專利名稱：一種薄膜漏光檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及ー種光學(xué)薄膜漏光檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
在光學(xué)玻璃等透光率良好的襯底上鍍膜后，我們往往希望這層膜的致密性良好不漏光。然而，在現(xiàn)實(shí)的鍍膜技術(shù)中，由于受到鍍膜材料、鍍膜方法、鍍膜儀器等各種因素的影響，鍍膜表面總會(huì)存在漏光點(diǎn)，這些漏光點(diǎn)往往會(huì)影響膜的光學(xué)性能。例如，在激光驅(qū)動(dòng)空間碎片撞擊試驗(yàn)中，如果鍍到光學(xué)玻璃上的膜表面存在漏光點(diǎn)，那么經(jīng)激光驅(qū)動(dòng)打出的碎片就會(huì)非常小，實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象不明顯，難以得到準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。因此，如何檢測(cè)膜表面是否存在漏光點(diǎn)就顯得至關(guān)重要。而關(guān)于不同材料和用途的漏光檢測(cè)裝置，目前見(jiàn)報(bào)道的只有兩種。ー種是授權(quán)公告號(hào)CN 201749017U的實(shí)用新型名稱是《風(fēng)管漏光檢測(cè)裝置》的實(shí)用新型專利，目的是利用光線對(duì)小孔的強(qiáng)穿透力，對(duì)風(fēng)管進(jìn)行嚴(yán)密性檢測(cè)；另ー種是授權(quán)公告號(hào) CN201795912U的實(shí)用新型名稱是《在線漏光檢測(cè)儀》的實(shí)用新型專利，目的是通過(guò)對(duì)易拉蓋表面漏光的檢測(cè)判斷其表面是否存在微小孔。因此，還沒(méi)有一種專門(mén)的用于檢測(cè)薄膜是否漏光的方法和裝置。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供ー種制作簡(jiǎn)易、操作方便、價(jià)格低廉、觀察效果良好的薄膜漏光檢測(cè)裝置?？梢詮V泛應(yīng)用到各行各業(yè)類似光學(xué)薄膜的質(zhì)量檢測(cè)評(píng)估中。本實(shí)用新型的目的是這樣來(lái)實(shí)現(xiàn)的，該實(shí)用新型薄膜漏光檢測(cè)裝置，由支架、底座、LED光源、LED固定筒、LED固定圈、聚光筒、觀察筒和樣品夾具構(gòu)成，所述的LED光源和LED固定圈設(shè)置在LED固定筒的內(nèi)部，并且LED光源通過(guò)LED固定圈固定，所述的底座與LED固定筒通過(guò)螺釘固定連接，所述的LED固定筒、聚光筒和觀察筒三者順次通過(guò)螺釘連接后，固定在支架上，聚光筒上設(shè)置樣品臺(tái)，被觀察的薄膜樣品直接放置在樣品臺(tái)上，或者通過(guò)樣品夾具固定后放置在樣品臺(tái)上。所述的支架上具有ー對(duì)具有開(kāi)ロ的卡箍結(jié)構(gòu)，連接好的整個(gè)漏光檢測(cè)裝置通過(guò)卡箍實(shí)現(xiàn)固定。在所述的卡箍的下方位置的支架上還設(shè)置有角度調(diào)節(jié)旋鈕，角度調(diào)節(jié)旋鈕與支撐卡箍的支撐桿之間為軸連接。所述的LED光源是由三個(gè)不同顔色的LED燈組成，三個(gè)LED燈分別能發(fā)出不同亮度的光線。所述的聚光筒的厚度從下到上依次増大；樣品夾具的形狀外形為圓形，在圓形內(nèi)具有方形孔，方形孔內(nèi)用于放置樣品。樣品夾具內(nèi)的方形孔可根據(jù)薄膜樣品的形狀、大小、基底的厚度設(shè)計(jì)成不同的樣式，這樣就可以達(dá)到檢測(cè)多種不同薄膜樣品是否漏光的目的。

圖I是本實(shí)用新型薄膜漏光檢測(cè)裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型中底座的結(jié)構(gòu)示意圖；[0009]圖3是本實(shí)用新型中LED固定筒的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型中聚光筒和樣品臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本實(shí)用新型中LED光源和LED固定圈的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是本實(shí)用新型中樣品夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是本實(shí)用新型中支架的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提供的薄膜漏光檢驗(yàn)裝置進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。 