專利名稱：總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及航空航天技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置。
背景技術(shù)：
隨著航天航空技術(shù)的發(fā)展,越來越多的航天航空器在太空工作,宇宙中存在各種射線的輻射，會(huì)使航天航空器上半導(dǎo)體器件的性能和參數(shù)產(chǎn)生退化，對(duì)航天航空器的正常工作產(chǎn)生影響，同時(shí)由于部分航天設(shè)備在空間一直在運(yùn)行，航天設(shè)備上的半導(dǎo)體器件不可避免的會(huì)出現(xiàn)熱載流子注入效應(yīng)引起的可靠性問題，并損傷半導(dǎo)體器件。由于總劑量效應(yīng)和熱載流子注入效應(yīng)都會(huì)使CMOS器件的襯底電流增大，閾值電壓漂移，影響器件的正常關(guān)斷，甚至?xí)l(fā)生耦合作用。目前一般的集成電路的總劑量輻射的試驗(yàn)技術(shù)采用的是6tlCoY射線源按照GJB548B-2005方法1019.2 “電離輻射(總劑量)試驗(yàn)程序”進(jìn)行的，而熱載流子注入效應(yīng)測(cè)試方法是按照J(rèn)ESD28-A “直流應(yīng)力下N溝MOSFET熱載流子注入效應(yīng)測(cè)試程序”方法進(jìn)行。上述傳統(tǒng)的試驗(yàn)方法只能單獨(dú)對(duì)集成電路的總劑量輻照等級(jí)和熱載流子注入效應(yīng)的可靠性水平進(jìn)行評(píng)價(jià)，但空間用半導(dǎo)體器件在實(shí)際環(huán)境中使用時(shí)同時(shí)受到總劑量輻照、熱載流子注入綜合效應(yīng)的影響，且這種綜合效應(yīng)并不是單獨(dú)效應(yīng)的簡(jiǎn)單相加，這需要專門的試驗(yàn)裝置和試驗(yàn)方法來進(jìn)行評(píng)價(jià)。

發(fā)明內(nèi)容
基于此，有必要針對(duì)一般測(cè)試裝置無法對(duì)集成電路進(jìn)行總劑量輻照和熱載流子注入綜合效應(yīng)評(píng)價(jià)的問題，提供一種總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置實(shí)現(xiàn)對(duì)集成電路進(jìn)行總劑量輻照和熱載流子注入綜合效應(yīng)的評(píng)價(jià)目的。一種總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置，包括總劑量輻照系統(tǒng)、電源和信號(hào)源、參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)、多路復(fù)用器以及控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)，所述控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)分別與所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)、所述多路復(fù)用器連接，所述多路復(fù)用器與所述總劑量輻照系統(tǒng)連接，所述多路復(fù)用器與被試樣品連接；所述多路復(fù)用器接受所述控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)的控制連接所述電源和信號(hào)源或所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)，當(dāng)所述多路復(fù)用器與所述電源和信號(hào)源連接時(shí)，所述被試樣品處于總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試狀態(tài)，當(dāng)所述多路復(fù)用器與所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)連接時(shí)，所述被試樣品處于在線功能與參數(shù)測(cè)試狀態(tài)；所述控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)用于對(duì)所述多路復(fù)用器和所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行控制，和對(duì)所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)所測(cè)得的參數(shù)進(jìn)行采集和處理。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置還包括矩陣開關(guān)，所述多路復(fù)用器通過所述矩陣開關(guān)與所述被試樣品連接，所述矩陣開關(guān)用于將所述被試樣品中施加相同信號(hào)的端口連接在一起。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)控制所述矩陣開關(guān)，將所述施加相同信號(hào)的端口連接在一起。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述電源和信號(hào)源包括電壓源、電流源和脈沖源。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述電壓源為O 60V的電壓源，所述電流源為O 3A的電流源，所述脈沖源為O IOOkHZ的脈沖源。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)包括電流表、電壓表、不波器和半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)包括裝有控制與采集軟件的計(jì)算機(jī)、數(shù)據(jù)采集卡和數(shù)據(jù)傳輸線。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述總劑量輻照系統(tǒng)、所述多路復(fù)合器、所述電源和信號(hào)源、所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)以及控制和數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)是通過電引線和數(shù)據(jù)傳輸線相連的。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述總劑量輻照系統(tǒng)、所述矩陣開關(guān)、所述多路復(fù)合器、所述電源和信號(hào)源、所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)以及控制和數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)是通過所述電引線和所述數(shù)據(jù)傳輸線相連的。本發(fā)明總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置工作，控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)對(duì)多路復(fù)用器、總劑量輻照系統(tǒng)、參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行控制，多路復(fù)用器接受控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)的控制，連接電源和信號(hào)源或參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)，當(dāng)多路復(fù)用器與電源和信號(hào)源連接時(shí)，被試樣品處于總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試狀態(tài)，當(dāng)多路復(fù)用器與參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)連接時(shí)，被試樣品處于在線功能與參數(shù)測(cè)試狀態(tài)，得出測(cè)試參數(shù)，控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)對(duì)測(cè)試參數(shù)進(jìn)行采集和處理，得出所述被試樣品的總劑量輻照和熱載流子注入綜合效應(yīng)的評(píng)價(jià)。


