013]分尚被尚子化的試樣氣體的質(zhì)量分析部；
[0014]利用來自上述質(zhì)量分析部的差動(dòng)排氣對(duì)內(nèi)部進(jìn)行減壓，并對(duì)上述試樣氣體進(jìn)行離子化的離子源；
[0015]裝入上述試樣，使上述測(cè)定試樣氣化，并且產(chǎn)生上述試樣氣體的試樣容器；
[0016]將在上述試樣容器產(chǎn)生的上述試樣氣體向上述離子源導(dǎo)入的細(xì)管；
[0017]連接上述試樣容器與上述細(xì)管，且開閉自如的彈性管；
[0018]以?shī)A住上述彈性管的方式關(guān)閉或打開上述彈性管的堰；以及
[0019]使上述試樣容器與上述細(xì)管以及上述彈性管一體化，并能一并地從主體裝卸的筒。
[0020]另外，本發(fā)明是一種質(zhì)量分析裝置，其特征在于，具有:
[0021]分離被離子化的試樣氣體的質(zhì)量分析部；
[0022]利用來自上述質(zhì)量分析部的差動(dòng)排氣對(duì)內(nèi)部進(jìn)行減壓，并使上述試樣氣體離子化的離子源；
[0023]將上述試樣氣體導(dǎo)入上述離子源的細(xì)管；
[0024]插入孔，其設(shè)在上述離子源，通過插入上述細(xì)管，在對(duì)與上述細(xì)管之間進(jìn)行密封的狀態(tài)下連接上述細(xì)管與上述離子源，通過拔出上述細(xì)管，解除上述細(xì)管與上述離子源的連接；以及
[0025]開閉上述插入孔的開閉閥，
[0026]伴隨用于插入的上述細(xì)管向上述插入孔的前進(jìn)移動(dòng)，上述細(xì)管與上述開閉閥接近，在上述細(xì)管與上述開閉閥的距離縮短到第一規(guī)定距離時(shí)，上述開閉閥開始開閥，使上述細(xì)管通過，
[0027]伴隨用于上述細(xì)管從上述插入孔拔去的后退移動(dòng)，拔出上述細(xì)管，遠(yuǎn)離上述插入孔，在上述細(xì)管與上述插入孔的距離增長(zhǎng)到第二規(guī)定距離時(shí)，上述開閉閥結(jié)束閉閥。
[0028]本發(fā)明的效果如下。
[0029]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供測(cè)定試樣的更換容易，并能夠抑制帶水的質(zhì)量分析裝置。另夕卜，上述以外的課題、結(jié)構(gòu)及效果根據(jù)以下的實(shí)施方式的說明變得明確。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0030]圖1A是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的質(zhì)量分析裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0031]圖1B是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的質(zhì)量分析裝置的質(zhì)量分析部的結(jié)構(gòu)圖。
[0032]圖2A是表示在質(zhì)量分析裝置的主體上安裝筒的樣式的圖。
[0033]圖2B是表示在質(zhì)量分析裝置的主體上安裝筒后的樣式的圖。
[0034]圖2C是表示從筒取下試樣容器的樣式的圖。
[0035]圖3A是表示將細(xì)管插入離子源的樣式的圖(其一)。
[0036]圖3B是表示將細(xì)管插入離子源的樣式的圖(其二)。
[0037]圖3C是表示將細(xì)管插入離子源的樣式的圖(其三)。
[0038]圖3D是表示將細(xì)管插入離子源的樣式的圖(其四)。
[0039]圖4A是利用本發(fā)明的第一實(shí)施方式的質(zhì)量分析裝置實(shí)施的質(zhì)量分析方法的流程圖(其一)。[0040]圖4B是利用本發(fā)明的第一實(shí)施方式的質(zhì)量分析裝置實(shí)施的質(zhì)量分析方法的流程圖(其二)。
[0041]圖5是表示伴隨夾閥的開閉(a)的、離子源(電介質(zhì)容器)內(nèi)的壓力(b)的變動(dòng)與質(zhì)量分析部(真空房間)內(nèi)的壓力(C)的變動(dòng)的圖表。
[0042]圖6與質(zhì)量分析部的質(zhì)量分析方法(電壓掃描方式)順序(尚子蓄積-排氣等待時(shí)間-離子選擇-離子離解-質(zhì)量掃描(分離))對(duì)應(yīng)，(a)是表示滑動(dòng)閥的開閉的圖表，(b)是表示阻擋放電部的壓力的圖表，(c)是表示質(zhì)量分析部的壓力的圖表，Cd)是表示阻擋放電電極交流電壓的圖表，Ce)是表示孔DC電壓的圖表，Cf)是表示內(nèi)蓋電極/終端蓋電極DC電壓的圖表，(g)是表示貯存偏斜DC電壓的圖表，(h)是表示貯存RF電壓的圖表，(i)是表示輔助交流電壓的圖表，(j)是表示離子檢測(cè)器的接通斷開的圖表。
[0043]圖7與質(zhì)量分析部的質(zhì)量分析方法(頻率掃描方式)的順序(尚子蓄積-排氣等待時(shí)間-離子選擇-離子離解-質(zhì)量掃描(分離))對(duì)應(yīng)，(a)是表示夾閥的開閉的圖表，(b)是表示阻擋放電部的壓力的圖表，(c)是表示質(zhì)量分析部的壓力的圖表，Cd)是表示阻擋放電電極交流電壓的圖表，Ce)是表示孔DC電壓的圖表，Cf)是表示內(nèi)蓋電極/終端蓋電極DC電壓的圖表，(g)是表示貯存偏斜DC電壓的圖表，(h)是表示貯存RF電壓的圖表，(i)是表示輔助交流電壓的圖表，(j)是表示離子檢測(cè)器的接通斷開的圖表。
[0044]圖8是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的變形例的質(zhì)量分析裝置的主要部分的結(jié)構(gòu)圖。
[0045]圖9是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的質(zhì)量分析裝置的試樣導(dǎo)入部的結(jié)構(gòu)圖。
[0046]圖10是本發(fā)明的第三實(shí)施方式的質(zhì)量分析裝置的試樣導(dǎo)入部的結(jié)構(gòu)圖。
[0047]圖中:1—電介質(zhì)容器(電介質(zhì)隔壁)，2—阻擋放電電極，3—孔，4一阻擋放電用交流電源，5—阻擋放電部，6—滑動(dòng)閥容器(閥容器)，6a—外側(cè)插入孔，6b—插入孔，6c—貫通孔，7—滑動(dòng)閥閥體(閥體)，8—筒,9a—第一 O環(huán),9b—第_ O環(huán),9c —閥體O環(huán)，10—過濾器，11一細(xì)管(毛細(xì)管)，12—彈性管，13a —固定堰(夾閥的一對(duì)堰)，13b—移動(dòng)堰(夾閥的一對(duì)堰)，14一夾閥驅(qū)動(dòng)部，15一試樣氣體配管，16一筒主體(試樣容器蓋)，16a一筒把手，16b—?dú)馐遥?6c、16d—貫通孔，16e、16f—鉤，17—試樣容器，18—減壓配管(減壓機(jī)構(gòu))，19 一測(cè)定試樣，20—加熱器(加熱機(jī)構(gòu))，21—頭空間，22—被排出的試樣氣流，23—所測(cè)定的試樣氣流，24一試樣分子尚子流,25一被質(zhì)量分尚的試樣分子尚子流,26一從真空房間排出的氣流，30一真空房間，3la、3lb、31c、3Id—直線尚子存電極(上下，左右)，32一內(nèi)蓋電極，33一終端蓋電極，34一尚子檢測(cè)器，35一真空量計(jì)，36一潤(rùn)輪分子泵，37一粗真空泵，38一控制電路，39a—直線離子貯存電極用電源(C存RF電壓+輔助交流電壓)，39b—直線離子貯存電極用電源(貯存RF電壓)，40—閥體軸，41 一真空波紋管，42—槽凸輪(從動(dòng)滑塊(直動(dòng)從動(dòng)件)，主動(dòng)滑塊(直進(jìn)主動(dòng)件))，42a—凸輪槽，43—導(dǎo)向輥(從動(dòng)銷)，43a—從動(dòng)滑塊(直動(dòng)從動(dòng)件)，44一導(dǎo)向輥軸，45—試樣導(dǎo)入部基座(主動(dòng)滑塊，直進(jìn)主動(dòng)件)，45a—鉤，46—稀釋用配管(稀釋機(jī)構(gòu))，47—流量控制部(稀釋機(jī)構(gòu))，48—配管加熱器(流體加熱機(jī)構(gòu))，49 一外氣(大氣_)流，50一氣體過濾器,51一氣室金屬容器,52一金屬容器加熱器(氣體加熱機(jī)構(gòu))，100—質(zhì)量分析裝置，101一尚子源，102一質(zhì)量分析部，103一滑動(dòng)閥(開閉閥)，104一試樣導(dǎo)入部，105—夾閥，S一插入孔6b的開口面，Dl—第一規(guī)定距尚，D2—第二規(guī)定距尚。
【具體實(shí)施方式】[0048]接著，一邊適當(dāng)參照附圖一邊詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施方式。另外，在各圖中，對(duì)共同的部分標(biāo)注相同的符號(hào)并省略重復(fù)的說明。
[0049](第一實(shí)施方式)
[0050]圖1A表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的質(zhì)量分析裝置100的結(jié)構(gòu)圖。質(zhì)量分析裝置100具有真空房間30。在真空房間30上串聯(lián)地連接有渦輪分子泵36與粗真空泵37。由此，能夠?qū)⒄婵辗块g30內(nèi)減壓為大約0.1Pa以下的高真空。在真空房間30中設(shè)有真空量計(jì)35，能夠測(cè)定真空房間30內(nèi)的真空度(壓力)。所計(jì)測(cè)的真空度被發(fā)送到控制電路38。在控制電路38中，根據(jù)接收的真空度，控制渦輪分子泵36與粗真空泵37的運(yùn)轉(zhuǎn)。在真空房間30中收放質(zhì)量分析部102。詳細(xì)結(jié)構(gòu)將于后述，在質(zhì)量分析部102中，實(shí)施離子蓄積、排氣等待、離子選擇、離子離解、質(zhì)量掃描等，能夠從離子化了的測(cè)定試樣19分離目標(biāo)離子。
[0051]在真空房間30中，在用于導(dǎo)入離子化了的測(cè)定試樣19的入口設(shè)有孔3。孔3的孔徑能夠?yàn)棣郸?lmm?Φ Imm左右。在孔3上連接有離子源101。離子源101具有電介質(zhì)容器(電介質(zhì)隔壁)I與阻擋放電電極2。電介質(zhì)容器I兩端開口，呈管(管)狀。一端的開口通過孔3連接在真空房間30上。另一端的開口連接在滑動(dòng)閥103的滑動(dòng)閥容器(閥容器)6上。在電介質(zhì)容器I中插入貫通滑動(dòng)閥容器6，并從該另一端的開口插入的細(xì)管(毛細(xì)管)
11。細(xì)管11為了抑制測(cè)定試樣19等向電介質(zhì)容器I流入，電介質(zhì)容器I內(nèi)通過孔3進(jìn)行差動(dòng)排氣，從而減壓。
