放電離子化電流檢測(cè)器及氣相色譜儀的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種即使從管狀體與細(xì)管之間的連接部漏入一些外部空氣、也不會(huì)在檢測(cè)器輸出中產(chǎn)生噪聲的放電離子化電流檢測(cè)器及氣相色譜儀。向在一端側(cè)具有在外周形成有放電用電極的筒狀電介質(zhì)的管狀體的另一端側(cè)插入細(xì)管，在向管狀體內(nèi)導(dǎo)入試樣氣體的同時(shí)對(duì)放電用電極施加低頻交流電壓來(lái)生成等離子體，利用該等離子體使試樣氣體的成分離子化，利用集電極進(jìn)行收集來(lái)檢測(cè)離子電流，并且，在集電極的另一端側(cè)設(shè)置氣體排出口，在氣體排出口與集電極之間設(shè)置具有通孔的分隔壁，細(xì)管通過(guò)自該通孔在比分隔壁靠近一端側(cè)的位置開(kāi)口，在通孔周圍使等離子體生成用氣體向氣體排出口的流動(dòng)加速，阻止從細(xì)管與管狀體的連接部混入的外部空氣靠近集電極。
【專利說(shuō)明】放電離子化電流檢測(cè)器及氣相色譜儀
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種利用低頻阻擋放電的放電離子化電流檢測(cè)器和采用該檢測(cè)器的氣相色譜儀。
【背景技術(shù)】
[0002]作為氣相色譜儀用的檢測(cè)器，實(shí)際采用熱導(dǎo)檢測(cè)器(IOD:Thermal ConductivityDetector)、電子捕獲檢測(cè)器(ECD:Electron Capture Detector)、氫火焰電離檢測(cè)器(FID:Flame 1nization Detector)、火焰光度檢測(cè)器(FPD:Flame Photometric Detector)等各種方式的檢測(cè)器。在這些檢測(cè)器中，特別是大多使用FID作為用于檢測(cè)有機(jī)物的檢測(cè)器。該FID是利用氫火焰使試樣氣體中的試樣分子離子化來(lái)測(cè)量該離子電流的方式的檢測(cè)器，具有較廣的動(dòng)態(tài)范圍(例如參照專利文獻(xiàn)I)。但是，由于FID的離子化效率較低，因此，無(wú)法得到足夠低的檢測(cè)下限，特別是對(duì)于乙醇類、芳香族、氯系物質(zhì)的離子化效率較低，而且還需要?dú)?，因此，存在需要設(shè)置防爆設(shè)備等特別的設(shè)備、處理也較為麻煩這樣的缺點(diǎn)。
[0003]另外，以往，作為從無(wú)機(jī)物到低沸點(diǎn)有機(jī)化合物均能夠以較高的靈敏度檢測(cè)的檢測(cè)器，公知有一種脈沖放電離子化電流檢測(cè)器(PDD:Pulsed Discharge Detector)。PDD是利用高壓的脈沖放電來(lái)激發(fā)氦分子，利用在該激發(fā)狀態(tài)的氦分子返回到基態(tài)時(shí)產(chǎn)生的光能使測(cè)量對(duì)象的分子離子化來(lái)測(cè)量該離子電流的方式的檢測(cè)器。因而，該pro在不采用氫這一點(diǎn)上比FID更容易處理。另外，該P(yáng)H)的離子化效率高于FID的離子化效率。但是，在該P(yáng)DD中，存在因離子化用的等離子體的不穩(wěn)定性等引起離子化的偏差、動(dòng)態(tài)范圍較窄這樣的問(wèn)題，并且也存在因高溫等離子體導(dǎo)致電極等損傷這樣的問(wèn)題。
[0004]為了解決該以往的各檢測(cè)器所具有的各問(wèn)題，提出了利用采用低頻的電介質(zhì)阻擋放電的檢測(cè)器、即放電離子化電流檢測(cè)器或者被稱作BID (BID =Barrier discharge1nization Detector)的檢測(cè)器(例如參照專利文獻(xiàn)2)。
