專利名稱：銷高度測量用塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種銷高度測量用塊，確切地說是一種在半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備用銷初次安裝時(shí)，在利用深度尺對晶圓支撐銷的高度進(jìn)行定位測量時(shí)，采用的一個輔助工具，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備，尤其是12英寸半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中，機(jī)械手負(fù)責(zé)在整個工藝過程中，對晶圓的取放工作。因機(jī)械手自身具有一定的厚度，故要求晶圓在工藝前后，必須與加熱基座之間留有一定的間隙，來保證機(jī)械手自由伸縮，不會與晶圓或加熱基座相刮碰?，F(xiàn)有的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備采用不同形式的銷，通過銷提升機(jī)構(gòu)，使銷在晶圓傳輸過程中，對晶圓起到支撐和提升作用。但是因設(shè)備產(chǎn)能的需要，除要求銷上、下運(yùn)行順暢外，還要求晶圓在銷支撐和下降過程中，均能順利平穩(wěn)的下落，無滑片現(xiàn)象。這就對設(shè)備上各銷在晶 圓傳輸時(shí)，距離加熱基座上表面的高度有嚴(yán)格要求，而不是毫無限制的。因加熱基座安裝在反應(yīng)腔內(nèi)，不能利用高度尺去測量。通常采用的測量方法，就是將鋼板尺或深度尺直接立于加熱基座的上表面上，對銷的高度進(jìn)行測量。因鋼板尺或深度尺的材質(zhì)是鋼，而加熱基座的材質(zhì)往往是比較軟的鋁或是比較脆的陶瓷，所以在檢測過程中，無論怎樣小心注意，都無法避免鋼尺對加熱基座上表面產(chǎn)生損傷，最終影響加熱基座的使用性能。另外，因銷的上表面是球面，采用鋼板尺測量，讀數(shù)時(shí)會存在很大的誤差，故一般不采用鋼板尺；而深度尺與銷的端面接觸時(shí)，二者是相切狀態(tài)，銷或深度尺稍有歪斜，也會產(chǎn)生很大的測量誤差。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型以解決上述問題為目的，主要解決現(xiàn)有技術(shù)存在的測量誤差大，對加熱基座上表面易產(chǎn)生損傷的問題，提供一種針對深度尺設(shè)計(jì)，其結(jié)構(gòu)簡單，測量誤差小及對加熱基座上表面無損傷的輔助檢測工具。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案銷高度測量用塊，該測量用塊具有上、下兩個表面。為避免測量用塊在與加熱盤接觸后，因材質(zhì)的不同，會對工藝效果產(chǎn)生影響，故在測量用塊下表面的中間部分設(shè)有一凹槽，用來減少測量用塊與加熱盤的接觸面積。另外，在測量用塊的一端設(shè)有一校準(zhǔn)深度尺用的縱向豁口，其深度與測量塊高度一致，其各處的外形尺寸均大于標(biāo)準(zhǔn)的深度尺外形尺寸。骨頭孔位于測量用塊的上表面上，稱之為骨頭孔是由其外形來定義的。帶骨頭孔的端側(cè)面也設(shè)有一個橫向豁口，該橫向豁口貫穿整個測量塊，與另一端的縱向豁口相互垂直。該橫向豁口的上表面高于銷的高度，而其下表面低于銷的高度，使銷的端面正好處于整個橫向豁口之內(nèi)，便于在測量的過程中，觀察銷與深度尺的相對位置狀態(tài)。為保持整個上下表面的平面度，該橫向豁口不能太大，并要求測量用塊有一定的厚度，以免上下表面變形。另外，銷孔位于骨頭孔的下方，它僅在骨頭孔長度方向上與骨頭孔同心，在骨頭孔寬度方向上稍微偏離骨頭孔的中心。銷孔和骨頭孔分別位于該橫向豁口的上方和下方。骨頭孔的下表面是該橫向豁口的上表面，橫向豁口的下表面是銷孔的上表面。