專利名稱：一種便攜式多功能真空校準(zhǔn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種便攜式多功能真空校準(zhǔn)裝置，具體涉及一種用于真空規(guī)、真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計的實驗室、現(xiàn)場和在線校準(zhǔn)測試裝置，屬于測量技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
真空校準(zhǔn)技術(shù)在航天、表面、微電子、太陽能、光電子等科研生產(chǎn)中具有重要的意
義，對于科研或企業(yè)生產(chǎn)線，需要對真空規(guī)真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計進行現(xiàn)場或在線校準(zhǔn)測試，這樣使校準(zhǔn)條件與使用條件基本相同，不僅提高了校準(zhǔn)精度，而且避免了因為停止工作系統(tǒng)送往實驗室校準(zhǔn)的經(jīng)濟損失和時間浪費，因此在科研、生產(chǎn)制造中提出了現(xiàn)場或在線真空校準(zhǔn)的緊迫需求，由于真空參數(shù)較多，如果將多種校準(zhǔn)功能集成在一臺裝置上，不僅方便校準(zhǔn)過程，而且降低建造校準(zhǔn)裝置的成本。文獻“固定流導(dǎo)法真空漏孔校準(zhǔn)裝置”，公布于《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報》第26卷、2006年第5期、第358 362頁，介紹了固定流導(dǎo)法校準(zhǔn)真空漏孔的方法，需要多臺真空泵和真空規(guī)等，并且系統(tǒng)復(fù)雜龐大、成本昂貴，只適合在實驗室校準(zhǔn)用，不能滿足現(xiàn)場真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計的校準(zhǔn)需求。文獻“比對法真空計量標(biāo)準(zhǔn)裝置的研制”，公布于《宇航計測技術(shù)》第66卷、1992年第6期、第70 73頁，介紹了比對法真空規(guī)的校準(zhǔn)方法及校準(zhǔn)裝置，但其校準(zhǔn)范圍為10_4 IO5Pa,且在10_4 KT1Pa壓力范圍內(nèi)通過磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)進行測量，這種測量方法的下限受制于磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)測量下限，同時磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)成本比較昂貴，再加上該系統(tǒng)比較龐大，只適合在實驗室使用，無法滿足現(xiàn)場真空規(guī)的校準(zhǔn)需求。本專利提出了便攜式多功能真空校準(zhǔn)裝置及方法，將多種真空儀器校準(zhǔn)功能集成在一臺系統(tǒng)上，總體尺寸小于50mmX30mmX60mm,對氣體微流量的校準(zhǔn)范圍為10_7 I X IO-11PamVs,合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為3%;對真空規(guī)的校準(zhǔn)范圍為10_6 I X 105Pa。系統(tǒng)具有質(zhì)量輕(小于50公斤)、功能多、校準(zhǔn)范圍寬、便攜等優(yōu)點，從而解決了現(xiàn)場各種真空規(guī)、真空漏孔、檢漏儀的校準(zhǔn)問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，針對真空規(guī)、真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計現(xiàn)場或在線校準(zhǔn)的需求，提出一種便攜式多功能真空校準(zhǔn)裝置。