[0052]在阻擋放電電極2與孔3之間能通過電介質(zhì)容器(電介質(zhì)隔壁)1施加交流電壓與DC電壓。在阻擋放電電極2與孔3之間產(chǎn)生的磁力線及電力線貫通電介質(zhì)容器I。通過阻擋放電用交流電源4在阻擋放電電極2上施加交流電壓，在孔3上施加DC電壓。該交流電壓及DC電壓的接通斷開等控制由控制電路38進(jìn)行。并且，通過施加交流電壓，在電介質(zhì)容器I的內(nèi)側(cè)充電的電荷向孔3放電。該放電時(shí)產(chǎn)生的等離子體或熱電子對(duì)在電介質(zhì)容器I內(nèi)流通的測(cè)定試樣19氣化了的試樣氣體等進(jìn)行離子化。
[0053]滑動(dòng)閥103具有滑動(dòng)閥容器(閥容器)6、從滑動(dòng)閥容器6的外側(cè)向內(nèi)側(cè)貫通的三個(gè)孔即外側(cè)插入孔6a、插入孔6b及貫通孔6c。滑動(dòng)閥容器6通過插入孔6b連接在離子源101上。外側(cè)插入孔6a與插入孔6b的孔徑大致相等，是Φ 3mm左右，配置為互相的中心軸在一條直線上一致。外側(cè)插入孔6a的中心軸與插入孔6b的中心軸的延長(zhǎng)線一致。由此，細(xì)管11能夠同時(shí)貫通外側(cè)插入孔6a與插入孔6b。因此,外側(cè)插入孔6a作為使細(xì)管11向插入孔6b的方向前進(jìn)移動(dòng)的導(dǎo)向件起作用。外側(cè)插入孔6a使外部大氣與滑動(dòng)閥容器6內(nèi)連通，插入孔6b使滑動(dòng)閥容器6內(nèi)與電介質(zhì)容器I內(nèi)連通。因此，插入孔6b看上去設(shè)在離子源101 (電介質(zhì)容器I)上。在插入孔6b中設(shè)有第二 O環(huán)％，通過插入細(xì)管11，能夠在密封與該細(xì)管11之間的狀態(tài)下氣密地連接細(xì)管11與離子源101。相反地，通過從插入孔6b(離子源101)拔出細(xì)管11，能夠解除細(xì)管11與離子源101的連接。同樣地，外側(cè)插入孔6a設(shè)在滑動(dòng)閥容器6上，在外側(cè)插入孔6a中設(shè)有第一 O環(huán)9a。通過在滑動(dòng)閥容器6中從外側(cè)插入孔6a插入細(xì)管11，能夠在密封細(xì)管11與該外側(cè)插入孔6a之間的狀態(tài)下氣密地連接細(xì)管11與滑動(dòng)閥容器6。相反地，通過從外側(cè)插入孔6a (滑動(dòng)閥容器6)拔出細(xì)管11，解除細(xì)管11與滑動(dòng)閥容器6的連接并互相分離，從能進(jìn)行具備細(xì)管11的筒8從質(zhì)量分析裝置100的主體的裝卸。在貫通孔6c中貫通有閥體軸40。
[0054]另外，滑動(dòng)閥103具有設(shè)在滑動(dòng)閥容器6內(nèi)的滑動(dòng)閥閥體7、支撐滑動(dòng)閥閥體7的閥體軸40?；瑒?dòng)閥閥體7從滑動(dòng)閥容器6的內(nèi)側(cè)堵塞插入孔6b的開口面S，能夠?qū)瑒?dòng)閥103進(jìn)行閉閥。能夠相對(duì)于滑動(dòng)閥閥體7將插入孔6b的開口面S的周圍視為閥座。也可以將由該閥體與閥座構(gòu)成的閥視為滑動(dòng)閥(開閉閥)103。在該場(chǎng)合，視為滑動(dòng)閥容器6收放滑動(dòng)閥103。另外，為了提高堵塞插入孔6b時(shí)的密封度，在滑動(dòng)閥閥體7上安裝閥體O環(huán)9c。在與插入孔6b的開口面S相對(duì)的面上設(shè)有閥體O環(huán)9c，能夠利用滑動(dòng)閥閥體7與閥體O環(huán)9c可靠地堵塞開口面S。
[0055]另外，滑動(dòng)閥103具有密封外側(cè)插入孔6a的第一 O環(huán)9a、密封插入孔6b的第二 O環(huán)％、密封貫通孔6c且覆蓋貫通貫通孔6c的閥體軸40的露出部的真空波紋管41?；瑒?dòng)閥閥體7連接在閥體軸40的一端?；瑒?dòng)閥閥體7通過使閥體軸40從滑動(dòng)閥容器6的外側(cè)移動(dòng)，開閉插入孔6b，從而能夠開閉滑動(dòng)閥103。閥體軸40的滑動(dòng)閥容器6的外側(cè)以能不會(huì)真空劣化地進(jìn)行拉出或推入的移動(dòng)的方式由真空波紋管41覆蓋。閥體軸40的另一端連接在槽凸輪(從動(dòng)滑塊，直動(dòng)從動(dòng)件)42上。槽凸輪(從動(dòng)滑塊，直動(dòng)從動(dòng)件)42能在紙面上沿上下方向移動(dòng)。槽凸輪(從動(dòng)滑塊，直動(dòng)從動(dòng)件)42與閥體軸40、滑動(dòng)閥閥體7為一體地移動(dòng)。
[0056]在槽凸輪42上形成凸輪槽42a。在凸輪槽42a中設(shè)有以沿凸輪槽42a移動(dòng)的方式在凸輪槽42a內(nèi)被約束的導(dǎo)向輥(從動(dòng)銷)43。導(dǎo)向輥(從動(dòng)銷)43通過導(dǎo)向輥軸44安裝在試樣導(dǎo)入部基座(主動(dòng)滑塊、直進(jìn)主動(dòng)件)45上。在試樣導(dǎo)入部基座45上裝載并固定有包括筒8的試樣導(dǎo)入部104。試樣導(dǎo)入部基座45能在沿細(xì)管11的方向(在紙面上左右方向)上滑動(dòng)。另一方面，槽凸輪42能在沿閥體軸40的方向(在紙面上上下方向)上滑動(dòng)。SP，試樣導(dǎo)入部基座45作為直進(jìn)主動(dòng)件在紙面上沿左右方向移動(dòng)。槽凸輪42作為相對(duì)于該直進(jìn)主動(dòng)件的直動(dòng)從動(dòng)件，與該試樣導(dǎo)入部基座45的移動(dòng)連動(dòng)，相對(duì)于其移動(dòng)方向的左右方向，在垂直方向的紙面上沿上下方向移動(dòng)(所謂的直動(dòng))。試樣導(dǎo)入部基座45作為在紙面上沿左右方向移動(dòng)的主動(dòng)滑塊起作用，槽凸輪42與主動(dòng)滑塊的移動(dòng)連動(dòng)，相對(duì)于其移動(dòng)方向直動(dòng)。
[0057]當(dāng)試樣導(dǎo)入部基座45在沿細(xì)管11的方向的前后方向上滑動(dòng)時(shí)，細(xì)管11與試樣導(dǎo)入部基座45成為一體地滑動(dòng)，能夠從插入孔6b插入電介質(zhì)容器I或拔出。另外，當(dāng)試樣導(dǎo)入部基座45進(jìn)行該滑動(dòng)時(shí)，通過凸輪槽42a與導(dǎo)向輥(從動(dòng)銷)43，槽凸輪42在沿閥體軸40的方向上滑動(dòng)，滑動(dòng)閥閥體7對(duì)通向電介質(zhì)容器I的插入孔6b進(jìn)行開閉。詳細(xì)結(jié)構(gòu)將于后述，但滑動(dòng)閥閥體7在將用于從試樣導(dǎo)入部104將測(cè)定試樣19 (試樣氣體)向離子源101導(dǎo)入的細(xì)管11插入離子源101 (滑動(dòng)閥容器6)時(shí)打開，在將細(xì)管11從離子源101 (滑動(dòng)閥容器6)拔出時(shí)關(guān)閉。通過該開閉動(dòng)作，能夠在對(duì)離子源101進(jìn)行減壓的狀態(tài)下將細(xì)管11插入離子源101或拔出。
[0058]試樣導(dǎo)入部104具有裝入測(cè)定試樣19的試樣容器17、減壓配管(減壓機(jī)構(gòu))18、加熱器(加熱機(jī)構(gòu))20、夾閥105以及細(xì)管11。試樣容器17由筒主體(試樣容器蓋)16 (過濾器10)蓋上蓋。過濾器10使氣體通過，但液體不會(huì)通過，在測(cè)定試樣19是液體的場(chǎng)合，防止測(cè)定試樣19進(jìn)入細(xì)管11或減壓配管18。試樣容器17通過氣室16b與貫通孔16c，連接在減壓配管(減壓機(jī)構(gòu))18上。氣室16b設(shè)在筒主體16上，并連接在試樣容器17與彈性管12上。貫通孔16c設(shè)在筒主體16上，并從筒主體16的外側(cè)貫通到氣室16b。減壓配管18在筒8相對(duì)于試樣導(dǎo)入部104的主體為安裝狀態(tài)時(shí)，連接在貫通孔16c上，經(jīng)過貫通孔16c與氣室16b，對(duì)試樣容器17內(nèi)進(jìn)行減壓。即，減壓配管18作為對(duì)試樣容器17內(nèi)進(jìn)行減壓的減壓機(jī)構(gòu)起作用。減壓配管18連接在粗真空泵37上，能夠?qū)υ嚇尤萜?7內(nèi)進(jìn)行減壓。由此，能夠促進(jìn)測(cè)定試樣19的氣化。另外，試樣容器17內(nèi)的壓力能夠通過減壓配管18的傳導(dǎo)與粗真空泵37的排氣能力調(diào)整。加熱器20對(duì)試樣容器17進(jìn)行加熱，并對(duì)測(cè)定試樣19進(jìn)行加熱。由此，能夠促進(jìn)測(cè)定試樣19的氣化。當(dāng)利用減壓配管18降低試樣容器17內(nèi)的壓力，利用加熱器20提高試樣容器17內(nèi)的測(cè)定試樣19的溫度時(shí)，能夠進(jìn)一步促進(jìn)測(cè)定試樣19的氣化。
[0059]另外，試樣導(dǎo)入部104具有筒8。筒8通過筒主體16使試樣容器17、細(xì)管11、彈性管12 —體化。這些是與帶水相關(guān)的部件。并且，通過該一體化，筒8能夠一并將試樣容器
17、細(xì)管11、彈性管12從試樣導(dǎo)入部104的主體裝卸。加熱器20與減壓配管18在筒8從試樣導(dǎo)入部104的主體脫離時(shí)，殘留在試樣導(dǎo)入部104的主體側(cè)，并從筒8離開。氣室16b與貫通孔16c形成在筒主體16上，因此在筒8從試樣導(dǎo)入部104的主體脫離時(shí)，作為筒8一體地脫離。
[0060]夾閥105由成對(duì)的兩個(gè)堰13a、13b、被兩個(gè)堰13a、13b夾持的彈性管12構(gòu)成。彈性管12連接在試樣容器17與細(xì)管11之間。彈性管12當(dāng)外力進(jìn)行作用時(shí)，彈性地變形并癟下而關(guān)閉，但該外力未進(jìn)行作用時(shí)，彈性地恢復(fù)到原來的形狀而打開，為開閉自如。作為彈性管12，能夠使用硅管、橡膠管等。一對(duì)堰13a、13b以?shī)A著彈性管12的方式相對(duì)地設(shè)置，通過互相靠近或遠(yuǎn)離，對(duì)彈性管12進(jìn)行關(guān)閉或打開。一對(duì)堰中的一方的固定堰13a以接近彈性管12的方式固定在筒8的主體16上。固定堰13a—體地形成在筒主體16上。因此，在筒8從試樣導(dǎo)入部104的主體脫離時(shí)，固定堰13a與筒主體16 —起脫離。一對(duì)堰中的另一方的移動(dòng)堰13b由被控制電路38控制的滑動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)部14驅(qū)動(dòng)，通過擠壓彈性管12，實(shí)現(xiàn)作為閥的閉閥狀態(tài)，通過停止擠壓彈性管12，實(shí)現(xiàn)作為閥的開閥狀態(tài)。移動(dòng)堰13b在筒8安裝在試樣導(dǎo)入部104的狀態(tài)時(shí)，相對(duì)于固定堰13a靠近或遠(yuǎn)離。移動(dòng)堰13b在筒8從試樣導(dǎo)入部104的主體脫離時(shí)，殘留在試樣導(dǎo)入部104的主體側(cè),離開筒8。夾閥105能夠在使開閥時(shí)間為大約200m秒以下的短時(shí)間進(jìn)行開閉。S卩，夾閥105能夠在大約200m秒以下的短時(shí)間實(shí)施從閉閥狀態(tài)經(jīng)過開閥狀態(tài)再次為閉閥狀態(tài)的動(dòng)作。通過一對(duì)堰13a、13b間歇性地互相遠(yuǎn)離(靠近)，能夠間歇地打開(關(guān)閉)彈性管12。
