玻璃基板的缺角檢測(cè)裝置、具有該裝置的干蝕刻機(jī)臺(tái)及缺角檢測(cè)方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種玻璃基板的缺角檢測(cè)裝置、具有該裝置的干蝕刻機(jī)臺(tái)及缺角檢測(cè)方法。缺角檢測(cè)裝置用于檢測(cè)傳送至進(jìn)樣室的玻璃基板是否存在缺角，該缺角檢測(cè)裝置包括兩組缺角傳感器和邏輯控制器，該兩組缺角傳感器分別位于該進(jìn)樣室的兩側(cè)，每一組缺角傳感器均包括信號(hào)接收部和信號(hào)發(fā)送部，該兩組缺角傳感器對(duì)應(yīng)于該玻璃基板的兩邊產(chǎn)生第一信號(hào)和第二信號(hào)，該邏輯控制器能夠比對(duì)該第一信號(hào)和第二信號(hào)是否相同，若信號(hào)不同，則表示該玻璃基板存在缺角。
【專利說明】玻璃基板的缺角檢測(cè)裝置、具有該裝置的干蝕刻機(jī)臺(tái)及缺 角檢測(cè)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及玻璃基板的缺角檢測(cè)裝置及缺角檢測(cè)方法，特別是用于玻璃基板進(jìn)入 干蝕刻機(jī)臺(tái)的過程中檢測(cè)缺角的裝置及方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 現(xiàn)有的干蝕刻機(jī)臺(tái)，例如4. 5世代的設(shè)備商TEL干蝕刻機(jī)臺(tái)（DRY etcher)，其傳送 玻璃基板的方式是以傳送手臂（Atmosphere Arm,A/A)將玻璃基板由卡夾取出后，放入真空 進(jìn)樣室，隨后進(jìn)入機(jī)臺(tái)的各反應(yīng)室，進(jìn)行相應(yīng)工藝。
[0003] 如圖1示出了玻璃基板在真空進(jìn)樣室內(nèi)的傳送狀態(tài)，玻璃基板1被傳送手臂2輸 送至真空進(jìn)樣室內(nèi)，由四個(gè)銷3支撐。然而，玻璃基板在進(jìn)入真空進(jìn)樣室前可能存在缺角， 若存在缺角的玻璃基板被輸送至真空進(jìn)樣室，則很可能無法被銷支撐，從而造成位置偏移。
[0004] 目前一般的干式制程機(jī)臺(tái)僅能通過安裝在傳送手臂上的簡(jiǎn)易傳感器感測(cè)玻璃基 板是否存在，卻無法有效檢測(cè)玻璃基板是否有缺陷。
[0005] 申請(qǐng)?zhí)枮?00410074085. 4公開了一種玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)裝置及方 法，其包括：確定玻璃基板完全通過傳感器所需要的時(shí)間；或是各傳感器接收的信號(hào)的脈 沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，并將該時(shí)間或計(jì)數(shù)的脈沖個(gè)數(shù)與預(yù)訂的基準(zhǔn)值比較，從而判定基板有無破損。 雖然該裝置可檢測(cè)玻璃基板的缺角，但必須在整個(gè)玻璃基板完全通過傳感器后才能獲得判 斷結(jié)果，造成基板輸送過程的拖延，嚴(yán)重影響加工效率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 本發(fā)明的目的在于，提供一種玻璃基板的缺角檢測(cè)裝置及缺角檢測(cè)方法，在玻璃 基板進(jìn)入機(jī)臺(tái)的過程中快速檢測(cè)出缺角的存在，提高傳送效率。