本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的。本實用新型的一種便攜式多功能真空校準(zhǔn)裝置，包括機械泵I、分子泵2、第一真空閥門3、第二真空閥門4、第三真空閥門8、第四真空閥門10、第五真空閥門11、第六真空閥門17、第七真空閥門19、第八真空閥門23、第九真空閥門15、校準(zhǔn)室5、四極質(zhì)譜計6、第一小孔9、第二小孔20、微調(diào)閥12、氣源13、第一真空規(guī)14、第二真空規(guī)18、第三真空規(guī)21、第五真空規(guī)24和穩(wěn)壓室16，其中待校準(zhǔn)設(shè)備為第四真空規(guī)22和真空漏孔7 ；上述第一真空規(guī)14、第三真空規(guī)21、第五真空規(guī)24均為電容規(guī)；[0010]在該系統(tǒng)中，機械泵I和分子泵2連接，分子泵的另一端與第一真空閥門3和第二真空閥門4連接，第二真空閥門4的另一端與校準(zhǔn)室5連接，第一真空閥門3的另一端與穩(wěn)壓室16連接，校準(zhǔn)室5的赤道法蘭上安裝了四極質(zhì)譜計6、第七真空閥門19、第三真空規(guī)21、第八真空閥門23和待校準(zhǔn)的第四真空規(guī)22，校準(zhǔn)室5的抽氣口有限流用第二小孔20，校準(zhǔn)室5的頂端與第三真空閥門8、第一小孔9和第四真空閥門10連接，第三真空閥門8的另一端與被校準(zhǔn)漏孔7 連接，第四真空閥門10和第一小孔9的另一端均與第五真空閥門11連接，第五真空閥門11的另一端與微調(diào)閥12和穩(wěn)壓室16連接，微調(diào)閥12的另一端與氣源13連接，穩(wěn)壓室16上安裝第九真空閥門15和第六真空閥門17，第九真空閥門15與第一真空規(guī)14連接，第六真空閥門17與第二真空規(guī)18連接，第二真空規(guī)18的另一端與第七真空閥門19連接，第八真空閥門23與第五真空規(guī)24連接，系統(tǒng)的待校準(zhǔn)漏孔7放置在采用泡沫保溫的恒溫箱中；優(yōu)選地，系統(tǒng)能夠?qū)φ婵找?guī)、真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計進行現(xiàn)場或在線校準(zhǔn)，具有功能多、精度高、重量小、體積小、便攜等特點。采用參考標(biāo)準(zhǔn)直接比對的方法實現(xiàn)10_2 IO5Pa范圍內(nèi)校準(zhǔn)；采用流量計提供標(biāo)準(zhǔn)流量Qs，根據(jù)進氣小孔流導(dǎo)C，通過計算獲得校準(zhǔn)室標(biāo)準(zhǔn)壓力為P = QsZC,實現(xiàn)在10_6 10_2Pa范圍的校準(zhǔn)，對真空規(guī)校準(zhǔn)的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度小于3%。對氣體微流量(例如真空漏孔)的校準(zhǔn)是采用小孔在分子流條件下進樣獲得標(biāo)準(zhǔn)氣體微流量；采用質(zhì)譜計作為比較器，通過調(diào)節(jié)引入校準(zhǔn)室中標(biāo)準(zhǔn)示漏氣體流量Qs，根據(jù)質(zhì)譜計對被校準(zhǔn)漏孔的離子流Is和流量標(biāo)準(zhǔn)引起的離子流Iy再考慮到本底殘
余氣體離子流信號I。，計算得到被校準(zhǔn)漏孔的漏率為認(rèn)=Qs TT^TT，對氣體微流量的校
m)