[0061]細(xì)管11 一端連接在彈性管12上，另一端插入離子源101的電介質(zhì)容器I內(nèi)并連接。在通過孔3對(duì)該電介質(zhì)容器I內(nèi)進(jìn)行差動(dòng)排氣的狀態(tài)下，當(dāng)對(duì)夾閥105進(jìn)行開閥時(shí)，試樣容器17內(nèi)的測(cè)定試樣19的試樣氣體按照順序經(jīng)過試樣氣體配管15、彈性管12、細(xì)管11，流入電介質(zhì)容器1，產(chǎn)生試樣氣體的氣流23。另外，細(xì)管11對(duì)試樣氣體的氣流23產(chǎn)生較大的阻力，因此試樣容器17內(nèi)也由細(xì)管11進(jìn)行差動(dòng)排氣。測(cè)定試樣19的試樣氣體在夾閥105每次開閥時(shí)，從試樣容器17導(dǎo)入電介質(zhì)容器1，通過反復(fù)進(jìn)行夾閥105的開閉，能夠?qū)y(cè)定試樣19的試樣氣體間歇導(dǎo)入電介質(zhì)容器I。并且，導(dǎo)入電介質(zhì)容器I的試樣氣體的量與由于該導(dǎo)入而上升的電介質(zhì)容器I內(nèi)的到達(dá)壓力能夠通過使被減壓的試樣容器17內(nèi)的壓力與夾閥105的開閥時(shí)間變化來進(jìn)行調(diào)整。例如，當(dāng)使試樣容器17內(nèi)的壓力下降、或使夾閥105的開閥時(shí)間縮短時(shí),能夠減少導(dǎo)入電介質(zhì)容器I的試樣氣體的量，能夠降低電介質(zhì)容器I內(nèi)的到達(dá)壓力。相反地，當(dāng)提高試樣容器17內(nèi)的壓力或使夾閥105的開閥時(shí)間變長(zhǎng)時(shí)，能夠增加導(dǎo)入電介質(zhì)容器I的試樣氣體的量，能夠使電介質(zhì)容器I的到達(dá)壓力上升。[0062]就導(dǎo)入電介質(zhì)容器I的試樣氣體而言，通過向阻擋放電電極2施加交流電壓，利用在電介質(zhì)容器I內(nèi)產(chǎn)生的阻擋放電部5，一部分被離子化。該離子化的效率依賴于在阻擋放電部5上由阻擋放電產(chǎn)生的等離子體或熱電子的密度。另外，也能夠通過將試樣氣體導(dǎo)入阻擋放電部5的位置及流速，改變離子化效率。等離子體或熱電子的密度由電介質(zhì)容器I內(nèi)的上述到達(dá)壓力與施加在阻擋放電電極2上的交流電壓的強(qiáng)度、產(chǎn)生阻擋放電的阻擋放電電極2的形狀與孔3的距離、電介質(zhì)容器I的介電常數(shù)及形狀決定。通過調(diào)整試樣容器17內(nèi)的壓力、夾閥105的開閥時(shí)間，能夠再現(xiàn)性好地調(diào)整導(dǎo)入電介質(zhì)容器I的試樣氣體的流量，因此能夠再現(xiàn)性好地調(diào)整電介質(zhì)容器I內(nèi)的上述到達(dá)壓力，最終，能夠再現(xiàn)性良好地調(diào)整試樣氣體的離子化的效率。將試樣氣體導(dǎo)入阻擋放電部5的位置能夠由細(xì)管11相對(duì)于電介質(zhì)容器I的插入量調(diào)整。當(dāng)使細(xì)管11的插入量多時(shí)，試樣氣體通過阻擋放電部的距離變短，因此離子化效率下降。相反地，當(dāng)使插入量小時(shí)，由于試樣氣體通過阻擋放電部的距離變長(zhǎng)，因此離子化的效率上升。另外，從細(xì)管11導(dǎo)入的試樣氣體的流速能夠通過電介質(zhì)容器I的壓力與由減壓配管18減壓的筒主體16的氣室16b內(nèi)的壓力差、試樣氣體配管15、彈性管12、細(xì)管11的傳導(dǎo)(內(nèi)徑與長(zhǎng)度)調(diào)整。當(dāng)試樣氣體的流速快時(shí)，試樣氣體通過阻擋放電部的時(shí)間變短，因此離子化的效率下降。相反地，當(dāng)試樣氣體的流速慢時(shí),試樣氣體通過阻擋放電部的時(shí)間變長(zhǎng)，因此離子化的效率上升。
[0063]在測(cè)定試樣19的試樣氣體向電介質(zhì)容器I的間歇導(dǎo)入中，夾閥105的開閉交替地反復(fù)。通過夾閥105打開一次而上升的電介質(zhì)容器I內(nèi)的壓力通過夾閥105 —次關(guān)閉，能夠下降到其上升前的壓力。電介質(zhì)容器I內(nèi)的暫時(shí)上升的壓力通過利用夾閥105的閉閥進(jìn)行的試樣氣體導(dǎo)入的停止與使用孔3的差動(dòng)排氣，能夠從上述到達(dá)壓力再現(xiàn)性良好地慢慢下降。因此，在該電介質(zhì)容器I內(nèi)的壓力下降期間，能夠再現(xiàn)性良好地長(zhǎng)時(shí)間確保屬于IOOPa?IOOOOPa的壓力帶的時(shí)間。在該IOOPa?IOOOOPa的壓力帶下，能夠?qū)⒋髿?空氣)作為主要的放電氣體而產(chǎn)生電介質(zhì)阻擋放電。當(dāng)間歇性地開閉夾閥105時(shí)，位于試樣容器17的頭空間21的試樣氣體通過彈性管12與細(xì)管11，被間歇導(dǎo)入離子源101的電介質(zhì)容器I的內(nèi)部。當(dāng)與試樣氣體被間歇導(dǎo)入的時(shí)機(jī)一致地在阻擋放電電極2上施加阻擋放電部的電壓時(shí)，在阻擋放電部5上產(chǎn)生由阻擋放電產(chǎn)生的等離子體或熱電子。并且，通過調(diào)整施加在阻擋放電電極2上的交流電壓的強(qiáng)度或施加時(shí)間，能夠產(chǎn)生盡量產(chǎn)生對(duì)高性能的質(zhì)量分析必要的量的目標(biāo)離子的試樣分子離子。
[0064]被離子化的試樣氣體(試樣分子離子)與未被離子化的試樣氣體都如試樣分子離子流24那樣，通過孔3的細(xì)孔，從離子源101的電介質(zhì)容器I內(nèi)流入真空房間30內(nèi)。通過孔3，能夠使從離子源101到質(zhì)量分析部102的距離最短化，能夠使試樣分子離子的傳送損失為最小限。在此，從離子源101流入真空房間30的試樣氣體在每單位時(shí)間的流量由離子源101的上述到達(dá)壓力、孔3的傳導(dǎo)(細(xì)孔的大小)與真空房間30的真空度(壓力)決定。相反地，從離子源101流入真空房間30的試樣氣體在每單位時(shí)間的流量對(duì)真空房間30的真空度(壓力)變化帶來影響。根據(jù)上述，通過調(diào)整上述傳導(dǎo)，能夠相對(duì)于再現(xiàn)性好的期望的上述到達(dá)壓力，設(shè)定再現(xiàn)性好的從離子源101流入真空房間30的試樣氣體在每單位時(shí)間的流量與再現(xiàn)性好的真空房間30的真空度(壓力)。
[0065]從離子源101流入真空房間30的試樣氣體等所含的試樣分子離子被構(gòu)成四重極的直線離子貯存電極31&、3115、31(3(參照?qǐng)DlB)、31d(參照?qǐng)D1B)產(chǎn)生的RF電場(chǎng)及DC電場(chǎng)、與由內(nèi)蓋電極32、終端蓋電極33形成的DC電場(chǎng)，捕捉到直線離子貯存電極31a、31b、31c、31d內(nèi)(離子蓄積)。另一方面，從離子源101流入真空房間30的、未被離子化的空氣或試樣氣體未被捕捉在直線離子貯存電極31a、31b、31c、31d內(nèi)，如被排出的氣流26那樣，從真空房間30通過渦輪分子泵36、粗真空泵37被排出到裝置外。
[0066]為了有效地將流入真空房間30的試樣分子離子傳送到直線離子貯存電極31a、31b、31c、31d內(nèi)，在孔3與內(nèi)蓋電極32之間、內(nèi)蓋電極32與直線離子貯存電極31a、31b、31c、31d之間以及直線離子貯存電極31a、31b、31c、31d與終端蓋電極33之間施加適當(dāng)?shù)钠珘?，將試樣分子離子在沿直線離子貯存電極31a、31b、31c、31d的方向上加速。例如，在測(cè)定的試樣分子離子是正離子的場(chǎng)合，在孔3上施加-5V左右，在內(nèi)蓋電極32與終端蓋電極上施加-1OV左右，在直線離子貯存電極31a、31b、31c、31d的貯存偏壓上施加-20V左右。通過施加這種偏壓，能夠?qū)y(cè)定的正離子有效地貯存在直線離子貯存電極31a、31b、31c、31d內(nèi)而蓄積，能夠避免將不測(cè)定的負(fù)離子導(dǎo)入直線離子貯存電極31a、31b、31c、31d內(nèi)。
[0067]圖1B表示質(zhì)量分析部102的結(jié)構(gòu)圖。另外，在圖1B中，表示以與導(dǎo)入試樣分子離子等的方向垂直的平面剖切直線離子貯存電極31a、31b、31c、31d的剖視圖。質(zhì)量分析部102具有在圓周方向上等間隔且互相平行地配置的四個(gè)棒狀電極(直線離子貯存電極)31a、31b、31c、31d，在隔著上述圓周的中心相對(duì)的兩對(duì)直線離子貯存電極即31a與31b的對(duì)、31c與31d的對(duì)上分別施加不同的直線離子貯存電極用交流電壓(貯存RF電壓)39a、39b。貯存RF電壓根據(jù)電極尺寸或測(cè)定質(zhì)量范圍，最適值不同，優(yōu)選應(yīng)用振幅5kV以下、頻率500kHz?5MHz的RF電壓。通過施加該貯存RF電壓，并且，在內(nèi)蓋電極32與終端蓋電極33之間設(shè)置數(shù)十V的DC電位差，能夠在由四個(gè)離子直線貯存電極3la、3lb、3lc、3Id包圍的空間捕捉(離子蓄積)試樣分子離子等離子。
[0068]在質(zhì)量分析部102中，相對(duì)于離子捕捉(離子蓄積)了的試樣分子離子等，對(duì)每個(gè)不同的質(zhì)量分尚試樣分子尚子等(質(zhì)量分尚)。并且，在該質(zhì)量分尚前，需要充分地排出從尚子源101流入真空房間30的、未被離子化的空氣或試樣氣體，使質(zhì)量分析部102的壓力下降到能進(jìn)行離子的質(zhì)量分離的0.1Pa以下(需要所謂的排氣等待)。流入質(zhì)量分析部102的總計(jì)的氣體量與流入離子源101的試樣氣體量相等，該試樣氣體量(分子量)由于為了使用夾閥105將被減壓的試樣容器17內(nèi)的頭空間21的氣體在從數(shù)十ms到數(shù)百ms左右的短時(shí)間導(dǎo)入而充分少，因此即使渦輪分子泵36與粗真空泵37的容量小，也能夠使質(zhì)量分析部102在短時(shí)間內(nèi)下降到能進(jìn)行質(zhì)量分析的皮Pa以下的壓力。因此，能夠減小渦輪分子泵36與粗真空泵37的容量，從而能夠使質(zhì)量分析裝置100小型輕量化。另外，由于在短時(shí)間內(nèi)使壓力下降，因此能夠提高反復(fù)實(shí)施質(zhì)量分析時(shí)的吞吐量。另外，為了提高該吞吐量，測(cè)定試樣19的更換不復(fù)雜是重要的。就該測(cè)定試樣19的更換而言，作為筒8的裝卸，之后詳細(xì)記載。