[0005]在圖4中用縱剖視圖表示以往的放電離子化電流檢測(cè)器的結(jié)構(gòu)例。形成檢測(cè)器主體的管狀體41的一端側(cè)由石英管42形成，在該石英管42的外周設(shè)有放電用電極43?45。在石英管42的頂端部形成有用于導(dǎo)入氦等等離子體生成用氣體的等離子體生成用氣體導(dǎo)入口 46。在管狀體41的內(nèi)表面上，在比石英管42靠近另一端側(cè)的位置形成有偏置電極47和集電極48。另外，在管狀體41的比集電極48更靠近另一端側(cè)的側(cè)壁上形成有氣體導(dǎo)出口 49。而且，在管狀體41的另一端插入有用于導(dǎo)入作為測(cè)量對(duì)象的試樣氣體的細(xì)管50。在用作氣相色譜儀的檢測(cè)器的情況下，該細(xì)管50作為色譜柱的試樣氣體流出端。而且，該細(xì)管(色譜柱端)50利用能夠裝卸自由地密封、連接的管接頭、具體地講是管嘴接頭51連接于管狀體41。
[0006]在以上結(jié)構(gòu)中，通過(guò)在從等離子體生成用氣體導(dǎo)入口 46向管狀體41內(nèi)導(dǎo)入等離子體生成用氣體的同時(shí),對(duì)放電用電極44施加高壓的低頻電壓，并且將放電用電極43、45接地，由此產(chǎn)生低頻交流激發(fā)電介質(zhì)阻擋放電，等離子體生成用氣體的一部分等離子化。在該狀態(tài)下，若通過(guò)細(xì)管50向管狀體41內(nèi)導(dǎo)入試樣氣體，則試樣氣體的成分分子利用從等離子體放出的光、氦的激發(fā)態(tài)物質(zhì)的作用而離子化。該離子靠近被施加直流的偏執(zhí)電壓的偏置電極47側(cè)，進(jìn)而被集電極48收集，利用包含連接于該集電極48在內(nèi)的電流放大器的檢測(cè)電路檢測(cè)離子電流。
[0007]由于該利用低頻交流激發(fā)電介質(zhì)阻擋放電生成的大氣壓下的等離子體是中性氣體溫度非常低的非平衡等離子體，因此，不會(huì)產(chǎn)生上述的因溫度導(dǎo)致電極等損傷、因等離子體的不穩(wěn)定性導(dǎo)致離子化的偏差這樣的問(wèn)題。
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2010 - 002420號(hào)公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2010 - 060354號(hào)公報(bào)
[0010]在以往的放電離子化電流檢測(cè)器中，在管狀體41使用相對(duì)較容易對(duì)用于導(dǎo)入試樣氣體的細(xì)管(色譜柱端)進(jìn)行裝卸操作的管接頭、即管嘴接頭51的原因根據(jù)氣相色譜儀的構(gòu)造或者情況而不同。即，氣相色譜儀大致區(qū)分的話由試樣氣化室、色譜柱、檢測(cè)器構(gòu)成，但色譜柱和檢測(cè)器、色譜柱和試樣氣化室需要互相連接，而且，色譜柱需要適當(dāng)?shù)馗鼡Q。因而，在這些連接部位必須使用相對(duì)較容易裝卸的接頭。
[0011]在此，由于利用低頻交流激發(fā)電介質(zhì)阻擋放電的放電離子化電流檢測(cè)器的靈敏度極高，因此，微量的外部空氣漏入到管狀體41內(nèi)的集電極48附近會(huì)引起噪聲。
[0012]在使用由管嘴和螺母構(gòu)成的管嘴接頭51來(lái)連接用于向管狀體41內(nèi)導(dǎo)入試樣氣體的細(xì)管50的密封構(gòu)造中，很難始終完全防止外部空氣漏入，在圖4所示的以往的放電離子化電流檢測(cè)器的構(gòu)造中，該漏入的外部空氣的成分會(huì)到達(dá)集電極48，存在因該漏入導(dǎo)致產(chǎn)生噪聲這樣的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]本發(fā)明即是鑒于該實(shí)際情況而做成的，其問(wèn)題在于提供一種放電離子化電流檢測(cè)器，在該放電離子化電流檢測(cè)器中，即使從構(gòu)成檢測(cè)器的管狀體與用于向該管狀體內(nèi)導(dǎo)入試樣氣體的細(xì)管之間的連接部漏入一些外部空氣，也不會(huì)在檢測(cè)器的輸出中產(chǎn)生噪聲。