圖1為本發(fā)明總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置其中一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)不意圖；圖2為本發(fā)明總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置其中一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)不意圖；圖3為0.18 μ m工藝的體硅NMOS器件總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試狀態(tài)裝置不意圖；圖4為0.18 μ m工藝的體硅NMOS器件在線測(cè)試狀態(tài)裝置示意圖。
具體實(shí)施例方式如圖1所示，一種總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置，包括總劑量輻照系統(tǒng)100、電源和信號(hào)源200、參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)300、多路復(fù)用器400以及控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)500，控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)500分別與參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)300、多路復(fù)用器400連接，多路復(fù)用器400與總劑量輻照系統(tǒng)100連接，多路復(fù)用器400與被試樣品連接；多路復(fù)用器400接受控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)500的控制連接電源和信號(hào)源200或參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)300，當(dāng)多路復(fù)用器400與電源和信號(hào)源200連接時(shí)，所述被試樣品處于總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試狀態(tài)，當(dāng)多路復(fù)用器400與參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)300連接時(shí)，所述被試樣品處于在線功能與參數(shù)測(cè)試狀態(tài)；控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)500用于對(duì)多路復(fù)用器400和參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)300進(jìn)行控制，同時(shí)對(duì)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)300所測(cè)得的參數(shù)進(jìn)行采集和處理。在這里，總劑量輻照系統(tǒng)用于對(duì)被試樣品進(jìn)行總劑量電離輻照試驗(yàn)，一般來說總劑量輻照系統(tǒng)能產(chǎn)生平均能量為IOkeV的X射線光子垂直照射到樣品腔內(nèi)的樣品上。樣品上受到輻照的總劑量由劑量率和輻照時(shí)間決定，其中劑量率可通過改變高壓電源的電壓和電流，以及樣品放置高度來進(jìn)行設(shè)置，并可由劑量計(jì)來進(jìn)行計(jì)量。電源和信號(hào)源用于為樣品在總劑量輻照過程中施加電力，和對(duì)被試樣品進(jìn)行熱載流子注入試驗(yàn)。參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)用于對(duì)被試樣品進(jìn)行在線參數(shù)測(cè)試。本發(fā)明總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置工作，控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)對(duì)多路復(fù)用器、總劑量輻照系統(tǒng)、參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行控制，多路復(fù)用器接受控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)的控制，連接電源和信號(hào)源或參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)，當(dāng)多路復(fù)用器與電源和信號(hào)源連接時(shí)，被試樣品處于總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試狀態(tài)，當(dāng)多路復(fù)用器與參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)連接時(shí)，被試樣品處于在線功能與參數(shù)測(cè)試狀態(tài)，得出測(cè)試參數(shù)，控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)對(duì)測(cè)試參數(shù)進(jìn)行采集和處理，得出所述被試樣品的總劑量輻照和熱載流子注入綜合效應(yīng)的評(píng)價(jià)。如圖2所示，在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置還包括矩陣開關(guān)600，多路復(fù)用器400通過矩陣開關(guān)600與所述被試樣品連接，矩陣開關(guān)600用于將所述被試樣品中施加相同信號(hào)的端口連接在一起。在這里，矩陣開關(guān)是用于將被試樣品中需要施加相同信號(hào)的端口連接在一起，被試樣品在輻照和熱載流子注入綜合效應(yīng)試驗(yàn)時(shí)或在在線功能和參數(shù)測(cè)試時(shí)，部分端口會(huì)連接相同的電信號(hào)，例如部分端口會(huì)都需要連接地信號(hào)，矩陣開關(guān)將被試樣品的各端口中需要連接相同信號(hào)的所有端口都輸出到一個(gè)輸出信號(hào)中。假設(shè)某個(gè)被試樣品中端口 N1、N3和N5都需要連接到+5V電壓端口，而端口 N2、N6和N8都需要連接到地端口，那么這時(shí)矩陣開關(guān)就將N1、N3和N5與Ml相連，所述Ml通過多路復(fù)用器與+5V電源相連，N2、N6和N8與M2相連，所述M2通過多路復(fù)用器與地端相連。