準(zhǔn)范圍為10_7 IX 10-nPam3/s，合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度小于3%。本實用新型的一種便攜式多功能真空校準(zhǔn)裝置，其校準(zhǔn)方法分為校準(zhǔn)真空漏孔的方法和校準(zhǔn)真空規(guī)的方法；其中校準(zhǔn)真空漏孔方法的步驟為S11、將待校準(zhǔn)真空漏孔7安裝在第三真空閥門8上，并檢查安裝密封性；S12、依次打開機械泵I、第一真空閥門3、第二真空閥門4、第四真空閥門10、第五真空閥門11、第九真空閥門15、第六真空閥門17、第七真空閥門19，對校準(zhǔn)室5、穩(wěn)壓室16及各閥門管道抽氣，打開第二真空規(guī)18，并保持環(huán)境溫度范圍在23±3°C，當(dāng)?shù)诙婵找?guī)18測量到穩(wěn)壓室中壓力小于20Pa時，啟動分子泵2 ；S13、當(dāng)穩(wěn)壓室16中真空度小于130Pa時，打開第九真空閥門15和第一真空規(guī)14，當(dāng)校準(zhǔn)室5中真空度小于IX KT3Pa時，打開四極質(zhì)譜計6 ；S14、當(dāng)穩(wěn)壓室16中真空度小于lX10_3Pa時，且電容規(guī)14穩(wěn)定4小時以上，對電容規(guī)14進行調(diào)零；S15、關(guān)閉第一真空閥門3、第四真空閥門10、第五真空閥門11、第七真空閥門19，記錄校準(zhǔn)室5本底示漏氣體離子流Itl，打開第三真空閥門8向校準(zhǔn)室5引入漏孔泄漏氣體，在漏孔示漏氣體引起質(zhì)譜計離子流穩(wěn)定后，記錄離子流大小L然后關(guān)閉第三真空閥門8并抽氣，在示漏氣體離子流信號接近或等于本底離子流^后，關(guān)閉第四真空閥門10、第六真空閥門17，打開第七真空閥門19，通過微調(diào)閥12向穩(wěn)壓室16中引入氣體，氣體的壓力不超過133Pa，穩(wěn)壓室16中的標(biāo)準(zhǔn)氣體流量通過第一小孔9引入到校準(zhǔn)室5中，當(dāng)四極質(zhì)譜計6檢測離子流信號穩(wěn)定后并接近或等于k大小時，關(guān)閉微調(diào)閥12，則標(biāo)準(zhǔn)氣體流量Qs通過電容規(guī)14讀數(shù)Pu和第一小孔9流導(dǎo)Cu計算得到Qs = PuCu,則離子流穩(wěn)定后記錄其值為Is，被校
(J-J)
準(zhǔn)真空漏孔7漏率為a = Qs /' ;
V1SS16、關(guān)閉四極質(zhì)譜計6、所有真空規(guī)及所有真空閥門，依次關(guān)閉分子泵2、機械泵I，拆卸被校準(zhǔn)的真空漏孔7;優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空漏孔所述步驟Sll中的被校真空漏孔7的漏率在10_7 IO-11PamVs范圍內(nèi)，氣源13為高純示漏氣體； 優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空漏孔所述步驟S13中四極質(zhì)譜計6的穩(wěn)定時間不小于3個小時；優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空漏孔所述步驟S14中第一真空規(guī)14是滿量程為ITorr的絕壓電容薄膜規(guī)，其測量精度是小于滿量程的0. 2% ;優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空漏孔所述步驟S15中第一小孔9的流導(dǎo)在10_9m3/s量級；優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空漏孔所述步驟S15中Qp Qs取至少六次測量的平均值；優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空漏孔所述步驟S15中Ql合成標(biāo)準(zhǔn)測量不確定度小于3% ；校準(zhǔn)真空規(guī)的步驟S21、將待校準(zhǔn)真空規(guī)22安裝在校準(zhǔn)室5上，并檢查安裝密封性；S22、依次打開機械泵I、第一真空閥門3、第二真空閥門4、第四真空閥門10、第五真空閥門11、第九真空閥門15、第六真空閥門17、第七真空閥門19、第八真空閥門23，對校準(zhǔn)室5、穩(wěn)壓室16及各閥門管道抽氣，打開第二真空規(guī)18，并保持環(huán)境溫度為23±3°C，當(dāng)?shù)诙婵找?guī)18測量到穩(wěn)壓室16中壓力小于20Pa，啟動分子泵2 ；S23、打開第三電容規(guī)21，當(dāng)穩(wěn)壓室16中真空度小于130Pa時，打開第九真空閥門15和第一真空規(guī)14，當(dāng)校準(zhǔn)室5和穩(wěn)壓室16中的真空度小于I X KT3Pa時，在第一真空規(guī)14、第三真空規(guī)21、第五真空規(guī)24穩(wěn)定4小時以上后進行調(diào)零；S24、如果設(shè)定的校準(zhǔn)范圍在10_6 10_2Pa，采用連續(xù)膨脹法校準(zhǔn)，具體為S241、關(guān)閉真空第一真空閥門3、第四真空閥門10、第五真空閥門11、第七真空閥門19，打開微調(diào)閥12向穩(wěn)壓室16中引入一定壓力Pu的氣體，氣體壓力不超過133Pa，如果超過133Pa則關(guān)閉第九真空閥門15以保護第一真空規(guī)14，然后關(guān)閉微調(diào)閥門12 ；S242、關(guān)閉第六真空閥門17，打開第七真空閥門19和第五真空閥門11，穩(wěn)壓室16中的氣體通過第一小孔9引入校準(zhǔn)室5中，當(dāng)校準(zhǔn)室5中的氣體穩(wěn)定后，記錄第一真空規(guī)14
的讀數(shù)Pu，則通過第一小孔9的氣體流量為Qs = PuCu,則校準(zhǔn)室5中標(biāo)準(zhǔn)壓力為P = ，這
樣實現(xiàn)10_6 10_2Pa范圍內(nèi)對真空規(guī)的校準(zhǔn)；S25、如果設(shè)定的校準(zhǔn)范圍在10_2 IO5Pa,采用直接比較法校準(zhǔn)，具體為關(guān)閉第一真空閥門3、第二真空閥門4、第九真空閥門15、第六真空閥門17，打開第四真空閥門10、第五真空閥門11、第七真空閥門19，通過微調(diào)閥12向校準(zhǔn)室5中引入氣體，當(dāng)校準(zhǔn)室5中氣體壓力穩(wěn)定后，如果壓力小于133Pa，采用第一真空規(guī)24進行測量，如果壓力大于133Pa，關(guān)閉閥門23后，采用第三真空規(guī)21進行測量，記錄測量結(jié)果P，以此作為標(biāo)準(zhǔn)壓力進校準(zhǔn)；優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空規(guī)所述步驟S25中進氣用第一小孔9的流導(dǎo)為10_5m3/s量級，抽氣用第二小孔20的流導(dǎo)為0. ImVs ；優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空規(guī)所述步驟S25、S26中P至少六次測量的平均值。有益效果本實用新型是一種便攜式多功能真空校準(zhǔn)裝置及方法，系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡單、精度高、重量小、體積小、集成化、便攜等特點，用于現(xiàn)場或者線真空規(guī)、真空漏孔、檢漏儀、氣體微流量計的校準(zhǔn)測試，系統(tǒng)不僅降低了建立系統(tǒng)的成本，提高了校準(zhǔn)的效率，而且使校準(zhǔn)環(huán)境與使用環(huán)境基本相同，提高了真空量值傳遞精度，為科學(xué)研究、企業(yè)生產(chǎn)、對外貿(mào)易降低了成本。

圖I為本實用新型的一種便攜式多功能真空校準(zhǔn)裝置原理示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型做進一步說明。