[0014]為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的放電離子化電流檢測(cè)器向在一端側(cè)具有在外周形成有放電用電極的筒狀電介質(zhì)的管狀體的另一端側(cè)插入用于導(dǎo)入試樣氣體的細(xì)管，從該細(xì)管向該管狀體內(nèi)導(dǎo)入試樣氣體，且在使等離子體生成用氣體從上述一端側(cè)流入的同時(shí)利用對(duì)上述放電用電極施加低頻交流電壓而生成的等離子體使上述試樣氣體離子化，并且，將該離子收集在設(shè)置于比上述放電用電極靠近上述另一端側(cè)的位置的集電極中來(lái)檢測(cè)離子電流，其特征在于，在上述管狀體中，在比上述集電極靠近上述另一端側(cè)的位置形成有氣體排出口，并且，在該氣體排出口與上述集電極之間，且是在橫跨該管狀體的方向上設(shè)有分隔壁，上述細(xì)管貫穿形成于該分隔壁的通孔，且該細(xì)管的頂端開(kāi)口部位于比該分隔壁靠近上述一端側(cè)的位置(技術(shù)方案I)。
[0015]在此，本發(fā)明可以酌情采用如下結(jié)構(gòu)(技術(shù)方案2):在上述分隔壁中，向上述另一端側(cè)突出的筒狀部形成在包圍上述通孔的位置，上述細(xì)管通過(guò)該筒狀部的內(nèi)部而貫穿上述通孔。
[0016]在此，本發(fā)明可以采用如下結(jié)構(gòu)(技術(shù)方案3):上述細(xì)管利用管嘴接頭連接于形成在上述管狀體的上述另一端側(cè)的開(kāi)口部，上述氣體排出口形成于上述管狀體的側(cè)壁。
[0017]本發(fā)明的氣相色譜儀使從氣體導(dǎo)入部導(dǎo)入的試樣氣體與載氣一同流入到色譜柱內(nèi)，利用檢測(cè)器使由該色譜柱內(nèi)的固定相分離了成分后的試樣氣體離子化來(lái)進(jìn)行檢測(cè)，其特征在于，作為上述檢測(cè)器，采用技術(shù)方案I?3中任一項(xiàng)所述的放電離子化電流檢測(cè)器，上述色譜柱的試樣氣體流出端作為上述細(xì)管插入到上述管狀體內(nèi)。
[0018]本發(fā)明欲通過(guò)采用如下檢測(cè)器構(gòu)造來(lái)解決的問(wèn)題:即使外部空氣從檢測(cè)器的管狀體與色譜柱端等試樣氣體導(dǎo)入用細(xì)管之間的連接部分漏入到管狀體內(nèi)，該漏入的外部空氣也不會(huì)到達(dá)集電極，而從氣體排出口被排出到外部。
[0019]S卩，從管狀體的一端側(cè)導(dǎo)入的等離子體生成用氣體形成經(jīng)由放電用電極形成朝向設(shè)置于比集電極靠近另一端側(cè)的位置的氣體排出口的流動(dòng)，但在集電極與氣體排出口之間設(shè)置形成有用于供試樣氣體導(dǎo)入用細(xì)管貫穿的通孔的分隔壁時(shí)，等離子體生成用氣體通過(guò)該通孔與細(xì)管之間的間隙靠近氣體排出口。即，等離子體生成用氣體的流路的一部分變窄，即使是微小的流量，該部分的氣體流速也會(huì)利用節(jié)流效果而變快。因而，由于存在通過(guò)通孔而靠近排氣口的氣流，因此，從該分隔壁的另一端側(cè)泄漏進(jìn)來(lái)的外部空氣無(wú)法反向地通過(guò)通孔，阻止到達(dá)集電極的附近。
[0020]像技術(shù)方案2的發(fā)明那樣，若在分隔壁的基礎(chǔ)上還設(shè)置以包圍該分隔壁的通孔的方式向管狀體的另一端側(cè)突出的筒狀部，則該筒狀部的內(nèi)部被通過(guò)通孔且流速較快的氣流充滿，進(jìn)一步阻止泄漏進(jìn)來(lái)的外部空氣靠近通孔。
[0021]在本發(fā)明的更具體的結(jié)構(gòu)中，可以采用技術(shù)方案3的發(fā)明的結(jié)構(gòu)，即，試樣氣體導(dǎo)入用細(xì)管利用管嘴接頭連接于形成在管狀體的另一端的開(kāi)口部，氣體排出口形成在管狀體的側(cè)壁。
[0022]采用本發(fā)明的放電離子化電流檢測(cè)器，即使從用于導(dǎo)入試樣氣體的色譜柱端等的細(xì)管與作為檢測(cè)器主體部的管狀體的連接部分泄漏進(jìn)來(lái)一些外部空氣，該外部空氣也不會(huì)到達(dá)集電極附近，而從管狀體的氣體排出口被排出，因此不會(huì)成為噪聲。