矩陣開關(guān)將被試樣品中需要施加相同信號(hào)的端口連接在一起，可以優(yōu)化本發(fā)明總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置的結(jié)構(gòu)，節(jié)約生產(chǎn)成本，另外當(dāng)被試樣品中包含有多個(gè)電子元件時(shí)，矩陣開關(guān)帶來的簡(jiǎn)化效果將更加明顯，換言之同樣復(fù)雜程度的測(cè)試裝置，本發(fā)明總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置可以同時(shí)進(jìn)行更多樣品的測(cè)試，提高測(cè)試效率。所以本發(fā)明總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置還是一種結(jié)構(gòu)優(yōu)化、測(cè)試效率高的綜合效應(yīng)測(cè)試裝置。在其中一個(gè)實(shí)施例中，控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)500控制矩陣開關(guān)600，將所述施加相同信號(hào)的端口連接在一起。在本實(shí)施例中，本發(fā)明總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置對(duì)被試樣品進(jìn)行測(cè)試的過程中，矩陣開關(guān)內(nèi)有多個(gè)開關(guān)陣列的開合需要控制，如果這些開關(guān)陣列的開合需要手動(dòng)控制必然會(huì)耗費(fèi)操作人員大量時(shí)間與精力并且容易出錯(cuò)，在這個(gè)實(shí)施例中利用控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)對(duì)矩陣開關(guān)進(jìn)行控制簡(jiǎn)化了操作人員進(jìn)行測(cè)試操作過程中的步驟，減少了工作量，節(jié)約了時(shí)間，提升了工作效率。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述電源和信號(hào)源包括電壓源、電流源和脈沖源。這里電壓源、電流源和脈沖源可以根據(jù)實(shí)際被試樣品的不同進(jìn)行更換與選擇，擴(kuò)大本發(fā)明總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置的使用范圍。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述電壓源為O 60V的電壓源，所述電流源為O 3A的電流源，所述脈沖源為O IOOkHZ的脈沖源。在常規(guī)被試樣品的測(cè)試過程中，根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，會(huì)選取O 60V的電壓源，O 3A的電流源，O IOOkHZ的脈沖源，直接選擇與常規(guī)被試樣品合適量程的電壓源、電流源和脈沖源，可以快速對(duì)常規(guī)被試樣品進(jìn)行測(cè)試。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)包括電流表、電壓表、不波器和半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀。一般的參考測(cè)試系統(tǒng)包括電流變、電壓表、示波器和半套題參數(shù)測(cè)試儀的，所以選取此參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)有利于本發(fā)明總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置的推廣與運(yùn)用，也有利于使用過程的維護(hù)。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)包括裝有控制與采集軟件的計(jì)算機(jī)、數(shù)據(jù)采集卡和數(shù)據(jù)傳輸線。這里所述的裝有控制與采集軟件的計(jì)算機(jī)指的是在普通計(jì)算機(jī)中裝入合適的控制與采集軟件，這種裝有控制與采集軟件的計(jì)算機(jī)能夠智能控制矩陣開關(guān)、多路復(fù)用器和參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)，協(xié)調(diào)其正常工作，另外還能對(duì)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)得出的數(shù)據(jù)進(jìn)行采集處理，得出測(cè)試被試樣品的測(cè)試結(jié)果。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述總劑量輻照系統(tǒng)、所述多路復(fù)合器、所述電源和信號(hào)源、所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)以及控制和數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)是通過電引線和數(shù)據(jù)傳輸線相連的。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述總劑量輻照系統(tǒng)、所述矩陣開關(guān)、所述多路復(fù)合器、所述電源和信號(hào)源、所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)以及控制和數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)是通過所述電引線和所述數(shù)據(jù)傳輸線相連的。為了更進(jìn)一步解釋本發(fā)明總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置的技術(shù)方案，下面將用以0.18 μ m工藝的體硅NMOS器件這一具體實(shí)施例來詳細(xì)說明。0.18 μ m工藝的體硅NMOS器件被試樣品中封裝了 2只NMOS器件，每只器件都為4端結(jié)構(gòu)即柵極(G)、漏極⑶、源極⑶和體區(qū)⑴，因此從IOkeVX射線總劑量輻照系統(tǒng)樣品腔內(nèi)引出的電連接線為8根，通過矩陣開關(guān)輸出的端口為4個(gè)。如圖3 =NMOS器件總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試狀態(tài)裝置示意圖所示，此時(shí)NMOSl和NM0S2的S端通過矩陣開關(guān)連接到Ml上，T端連接到M2上，D端連接到M3上，G端連接到M4上。多路復(fù)用器連接到輸出A。熱載流子試驗(yàn)時(shí)其中一組電壓應(yīng)力為:NMOS器件的柵極電壓1.6V，漏極電壓2.6V，因此Al A4的連接狀態(tài)為Al和A2接地，A3接 2.6V，A4 接 1.6V。總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)試驗(yàn)結(jié)束后，需要對(duì)被試樣品進(jìn)行功能和參數(shù)測(cè)試，此時(shí)采用圖4的連接形式進(jìn)行測(cè)試，矩陣開關(guān)只輸出NMOSl的各端口，且多路復(fù)用器連接到輸出B，采用半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀對(duì)NMOSl的1-V曲線進(jìn)行掃描。