一種便攜式多功能真空校準(zhǔn)裝置，如圖I所示，包括機械泵I、分子泵2、第一真空閥門3、第二真空閥門4、第三真空閥門8、第四真空閥門10、第五真空閥門11、第六真空閥門17、第七真空閥門19、第八真空閥門23、第九真空閥門15、校準(zhǔn)室5、四極質(zhì)譜計6、第一小孔9、第二小孔20、微調(diào)閥12、氣源13、第一真空規(guī)14、第二真空規(guī)18、第三真空規(guī)21、第五真空規(guī)24和穩(wěn)壓室16，其中待校準(zhǔn)設(shè)備為第四真空規(guī)22和真空漏孔7 ；上述第一真空規(guī)14、第三真空規(guī)21、第五真空規(guī)24均為電容規(guī)；在該系統(tǒng)中，機械泵I和分子泵2連接，分子泵的另一端與第一真空閥門3和第二真空閥門4連接，第二真空閥門4的另一端與校準(zhǔn)室5連接，第一真空閥門3的另一端與穩(wěn)壓室16連接，校準(zhǔn)室5的赤道法蘭上安裝了四極質(zhì)譜計6、第七真空閥門19、第三真空規(guī)21、第八真空閥門23和待校準(zhǔn)的第四真空規(guī)22，校準(zhǔn)室5的抽氣口有限流用第二小孔20，校準(zhǔn)室5的頂端與第三真空閥門8、第一小孔9和第四真空閥門10連接，第三真空閥門8的另一端與被校準(zhǔn)漏孔7連接，第四真空閥門10和第一小孔9的另一端均與第五真空閥門11連接，第五真空閥門11的另一端與微調(diào)閥12和穩(wěn)壓室16連接，微調(diào)閥12的另一端與氣源13連接，穩(wěn)壓室16上安裝第九真空閥門15和第六真空閥門17，第九真空閥門15與第一真空規(guī)14連接，第六真空閥門17與第二真空規(guī)18連接，第二真空規(guī)18的另一端與第七真空閥門19連接，第八真空閥門23與第五真空規(guī)24連接，系統(tǒng)的待校準(zhǔn)真空漏孔7放置在采用泡沫保溫的恒溫箱中。實施例I采用上述裝置對待校準(zhǔn)真空漏孔7進行校準(zhǔn)方法的步驟為S11、將待校準(zhǔn)真空漏孔7安裝在第三真空閥門8上，并檢查安裝密封性；S12、依次打開機械泵I、第一真空閥門3、第二真空閥門4、第四真空閥門10、第五真空閥門11、第九真空閥門15、第六真空閥門17、第七真空閥門19，對校準(zhǔn)室5、穩(wěn)壓室16及各閥門管道抽氣，打開第二真空規(guī)18，并保持環(huán)境溫度范圍在23±3°C，當(dāng)?shù)诙婵找?guī)18測量到穩(wěn)壓室中壓力小于20Pa時，啟動分子泵2 ；S13、當(dāng)穩(wěn)壓室16中真空度小于130Pa時，打開第九真空閥門15和第一真空規(guī)14，當(dāng)校準(zhǔn)室5中真空度小于IX KT3Pa時，打開四極質(zhì)譜計6 ；S14、當(dāng)穩(wěn)壓室16中真空度小于lX10_3Pa時，且電容規(guī)14穩(wěn)定4小時以上，對電容規(guī)14進行調(diào)零；S15、關(guān)閉第一真空閥門3、第四真空閥門10、第五真空閥門11、第七真空閥門19，記錄校準(zhǔn)室5本底示漏氣體離子流Itl，打開第三真空閥門8向校準(zhǔn)室5引入漏孔泄漏氣體，在漏孔示漏氣體引起質(zhì)譜計離子流穩(wěn)定后，記錄離子流大小L然后關(guān)閉第三真空閥門8并抽氣，在示漏氣體離子流信號接近或等于本底離子流^后，關(guān)閉第四真空閥門10、第六真空閥門17，打開第七真空閥門19，通過微調(diào)閥12向穩(wěn)壓室16中引入氣體，氣體的壓力不超過133Pa，穩(wěn)壓室16中的標(biāo)準(zhǔn)氣體流量通過第一小孔9引入到校準(zhǔn)室5中，當(dāng)四極質(zhì)譜計6檢測離子流信號穩(wěn)定后并接近或等于k大小時，關(guān)閉微調(diào)閥12，則標(biāo)準(zhǔn)氣體流量Qs通過電容規(guī)14讀數(shù)Pu和第一小孔9流導(dǎo)Cu計算得到Qs = PuCu,則離子流穩(wěn)定后記錄其值為Is，被校
準(zhǔn)真空漏孔7漏率為a=Qs m;