[0069]在對(duì)捕捉在質(zhì)量分析部102的離子進(jìn)行質(zhì)量分析時(shí)，在相對(duì)的一對(duì)直線離子貯存電極31a與31b之間施加直線貯存電極用交流電壓(輔助交流電壓)39a。作為輔助交流電壓39a，優(yōu)選使用振幅50V以下、以頻率5kHz?2MHz左右的單一頻率使振幅連續(xù)地變化的交流電壓(電壓掃描方式)、或以一定的振幅連續(xù)地使頻率變化的交流電壓(頻率掃描方式)。通過施加該輔助交流電壓39a，被質(zhì)量分析部102捕捉的離子根據(jù)輔助交流電壓39a的振幅的變化、或頻率的變化，以電荷量除特定的質(zhì)量數(shù)而得的值(質(zhì)量數(shù)/電荷量、m / z值)的離子連續(xù)地被質(zhì)量分離，在被質(zhì)量分離的試樣分子離子流25的方向上排出，利用由電子增倍管、多頻板、或轉(zhuǎn)換倍增器電極、閃爍器以及光電倍增器構(gòu)成的離子檢測(cè)器34轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，向控制電路38輸送并蓄積(存儲(chǔ))。
[0070]圖2A表示在試樣導(dǎo)入部104 (質(zhì)量分析裝置100)的主體上安裝筒8的樣式。測(cè)定試樣19被裝入試樣容器17中。試樣容器17利用鉤16f固定在筒主體(試樣容器蓋)16上，利用筒主體(試樣容器蓋)16蓋上蓋。在筒主體16上設(shè)有與試樣容器17的頭空間21連接的空間即氣室16b。在該氣室16b上連接與減壓配管18連接的貫通孔16c、與彈性管12連接的試樣氣體配管15。試樣氣體配管15、彈性管12與細(xì)管11按照該順序串聯(lián)且在一直線上連接。細(xì)管11與試樣氣體配管15被支撐在筒主體16上并固定。彈性管12由連接在兩端的細(xì)管11與試樣氣體配管15支撐。因此，彈性管12被收放在凹部16g中，該凹部16g通過在彈性管12的兩端側(cè)與側(cè)面?zhèn)鹊妊由?，產(chǎn)生在筒主體16上，從而能夠保護(hù)彈性管12。另外，在筒8中，在筒主體(試樣容器蓋)16上設(shè)有筒把手16a，處理變得容易。
[0071]另外，在該氣室16b與試樣容器17之間設(shè)有過濾器10，測(cè)定試樣的液體或固體不會(huì)進(jìn)入減壓配管18或彈性管12。測(cè)定試樣19通過過濾器10、氣室16b及貫通孔16c與外界接觸，并且，通過過濾器10、氣室16b、試樣氣體配管15、彈性管12、細(xì)管11與外界接觸，因此能夠防止測(cè)定試樣19自然蒸發(fā)，而從試樣容器17向外界流失。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在將要進(jìn)行質(zhì)量分析之前，能夠預(yù)先在多個(gè)筒8中裝填分別不同的測(cè)定試樣19并保存。另外，能夠?qū)⒁淮螠y(cè)定后的筒8內(nèi)的測(cè)定試樣19在裝入該筒8的裝填下保存，因此能夠再次測(cè)定。并且，該筒8是小型的，因此在保存上不需要空間，能夠保存較多的筒8。由于對(duì)每個(gè)測(cè)定試樣19中，筒8不同，因此通過對(duì)筒8使用新品，能夠防止帶水。在筒8、即筒主體(試樣容器蓋)
16、試樣容器17、彈性管12以及細(xì)管11上，即使在測(cè)定后洗凈，測(cè)定試樣19或其試樣氣體也會(huì)殘存，在之后的測(cè)定中，有可能引起帶水，在該場(chǎng)合，只要使用完筒8后廢棄即可。這種方法對(duì)公正、公開且迅速地實(shí)施尿中的藥物檢查等是有效的。
[0072]圖2B表示在試樣導(dǎo)入部104 (質(zhì)量分析裝置100)的主體上安裝筒8后的樣式。如圖2A與圖2B所示，能夠利用鉤45a將筒8固定在試樣導(dǎo)入部104 (質(zhì)量分析裝置100)的主體上。如圖2B所示，在安裝筒8后，彈性管12被固定堰13a與移動(dòng)堰13b夾持，為閉閥狀態(tài)。即，夾閥105為常閉式。另外，將貫通孔16c連接在減壓配管18上，對(duì)試樣容器17內(nèi)的頭空間21進(jìn)行減壓。另外，試樣容器17與加熱器20接觸并被加熱。由此，測(cè)定試樣19氣化，產(chǎn)生的試樣氣體如被排出的試樣氣流22那樣被排出到減壓配管18偵U。
[0073]圖2C表不從筒8卸下試樣容器17的樣式。在筒8未安裝在試樣導(dǎo)入部104 (質(zhì)量分析裝置100)上時(shí)，操作員能夠容易地接近鉤16f，通過從試樣容器17卸下鉤16f，能夠從筒8卸下試樣容器17。并且，能夠?qū)y(cè)定試樣裝入試樣容器17。試樣容器17能利用鉤16f安裝在筒主體(試樣容器蓋)16上。試樣容器17在筒8的脫離狀態(tài)時(shí),能相對(duì)于筒8裝卸。
[0074]圖3A表示將筒8安裝在試樣導(dǎo)入部104 (質(zhì)量分析裝置100)的主體上的樣式。如圖3A所示，在安裝了筒8的狀態(tài)下，細(xì)管11未插入離子源101的電介質(zhì)容器I。與電介質(zhì)容器I連通的插入孔6b被滑動(dòng)閥閥體7堵塞，滑動(dòng)閥103閉閥。由此，電介質(zhì)容器I內(nèi)保持為減壓。為了將細(xì)管11插入電介質(zhì)容器1，使試樣導(dǎo)入部基座(主動(dòng)滑塊、直進(jìn)主動(dòng)件)45滑動(dòng)，使細(xì)管11向電介質(zhì)容器I (滑動(dòng)閥容器6的外側(cè)插入孔6a)移動(dòng)(前進(jìn)移動(dòng))。伴隨試樣導(dǎo)入部基座(主動(dòng)滑塊、直進(jìn)主動(dòng)件)45的滑動(dòng)，導(dǎo)向輥(從動(dòng)銷)43也移動(dòng)，但該移動(dòng)是在凸輪槽42a內(nèi)，在不使槽凸輪(從動(dòng)滑塊(直動(dòng)從動(dòng)件))移動(dòng)的停留范圍內(nèi)的移動(dòng)。因此，在該停留范圍的移動(dòng)中，滑塊閥103不會(huì)開閥，維持閉閥狀態(tài)。該停留狀態(tài)在細(xì)管11與滑動(dòng)閥閥體7 (滑動(dòng)閥103)的距離變短并到達(dá)距離Dl (第一規(guī)定距離、參照?qǐng)D3B)之前，或者細(xì)管11與插入孔6b的距離到達(dá)距離D2 (第二規(guī)定距離、參照?qǐng)D3B)之前一直持續(xù)。
[0075]并且，當(dāng)使試樣導(dǎo)入部基座45滑動(dòng)(前進(jìn)移動(dòng))時(shí)，成為圖3B所示的狀態(tài)。細(xì)管11的一端被插入外側(cè)插入孔6a內(nèi)，并插入到其中的第一 O環(huán)9a。細(xì)管11與外側(cè)插入孔6a之間由第一 O環(huán)9a密封。細(xì)管11的另一端通過彈性管12關(guān)閉而被堵塞，因此細(xì)管11與滑動(dòng)閥容器的內(nèi)部空間還包括真空波紋管41的內(nèi)部空間，成為被密封的空間。另外，滑動(dòng)閥103不開閥地維持閉閥狀態(tài)，電介質(zhì)容器I內(nèi)保持為減壓。導(dǎo)向輥(從動(dòng)銷)43在上述停留范圍的終端部移動(dòng)。細(xì)管11朝向滑動(dòng)閥主體7 (滑動(dòng)閥103)前進(jìn)，因此看上去要碰撞，但當(dāng)細(xì)管11與滑動(dòng)閥閥體7 (滑動(dòng)閥103)的距離變窄為距離Dl (第一規(guī)定距離)時(shí)，或者細(xì)管11與插入孔6b的距離變窄為距離D2 (第二規(guī)定距離)時(shí)，如圖3C所示，滑動(dòng)閥閥體7(滑動(dòng)閥103)開始開閥，并從插入孔6b離開，因此細(xì)管11與滑動(dòng)閥閥體7不會(huì)碰撞。當(dāng)細(xì)管11與滑動(dòng)閥閥體7的距離比距離Dl窄時(shí)，通過試樣導(dǎo)入部基座45 (導(dǎo)向輥43)的圖面的右向的移動(dòng)，導(dǎo)向輥43在凸輪槽42a內(nèi)移動(dòng)，因此按下槽凸輪(從動(dòng)滑塊(直動(dòng)從動(dòng)件))42。由此，安裝在槽凸輪42上的閥體軸40下降，安裝在閥體軸40上的滑動(dòng)閥閥體7下降。能夠細(xì)管11與滑動(dòng)閥閥體7不干涉地使滑動(dòng)閥103開閥。在細(xì)管11與滑動(dòng)閥閥體7 (滑動(dòng)閥103)靠近，細(xì)管11與滑動(dòng)閥閥體7的距離變短到距離Dl時(shí)，滑動(dòng)閥閥體7開始開閥(下降)。細(xì)管11能橫著通過滑動(dòng)閥閥體7而前進(jìn)。
[0076]另外，當(dāng)滑動(dòng)閥閥體7下降時(shí)，滑動(dòng)閥103為開閥狀態(tài)，無法維持電介質(zhì)容器I內(nèi)的減壓。但是，在細(xì)管11與滑動(dòng)閥閥體7 (滑動(dòng)閥103)的距離變短到上述距離Dl時(shí)，或者細(xì)管11與插入孔6b的距離變短到上述距離D2時(shí)，細(xì)管11插入外側(cè)插入孔6a的第一 O環(huán)9a，在對(duì)外側(cè)插入孔6a與細(xì)管11之間進(jìn)行密封的狀態(tài)下連接細(xì)管11與滑動(dòng)閥容器6。并且，如上所述，細(xì)管11、滑動(dòng)閥容器與真空波紋管41的內(nèi)部空間是外氣不會(huì)進(jìn)入的密封的空間，因此被限量的空氣只流入電介質(zhì)容器I內(nèi)，能夠維持電介質(zhì)容器I內(nèi)的減壓。另外，當(dāng)細(xì)管11未靠近滑動(dòng)閥閥體7時(shí)，滑動(dòng)閥閥體7不會(huì)打開，因此從接近滑動(dòng)閥閥體7的細(xì)管11到電介質(zhì)容器I (插入孔6b、第二 O環(huán)9b)的距離小。由于用于將該這種小距離移動(dòng)到細(xì)管11所需的時(shí)間也短，因此插入孔6b未被滑動(dòng)閥閥體7或細(xì)管11封閉的時(shí)間也短，因此電介質(zhì)容器I內(nèi)的真空度的下降(壓力的上升)也小。因此，即使省略了外側(cè)插入孔6a的場(chǎng)合，也能夠維持電介質(zhì)容器I內(nèi)的減壓。