[0007] 本發(fā)明提供一種缺角檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)傳送至進(jìn)樣室的玻璃基板是否存在缺 角，該缺角檢測(cè)裝置包括兩組缺角傳感器和邏輯控制器，該兩組缺角傳感器分別位于該進(jìn) 樣室的兩側(cè)，每一組缺角傳感器均包括信號(hào)接收部和信號(hào)發(fā)送部，該兩組缺角傳感器對(duì)應(yīng) 于該玻璃基板的兩邊產(chǎn)生第一信號(hào)和第二信號(hào)，該邏輯控制器能夠比對(duì)該第一信號(hào)和第二 信號(hào)是否相同，若信號(hào)不同，貝 1J表不該玻璃基板存在缺角。
[0008] 本發(fā)明還提供一種干蝕刻機(jī)臺(tái)，其包括進(jìn)樣室、傳送手臂及上述的缺角檢測(cè)裝置。
[0009] 本發(fā)明還提供一種缺角檢測(cè)方法，其利用上述的缺角檢測(cè)裝置檢測(cè)玻璃基板是否 存在缺角，其包括以下步驟：
[0010] (1)由傳送手臂將該玻璃基板傳送入該進(jìn)樣室；
[0011] (2)該進(jìn)樣室的兩側(cè)的缺角傳感器在該玻璃基板的兩邊產(chǎn)生信號(hào)，其中一側(cè)的缺 角傳感器產(chǎn)生第一信號(hào)，另一側(cè)的缺角傳感器產(chǎn)生第二信號(hào)，該缺角傳感器將將第一信號(hào) 和第二信號(hào)發(fā)送給該邏輯控制器，由該邏輯控制器比對(duì)該第一信號(hào)和第二信號(hào)是否相同； 及
[0012] (3)若該邏輯控制器進(jìn)行比對(duì)的結(jié)果為信號(hào)相同，該傳送手臂繼續(xù)傳送該玻璃基 板，若該邏輯控制器進(jìn)行比對(duì)的結(jié)果為信號(hào)不同，則該邏輯控制器發(fā)出使該傳送手臂停止 運(yùn)動(dòng)的指令。
[0013] 本發(fā)明的缺角檢測(cè)裝置能夠在玻璃基板進(jìn)入進(jìn)樣室的過程中快速檢測(cè)出缺角的 存在，并立即制止帶缺角的玻璃基板繼續(xù)進(jìn)入機(jī)臺(tái)內(nèi)，避免帶缺角的玻璃基板進(jìn)入機(jī)臺(tái)內(nèi) 導(dǎo)致異常傳送，其能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決問題，提高傳送效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014] 圖1是玻璃基板在真空進(jìn)樣室內(nèi)的傳送狀態(tài)示意圖。
[0015] 圖2是具有本發(fā)明的缺角檢測(cè)裝置的干蝕刻機(jī)臺(tái)的示意圖。
[0016] 圖3是由本發(fā)明的缺角檢測(cè)裝置的兩組缺角傳感器產(chǎn)生的信號(hào)，此過程中未檢測(cè) 到缺角。
[0017] 圖4是由本發(fā)明的缺角檢測(cè)裝置的兩組缺角傳感器產(chǎn)生的信號(hào)，此過程中檢測(cè)到 缺角。
[0018] 圖5至圖7是本發(fā)明的缺角檢測(cè)裝置所檢測(cè)的缺角類型示意圖。
[0019] 圖8是示出邏輯控制器的忽略區(qū)域和檢測(cè)區(qū)域的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0020] 以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描 述的【具體實(shí)施方式】?jī)H用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0021] 本發(fā)明的缺角檢測(cè)裝置包括缺角傳感器10和邏輯控制器(未示出）。