V1S-1OJS16、關(guān)閉四極質(zhì)譜計6、所有真空規(guī)及所有真空閥門，依次關(guān)閉分子泵2、機械泵I，拆卸被校準(zhǔn)的真空漏孔7;優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空漏孔所述步驟Sll中的被校真空漏孔7的漏率在10_7 IO-11PamVs范圍內(nèi)，氣源13選擇為高純示漏氣體；優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空漏孔所述步驟S13中四極質(zhì)譜計6的穩(wěn)定時間不小于3個小時；優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空漏孔所述步驟S14中第一真空規(guī)14是滿量程為ITorr的絕壓電容薄膜規(guī)，其測量精度是小于滿量程的0. 2% ;優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空漏孔所述步驟S15中第一小孔9的流導(dǎo)在10_9m3/s量級；優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空漏孔所述步驟S15中Qp Qs取至少六次測量的平均值；優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空漏孔所述步驟S15中Ql合成標(biāo)準(zhǔn)測量不確定度小于3% ；實施例2采用上述裝置對待校準(zhǔn)真空規(guī)22進行校準(zhǔn)方法的步驟為S21、將待校準(zhǔn)真空規(guī)22安裝在校準(zhǔn)室5上，并檢查安裝密封性；S22、依次打開機械泵I、第一真空閥門3、第二真空閥門4、第四真空閥門10、第五真空閥門11、第九真空閥門15、第六真空閥門17、第七真空閥門19、第八真空閥門23，對校準(zhǔn)室5、穩(wěn)壓室16及各閥門管道抽氣，打開第二真空規(guī)18，并保持環(huán)境溫度為23±3°C，當(dāng)?shù)诙婵找?guī)18測量到穩(wěn)壓室16中壓力小于20Pa，啟動分子泵2 ；S23、打開第三電容規(guī)21，當(dāng)穩(wěn)壓室16中真空度小于130Pa時，打開第九真空閥門15和第一真空規(guī)14，當(dāng)校準(zhǔn)室5和穩(wěn)壓室16中的真空度小于I X KT3Pa時，在第一真空規(guī)14、第三真空規(guī)21、第五真空規(guī)24穩(wěn)定4小時以上后進行調(diào)零；S24、如果設(shè)定的校準(zhǔn)范圍在10_6 10_2Pa，采用連續(xù)膨脹法校準(zhǔn)，具體為S241、關(guān)閉真空第一真空閥門3、第四真空閥門10、第五真空閥門11、第七真空閥門19，打開微調(diào)閥12向穩(wěn)壓室16中引入一定壓力Pu的氣體，氣體壓力不超過133Pa，如果超過133Pa則關(guān)閉第九真空閥門15以保護第一真空規(guī)14，然后關(guān)閉微調(diào)閥門12 ；S242、關(guān)閉第六真空閥門17，打開第七真空閥門19和第五真空閥門11，穩(wěn)壓室16中的氣體通過第一小孔9引入校準(zhǔn)室5中，當(dāng)校準(zhǔn)室5中的氣體穩(wěn)定后，記錄第一真空規(guī)14的讀數(shù)Pu，則通過第一小孔9的氣體流量為Qs = PuCu,則校準(zhǔn)室5中標(biāo)準(zhǔn)壓力為P = ，這樣實現(xiàn)10_6 10_2Pa范圍內(nèi)對真空規(guī)的校準(zhǔn)；S25、如果設(shè)定的校準(zhǔn)范圍在10_2 IO5Pa,采用直接比較法校準(zhǔn)，具體為關(guān)閉第一真空閥門3、第二真空閥門4、第九真空閥門15、第六真空閥門17，打開第四真空閥門10、第五真空閥門11、第七真空閥門19，通過微調(diào)閥12向校準(zhǔn)室5中引入氣體，當(dāng)校準(zhǔn)室5中氣體壓力穩(wěn)定后，如果壓力小于133Pa，采用第一真空規(guī)24進行測量，如果壓力大于133Pa，關(guān)閉閥門23后，采用第三真空規(guī)21進行測量，記錄測量結(jié)果P，以此作為標(biāo)準(zhǔn)壓力進校準(zhǔn)；優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空規(guī)所述步驟S25中進氣用第一小孔9的流導(dǎo)為10_5m3/s量級， 抽氣用第二小孔20的流導(dǎo)為0. ImVs ；優(yōu)選地，在校準(zhǔn)真空規(guī)所述步驟S24、S25中P至少六次測量的平均值。