本實(shí)用新型的薄膜漏光檢測(cè)裝置，如圖I 7所示，主要由支架I、底座2、LED光源3、LED固定筒4、LED固定圈5、聚光筒6、觀察筒7、樣品夾具8構(gòu)成。整個(gè)漏光檢測(cè)裝置可以圍繞支架I上方的角度調(diào)節(jié)旋鈕9在0-90度間任意旋轉(zhuǎn)。所述的LED光源3通過(guò)LED固定圈5進(jìn)行固定，然后通過(guò)LED固定圈5設(shè)置在LED固定筒4的內(nèi)部，所述的LED光源3是由三個(gè)不同顔色的LED燈組成，如圖5所示，三個(gè)LED燈分別能發(fā)出不同顔色和亮度的光線，通過(guò)控制其中兩個(gè)LED燈或三個(gè)LED燈的開(kāi)關(guān)和調(diào)節(jié)它們各自發(fā)光的亮度可以使整個(gè)LED光源3發(fā)出不同顔色的光，觀察者可以根據(jù)薄膜樣品對(duì)光的反射、吸收、透射等情況的不同選擇不同顔色的光對(duì)其表面漏光情況進(jìn)行觀察。所述的底座2如圖2所示，為ー圓盤(pán)結(jié)構(gòu)，圓盤(pán)大小與圖3中所示的LED固定筒4的外徑相同，并且可以通過(guò)螺釘將底座2與LED固定筒4固定連接。所述的LED固定筒4、聚光筒6和觀察筒7三者順次通過(guò)螺釘連接后，固定在支架I上，如圖7所示，所述的支架I上具有ー對(duì)具有開(kāi)ロ的卡箍101結(jié)構(gòu)，將安裝好的整個(gè)漏光檢測(cè)裝置通過(guò)卡箍101開(kāi)ロ放入卡箍101內(nèi)，然后通過(guò)螺絲將卡箍101的開(kāi)ロ旋緊，實(shí)現(xiàn)固定。在所述的卡箍101的下方位置的支架I上還設(shè)置有角度調(diào)節(jié)旋鈕9，角度調(diào)節(jié)旋鈕9與支撐卡箍101的支撐桿102之間為軸連接，這樣可以使得卡箍101上固定的整個(gè)漏光檢測(cè)裝置繞角度調(diào)節(jié)旋鈕9旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度為0-90度間。聚光筒6的厚度從下到上依次増大，如圖4，聚光筒6頂部的樣品臺(tái)10上有兩個(gè)大小相同、位置対稱的凹槽，便于取放被觀察的薄膜樣品；同時(shí)聚光筒6將LED燈發(fā)出的光線聚焦到被觀察薄膜樣品的底部。聚光筒6上方的樣品臺(tái)10可以直接放置被觀察的薄膜樣品，也可以放置樣品夾具8。如圖6，樣品夾具8內(nèi)的方形孔801可根據(jù)薄膜樣品的形狀、大小、基底的厚度設(shè)計(jì)成不同的樣式，這樣就可以達(dá)到檢測(cè)多種不同薄膜樣品是否漏光的目的，本實(shí)用新型中優(yōu)選的，將樣品夾具8的形狀設(shè)計(jì)為外形為圓形，這樣有利干與其它的部件相配合連接，在圓形內(nèi)具有方形孔801，方形孔801內(nèi)用于放置樣品。所述的底座2、LED固定筒4、帶有樣品臺(tái)的聚光筒6、觀察筒7、樣品夾具8是由塑料材料經(jīng)過(guò)熱成型加工制造。所述的LED固定圈5和支架I是用不銹鋼加工制造的。本實(shí)用新型的安裝方法是這樣的先將LED光源3放置于LED固定筒4內(nèi)，用螺絲將底座2和LED固定筒4連接，用LED固定圈5將LED光源3固定，再用螺絲將LED固定圈5固定在LED固定筒4上，用同樣的方法依次將帶有樣品臺(tái)的聚光筒6、觀察筒7安裝上，最后將安裝好的檢測(cè)裝置固定到支架I上。所述的LED光源3是由紅、緑、藍(lán)三個(gè)不同顔色的LED燈組成，它們分別能發(fā)出不同顏色和亮度的光線。底座2、LED固定筒4、聚光筒6及觀察筒7的塑料顏色全部采用黑色。[0019]該實(shí)用新型薄膜漏光檢驗(yàn)裝置是這樣對(duì)薄膜樣品進(jìn)行檢測(cè)的步驟I、取下觀察筒7，用鑷子夾持薄膜樣品通過(guò)凹槽放置于樣品臺(tái)上；步驟2、裝上觀察筒7，打開(kāi)LED燈，先讓其發(fā)紅色光，眼睛緊貼觀察筒7頂部，調(diào)節(jié)薄膜漏光檢測(cè)裝置的角度直到觀察者感到比較舒服方便為止，對(duì)樣品表面進(jìn)行觀察。步驟3、調(diào)節(jié)LED燈直到發(fā)出紫色光，用步驟2中的方法對(duì)樣品表面進(jìn)行觀察。本實(shí)用新型制作簡(jiǎn)單、價(jià)格低廉、操作方便，用它來(lái)觀察薄膜樣品能夠非常準(zhǔn)確迅速的判斷出薄膜表面是否有漏光點(diǎn)、漏光點(diǎn)的位置、漏光點(diǎn)的密集程度及漏光點(diǎn)的大小。此種薄膜漏光檢裝置對(duì)鍍到玻璃等透光率良好的襯底上的金屬膜、氮化硅等不透光的薄膜的漏光檢測(cè)效果非常好。