在整個(gè)綜合效應(yīng)的測(cè)試過程中采用控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)中的計(jì)算機(jī)和數(shù)據(jù)采集卡對(duì)矩陣開關(guān)中開關(guān)陣列的開合、多路復(fù)用器中輸出選擇進(jìn)行控制，并對(duì)半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀測(cè)得的數(shù)據(jù)進(jìn)行采集和處理，得出綜合效應(yīng)測(cè)試結(jié)果。以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置，包括總劑量輻照系統(tǒng)、電源和信號(hào)源以及參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，還包括多路復(fù)用器和控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)，所述控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)分別與所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)、所述多路復(fù)用器連接，所述多路復(fù)用器與所述總劑量輻照系統(tǒng)連接，所述多路復(fù)用器與被試樣品連接； 所述多路復(fù)用器接受所述控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)的控制連接所述電源和信號(hào)源或所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)，當(dāng)所述多路復(fù)用器與所述電源和信號(hào)源連接時(shí)，所述被試樣品處于總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試狀態(tài)，當(dāng)所述多路復(fù)用器與所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)連接時(shí)，所述被試樣品處于在線功能與參數(shù)測(cè)試狀態(tài)； 所述控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)用于對(duì)所述多路復(fù)用器和所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行控制，和對(duì)所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)所測(cè)得的參數(shù)進(jìn)行采集和處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置，其特征在于，還包括矩陣開關(guān)，所述多路復(fù)用器通過所述矩陣開關(guān)與所述被試樣品連接，所述矩陣開關(guān)用于將所述被試樣品中施加相同信號(hào)的端口連接在一起。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置，其特征在于，所述控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)控制所述矩陣開關(guān)，將所述施加相同信號(hào)的端口連接在一起。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置，其特征在于，所述電源和信號(hào)源包括電壓源、電流源和脈沖源。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置，其特征在于，所述電壓源為O 60V的電壓源，所述電流源為O 3A的電流源，所述脈沖源為O IOOkHZ的脈沖源。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置，其特征在于，所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)包括電流表、電壓表、示波器和半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置，其特征在于，所述控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)包括裝有控制與采集軟件的計(jì)算機(jī)、數(shù)據(jù)采集卡和數(shù)據(jù)傳輸線。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置，其特征在于，所述總劑量輻照系統(tǒng)、所述多路復(fù)合器、所述電源和信號(hào)源、所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)以及控制和數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)是通過電引線和數(shù)據(jù)傳輸線相連的。
9.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置，其特征在于，所述總劑量輻照系統(tǒng)、所述矩陣開關(guān)、所述多路復(fù)合器、所述電源和信號(hào)源、所述參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)以及控制和數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)是通過所述電引線和所述數(shù)據(jù)傳輸線相連的。
全文摘要
本發(fā)明提供一種總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試的裝置，包括總劑量輻照系統(tǒng)、電源和信號(hào)源、參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)、多路復(fù)用器以及控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)。裝置工作，控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)對(duì)多路復(fù)用器、總劑量輻照系統(tǒng)、參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行控制，多路復(fù)用器接受控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)的控制，連接電源和信號(hào)源或參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)，當(dāng)多路復(fù)用器與電源和信號(hào)源連接時(shí)，被試樣品處于總劑量輻照與熱載流子注入綜合效應(yīng)測(cè)試狀態(tài)，當(dāng)多路復(fù)用器與參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)連接時(shí)，被試樣品處于在線功能與參數(shù)測(cè)試狀態(tài)，得出測(cè)試參數(shù)，控制與數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)對(duì)測(cè)試參數(shù)進(jìn)行采集和處理，得出所述被試樣品的總劑量輻照和熱載流子注入綜合效應(yīng)的評(píng)價(jià)。
文檔編號(hào)G01R31/00GK103105553SQ20131002624
公開日2013年5月15日 申請(qǐng)日期2013年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月22日
發(fā)明者何玉娟, 章曉文, 王曉晗 申請(qǐng)人:工業(yè)和信息化部電子第五研究所