[0023]另外，采用本發(fā)明的氣相色譜儀，使用通過(guò)利用低頻交流激發(fā)電介質(zhì)阻擋放電而避免離子化的偏差的高靈敏度的放電離子化電流檢測(cè)器，而且，該檢測(cè)器與色譜柱的連接使用以往的管嘴接頭等裝卸操作容易的管接頭，即使外部空氣從該連接部分泄漏進(jìn)來(lái)，檢測(cè)結(jié)果也不會(huì)產(chǎn)生噪聲，能夠?qū)崿F(xiàn)以高靈敏度測(cè)量S / N。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0024]圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的氣相色譜儀的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0025]圖2是表示圖1的放電離子化電流檢測(cè)器的結(jié)構(gòu)的縱剖視圖。
[0026]圖3是表示放電離子化電流檢測(cè)器的另一結(jié)構(gòu)例的縱剖視圖。
[0027]圖4是表示以往的放電離子化電流檢測(cè)器的結(jié)構(gòu)例的縱剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面，參照【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0029]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的氣相色譜儀的概略結(jié)構(gòu)的示意圖，圖2是表示該放電離子化電流檢測(cè)器的結(jié)構(gòu)的與圖4同樣的縱剖視圖。
[0030]該實(shí)施方式的氣相色譜儀將用于注入試樣氣體的試樣注入部1、供從該試樣注入部I注入的試樣氣體與載氣一同流動(dòng)的色譜柱2、以及用于使利用該色譜柱2時(shí)間性地分離了成分后的氣體離子化來(lái)進(jìn)行檢測(cè)的放電離子化電流檢測(cè)器3作為主體而構(gòu)成。該實(shí)施方式的特征在于放電離子化電流檢測(cè)器3的構(gòu)造，下面，參照?qǐng)D2詳細(xì)說(shuō)明其構(gòu)造。
[0031]放電離子化電流檢測(cè)器3的檢測(cè)器主體由管狀體11構(gòu)成，其一端側(cè)(圖中上側(cè))由石英管12形成，其另一端側(cè)(圖中下側(cè))由不銹鋼等的金屬管13形成，其中間部由陶瓷等的絕緣體管14形成。
[0032]在石英管12的外周，互相空開(kāi)預(yù)定距離地設(shè)有3個(gè)放電用電極15、16、17。在這些放電用電極15、16、17中的、中央的放電用電極16上連接有激發(fā)用交流電源18，兩側(cè)的放電用電極15、17接地。激發(fā)用交流電源18用于產(chǎn)生頻率IkHz?IOOkHz、電壓(全振幅)IkV?IOkV左右的低頻高壓交流電壓。另外，在石英管12的上端形成有用于導(dǎo)入氦等等離子體生成用氣體的等離子體生成用氣體導(dǎo)入口 12a。
[0033]在絕緣體管14的內(nèi)周，在上側(cè)設(shè)有偏置電極19，在下側(cè)設(shè)有集電極20。在偏置電極19上連接有偏置直流電源21，并且在集電極20上連接有電流放大器22。
[0034]在金屬管13的上下兩端部形成有內(nèi)凸緣13a、13b。在上側(cè)的內(nèi)凸緣13a中心的開(kāi)口中插入固定有例如金屬制的筒體23。另外，在下側(cè)的內(nèi)凸緣13b中心的開(kāi)口中插入有作為色譜柱2的試樣氣體流出端的細(xì)管24，該細(xì)管24利用管嘴接頭25氣密地連接于管狀體
11。該細(xì)管24貫穿于筒體23的內(nèi)部，其頂端到達(dá)集電極20的形成位置并開(kāi)口。而且，在金屬管13的側(cè)壁上設(shè)有氣體排出口 26，上述筒體23到達(dá)該氣體排出口 26的下方。
[0035]由以上結(jié)構(gòu)構(gòu)成的放電離子化電流檢測(cè)器3在氣相色譜儀動(dòng)作的過(guò)程中從等離子體生成用氣體導(dǎo)入口 12a導(dǎo)入氦等等離子體生成用氣體，從激發(fā)用交流電源18對(duì)放電用電極16施加低頻的交流電壓，并且從偏置直流電源21對(duì)偏置電極19施加偏置電壓。另外，通過(guò)細(xì)管24經(jīng)由色譜柱2 (參照?qǐng)D1)導(dǎo)入時(shí)間性地分離后的試樣氣體。