同樣，銷孔的上表面上設(shè)有倒角，有利于測量完成后銷的退出。銷孔的下表面設(shè)有圓角，便于測量時(shí)銷的伸入。本實(shí)用新型的有益效果是該 結(jié)構(gòu)能夠更好的實(shí)現(xiàn)采用深度尺對銷高度的測量。采用本實(shí)用新型，可以有效地避免深度尺的金屬表面直接與鋁或陶瓷加熱基座表面直接接觸，保護(hù)加熱基座，不會對加熱基座上表面造成損傷。同時(shí)能更好的使深度尺與銷上端球面相接觸，使測量結(jié)果更準(zhǔn)確，優(yōu)于單純采用深度尺的測量效果。該工具能夠?qū)崿F(xiàn)對深度尺非零尺寸時(shí)的歸零，也可實(shí)現(xiàn)對銷的實(shí)際高度進(jìn)行準(zhǔn)確測量。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖I中A-A方向的剖視圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例參照圖1-2，銷高度測量用塊，該測量用塊具有上、下兩個表面，這兩個表面在測量過程中都很重要。在測量時(shí)，測量用塊上表面9用來安放深度尺固定端面，測量用塊下表面13放置在加熱基座上表面上。為了提高測量精度，一般以測量用塊的下表面13作為測量基準(zhǔn)面，故上、下表面9、13的加工質(zhì)量均會影響到整個測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。為避免測量用塊在與加熱基座接觸后，因材質(zhì)的不同，會對工藝效果產(chǎn)生影響，故在測量用塊下表面的中間部分設(shè)有一凹槽19，用來減少測量用塊與加熱基座的接觸面積。另外，在測量用塊的一端設(shè)有一校準(zhǔn)深度尺用的縱向豁口 2，其深度與測量塊高度一致，其各處的外形尺寸均大于標(biāo)準(zhǔn)的深度尺外形尺寸。深度尺在使用時(shí)，一般不會與縱向豁口 2的左側(cè)面3、右側(cè)面I接觸，取放很方便。測量用塊的另一端設(shè)有測量銷高度時(shí)用的骨頭孔11和銷孔15。骨頭孔11位于測量用塊的上表面9上，稱之為骨頭孔是由其外形來定義的。其原型是一個在長度和寬度方向均稍大于深度尺外形尺寸的長方孔。為了便于加工，骨頭孔的四角采用的不是圓角結(jié)構(gòu)，而是四個小直徑的圓孔5結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)加工方便，且不影響骨頭孔的使用性能。測量時(shí)，深度尺幾乎與該孔的內(nèi)表面A4、內(nèi)表面B6、內(nèi)表面C7、內(nèi)表面D8完全貼合，不會出現(xiàn)傾斜的現(xiàn)象。骨頭孔11的上表面設(shè)有倒角10，以便于測量時(shí)深度尺的伸入。帶骨頭孔11的端側(cè)面也設(shè)有一個橫向豁口 12，該橫向豁口 12貫穿整個測量塊，與另一端的縱向豁口 2相互垂直。該橫向豁口 12的上表面18高于銷的高度，而其下表面17低于銷的高度，使銷的端面正好處于整個橫向豁口 12之內(nèi)，便于在測量的過程中，觀察銷與深度尺的相對位置狀態(tài)。為保持整個塊的上、下表面9、13的平面度，該橫向豁口 12不能太大，并要求測量用塊有一定的厚度，以免上、下表面9、13變形。另外，銷孔位15于骨頭孔11的下方，它在骨頭孔11長度方向上與骨頭孔11同心，在骨頭孔寬度方向上稍微偏離骨頭孔的中心。銷孔15和骨頭孔11分別位于該橫向豁口 12的上方和下方。骨頭孔11的下表面是該豁口的上表面18，豁口的下表面17是銷孔15的上表面。同樣，銷孔15的上表面上設(shè)有倒角14，有利于測量完成后銷的退出。銷孔的下表面設(shè)有圓角16，便于測量時(shí)銷的伸入。