權(quán)利要求1.一種便攜式多功能真空校準(zhǔn)裝置，待校準(zhǔn)設(shè)備為第四真空規(guī)(22)和真空漏孔(7)，其特征在于，包括機械泵(I)、分子泵(2)、第一真空閥門(3)、第二真空閥門(4)、第三真空閥門(8)、第四真空閥門(10)、第五真空閥門(11)、第六真空閥門(17)、第七真空閥門(19)、第八真空閥門(23)、第九真空閥門(15)、校準(zhǔn)室(5)、四極質(zhì)譜計(6)、第一小孔(9)、第二小孔(20)、微調(diào)閥(12)、氣源(13)、第一真空規(guī)(14)、第二真空規(guī)(18)、第三真空規(guī)(21)、第五真空規(guī)(24)和穩(wěn)壓室(16)，其中第一真空規(guī)(14)、第三真空規(guī)(21)、第五真空規(guī)(24)均為電容規(guī)； 機械泵(I)和分子泵(2)連接，分子泵的另一端與第一真空閥門(3)和第二真空閥門(4)連接，第二真空閥門(4)的另一端與校準(zhǔn)室(5)連接，第一真空閥門(3)的另一端與穩(wěn)壓室(16)連接，校準(zhǔn)室(5)的赤道法蘭上安裝了四極質(zhì)譜計￠)、第七真空閥門(19)、第三真空規(guī)(21)、第八真空閥門(23)和待校準(zhǔn)的第四真空規(guī)(22)，校準(zhǔn)室(5)的抽氣口有限流用第二小孔(20)，校準(zhǔn)室(5)的頂端與第三真空閥門(8)、第一小孔(9)和第四真空閥門(10)連接，第三真空閥門⑶的另一端與被校準(zhǔn)漏孔(7)連接，第四真空閥門(10)和第一小孔(9)的另一端均與第五真空閥門(11)連接，第五真空閥門(11)的另一端與微調(diào)閥(12)和穩(wěn)壓室(16)連接，微調(diào)閥(12)的另一端與氣源(13)連接，穩(wěn)壓室(16)上安裝第九真空閥門(15)和第六真空閥門(17)，第九真空閥門(15)與第一真空規(guī)(14)連接，第六真空閥門(17)與第二真空規(guī)(18)連接，第二真空規(guī)(18)的另一端與第七真空閥門(19)連接，第八真空閥門(23)與第五真空規(guī)(24)連接，系統(tǒng)的待校準(zhǔn)漏孔(7)放置在采用泡沫保溫的恒溫箱中。
專利摘要本實用新型涉及一種便攜式多功能真空校準(zhǔn)裝置，屬于測量技術(shù)領(lǐng)域。校準(zhǔn)系統(tǒng)包括機械泵1、分子泵2、第一真空閥門3、第二真空閥門4、第三真空閥門8、第四真空閥門10、第五真空閥門11、第六真空閥門17、第七真空閥門19、第八真空閥門23、第九真空閥門15、校準(zhǔn)室5、四極質(zhì)譜計6、第一小孔9、第二小孔20、微調(diào)閥12、氣源13、第一真空規(guī)14、第二真空規(guī)18、第三真空規(guī)21、第五真空規(guī)24和穩(wěn)壓室16，包括校準(zhǔn)真空漏孔的方法和校準(zhǔn)真空規(guī)的方法。系統(tǒng)復(fù)合了真空規(guī)和氣體微流量校準(zhǔn)功能，能夠?qū)φ婵找?guī)、真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計進行現(xiàn)場或在線校準(zhǔn)，具有功能多、精度高、重量小、體積小、便攜等特點。
文檔編號G01M3/00GK202501952SQ20122003579
公開日2012年10月24日 申請日期2012年2月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月6日
發(fā)明者盧耀文 申請人:江蘇東方航天校準(zhǔn)檢測有限公司