[0036]通過(guò)對(duì)放電用電極16施加低頻交流電壓，產(chǎn)生低頻交流激發(fā)電介質(zhì)阻擋放電，流入到管狀體11內(nèi)的等離子體生成用氣體的一部分等離子化。與載體一同經(jīng)由色譜柱2從細(xì)管24流入到管狀體11內(nèi)的試樣氣體的成分分子利用從等離子體放出的光、等離子體生成用氣體的激發(fā)態(tài)物質(zhì)的作用而離子化。該離子被偏置電極19拉近并被集電極20收集。離子化后的成分分子的量作為離子電流的檢測(cè)值從連接于該集電極20的電流放大器22被輸出。
[0037]在該檢測(cè)器動(dòng)作過(guò)程中，如圖2中實(shí)線的箭頭所示，從形成在管狀體11的上端的等離子體生成用氣體導(dǎo)入口 12a流入到管狀體11內(nèi)的等離子體生成用氣體在該管狀體11內(nèi)流下，與從細(xì)管24導(dǎo)入到管狀體11內(nèi)的試樣氣體一同通過(guò)固定在金屬管13的內(nèi)凸緣13a中心的筒體23的內(nèi)部而流入到金屬管13內(nèi)，從設(shè)置在該金屬管13側(cè)壁上的氣體排出口 26流出到外部。該流動(dòng)在進(jìn)入到比石英管12和絕緣體管14的內(nèi)徑尺寸小徑的筒體23的同時(shí)成為較快的流動(dòng)，并從筒體23的下端流出。在外部空氣從管嘴接頭25流入的情況下，如圖中虛線的箭頭所示，該漏入的氣體在金屬管13內(nèi)擴(kuò)散，但由于如上所述那樣從筒體23的下端吹出相對(duì)較快的氣流，因此，從管嘴接頭25漏入的氣體無(wú)法進(jìn)入到該筒體23內(nèi)，因而,與從筒體23流入到金屬管13內(nèi)的等離子體生成用氣體和試樣氣體一同從氣體排出口 26被排出到外部。
[0038]S卩，從管嘴接頭25漏入的外部空氣不會(huì)到達(dá)集電極20的形成位置、即檢測(cè)區(qū)域，而是從氣體排出口 26被排出。因此，漏入的外部空氣不會(huì)導(dǎo)致檢測(cè)器輸出的噪聲。[0039]在此，在以上的實(shí)施方式中，示出了在管狀體11內(nèi)的集電極20與氣體排出口 26之間設(shè)有由金屬管13的內(nèi)凸緣13a和固定在該內(nèi)凸緣13a的內(nèi)周的筒體23構(gòu)成的構(gòu)造體，換言之是在集電極20與氣體排出口 26之間設(shè)置具有橫截管狀體11的分隔壁(內(nèi)凸緣13a)、設(shè)置于該分隔壁的通孔、以及自分隔壁以包圍通孔的方式向另一端側(cè)(下端側(cè))突出的筒狀部(筒體23)的構(gòu)造體的例子，但本發(fā)明也可以替代該構(gòu)造體而僅形成帶通孔的分隔壁。圖3表示該構(gòu)造例。另外，在圖3中，對(duì)與圖2等同的構(gòu)件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，在以下的說(shuō)明中省略其詳細(xì)地說(shuō)明。
[0040]該圖3所示的實(shí)施例的特征在于，與圖2所示的之前的實(shí)施例構(gòu)造相比較，圖3所示的實(shí)施例在利用金屬管13上側(cè)的內(nèi)凸緣13a作為分隔壁這一點(diǎn)上是相同的，但存在未設(shè)有固定在該內(nèi)凸緣13a的內(nèi)周的筒體23這一點(diǎn)。其中，內(nèi)凸緣13a的內(nèi)周直徑與之前的實(shí)施方式的筒體23的內(nèi)徑尺寸相等。