如圖2所示， 玻璃基板1被傳送至真空進(jìn)樣室100內(nèi)，真空進(jìn)樣室100的腔門101兩側(cè)各設(shè)有一組所述 缺角傳感器10,每一組述缺角傳感器10均包括信號(hào)接收部11和信號(hào)發(fā)送部12。本實(shí)施例 中，位于腔門101上側(cè)的為信號(hào)接收部11，下側(cè)的為信號(hào)發(fā)送部12,當(dāng)然，也可進(jìn)行位置調(diào) 換，只要使得每一組缺角傳感器10之間能夠收發(fā)信號(hào)即可。本實(shí)施例的缺角傳感器為光感 傳感器，玻璃基板1為透明或半透明，因此，光感的缺角傳感器能夠產(chǎn)生穿過玻璃基板1的 信號(hào)。玻璃基板1通過真空進(jìn)樣室1〇〇的腔門101時(shí)，兩側(cè)的缺角傳感器10對(duì)玻璃基板1 的兩邊產(chǎn)生信號(hào)，若玻璃基板1 一邊存在缺角，則該邊上的缺角傳感器10在該缺角處產(chǎn)生 的信號(hào)必然與另一邊的缺角傳感器10產(chǎn)生的信號(hào)不同，邏輯控制器比對(duì)出兩個(gè)信號(hào)不同， 并控制傳送手臂2停止。本實(shí)施例中，玻璃基板1的傳送方向與其長(zhǎng)度方向相同，故缺角檢 測(cè)裝置能夠檢測(cè)玻璃基板1長(zhǎng)邊上的缺角。
[0022] 具體的檢測(cè)步驟如下：
[0023] 首先，由傳送手臂2將玻璃基板1傳送入真空進(jìn)樣室100 ;在玻璃基板1通過真空 進(jìn)樣室100的腔門101時(shí)，兩側(cè)的缺角傳感器10在玻璃基板1的兩邊隨時(shí)產(chǎn)生信號(hào)，并將 兩側(cè)的信號(hào)發(fā)送給邏輯控制器，例如PLC，由PLC邏輯比對(duì)左右兩側(cè)的信號(hào)是否一致，圖3、4 所示的表示坐標(biāo)中，橫坐標(biāo)表示感測(cè)時(shí)間，縱坐標(biāo)表示信號(hào)強(qiáng)度，圖3示出了左右兩組缺角 傳感器1產(chǎn)生信號(hào)一致，證明此過程未檢測(cè)到缺角，傳送手臂2繼續(xù)傳送玻璃基板1，使其進(jìn) 入真空進(jìn)樣室1〇〇 ;圖4表示其中一組缺角傳感器(右側(cè)的缺角傳感器)發(fā)生信號(hào)波動(dòng)(例如 光強(qiáng)度信號(hào)增大)，導(dǎo)致與另一組缺角傳感器產(chǎn)生的信號(hào)不一致，證明（玻璃基板右邊緣）存 在缺角，則PLC控制傳送手臂2立即停止運(yùn)動(dòng)，機(jī)臺(tái)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，工作人員將有缺角的玻 璃基板1從傳送手臂2上取出，制止帶缺角的玻璃基板1進(jìn)入真空進(jìn)樣室100。
[0024] 根據(jù)上述步驟及原理，缺角檢測(cè)裝置能夠檢測(cè)出多種缺角類型，例如圖5所示的 玻璃基板的兩個(gè)頂角處存在尺寸不同的缺角，如圖6所示的三個(gè)頂角處存在尺寸不同的缺 角，以及如圖7所示的一邊上存在一個(gè)或多個(gè)缺角。
[0025] 若由于傳送手臂的晃動(dòng)或玻璃基板的放置誤差，導(dǎo)致玻璃基板的短邊延伸方向并 非與兩側(cè)缺角傳感器10的連線方向完全水平，二者存在微小偏差，使得玻璃基板進(jìn)入真空 進(jìn)樣室100的腔門101時(shí)，其兩邊并非同時(shí)進(jìn)入，而是存在微小時(shí)間差，此時(shí)，率先進(jìn)入腔門 101的部分玻璃基板導(dǎo)致該側(cè)的缺角傳感器10產(chǎn)生的信號(hào)與另一側(cè)缺角傳感器10產(chǎn)生的 信號(hào)不同，PLC會(huì)根據(jù)該信號(hào)的不同使傳送手臂停止運(yùn)行。