[0077]并且，當(dāng)使試樣導(dǎo)入部基座45滑動(dòng)(前進(jìn)移動(dòng))時(shí)，成為圖3D所示的狀態(tài)。為了將細(xì)管11插入電介質(zhì)容器I,當(dāng)使試樣導(dǎo)入部基座(主動(dòng)滑塊、直進(jìn)主動(dòng)件)45滑動(dòng)，并使細(xì)管11朝向電介質(zhì)容器I (滑動(dòng)閥容器6的插入孔6b)移動(dòng)時(shí),如圖3D所不,細(xì)管11被插入離子源101的電介質(zhì)容器I內(nèi)。細(xì)管11的一端被插入插入孔6b內(nèi)，并插入到其中的第二 O環(huán)％。細(xì)管11與插入孔6b之間由第二 O環(huán)9b密封。細(xì)管11的另一端通過彈性管12關(guān)閉而被堵塞，因此細(xì)管11與電介質(zhì)容器I的內(nèi)部空間為外氣不會(huì)進(jìn)入的被密封的空間。由此，電介質(zhì)容器I內(nèi)保持為減壓。另外，電介質(zhì)容器I切斷滑動(dòng)閥容器6與真空波紋管41的內(nèi)部空間的連接。伴隨試樣導(dǎo)入部基座(主動(dòng)滑塊、直進(jìn)主動(dòng)件)45的滑動(dòng)，導(dǎo)向輥(從動(dòng)銷)43也移動(dòng)，該移動(dòng)是在凸輪槽42a內(nèi)不使槽凸輪(從動(dòng)滑塊(直動(dòng)從動(dòng)件)移動(dòng)的停留范圍內(nèi)的移動(dòng)。在該停留范圍內(nèi)，能夠在使滑動(dòng)閥閥體7為開閥狀態(tài)下，停止滑動(dòng)閥閥體7的移動(dòng)。據(jù)此，根據(jù)細(xì)管11的用于插入的移動(dòng)距離，能夠縮小滑動(dòng)閥閥體7的移動(dòng)距離，因此能夠較小地設(shè)計(jì)收放滑動(dòng)閥閥體7與閥體軸40的滑動(dòng)閥容器6與真空波紋管41的內(nèi)部空間的體積。并且，能夠進(jìn)一步抑制電介質(zhì)容器I內(nèi)的真空度的下降(壓力的上升)。根據(jù)上述，細(xì)管11向電介質(zhì)容器I的插入結(jié)束。
[0078]并且，使用圖3A?圖3D所述的用于細(xì)管11向電介質(zhì)容器I內(nèi)的插入的各種動(dòng)作是可逆的，通過該插入(前進(jìn)移動(dòng))時(shí)的相反的動(dòng)作(后退動(dòng)作)，能夠?qū)⒓?xì)管11從電介質(zhì)容器I拔去。例如，當(dāng)導(dǎo)向輥(從動(dòng)銷)43在凸輪槽42a內(nèi)拔去(后退移動(dòng))時(shí)，沿插入時(shí)前進(jìn)的去路上逆向返回(回路)。具體地說，如從圖3D向圖3C的變化所示，細(xì)管11從電介質(zhì)容器11被拔出，接著，從插入孔6b、尤其第二 O環(huán)9b拔出。接著，如從圖3C向圖3B的變化所示，細(xì)管11遠(yuǎn)離插入孔6b?；瑒?dòng)閥閥體7上升，開始閉閥，細(xì)管11從插入孔6b拔出，在它們之間的距離拓寬到上述距離D2時(shí)，滑動(dòng)閥閥體7 (滑動(dòng)閥103)如圖3B所示，結(jié)束閉閥。此時(shí)，細(xì)管11與滑動(dòng)閥閥體7 (滑動(dòng)閥103)只離開上述距離D1，細(xì)管11、滑動(dòng)閥閥體7 (滑動(dòng)閥103)不會(huì)碰撞。另外，在細(xì)管11與插入孔6b的距離變長(zhǎng)到上述距離D2時(shí)，還將細(xì)管11插入外側(cè)插入孔6a的第一 O環(huán)9a，在密封外側(cè)插入孔6a與細(xì)管11之間的狀態(tài)下連接細(xì)管11與滑動(dòng)閥容器6。因此，如上所述，細(xì)管11、滑動(dòng)閥容器6與真空波紋管41的內(nèi)部空間是外氣不會(huì)進(jìn)入的被密封的空間，因此被限量的空氣只流入電介質(zhì)容器I內(nèi)，能夠維持電介質(zhì)容器I內(nèi)的減壓。
[0079]另外，插入孔6b的開口面S的垂線相對(duì)于插入孔6b的中心軸傾斜，不為平行或垂直的關(guān)系。堵塞滑動(dòng)閥閥體7的開口面S的面在開閥狀態(tài)時(shí)、閉閥狀態(tài)時(shí)都與開口面S平行地配置，在開閉時(shí)也在維持該平行的關(guān)系的狀態(tài)下移動(dòng)?；瑒?dòng)閥閥體7的開閉時(shí)的移動(dòng)方向是閥體軸40的長(zhǎng)度方向，與開口面S不平行。因此，在閉閥時(shí)，當(dāng)使滑動(dòng)閥閥體7上升，并接近開口面S時(shí)，堵塞滑動(dòng)閥閥體7的開口面S的面與開口面S的周圍的壁面抵接。與插入孔6b連通的離子源101被差動(dòng)排氣，因此在滑動(dòng)閥閥體7與開口面S的壁面抵接，并堵塞開口面S的瞬間，插入孔6b內(nèi)為減壓，滑動(dòng)閥閥體7吸附在開口面S的周圍的壁面上。由此，滑動(dòng)閥閥體7能夠可靠地閉閥。
[0080]接著，如從圖3B向圖3A的變化所示，細(xì)管11從外側(cè)插入孔6a (第一 O環(huán)9a)被拔出。最后，如從圖3A向圖2A的變化所示，卸下筒8。這樣，筒8的裝卸在對(duì)電介質(zhì)容器I進(jìn)行減壓的狀態(tài)下進(jìn)行。并且，由于卸下筒8，因此能夠使筒8為用完廢棄部分。據(jù)此，通過預(yù)先準(zhǔn)備多個(gè)筒8，能夠一邊更換筒8 一邊進(jìn)行測(cè)定，能夠提高測(cè)定的吞吐量。另外，由于將筒8使用完廢棄并更換，因此能夠防止帶水。另外，筒8的裝卸的細(xì)管11的插入、拔去如上所述能夠只通過使試樣導(dǎo)入部基座45滑動(dòng)來容易地進(jìn)行。即，滑動(dòng)閥閥體7等的運(yùn)動(dòng)通過凸輪槽42a等，與試樣導(dǎo)入部基座45的滑動(dòng)(運(yùn)動(dòng))連動(dòng)，不會(huì)相對(duì)于試樣導(dǎo)入部基座45的滑動(dòng)(運(yùn)動(dòng))產(chǎn)生時(shí)機(jī)的偏差，能夠只通過使試樣導(dǎo)入部基座45滑動(dòng)的簡(jiǎn)單的運(yùn)動(dòng)可靠地進(jìn)行插入、拔去的一連串的動(dòng)作。
[0081]圖4A與圖4B表示利用本發(fā)明的第一實(shí)施方式的質(zhì)量分析裝置100實(shí)施的質(zhì)量分析方法的流程圖。首先，在圖4A的步驟SI中，當(dāng)通過操作員接通質(zhì)量分析裝置100的電源時(shí)，質(zhì)量分析裝置100 (控制電路38)起動(dòng)。控制電路38通過使用渦輪分子泵36或粗真空泵37或真空量計(jì)35等的控制，自動(dòng)地進(jìn)行真空房間30的排氣?？刂齐娐?8利用真空量計(jì)35對(duì)真空房間30內(nèi)的真空度(變化)進(jìn)行監(jiān)視，判斷真空房間30內(nèi)的真空度是否到達(dá)規(guī)定的真空度。當(dāng)判斷為到達(dá)規(guī)定的真空度后，進(jìn)入步驟2。
[0082]在步驟S2中，如圖2C所示，操作員從筒8卸下試樣容器17，將測(cè)定試樣19裝入試樣容器17。操作員將試樣容器17安裝在筒8上。如從圖2A向圖2B的變化所示，操作員將該筒8安裝在試樣導(dǎo)入部104的主體上。如圖2B所示，利用夾閥105 (固定堰13a與移動(dòng)堰13b)壓扁彈性管12并關(guān)閉，夾閥105成為閉閥狀態(tài)。該夾閥105的閉閥狀態(tài)持續(xù)到步驟S7的結(jié)束。另外，減壓配管(減壓機(jī)構(gòu))18通過貫通孔16c連接在試樣容器17上。
[0083]在步驟S3中，減壓配管(減壓機(jī)構(gòu))18對(duì)試樣容器17內(nèi)的頭空間21進(jìn)行減壓。
[0084]在步驟S4中，如從圖3A向圖3B的變化所示，操作員每次在試樣導(dǎo)入部104使試樣導(dǎo)入部基座(主動(dòng)滑塊，直進(jìn)主動(dòng)件)45在滑動(dòng)閥103的方向上移動(dòng)。另外，由該操作員進(jìn)行的移動(dòng)持續(xù)到步驟S6的結(jié)束。并且，如圖3B所示，將細(xì)管11插入并貫通到外側(cè)插入孔6a內(nèi)的第一 O環(huán)9a。在該期間，夾閥105與滑動(dòng)閥103是關(guān)閉狀態(tài)。
[0085]即使步驟S5中，也如從圖3B向圖3C的變化所示，操作員也每次在試樣導(dǎo)入部104使試樣導(dǎo)入部基座(主動(dòng)滑塊，直進(jìn)主動(dòng)件)45向滑動(dòng)閥103的方向進(jìn)一步移動(dòng)?；瑒?dòng)閥閥體7下降，滑動(dòng)閥103為開閥狀態(tài)。與電介質(zhì)容器I內(nèi)連通的插入孔6b開口。
[0086]即使在步驟S6中，也如從圖3C向圖3D的變化所示，操作員每次在試樣導(dǎo)入部104，使試樣導(dǎo)入部基座(主動(dòng)滑塊，直進(jìn)主動(dòng)件)45向滑動(dòng)閥103的方向進(jìn)一步移動(dòng)。如圖3D所示，細(xì)管11貫通插入孔6b內(nèi)的第二 O環(huán)9b，并插入到電介質(zhì)容器I內(nèi)?？刂齐娐?8判斷試樣導(dǎo)入部104是否移動(dòng)到能進(jìn)行測(cè)定的規(guī)定的位置?？刂齐娐?8在判斷為未移動(dòng)到規(guī)定的位置的場(chǎng)合，督促操作員進(jìn)一步移動(dòng)試樣導(dǎo)入部基座45，在判斷為移動(dòng)到規(guī)定的位置的場(chǎng)合，督促操作員停止移動(dòng)。
[0087]在步驟S7中，控制電路38利用真空量計(jì)35監(jiān)視真空房間30內(nèi)的真空度(變化)，在步驟S5中暫時(shí)下降的真空度恢復(fù)并上升，判斷是否是規(guī)定值以上。在真空房間30內(nèi)的真空度是規(guī)定值以上的場(chǎng)合，進(jìn)入步驟S8。在小于規(guī)定值的場(chǎng)合，產(chǎn)生錯(cuò)誤，不會(huì)進(jìn)入步驟S8。由于認(rèn)為在細(xì)管11的插入中具有不良狀況，因此返回步驟S4，或返回步驟S2，再次進(jìn)行細(xì)管11的插入。
[0088]在圖4B的步驟S8中，控制電路38開始測(cè)定，因此打開夾閥105 (彈性管12)，將試樣氣體導(dǎo)入離子源101 (電介質(zhì)容器I內(nèi))。圖5表不伴隨夾閥105的開閥(a)的、離子源101 (電介質(zhì)容器I內(nèi))的壓力(b)的變動(dòng)與真空房間30內(nèi)的(c)的變動(dòng)。如圖5 (a)與(b)所示，當(dāng)打開夾閥105時(shí)，電介質(zhì)容器I內(nèi)的壓力上升，再現(xiàn)性好為數(shù)十ms，到達(dá)適于在將大氣用于阻擋放電的場(chǎng)合的阻擋放電方式的離子化的壓力(例如100?lOOOOPa，優(yōu)選1000?2500Pa，在圖5 (b)的例子中，為1800Pa)。如圖5 (c)所示，真空房間30內(nèi)的壓力也通過差動(dòng)排氣與電介質(zhì)容器I內(nèi)的壓力上升連動(dòng)地逐漸上升到30?IOOPa左右。