權(quán)利要求1.一種薄膜漏光檢測(cè)裝置，其特征在于由支架、底座、LED光源、LED固定筒、LED固定圈、聚光筒、觀察筒和樣品夾具構(gòu)成，所述的LED光源和LED固定圈設(shè)置在LED固定筒的內(nèi)部，并且LED光源通過(guò)LED固定圈固定，所述的底座與LED固定筒通過(guò)螺釘固定連接，所述的LED固定筒、聚光筒和觀察筒三者順次通過(guò)螺釘連接后，固定在支架上，聚光筒上設(shè)置樣品臺(tái)，被觀察的薄膜樣品直接放置在樣品臺(tái)上，或者通過(guò)樣品夾具固定后放置在樣品臺(tái)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種薄膜漏光檢測(cè)裝置，其特征在于所述的支架上具有一對(duì)具有開(kāi)口的卡箍結(jié)構(gòu)，連接好的整個(gè)漏光檢測(cè)裝置過(guò)卡箍實(shí)現(xiàn)固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種薄膜漏光檢測(cè)裝置，其特征在于在所述的卡箍的下方位置的支架上還設(shè)置有角度調(diào)節(jié)旋鈕，角度調(diào)節(jié)旋鈕與支撐卡箍的支撐桿之間為軸連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種薄膜漏光檢測(cè)裝置，其特征在于所述的LED光源是由三個(gè)不同顏色的LED燈組成，三個(gè)LED燈分別能發(fā)出不同顏色不同亮度的光線。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種薄膜漏光檢測(cè)裝置，其特征在于所述的聚光筒的厚度從下到上依次增大。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種薄膜漏光檢測(cè)裝置，其特征在于樣品夾具的形狀外形為圓形，在圓形內(nèi)具有方形孔，方形孔內(nèi)用于放置樣品。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種薄膜漏光檢測(cè)裝置，其特征在于所述的底座、LED固定筒、帶有樣品臺(tái)的聚光筒、觀察筒、樣品夾具是由塑料材料經(jīng)過(guò)熱成型加工制造；所述的LED固定圈和支架是用不銹鋼加工制造的。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種薄膜漏光檢測(cè)裝置，其特征在于所述的底座為一圓盤(pán)結(jié)構(gòu)，圓盤(pán)大小與LED固定筒的外徑相同。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種薄膜漏光檢測(cè)裝置，屬于光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。該薄膜漏光檢測(cè)裝置由支架、底座、LED光源、LED固定筒、LED固定圈、聚光筒、觀察筒和樣品夾具構(gòu)成，所述的LED光源和LED固定圈設(shè)置在LED固定筒的內(nèi)部，并且LED光源通過(guò)LED固定圈固定，所述的底座與LED固定筒通過(guò)螺釘固定連接，所述的LED固定筒、聚光筒和觀察筒三者順次通過(guò)螺釘連接后，固定在支架上，聚光筒上設(shè)置樣品臺(tái)，被觀察的薄膜樣品直接放置在樣品臺(tái)上，或者通過(guò)樣品夾具固定后放置在樣品臺(tái)上。本實(shí)用新型的目的是提供一種制作簡(jiǎn)易、操作方便、價(jià)格低廉、觀察效果良好的篩查薄膜質(zhì)量的漏光檢測(cè)裝置。
文檔編號(hào)G01N21/88GK202471603SQ20122000856
公開(kāi)日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2012年1月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月10日
發(fā)明者張麗, 王三勝 申請(qǐng)人:北京鼎臣超導(dǎo)科技有限公司