為了盡量避免缺角檢測(cè)裝置發(fā) 生誤檢測(cè)，本實(shí)施例進(jìn)一步對(duì)PLC的程序進(jìn)行設(shè)置。如圖8所示，假設(shè)傳送手臂2以固定速 度V傳送玻璃基板1，將PLC設(shè)定為忽略2ms內(nèi)產(chǎn)生的不同信號(hào)，S卩，在傳送手臂2以固定 速度V將玻璃基板1傳送2ms，使其進(jìn)入真空進(jìn)樣室100距離D1的過程中，PLC忽略該過程 中產(chǎn)生的不同信號(hào)，不會(huì)對(duì)傳送手臂2發(fā)出停止命令。此后，傳送手臂2以固定速度V繼續(xù) 將玻璃基板1傳送90ms，使其在真空進(jìn)樣室100內(nèi)移動(dòng)距離D2,在此過程中，PLC進(jìn)行信號(hào) 的比對(duì)，并對(duì)傳送手臂2進(jìn)行控制。最后，傳送手臂2繼續(xù)以固定速度V將玻璃基板1傳送 2ms，使其移動(dòng)距離D3, PLC同樣忽略該過程中產(chǎn)生的不同信號(hào)，不會(huì)對(duì)傳送手臂2發(fā)出停止 命令。也就是說，圖中A1、A3為忽略區(qū)域，A2為PLC的檢測(cè)區(qū)域。因此，PLC能夠忽略玻璃 基板1剛剛進(jìn)入和離開真空進(jìn)樣室100的過程中產(chǎn)生的信號(hào)不同，避免缺角檢測(cè)裝置發(fā)生 誤檢測(cè)。當(dāng)然，上述時(shí)間參數(shù)是根據(jù)某一類規(guī)格的玻璃基板設(shè)定的，根據(jù)不同規(guī)格的玻璃基 板，可設(shè)計(jì)相應(yīng)的忽略區(qū)域和檢測(cè)區(qū)域的尺寸。
[0026] -般的缺角或是缺陷大多存在于四個(gè)邊角部分，本發(fā)明的缺角檢測(cè)裝置基本可毫 無遺漏的檢測(cè)出這種常見缺陷。針對(duì)其他缺陷情況，例如出現(xiàn)在中間短邊區(qū)域范圍內(nèi)的缺 角，由于銷支撐在長(zhǎng)邊附近，因此，若僅在短邊區(qū)域范圍內(nèi)出現(xiàn)缺角，也不影響玻璃基板的 輸送。當(dāng)然，也可增加一組缺角傳感器，用同樣的檢測(cè)方式進(jìn)行檢測(cè)。例如，在真空進(jìn)樣室 的腔門的中間位置設(shè)有一組缺角傳感器，玻璃基板通過真空進(jìn)樣室的腔門時(shí)，腔門兩側(cè)及 中間一共三組缺角傳感器同時(shí)發(fā)生感測(cè)信號(hào)，由邏輯控制器將三個(gè)感測(cè)信號(hào)來進(jìn)行比對(duì)， 若出現(xiàn)不同則控制傳送手臂立即停止運(yùn)動(dòng)。這樣不僅能檢測(cè)短邊區(qū)域范圍內(nèi)的缺角，并且 通過三組信號(hào)的比對(duì)更可以減少失誤性。
[0027] 本發(fā)明的缺角檢測(cè)裝置能夠在玻璃基板進(jìn)入真空進(jìn)樣室的過程中快速檢測(cè)出缺 角的存在，并立即制止帶缺角的玻璃基板繼續(xù)進(jìn)入機(jī)臺(tái)內(nèi)，避免帶缺角的玻璃基板進(jìn)入機(jī) 臺(tái)內(nèi)導(dǎo)致異常傳送，其能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決問題，并非像現(xiàn)有技術(shù)那樣必須將玻璃基板完 全傳送入真空進(jìn)樣室內(nèi)才可能得到檢測(cè)結(jié)果，因此本發(fā)明能夠大幅提高傳送效率。且本發(fā) 明的缺角檢測(cè)裝置具有極高的檢測(cè)成功率，特別是對(duì)于寬度在5-10_左右的缺角，檢測(cè)成 功率基本上可達(dá)100%。