[0089]在步驟S9中，控制電路38在電介質(zhì)容器I中產(chǎn)生阻擋放電，開始試樣氣體的離子化。通過使阻擋放電與電介質(zhì)容器I內(nèi)的壓力的變動(dòng)同步地開始結(jié)束，實(shí)現(xiàn)最適的離子化。如圖5(a)所示，當(dāng)使夾閥105在30ms?IOOms的短時(shí)間內(nèi)開閥時(shí)，如圖5(b)所示，電介質(zhì)容器I內(nèi)的壓力進(jìn)入適于阻擋放電方式的離子化的壓力帶100?lOOOOPa，優(yōu)選IOOOPa?2500Pa的范圍。電介質(zhì)容器I內(nèi)的壓力進(jìn)入該壓力帶中的時(shí)間為適于阻擋放電方式的離子化的時(shí)間帶(50ms?ls)，如果是該時(shí)間帶內(nèi)，則能夠容易地進(jìn)行阻擋放電。另外，適于阻擋放電方式的離子化的時(shí)間帶比在質(zhì)量分析中對(duì)確保充分的試樣分子離子必要的反應(yīng)離子的離子化所需的時(shí)間(離子化實(shí)施時(shí)間)長(zhǎng)。離子化實(shí)施時(shí)間如果是該時(shí)間帶中，則能夠任意地設(shè)定。例如，可以使開始時(shí)間一致，或跨越夾閥105的閉閥時(shí)而設(shè)定，或使結(jié)束時(shí)間一致?？刂齐娐?8在所設(shè)定的離子化實(shí)施時(shí)間產(chǎn)生阻擋放電。在阻擋放電中，當(dāng)在配置在電介質(zhì)容器I的外側(cè)的兩個(gè)阻擋放電電極2上從阻擋放電用交流電源4施加數(shù)kV、數(shù)MHz的交流電壓時(shí)，在阻擋放電部5上產(chǎn)生阻擋放電。通過該阻擋放電部5的大氣內(nèi)的水分(H2O)或氧分子(O2)利用阻擋放電變化為H3O+或02—等反應(yīng)離子，并移動(dòng)到質(zhì)量分析部102。
[0090]在步驟SlO中，如圖5 (a)所示，控制電路38在步驟S8中打開夾閥105后，在經(jīng)過規(guī)定時(shí)間(30ms?100ms)后，關(guān)閉夾閥105。
[0091]在步驟Sll中，控制電路38在質(zhì)量分析部102中裝入在步驟S9中離子化了的試樣氣體等的離子。步驟Sll與步驟S9的離子化的開始連動(dòng)地開始。步驟Sll的結(jié)束與步驟S9的離子化的結(jié)束如圖5 (a)與(b)所示，為步驟SlO的夾閥105的閉閥后。
[0092]在步驟S12中，控制電路38從步驟SlO的結(jié)束(夾閥105的閉閥)到收放質(zhì)量分析部102的真空房間30內(nèi)的壓力充分地下降等待I?2秒。當(dāng)在步驟SlO中，夾閥105閉閥時(shí)，電介質(zhì)容器I內(nèi)的壓力(圖5 (b))與真空房間30內(nèi)的壓力(圖5 (c))逐漸下降。并且，真空房間30內(nèi)的壓力(圖5 (C))從夾閥105閉閥后，在I?2秒后，到達(dá)能質(zhì)量分析的壓力(0.1Pa以下)。因此，通過等待I?2秒，質(zhì)量分析部102為能進(jìn)行質(zhì)量分析的狀態(tài)(壓力)。具體地說，判斷真空房間30內(nèi)的壓力是否到達(dá)規(guī)定的壓力(能進(jìn)行質(zhì)量分析的0.1Pa以下的壓力)以下。并且，在判斷為壓力未到達(dá)規(guī)定的壓力以下的場(chǎng)合，不轉(zhuǎn)移到步驟S13，反復(fù)實(shí)施該判斷。并且，在判斷為壓力到達(dá)規(guī)定的壓力以下的場(chǎng)合，進(jìn)入步驟S13。
[0093]在步驟S13中，控制電路38實(shí)施質(zhì)量分析(質(zhì)量掃描)。實(shí)施離子選擇、離子離解、質(zhì)量分離，并存儲(chǔ)該測(cè)定結(jié)果。
[0094]在步驟S14中，控制電路38根據(jù)來自操作員的輸入等，判斷是否結(jié)束相同的測(cè)定試樣19的測(cè)定。在不結(jié)束相同的測(cè)定試樣19的測(cè)定地利用相同的測(cè)定試樣19繼續(xù)不同的測(cè)定的場(chǎng)合(步驟S14，No)，返回步驟S8，實(shí)施再次測(cè)定。由此，能夠反復(fù)對(duì)測(cè)定試樣19進(jìn)行質(zhì)量分析。另外，在結(jié)束相同的測(cè)定試樣19的測(cè)定的場(chǎng)合(步驟S14，Yes)，進(jìn)入步驟S15。
[0095]在步驟S15中，操作員如從圖3D向圖3C，并向圖3B的變化所示，每次在試樣導(dǎo)入部104使試樣導(dǎo)入部基座(主動(dòng)滑塊，直進(jìn)主動(dòng)件)45向離開滑動(dòng)閥103的方向移動(dòng)。另夕卜，由該操作員進(jìn)行的移動(dòng)持續(xù)到步驟S17的結(jié)束。如圖3C所示，細(xì)管11被拔出，并從電介質(zhì)容器I內(nèi)拔出，并且，也從插入孔6b內(nèi)的第二 O環(huán)9b拔出。如從圖3C向圖3B的變化所示，細(xì)管11進(jìn)一步被拔出，將其前端后退到外側(cè)插入孔6a內(nèi)的第一 O環(huán)9a。是細(xì)管11被插入外側(cè)插入孔6a內(nèi)的第一 O環(huán)9a并貫通，外側(cè)插入孔6a被細(xì)管11與第一 O環(huán)9a密封的狀態(tài)。
[0096]在步驟S16中，與操作員進(jìn)行的從圖3C向圖3B的變化所示的試樣導(dǎo)入部基座45的移動(dòng)連動(dòng)，滑動(dòng)閥閥體7上升，滑動(dòng)閥103為閉閥狀態(tài)。與電介質(zhì)容器I內(nèi)連通的插入孔6b被滑動(dòng)閥103封閉。
[0097]在步驟S17中，操作員如從圖3B向圖3A的變化所示，每次在試樣導(dǎo)入部104將試樣導(dǎo)入部基座(主動(dòng)滑塊，直進(jìn)主動(dòng)件)45向離開滑動(dòng)閥103的方向移動(dòng)。細(xì)管11被從外側(cè)插入孔6a內(nèi)的第一 O環(huán)9a拔出。細(xì)管11從滑動(dòng)閥容器6被完全拔出。
[0098]在步驟S18中，操作員如從圖3A向圖2A的變化所示，將筒8從試樣導(dǎo)入部104的主體卸下。
[0099]在步驟S19中，操作員判斷是否具有接下來測(cè)定的測(cè)定試樣19。在具有接下來的測(cè)定試樣19的場(chǎng)合(步驟S19，Yes)，返回步驟S2，在沒有的場(chǎng)合(步驟S19，No)，結(jié)束質(zhì)量分析方法的流程。
[0100]圖6與質(zhì)量分析部102的質(zhì)量分析方法(電壓掃描方式)的順序(離子蓄積及排氣等待-離子選擇-離子離解-質(zhì)量掃描(分離))對(duì)應(yīng)，Ca)表示夾閥105的開閉，(b)表示阻擋放電部5 (電介質(zhì)容器I內(nèi))的壓力，(c)表示質(zhì)量分析部102 (真空房間30內(nèi))的壓力，Cd)表示阻擋放電電極2的交流電壓，Ce)表示孔3DC電壓，Cf)表示內(nèi)蓋電極32 /終端蓋電極33DC電壓，(g)表示貯存偏斜DC電壓，(h)表示貯存RF電壓，(i)表示輔助交流電壓，(j)表示離子檢測(cè)器34的接通斷開。如圖6所示，質(zhì)量分析方法(電壓掃描方式)的順序由離子蓄積及排氣等待步驟、離子選擇步驟、離子離解步驟、質(zhì)量分離步驟這四個(gè)步驟構(gòu)成。另外，離子蓄積步驟與排氣等待步驟同時(shí)進(jìn)行，在時(shí)間上重合，合并為一個(gè)步驟，但發(fā)生的事項(xiàng)能分離，由于可以依次在不同時(shí)間進(jìn)行，因此在之后分開說明。
[0101](離子蓄積步驟)
[0102]首先，如圖6 (a)所示，打開夾閥105 (參照?qǐng)D1A)。這樣，如圖6 (b)與(C)所示，阻擋放電部5 (電介質(zhì)容器I內(nèi))的壓力與質(zhì)量分析部102的壓力上升。如圖6 (b)與(d)所示，與阻擋放電部5 (電介質(zhì)容器I)的壓力上升為適當(dāng)?shù)闹档臅r(shí)機(jī)一致，在阻擋放電電極2上從阻擋放電用交流電源4施加數(shù)kV、數(shù)MHz的交流電壓或脈沖電壓，產(chǎn)生阻擋放電。在阻擋放電部5產(chǎn)生的離子通過在試樣氣體的粘性流、孔3、內(nèi)蓋電極32、直線離子貯存電極31a、31b、31c、31d、終端蓋電極33上分別施加適當(dāng)?shù)腄C電壓(例如，在測(cè)定的試樣分子離子是正離子的場(chǎng)合，作為孔3DC電壓，為-5V，作為內(nèi)蓋電極32 /終端蓋電極33DC電壓為-10V，作為偏斜DC電壓為-20V)，從而在試樣分子離子流24的方向上被搬運(yùn)。在施加阻擋放電電極電壓(圖6 (d))后，在滯后適當(dāng)?shù)臅r(shí)間后，當(dāng)將貯存RF電壓(圖6 (h))施加到直線離子貯存電極31a、31b、31c、31d時(shí)，試樣分子離子在直線離子貯存電極31a、31b、31c、31d的中央部直線地被貯存(蓄積)。
[0103](排氣等待步驟)
[0104]排氣等待步驟的開始為夾閥105的閉閥時(shí)。離子蓄積步驟期間是施加阻擋放電電極電壓(圖6 (d))的期間，該期間橫跨夾閥105的閉閥時(shí)。因此，排氣等待步驟與離子蓄積步驟重合。排氣等待步驟的終期直到質(zhì)量分析部102的壓力是能進(jìn)行質(zhì)量分析的0.1Pa以下的規(guī)定的壓力。排氣等待步驟的時(shí)間是I?2秒左右。
[0105](離子選擇步驟)
[0106]在離子選擇步驟中，為了在所貯存的離子中、選擇特定的范圍的m / z值的試樣分子離子(目標(biāo)離子)，如圖6 (i)所示，在直線離子貯存電極31a與32b上施加輔助交流電壓39a，如圖6 (h)所示，貯存RF電壓39b也高，進(jìn)行FNF (Filtered Noise Field)處理。由此，將想要測(cè)定的特定的范圍的m / z值以外的試樣分子離子從貯存區(qū)域排出。另外，在對(duì)貯存的試樣分子離子全部進(jìn)行質(zhì)量分離的場(chǎng)合，省略該FNF處理。[0107](離子離解步驟)