[0041]在該圖3的實(shí)施方式中，如實(shí)線的箭頭所示，從等離子體生成用氣體導(dǎo)入口 12a流入到管狀體11內(nèi)的等離子體生成用氣體在管狀體11內(nèi)流下，與試樣氣體一同通過(guò)內(nèi)凸緣13a的內(nèi)周進(jìn)入到金屬管13內(nèi)，從設(shè)置在該金屬管13側(cè)壁上的氣體排出口 26被排出到外部。由于該內(nèi)凸緣13a的內(nèi)徑尺寸小于石英管12和絕緣體管14的內(nèi)徑尺寸，因此，該氣體的流動(dòng)在通過(guò)內(nèi)凸緣13a的內(nèi)周時(shí)因節(jié)流效果而流速增大。即，即使是微量的氣流，在經(jīng)由內(nèi)凸緣13a流入到金屬管13內(nèi)時(shí)期，流速也會(huì)變快。由此，即使外部氣體從管嘴接頭25漏入，如圖中虛線的箭頭所示，該外部空氣的氣體也無(wú)法越過(guò)內(nèi)凸緣13a進(jìn)入到絕緣體管14內(nèi)，而是從氣體排出口 26被排出到外部。因而，外部空氣不會(huì)到達(dá)集電極19附近，不會(huì)成為檢測(cè)器輸出時(shí)的噪聲的原因。
[0042]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0043]1、試樣注入部；2、色譜柱；3、放電離子化電流檢測(cè)器；11、管狀體；12、石英管；13、金屬管；14、絕緣體管；15、16、17、放電用電極；18、激發(fā)用交流電源；19、偏置電極；20、集電極；21、偏置直流電源；22、電流放大器；23、筒體；24、細(xì)管；25、管嘴接頭；26、氣體排出口。
【權(quán)利要求】
1.一種放電離子化電流檢測(cè)器，其向在一端側(cè)具有在外周形成有放電用電極的筒狀電介質(zhì)的管狀體的另一端側(cè)插入用于導(dǎo)入試樣氣體的細(xì)管，從該細(xì)管向該管狀體內(nèi)導(dǎo)入試樣氣體，且在使等離子體生成用氣體從上述一端側(cè)流入的同時(shí)利用對(duì)上述放電用電極施加低頻交流電壓而生成的等離子體使上述試樣氣體離子化，并且，將該離子收集在設(shè)置于比上述放電用電極靠近上述另一端側(cè)的集電極來(lái)檢測(cè)離子電流，其特征在于， 在上述管狀體中，在比上述集電極靠近上述另一端側(cè)的位置形成有氣體排出口，并且，在該氣體排出口與上述集電極之間，且是在橫跨該管狀體的方向上設(shè)有分隔壁，上述細(xì)管貫穿形成于該分隔壁的通孔，且該細(xì)管的頂端開(kāi)口部位于比該分隔壁靠近上述一端側(cè)的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電離子化電流檢測(cè)器，其特征在于， 在上述分隔壁中，向上述另一端側(cè)突出的筒狀部形成在包圍上述通孔的位置，上述細(xì)管通過(guò)該筒狀部的內(nèi)部而貫穿上述通孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放電離子化電流檢測(cè)器，其特征在于， 上述細(xì)管利用管嘴接頭連接于形成在上述管狀體的上述另一端側(cè)的開(kāi)口部，上述排出口形成于上述管狀體的側(cè)壁。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的放電離子化電流檢測(cè)器，其特征在于， 上述細(xì)管利用管嘴接頭連接于形成在上述管狀體的上述另一端側(cè)的開(kāi)口部，上述排出口形成于上述管狀體的側(cè)壁。
5.一種氣相色譜儀,其使從氣體導(dǎo)入部導(dǎo)入的試樣氣體與載氣一同流入到色譜柱內(nèi)，利用檢測(cè)器使由該色譜柱內(nèi)的固定相分離了成分后的試樣氣體離子化來(lái)進(jìn)行檢測(cè)，其特征在于， 作為上述檢測(cè)器，采用權(quán)利要求1?4中任一項(xiàng)所述的放電離子化電流檢測(cè)器，上述色譜柱的試樣氣體流出端作為上述細(xì)管插入到上述管狀體內(nèi)。
【文檔編號(hào)】G01N30/64GK103675171SQ201310110175
【公開(kāi)日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年3月29日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月13日
【發(fā)明者】?jī)?nèi)山新士, 寺井靖典 申請(qǐng)人:株式會(huì)社島津制作所