專利名稱：一種多維力傳感器結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及傳感器的結構。
背景技術：
現(xiàn)今市場上，多維力傳感器輸出信號一般需要經過耦合計算，計算復雜，而且精度不高，給用戶操作使用上帶來一定的麻煩。
發(fā)明內容本實用新型的目的在于提供輸出信號不需要經過耦合計算并且精度較高的一種多維力傳感器結構。 它包括一個作為應變梁的Π型彈性體(I) ； Π型彈性體(I)的每個邊垂直設置長方形(3)或雙連孔(4);長方形(3)或雙連孔(4)的兩側對稱設置電阻應變感應元件(2)。Π型彈性體(I)為金屬材料。電阻應變感應元件(2)是金屬應變計、半導體應變計以及硅阻壓阻敏感元件。本實用新型結構簡單，精度高，耦合誤差小，并且信號不需要經過復雜的耦合公式計算，用戶使用方便。可根據(jù)貼片面的多少決定具體測量幾個方向的力和扭矩制作出三維至六維力傳感器。


附圖I是本實用新型實施例I的主視圖；附圖2是本實用新型實施例2的主視圖；附圖3是本實用新型實施例I的俯視圖；附圖4是本實用新型實施例2的俯視圖。
具體實施方式
設置作為應變梁的Π型彈性體(I) ；Π型彈性體(I)的每個邊垂直設置長方形
(3)或雙連孔(4);長方形(3)或雙連孔(4)的兩側對稱設置電阻應變感應元件(2)。Π型彈性體(I)為金屬材料。電阻應變感應元件(2)是金屬應變計、半導體應變計以及硅阻壓阻敏感元件。本實用新型一端固定，力施加到傳感器的另一端，傳感器的應變梁將根據(jù)力按空間三向力的分力產生相應的形變，此時裝在應變敏感部位的電阻應變感應元件(2)電阻產生相應的大小變化，通過橋路將電阻變化轉化成電壓信號變化，而電壓信號變化與施加力的大小成線性關系，從而達到檢測空間三向力的分力的大小。而空間三向扭矩則會引起相應的方向的應變粱產生形變輸出電壓信號，對其他方向產生的電壓信號輸出非常小，可以忽略不計，從而達到檢測空間三向扭矩的大小。
權利要求1.一種多維力傳感器結構，它包括一個作為應變梁的Π型彈性體(I);其特征在于Π型彈性體⑴的每個邊垂直設置長方形(3)或雙連孔⑷；長方形(3)或雙連孔⑷的兩側對稱設置電阻應變感應元件(2)。
2.如權利要求I所述的一種多維力傳感器結構，其特征在于Π型彈性體(I)為金屬材料。
3.如權利要求I所述的一種多維力傳感器結構，其特征在于電阻應變感應元件(2)是金屬應變計、半導體應變計以及硅阻壓阻敏感元件。
專利摘要本實用新型一種多維力傳感器結構涉及傳感器的結構；它包括一個作為應變梁的П型彈性體(1)；П型彈性體(1)的每個邊垂直設置長方形(3)或雙連孔(4)；長方形(3)或雙連孔(4)的兩側對稱設置電阻應變感應元件(2)；П型彈性體(1)為金屬材料；電阻應變感應元件(2)是金屬應變計、半導體應變計以及硅阻壓阻敏感元件；本實用新型結構簡單，精度高，耦合誤差小，并且信號不需要經過復雜的耦合公式計算，用戶使用方便?？筛鶕?jù)貼片面的多少決定具體測量幾個方向的力和扭矩制作出三維至六維力傳感器。
文檔編號G01L1/22GK202676333SQ20122031468
公開日2013年1月16日 申請日期2012年7月2日 優(yōu)先權日2012年7月2日
發(fā)明者曹勤華 申請人:曹勤華