測量前，先將測量塊放置在一測量平臺上，將深度尺放置于一端的縱向豁口 2內(nèi)擺正，正常操作深度尺，使深度尺的固定端面與測量塊上表面9貼合，然后取出深度尺，并對深度尺當(dāng)前值歸零，此時(shí)深度尺處于一個非實(shí)際的零點(diǎn)顯示。取出深度尺，取起測量塊，將測量塊上的銷孔15對準(zhǔn)加熱基座上的銷，緩慢放下，讓其下表面13與加熱基座上表面貼合。此時(shí)，可以調(diào)整測量塊的角度，以方便測量。將歸零后的深度尺沿骨頭孔11緩慢落下，并從側(cè)面豁口 12處觀察當(dāng)前銷跟深度尺的相對位置，直至深度尺與銷頂端球面相接觸，讀取此時(shí)的示數(shù)。因深度尺處于一個非實(shí)際的零點(diǎn)顯示，故此時(shí)示數(shù)為負(fù)值，取其絕對值，即為當(dāng)前銷的實(shí)際高度。通過讀數(shù)大小，來確定調(diào)整銷上升或下降，直到達(dá)到設(shè)備所要求的高度值。可以根據(jù)實(shí)際情況，選擇不同的材質(zhì)加工該測量用塊，如鋁、尼龍等。具體的材質(zhì)以不影響設(shè)備使用性能為標(biāo)準(zhǔn)。其具體的尺寸、形狀均可以根據(jù)實(shí)際的需要來定，沒有太過多規(guī)范化的要求。 總之，該實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，能使深度尺在銷的高度測量過程中，操作更便捷，測量結(jié)果更準(zhǔn)確。同時(shí)，也不會對加熱基座的上表面造成任何損傷。
權(quán)利要求1.一種銷高度測量用塊，其特征在于該測量用塊具有上、下兩個表面，在測量用塊下表面的中間部分設(shè)有一凹槽，在測量用塊的一端設(shè)有一校準(zhǔn)深度尺用的縱向豁口，其深度與測量塊高度一致，骨頭孔位于測量用塊的上表面上，該端側(cè)面設(shè)有一個橫向豁口，該橫向豁口貫穿整個測量塊，與另一端的縱向豁口相互垂直，該橫向豁口的上表面高于銷的高度，而其下表面低于銷的高度，使銷的端面正好處于整個橫向豁口之內(nèi)，銷孔位于骨頭孔的下方，與骨頭孔在長度方向上同心，在寬度方向上稍微偏離骨頭孔的中心，銷孔和骨頭孔分別位于該橫向豁口的上方和下方，骨頭孔的下表面是該橫向豁口的上表面，橫向豁口的下表面是銷孔的上表面。
2.如權(quán)利要求I所述的銷高度測量用塊，其特征在于所述的銷孔的上表面上設(shè)有倒角，銷孔的下表面設(shè)有圓角。
3.如權(quán)利要求I所述的銷高度測量用塊，其特征在于所述的骨頭孔是一個在長度和寬度方向均稍大于深度尺外形尺寸的長方孔，其四角采用具有四個小直徑的圓孔結(jié)構(gòu)。
專利摘要銷高度測量用塊，主要解決現(xiàn)有技術(shù)存在的測量誤差大，對加熱基座上表面易產(chǎn)生損傷的問題。該測量用塊具有上、下兩個表面，在測量用塊下表面的中間部分設(shè)有一凹槽；在測量用塊的一端設(shè)有一校準(zhǔn)深度尺用的縱向豁口；骨頭孔位于測量用塊的上表面上，該端側(cè)面設(shè)有一個橫向豁口，該橫向豁口貫穿整個測量塊，與另一端的縱向豁口相互垂直。該橫向豁口的上表面高于銷的高度，而其下表面低于銷的高度，使銷的端面正好處于整個橫向豁口之內(nèi)，銷孔位于骨頭孔的下方，銷孔和骨頭孔分別位于該橫向豁口的上方和下方。本實(shí)用新型是在利用深度尺對晶圓支撐銷的高度進(jìn)行定位測量時(shí)，采用的一個輔助工具。其測量結(jié)果準(zhǔn)確，對加熱基座上表面不會造成損傷，其性能優(yōu)于單純采用深度尺的測量效果。
文檔編號G01B5/02GK202793253SQ20122044604
公開日2013年3月13日 申請日期2012年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月3日
發(fā)明者凌復(fù)華, 吳鳳麗, 國建花, 姜崴 申請人:沈陽拓荊科技有限公司