[0108]在離子離解步驟中，對(duì)試樣分子離子進(jìn)行CID (Collision InducedDissociation)處理，從而產(chǎn)生乘積離子。如圖6 (i)所示，將成為CID的目標(biāo)的與目標(biāo)離子(目標(biāo)離子)的m / z值一致的輔助交流電壓39a施加到直線離子貯存電極31a與31b上，使目標(biāo)離子與位于質(zhì)量分析部102的中性分子(N2或O2)碰撞，從而被撞碎(離解)(產(chǎn)生乘積離子)。目標(biāo)離子與輔助交流電壓39a共鳴，在貯存處內(nèi)與中性分子(緩沖氣體)多重碰撞并分解，產(chǎn)生乘積離子。作為緩沖氣體的壓力，優(yōu)選0.01?IPa左右的壓力。另外，在不需要對(duì)乘積離子進(jìn)行質(zhì)量分離的場(chǎng)合，省略該CID處理。
[0109](質(zhì)量分離步驟)
[0110]最后，如圖6 (h)與(i)所示，對(duì)貯存RF電壓39a、39b與輔助交流電壓39a的電壓值(波高值)進(jìn)行掃描，按照m / z值小的離子順序，從直線離子貯存電極31a的狹縫沿離子檢測(cè)器34的方向作為被質(zhì)量分離的試樣分子離子流25排出。由m/ z值的不同產(chǎn)生的在離子檢測(cè)器34中的檢測(cè)時(shí)機(jī)的不同成為質(zhì)量分析的MS譜并存儲(chǔ)。S卩，能夠從被檢測(cè)的離子的質(zhì)量數(shù)與其信息量得到質(zhì)量分析譜。在質(zhì)量掃描步驟中，如圖6 (j)所示，需要使離子檢測(cè)器34的電壓為接通。另外，由于離子檢測(cè)器34的電壓使用在穩(wěn)定化方面需要時(shí)間的高電壓，因此可以在離子選擇步驟或離子離解步驟期間接通。這是因?yàn)?，作為離子檢測(cè)器34，假想在電子增倍管等壓力高的區(qū)域，無法施加高電壓，因此在離子檢測(cè)器34使用光電倍增器或半導(dǎo)體檢測(cè)器等的場(chǎng)合，能夠在裝置工作中總是接通離子檢測(cè)器34的電壓(總是接通)，能夠省略接通斷開的開關(guān)動(dòng)作。
[0111]在以上的離子蓄積步驟、排氣等待步驟、離子選擇步驟、離子離解步驟、質(zhì)量分離步驟這五個(gè)步驟中，進(jìn)行MS / MS測(cè)定，但如果是通常的MS測(cè)定，則能夠省略離子選擇步驟與離子離解步驟。另外，在進(jìn)行多次MS / MS分析(MSn)的場(chǎng)合，可以反復(fù)多次進(jìn)行離子選擇步驟與離子離解步驟。
[0112]圖7表示與圖6的電壓掃描方式不同的與利用頻率掃描方式的質(zhì)量分析方法的順序(離子蓄積及排氣等待-離子選擇-離子離解-質(zhì)量掃描(分離)對(duì)應(yīng)，(a)表示夾閥105的開閉，(b)表示阻擋放電部5 (電介質(zhì)容器I內(nèi))的壓力，(c)表示質(zhì)量分析部102 (真空房間30內(nèi))的壓力，Cd)表不阻擋放電電極2交流電壓，Ce)表不孔3DC電壓，Cf)表不內(nèi)蓋電極32 /終端蓋電極33DC電壓，(g)表示貯存偏斜DC電壓，(h)表示貯存RF電壓，(i)表示輔助交流電壓，(j)表示離子檢測(cè)器34的接通斷開。圖7的頻率掃描方式與圖6的電壓掃描方式不同之處在于，是質(zhì)量分離步驟。在圖6的電壓掃描方式中，如圖6 (h)與(i)所示，對(duì)貯存RF電壓39a、39b與輔助交流電壓39a的電壓值(波高值)進(jìn)行掃描，但在圖7的頻率掃描方式中，如圖7 (i)所示，對(duì)輔助交流電壓39a的頻率進(jìn)行掃描，如圖7 (h)所示，將貯存RF電壓39a,39b的電壓值與頻率保持為一定。即使在圖7的頻率掃描方式中，也按照m / z值小的離子的順序，從直線離子貯存電極31a的狹縫向離子檢測(cè)器34的方向排出離子。
[0113](第一實(shí)施方式的變形例)
[0114]圖8表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的變形例的質(zhì)量分析裝置100的主要部分的結(jié)構(gòu)圖。第一實(shí)施方式的變形例與第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)在于將槽凸輪42安裝在試樣導(dǎo)入部基座45這一點(diǎn)。槽凸輪42與試樣導(dǎo)入部基座45—起成為主動(dòng)滑塊、直進(jìn)主動(dòng)件。另一方面，導(dǎo)向輥(從動(dòng)銷)43安裝在從動(dòng)滑塊(直動(dòng)從動(dòng)件)43a上。從動(dòng)滑塊(直動(dòng)從動(dòng)件)43a與閥體軸40或滑動(dòng)閥閥體7為一體地移動(dòng)，即使這種結(jié)構(gòu)，也能得到與第一實(shí)施方式相同的作用、效果。
[0115](第二實(shí)施方式)
[0116]圖9表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的質(zhì)量分析裝置的試樣導(dǎo)入部104的結(jié)構(gòu)圖。第二實(shí)施方式與第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)在于，具有在筒8的安裝狀態(tài)時(shí)，將外氣(大氣、流體)向氣室16b導(dǎo)入并稀釋試樣氣體的稀釋機(jī)構(gòu)(稀釋用配管46與流量控制部47)。稀釋用配管46利用鉤16e能裝卸地固定在筒主體16上。流量控制部47支撐在試樣導(dǎo)入部104的主體上。稀釋用配管46通過設(shè)在筒主體16上的貫通孔16d連接在氣室16b上。將由流量控制部47調(diào)整的適當(dāng)?shù)牧康耐鈿?大氣)如外氣流49那樣，能夠通過稀釋用配管46與貫通孔16d,安裝在氣室16b上。由此,在試樣氣體的濃度高的場(chǎng)合等,能夠稀釋試樣氣體。另夕卜，流量控制部47連接在控制電路38 (參照?qǐng)D1A)上，在測(cè)定開始后，當(dāng)判斷為測(cè)定試樣19的濃度高時(shí)，自動(dòng)地調(diào)節(jié)流量控制部47，能夠增加稀釋的外氣的量。另外，預(yù)先利用適當(dāng)?shù)牧康耐鈿庀♂寶馐?6b，在測(cè)定開始后，當(dāng)判斷為測(cè)定試樣19的濃度低時(shí)，自動(dòng)地調(diào)節(jié)流量控制部47，減少稀釋的外氣(大氣)的量，能夠提高測(cè)定靈敏度。另外，在沒有該第二實(shí)施方式那樣的稀釋試樣氣體的機(jī)構(gòu)的場(chǎng)合，在判斷為測(cè)定開始后測(cè)定試樣19的濃度高時(shí)，如果中斷試樣導(dǎo)入，則能夠防止產(chǎn)生帶水。另外，在筒8從試樣導(dǎo)入部104的主體脫離時(shí)，卸下鉤16e，稀釋用配管46與流量控制部47殘留在試樣導(dǎo)入部104的主體側(cè)，能夠從筒8分離。稀釋用配管46與流量控制部47能夠在反復(fù)測(cè)定時(shí)使用。另外，可以在流量控制部47上連接填充了成分清楚的氣體(流體)的氣缸(容器)。
[0117](第三實(shí)施方式)
[0118]圖10表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的質(zhì)量分析裝置的試樣導(dǎo)入部104的結(jié)構(gòu)圖。第三實(shí)施方式與第二實(shí)施方式不同點(diǎn)在于具有加熱稀釋用配管46內(nèi)的流體的配管加熱器(流體加熱機(jī)構(gòu))48、加熱氣室16b內(nèi)的試樣氣體的金屬容器加熱器(氣體加熱機(jī)構(gòu))52、設(shè)在貫通孔16c內(nèi)且吸附貫通孔16c內(nèi)的試樣氣體的氣體過濾器。另外，第二實(shí)施方式的氣室16b換為在熱傳導(dǎo)性方面高的金屬性,成為氣室金屬容器51。氣室金屬容器51由金屬容器加熱器52加熱，能夠防止其內(nèi)部的試樣氣體冷卻而凝結(jié)。另外，稀釋用配管46也由配管加熱器48加熱，在外氣(大氣)通過稀釋用配管46時(shí)變暖。因此，能夠防止流入氣室金屬容器51的外氣冷卻試樣氣體。利用這種結(jié)構(gòu)，能夠不使暫時(shí)氣化的試樣氣體凝結(jié)地進(jìn)行保持。另外，在筒8從試樣導(dǎo)入部104的主體脫離時(shí)，配管加熱器48殘留在試樣導(dǎo)入部104的主體側(cè)，能夠從筒8分離。配管加熱器48能夠在反復(fù)測(cè)定時(shí)使用。
[0119]另外，從貫通孔16c通過減壓配管18排出試樣氣體，因此通過在貫通孔16c上設(shè)置氣體過濾器，能抑制試樣氣體流入減壓配管18。能夠降低減壓配管18內(nèi)的試樣氣體的殘留。另外，在筒8從試樣導(dǎo)入部104的主體脫離時(shí),金屬容器加熱器52與氣體過濾器能夠與筒8 —體地處理。
[0120]另外，本發(fā)明未限定于上述第一?第三實(shí)施方式，包括多種變形例。例如，上述第一?第三實(shí)施方式為了使本發(fā)明容易明白地說明而詳細(xì)地說明，但未必具備說明的全部的結(jié)構(gòu)。另外，能將某實(shí)施方式的一部分置換為其他實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，并且，能在某實(shí)施方式上添加其他實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)。另外，就各實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的一部分而言，也能夠進(jìn)行其他結(jié)構(gòu)的追加、刪除、置換。
【權(quán)利要求】