[0028] 雖然已參照幾個(gè)典型實(shí)施例描述了本發(fā)明，但應(yīng)當(dāng)理解，所用的術(shù)語是說明和示 例性、而非限制性的術(shù)語。由于本發(fā)明能夠以多種形式具體實(shí)施而不脫離發(fā)明的精神或?qū)?質(zhì)，所以應(yīng)當(dāng)理解，上述實(shí)施例不限于任何前述的細(xì)節(jié)，而應(yīng)在隨附權(quán)利要求所限定的精神 和范圍內(nèi)廣泛地解釋，因此落入權(quán)利要求或其等效范圍內(nèi)的全部變化和改型都應(yīng)為隨附權(quán) 利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1. 一種缺角檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)傳送至進(jìn)樣室的玻璃基板是否存在缺角，該缺角檢測(cè) 裝置包括兩組缺角傳感器和邏輯控制器，該兩組缺角傳感器分別位于該進(jìn)樣室的兩側(cè)，每 一組缺角傳感器均包括信號(hào)接收部和信號(hào)發(fā)送部，該兩組缺角傳感器對(duì)應(yīng)于該玻璃基板的 兩邊產(chǎn)生第一信號(hào)和第二信號(hào)，該邏輯控制器能夠比對(duì)該第一信號(hào)和第二信號(hào)是否相同， 若信號(hào)不同，則表不該玻璃基板存在缺角。
2. 如權(quán)利要求1所述的缺角檢測(cè)裝置，其中：該缺角傳感器為光感傳感器。
3. 如權(quán)利要求2所述的缺角檢測(cè)裝置，其中：該玻璃基板為透明或半透明。
4. 如權(quán)利要求3所述的缺角檢測(cè)裝置，其中：該缺角傳感器在該玻璃基板上有缺角處 產(chǎn)生的信號(hào)強(qiáng)度大于該缺角傳感器在該玻璃基板上無缺角處產(chǎn)生的信號(hào)強(qiáng)度，該邏輯控制 器用以比對(duì)該第一信號(hào)和第二信號(hào)的強(qiáng)度是否相同。
5. 如權(quán)利要求4所述的缺角檢測(cè)裝置，其中：該兩組缺角傳感器分別位于該進(jìn)樣室的 腔門的兩側(cè)，該玻璃基板進(jìn)入該進(jìn)樣室的過程中，該玻璃基板的長(zhǎng)邊鄰近該兩組缺角傳感 器。
6. 如權(quán)利要求5所述的缺角檢測(cè)裝置，其中：該缺角檢測(cè)裝置還包括第三組缺角傳感 器，其位于該兩組缺角傳感器之間，該第三組缺角傳感器包括信號(hào)接收部和信號(hào)發(fā)送部，并 對(duì)應(yīng)于該玻璃基板的第三邊產(chǎn)生第三信號(hào)，該邏輯控制器能夠比對(duì)該第一信號(hào)、第二信號(hào) 和第三信號(hào)是否相同，若存在不同信號(hào)，則表不該玻璃基板存在缺角。
7. 如權(quán)利要求6所述的缺角檢測(cè)裝置，其中：該第三組缺角傳感器位于腔門的中間位 置。
8. 如權(quán)利要求1所述的缺角檢測(cè)裝置，其中：該邏輯控制器為PLC。
9. 一種干蝕刻機(jī)臺(tái)，其包括進(jìn)樣室、傳送手臂及權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的缺角檢 測(cè)裝置。
10. 如權(quán)利要求9所述的干蝕刻機(jī)臺(tái)，其中：若該邏輯控制器進(jìn)行比對(duì)的結(jié)果為各個(gè)信 號(hào)相同，該傳送手臂繼續(xù)傳送該玻璃基板，若該邏輯控制器進(jìn)行比對(duì)的結(jié)果為存在不同信 號(hào)，則該邏輯控制器發(fā)出使該傳送手臂停止運(yùn)動(dòng)的指令。
