專利名稱：一種用于檢測玻璃基板中缺陷的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種玻璃板或其他透明材料的檢測裝置，具體涉及一種用于檢測玻璃基板中缺陷的裝置。
背景技術(shù)：
在TFT玻璃基板的生產(chǎn)過程中，總是會(huì)在玻璃基板表面或玻璃基板內(nèi)部產(chǎn)·生各種類型的缺陷。缺陷可包括表面不連續(xù)性、線狀缺陷、條紋、結(jié)石、氣泡以及玻璃基板體的光學(xué)不均勻性。為了防止帶有缺陷的玻璃基板進(jìn)入到高成本運(yùn)行的后端玻璃冷加工工序，并能夠?qū)⒉ＡЩ宓娜毕菪畔⒓皶r(shí)的反饋給玻璃熱端工序控制系統(tǒng)，使得熱端工序能夠采取適當(dāng)?shù)拇胧﹣頊p少缺陷。由此可見，對玻璃基板的檢測顯得十分的重要。盡管當(dāng)前通常使用非相干性白光檢測玻璃基板缺陷，但由于來自較遠(yuǎn)距離的小尺寸(點(diǎn)狀)光源的光的局部空間相干性，可能會(huì)觀察到一些衍射效應(yīng)。由尺寸為Rs的光源射出的在玻璃基板上相隔間距的各個(gè)點(diǎn)上光，將具有80%的空間相干性，其中
權(quán)利要求1.一種用于檢測玻璃基板中缺陷的裝置，其特征在于，包括點(diǎn)光源(I)，待檢測的玻璃基板(2)，屏幕(3)，線性光源(10)，所述玻璃基板(2)位于點(diǎn)光源(I)和屏幕(3)之間，線性光源(10)位于玻璃基板(2)的兩側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種用于檢測玻璃基板中缺陷的裝置，其特征在于，所述用于檢測玻璃基板中缺陷的裝置還包括支撐底座(8)，設(shè)置于支撐底座(8)上的位置調(diào)節(jié)裝置(9)，設(shè)置于位置調(diào)節(jié)裝置(9)上的安裝框架(11)和設(shè)置于安裝框架(11)上的擋板(18);線性光源(10)安裝于安裝框架(11)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于檢測玻璃基板中缺陷的裝置，其特征在于，位置調(diào)節(jié)裝置(9)包括調(diào)整手輪(12)、調(diào)整支架(13)和導(dǎo)軌(14);其中導(dǎo)軌(14)設(shè)置于支撐底座(8)上，調(diào)整支架(13)設(shè)置在導(dǎo)軌(14)上，調(diào)整手輪(12)設(shè)置在調(diào)整支架(13)下端。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于檢測玻璃基板中缺陷的裝置，其特征在于，安裝框架(11)上設(shè)有驅(qū)動(dòng)線性光源(10)沿垂直于屏幕(3)的方向運(yùn)動(dòng)的直線運(yùn)動(dòng)裝置(16)和氣動(dòng)裝置(17)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種用于檢測玻璃基板中缺陷的裝置，包括點(diǎn)光源，待檢測的玻璃基板，屏幕，線性光源，所述玻璃基板位于點(diǎn)光源和屏幕之間，線性光源位于玻璃基板的兩側(cè)；所述用于檢測玻璃基板中缺陷的裝置還包括支撐底座，設(shè)置于支撐底座兩側(cè)的位置調(diào)節(jié)裝置。線性光源可改變或加強(qiáng)點(diǎn)光源光束的至少一部分的光強(qiáng)度并在屏幕上形成均勻的亮度分布，使檢查人員感受到的在屏幕檢查區(qū)內(nèi)的亮度是均勻的，進(jìn)而能準(zhǔn)確的分辨出缺陷的存在，可以避免漏檢、誤檢，使檢查結(jié)果的一致性得到提高；這種提高是在不改變光學(xué)放大率、從光源至屏幕的距離或光源的光強(qiáng)度的情況下取得的。
文檔編號(hào)G01N21/958GK202794060SQ20122032957
公開日2013年3月13日 申請日期2012年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月9日
發(fā)明者郭強(qiáng), 成敢為 申請人:彩虹顯示器件股份有限公司