1.一種質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 具有: 分離被離子化的試樣氣體的質(zhì)量分析部； 利用來自上述質(zhì)量分析部的差動(dòng)排氣對(duì)內(nèi)部進(jìn)行減壓，并對(duì)上述試樣氣體進(jìn)行離子化的離子源； 裝有上述試樣，使上述測(cè)定試樣氣化，并且產(chǎn)生上述試樣氣體的試樣容器； 將在上述試樣容器產(chǎn)生的上述試樣氣體導(dǎo)入上述離子源的細(xì)管； 連接上述試樣容器與上述細(xì)管，且開閉自如的彈性管； 以?shī)A住上述彈性管的方式關(guān)閉或打開上述彈性管的堰；以及 使上述試樣容器、上述細(xì)管以及上述彈性管一體化，并能一并地從主體裝卸的筒。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 上述堰是一對(duì)堰，間歇性地互相遠(yuǎn)離，從而間歇性地打開上述彈性管。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的質(zhì)量 分析裝置，其特征在于， 上述一對(duì)堰中的一方是以接近上述彈性管的方式固定在上述筒上，在上述筒脫離時(shí)，與上述筒一起脫離的固定堰， 上述一對(duì)堰中的另一方是在上述筒的安裝狀態(tài)時(shí)，進(jìn)行相對(duì)于上述固定堰接近或遠(yuǎn)離的運(yùn)動(dòng)，在上述筒脫離時(shí)，殘留在質(zhì)量分析裝置的上述主體側(cè)，并從上述筒離開的移動(dòng)堰。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 上述試樣容器在上述筒的脫離狀態(tài)時(shí)，能相對(duì)于上述筒裝卸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 具有在上述筒的安裝狀態(tài)時(shí)，加熱上述試樣容器內(nèi)的上述測(cè)定試樣的加熱機(jī)構(gòu)， 上述加熱機(jī)構(gòu)在上述筒脫離時(shí)，殘留在質(zhì)量分析裝置的上述主體側(cè)，并從上述筒離開。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 具有: 設(shè)在上述筒上，連接在上述試樣容器與上述彈性管上的氣室； 設(shè)在上述筒上，從上述筒的外側(cè)到達(dá)上述氣室的貫通孔；以及 在上述筒的安裝狀態(tài)時(shí)，連接在上述貫通孔上，并經(jīng)過上述貫通孔與上述氣室對(duì)上述試樣容器內(nèi)進(jìn)行減壓的減壓機(jī)構(gòu)， 上述氣室與上述貫通孔在上述筒脫離時(shí)，與上述筒一體地脫離， 上述減壓機(jī)構(gòu)在上述筒脫離時(shí)，殘留在質(zhì)量分析裝置的上述主體側(cè)，并從上述筒離開。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 具有氣體過濾器，其設(shè)在上述貫通孔內(nèi)，吸附上述貫通孔內(nèi)的上述試樣氣體，在上述筒脫離時(shí)，與上述筒一體地脫離。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 具有: 設(shè)在上述筒上，連接在上述試樣容器與上述彈性管上的氣室；以及設(shè)在上述筒上，在上述筒的安裝狀態(tài)時(shí)，加熱上述氣室內(nèi)的上述試樣氣體的氣體加熱機(jī)構(gòu)， 上述氣室與上述氣體加熱機(jī)構(gòu)在上述筒脫離時(shí)，與上述筒一體地脫離。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 具有: 設(shè)在上述筒上，連接在上述試樣容器與上述彈性管上的氣室；以及 在上述筒的安裝狀態(tài)時(shí)，向上述氣室導(dǎo)入流體并稀釋上述試樣氣體的稀釋機(jī)構(gòu)， 上述氣室在上述筒脫離時(shí)，與上述筒一體地脫離， 上述稀釋機(jī)構(gòu)在上述筒脫離時(shí)，殘留在質(zhì)量分析裝置的上述主體側(cè)，并從上述筒離開。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 具有在上述筒的安裝狀態(tài)時(shí)，加熱上述稀釋機(jī)構(gòu)內(nèi)的上述流體的流體加熱機(jī)構(gòu)， 上述流體加熱機(jī)構(gòu)在上述筒脫離時(shí)，殘留在質(zhì)量分析裝置的上述主體側(cè)，并從上述筒離開。
11.根據(jù)權(quán)利要求1-10任一項(xiàng)所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 上述離子源通過從上述細(xì)管導(dǎo)入上述試樣氣體，使內(nèi)壓上升，在上述內(nèi)壓大約為IOOPa-大約IOOOOPa時(shí)，使上述試樣氣體離子化， 上述質(zhì)量分析部在與上述離子源的內(nèi)壓的上升連動(dòng)地上升的內(nèi)壓轉(zhuǎn)為下降，且降低為大約0.1Pa以下時(shí)，分離離子化了的上述試樣氣體。
12.根據(jù)權(quán)利要求1-11任一項(xiàng)所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 具有: 插入孔，其設(shè)在上述離子源上，通過插入上述細(xì)管，在對(duì)與上述細(xì)管之間進(jìn)行密封的狀態(tài)下連接上述細(xì)管與上述離子源，通過拔去上述細(xì)管，解除上述細(xì)管與上述離子源的連接；以及 對(duì)上述插入孔進(jìn)行開閉的開閉閥， 伴隨用于插入的上述細(xì)管向上述插入孔的前進(jìn)移動(dòng)，上述細(xì)管與上述開閉閥接近，在上述細(xì)管與上述開閉閥的距離縮短到第一規(guī)定距離時(shí)，上述開閉閥開始開閥，使上述細(xì)管通過， 伴隨用于上述細(xì)管從上述插入孔拔去的后退移動(dòng)，上述細(xì)管被拔去，并遠(yuǎn)離上述插入孔，在上述細(xì)管與上述插入孔的距離增長(zhǎng)到第二規(guī)定距離時(shí)，上述開閉閥結(jié)束閉閥。
13.一種質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 具有: 分離被離子化的試樣氣體的質(zhì)量分析部； 利用來自上述質(zhì)量分析部的差動(dòng)排氣對(duì)內(nèi)部進(jìn)行減壓，并對(duì)上述試樣氣體進(jìn)行離子化的離子源； 將上述試樣氣體導(dǎo)入上述離子源的細(xì)管； 插入孔，其設(shè)在上述離子源，通過插入上述細(xì)管，在對(duì)與上述細(xì)管之間進(jìn)行密封的狀態(tài)下連接上述細(xì)管與上述離子源，通過拔去上述細(xì)管，解除上述細(xì)管與上述離子源的連接；以及 開閉上述插入孔的開閉閥， 伴隨用于插入的上述細(xì)管向上述插入孔的前進(jìn)移動(dòng)，上述細(xì)管與上述開閉閥接近，在上述細(xì)管與上述開閉閥的距離縮短到第一規(guī)定距離時(shí)，上述開閉閥開始開閥，使上述細(xì)管通過，伴隨用于上述細(xì)管從上述插入孔拔去的后退移動(dòng)，上述細(xì)管被拔去，并遠(yuǎn)離上述插入孔，在上述細(xì)管與上述插入孔的距離增長(zhǎng)到第二規(guī)定距離時(shí)，上述開閉閥結(jié)束閉閥。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 具有: 通過上述插入孔連接在上述離子源上，并收放上述開閉閥的閥容器；以及外側(cè)插入孔，其以中心軸與上述插入孔的中心軸的延長(zhǎng)線一致的方式設(shè)在上述閥容器上，通過插入上述細(xì)管，在對(duì)與上述細(xì)管之間進(jìn)行密封的狀態(tài)下連接上述細(xì)管與上述閥容器，通過拔去上述細(xì)管，解除上述細(xì)管與上述閥容器的連接， 在伴隨上述前進(jìn)移動(dòng)，上述細(xì)管與上述開閉閥的距離縮短到上述第一規(guī)定距離時(shí)，以及 在伴隨上述后退移動(dòng)，上述細(xì)管與上述插入孔的距離增長(zhǎng)到上述第二規(guī)定距離時(shí)，在上述外側(cè)插入孔中插入上述細(xì)管，在對(duì)上述外側(cè)插入孔與上述細(xì)管之間進(jìn)行密封的狀態(tài)下連接上述細(xì)管與上述閥容器。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 上述插入孔的與上述離子源相反側(cè)的開口面的垂線相對(duì)于上述插入孔的中心軸傾斜， 上述開閉閥為了閉閥，具有堵塞上 述開口面的閥體， 上述閥體為了開閉上述開閉閥而移動(dòng)的方向與上述開口面不平行。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 上述開閉閥具有: 為了閉閥，堵塞上述插入孔的上述閥容器側(cè)的開口面的閥體； 貫通設(shè)在上述閥容器上的貫通孔，并支撐上述閥體的軸；以及 能在保持上述貫通孔的密封的狀態(tài)下使上述軸移動(dòng)的波紋管。
17.根據(jù)權(quán)利要求13-16任一項(xiàng)所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 具有: 與上述細(xì)管為一體地移動(dòng)，進(jìn)行上述前進(jìn)移動(dòng)與上述后退移動(dòng)，且成為直進(jìn)主動(dòng)件的主動(dòng)滑塊； 與上述開閉閥為一體地移動(dòng)，并成為直動(dòng)從動(dòng)件的從動(dòng)滑塊； 設(shè)在上述主動(dòng)滑塊與上述從動(dòng)滑塊的一方的凸輪槽；以及 設(shè)在上述主動(dòng)滑塊與上述從動(dòng)滑塊的相對(duì)于上述一方的另一方，通過沿上述凸輪槽相對(duì)地移動(dòng)，開閉上述開閉閥的從動(dòng)銷， 在上述前進(jìn)移動(dòng)中，在上述細(xì)管與上述開閉閥的距離比上述第一規(guī)定距離長(zhǎng)時(shí)，以及 在上述后退移動(dòng)中，在上述細(xì)管與上述插入孔的距離比上述第二規(guī)定距離長(zhǎng)時(shí)， 即使使上述從動(dòng)銷沿上述凸輪槽相對(duì)地移動(dòng)，也使上述從動(dòng)滑塊停留，使上述開閉閥為閉閥狀態(tài)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 上述凸輪槽設(shè)在上述從動(dòng)滑塊上， 上述從動(dòng)銷設(shè)在上述主動(dòng)滑塊上。
19.根據(jù)權(quán)利要求17或18所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 在上述細(xì)管被插入上述插入孔的狀態(tài)時(shí)，在上述前進(jìn)移動(dòng)與上述后退移動(dòng)中， 即使使上述從動(dòng)銷沿上述凸輪槽相對(duì)地移動(dòng)，也使上述從動(dòng)滑塊停留，使上述開閉閥為開閥狀態(tài)。
20.根據(jù)權(quán)利要求13-19任一項(xiàng)所述的質(zhì)量分析裝置，其特征在于， 具有: 裝入上述試樣并使上述測(cè)定試樣氣化，產(chǎn)生上述試樣氣體的試樣容器； 連接上述試樣容器與上述細(xì)管，且開閉自如的彈性管； 以?shī)A著上述彈性管的方式相對(duì)地設(shè)置，通過互相接近或遠(yuǎn)離，打開或關(guān)閉上述彈性管的一對(duì)堰；以及 使上述試樣容器、上 述細(xì)管及上述彈性管一體化，并能一并地從主體裝卸的筒。
【文檔編號(hào)】G01N27/62GK103456596SQ201310218253
【公開日】2013年12月18日 申請(qǐng)日期:2013年6月4日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月4日
【發(fā)明者】諸熊秀俊, 石黑浩二, 熊野峻 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立高新技術(shù)