11. 如權(quán)利要求10所述的干蝕刻機(jī)臺(tái)，其中：該邏輯控制器被設(shè)定為具有第一忽略時(shí) 段、第二忽略時(shí)段和檢測(cè)時(shí)段，在該第一、第二忽略時(shí)段中，該邏輯控制器對(duì)接收到的第一 信號(hào)和第二信號(hào)不進(jìn)行比對(duì)，在該檢測(cè)時(shí)段中，該邏輯控制器對(duì)接收到的第一信號(hào)和第二 信號(hào)進(jìn)行比對(duì)，并根據(jù)比對(duì)結(jié)果執(zhí)行相應(yīng)的指令。
12. 如權(quán)利要求11所述的干蝕刻機(jī)臺(tái)，其中：該第一忽略時(shí)段為從該玻璃基板的被傳 送至該進(jìn)樣室后移動(dòng)2ms的過程，該檢測(cè)時(shí)段為該第一忽略時(shí)段之后該玻璃基板被傳送至 該進(jìn)樣室后移動(dòng)90ms的過程，該第二忽略時(shí)段為該檢測(cè)時(shí)段之后該玻璃基板被傳送至該 進(jìn)樣室后移動(dòng)2ms的過程。
13. -種缺角檢測(cè)方法，其利用權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的缺角檢測(cè)裝置檢測(cè)玻璃 基板是否存在缺角，其包括以下步驟： (1) 由傳送手臂將該玻璃基板傳送入該進(jìn)樣室； (2) 該進(jìn)樣室的兩側(cè)的缺角傳感器在該玻璃基板的兩邊產(chǎn)生信號(hào)，其中一側(cè)的缺角傳 感器產(chǎn)生第一信號(hào)，另一側(cè)的缺角傳感器產(chǎn)生第二信號(hào)，該缺角傳感器將將第一信號(hào)和第 二信號(hào)發(fā)送給該邏輯控制器，由該邏輯控制器比對(duì)該第一信號(hào)和第二信號(hào)是否相同；及 (3)若該邏輯控制器進(jìn)行比對(duì)的結(jié)果為信號(hào)相同，該傳送手臂繼續(xù)傳送該玻璃基板，若 該邏輯控制器進(jìn)行比對(duì)的結(jié)果為信號(hào)不同，則該邏輯控制器發(fā)出使該傳送手臂停止運(yùn)動(dòng)的 指令。
14. 如權(quán)利要求13所述的缺角檢測(cè)方法，其中：該邏輯控制器被設(shè)定為具有第一忽略 時(shí)段、第二忽略時(shí)段和檢測(cè)時(shí)段，在該第一、第二忽略時(shí)段中，該邏輯控制器對(duì)接收到的第 一信號(hào)和第二信號(hào)不進(jìn)行比對(duì)，在該檢測(cè)時(shí)段中，該邏輯控制器對(duì)接收到的第一信號(hào)和第 二信號(hào)進(jìn)行比對(duì)，并根據(jù)比對(duì)結(jié)果執(zhí)行相應(yīng)的指令。
15. 如權(quán)利要求13所述的缺角檢測(cè)方法，其中：該第一忽略時(shí)段為從該玻璃基板的被 傳送至該進(jìn)樣室后移動(dòng)2ms的過程，該檢測(cè)時(shí)段為該第一忽略時(shí)段之后該玻璃基板被傳送 至該進(jìn)樣室后移動(dòng)90ms的過程，該第二忽略時(shí)段為該檢測(cè)時(shí)段之后該玻璃基板被傳送至 該進(jìn)樣室后移動(dòng)2ms的過程。
【文檔編號(hào)】G01N21/88GK104103481SQ201310122618
【公開日】2014年10月15日 申請(qǐng)日期:2013年4月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月10日
【發(fā)明者】曾瑞軒, 林志明, 劉峻承 申請(qǐng)人:上海和輝光電有限公司