專利名稱：一種跳格式探針卡制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在半導(dǎo)體器件晶圓測試過程中進行多管芯并行測試時，一種跳格 式垂直式探針卡制作方法，屬于半導(dǎo)體測試技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體工藝技術(shù)的進步，12時晶圓已經(jīng)用于生產(chǎn)，晶圓面積增加了，一個晶圓 上可以制作幾千個或上萬個管芯，為了通過單位時間內(nèi)增加被測管芯的數(shù)量來提高測試機 的吞吐率，減少測試機閑置資源，提高測試設(shè)備的利用率，減低測試成本，通常采用多管芯 并行測試技術(shù)，多管芯并行測試技術(shù)是指在一臺測試機上可同時對多個半導(dǎo)體管芯進行全 自動檢測，通過專門設(shè)計制作的探針卡可以同時連接到多個管芯的引腳上，使得測試機可 以同時進行多個管芯的測試，并記錄多個芯片的測試結(jié)果；
探針卡是進行管芯測試的重要部件，主要目的是將探針卡上的探針直接與管芯上 的鋁墊(pad)或凸塊(bump)直接接觸，引出管芯信號，再配合測試系統(tǒng)與測試軟件控制達 到自動化量測的目的。
多管芯并行測試時對含有射頻模塊的管芯，測試穩(wěn)定性差，晶圓良率不理想，測試 效率低下；因此，如何解決含有射頻模塊的器件實現(xiàn)多管芯并行測試，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員 亟待解決的關(guān)鍵技術(shù)問題之一。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是解決含有射頻模塊的器件實現(xiàn)多管芯并行測試，找到了一個有 效、可靠的方法；
本發(fā)明的技術(shù)解決方案是使用垂直式探針卡，垂直式探針卡是無應(yīng)力探針，而且， 可以實現(xiàn)多種排列方式。
半導(dǎo)體晶圓硅片上，管芯的排列像棋盤格，每個管芯上有大小不同的鋁墊；
本發(fā)明是每個鋁墊對應(yīng)一個探針，探針不是按棋盤格次序制作探針卡，而是第一 行第一個管芯制作探針，下一個管芯不制作探針，第三個管芯制作探針，依次類推，一直到 第15個管，第一行共制作8個管芯的探針，跨越15個管芯。
奇數(shù)行隔一個管芯制作探針，偶數(shù)行不制作探針；
本發(fā)明的探卡測試過程中的步進距離設(shè)置為第一次為一個管芯寬度，第二次為15 個管芯寬度，以此類推；步進方向沒有限制。
所述發(fā)明被測管芯鋁墊的射頻天線管腳LI和L2，呈對角線布局，布局分散，常規(guī) 的探針排布很難增加相鄰?fù)瑴y管芯天線間的距離。
本發(fā)明通過上述分析可以得知，干擾的源頭是芯片的天線管腳，必須想辦法通過 增加相鄰?fù)瑴y管芯天線間的距離來減少管芯之間的干擾影響。
本發(fā)明解決了并側(cè)管芯測試相互干擾問題，被測管芯電源管腳對功能測試的影 響、以及測試過程中的穩(wěn)定性問題。


下面結(jié)合附圖和具體實施方案做進一步說明
圖1為晶圓圖不意圖，每一個小格代表一個管芯。
圖2常規(guī)探針卡制作方式
圖3為跳格探針制作方式
圖4探針卡移動次序
圖5管芯的鋁墊位置具體實施方式
本發(fā)明下面將結(jié)合附圖作進一步詳述
在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以 很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況 下做類似推廣，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施的限制。
其次，本發(fā)明利用示意圖進行詳細描述，在詳述本發(fā)明實施例時，為便于說明，表 示探針結(jié)構(gòu)的示意圖進行了放大，而且所述示意圖只是實例，其在此不應(yīng)限制本發(fā)明保護 的范圍。
圖1示出了本發(fā)明用于半導(dǎo)體器件晶圓結(jié)構(gòu)示意圖，99就是探針卡的形狀。圖2 所示是探針卡常規(guī)排列方式，共有64個管芯，成正方形，按次序排列，本發(fā)明涉及的管芯上 有大小不同的5個鋁墊，管芯大小1.77mm X1. 77mm，鋁墊排列是左邊4個，下邊一個，鋁墊 的面積最小是45um X 80um，最大面積是86umX 86um，圖5出示了本發(fā)明的被測管芯的鋁墊 排列位置，LU L2是管芯射頻信號引腳；常規(guī)排列方式下探卡面積為14. 16mm X 14. 16mm ；
本發(fā)明提供一種用于半導(dǎo)體器件晶圓的探針卡制作排列方式，見圖3所示，跳格 式排列，探針卡的面積為26. 55mm X 26. 55mm。
具體制作方法是
第一行第一個管芯11制作探針，下一個管芯12不制作探針，13管芯制作探針，依 次類推，一直到115管芯，第一行共制作8個管芯的探針，跨越15個管芯。
21不制作探針；
23制作探針，重復(fù)第一行，共制作8個管芯的探針，同樣跨越15個管芯；
第四行不制作探針；
第五行重復(fù)第三行；以此類推；
探針制作一直到第15行，151制作探針，1515制作探針；
就是說奇數(shù)行隔一個管芯制作探針，偶數(shù)行不制作探針，共有64個管芯有探針；
圖4所示是探針卡在測試過程中運行的軌跡，探針落下一次，同時測試64個管芯， 再移動15個管芯位置落下，同時又測試64個管芯，依次向右到整個晶圓右邊，再轉(zhuǎn)向下，向 左，直至結(jié)束，也可以用其它移動軌跡，但是步進距離必須是第一次一個管芯寬度，第二次 15個管芯寬度。
本發(fā)明不受被測管芯的鋁墊排列方式和鋁墊個數(shù)、鋁墊面積的限制；
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明用于半導(dǎo)體器件測試的垂直式探針卡跳格式排列方式解決了半導(dǎo)體器件晶圓并行測試管芯天線管腳串?dāng)_問題，本發(fā)明加大了相鄰被測管芯的間 距，使得相鄰被測管芯的間距最小為一個芯片尺寸。
通過跳格形式排列，大大減小因天線管腳引起的管芯之間干擾；提高了測試穩(wěn)定 性。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，凡依本發(fā)明權(quán)利要求范圍所做的均等變化與 修飾，皆應(yīng)屬本發(fā)明權(quán)利要求的涵蓋范圍。
權(quán)利要求
1.一種跳格式探針卡制作方法其特征在于； 垂直式探針卡可以實現(xiàn)多種排列方式； 被測管芯每個鋁墊對應(yīng)一個探針； 其特征在于探針卡制作方式是跳格式排列，奇數(shù)行隔一個管芯制作探針，偶數(shù)行不制作探針。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的跳格式探針卡制作方法其特征在于探卡測試過程中的步進距離設(shè)置為第一次為一個管芯寬度，第二次為15個管芯寬度，以此類推，步進方向沒有限制。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的跳格式探針卡制作方法其特征在于被測管芯存在射頻天線管腳。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的跳格式探針卡制作方法其特征在于被測管芯射頻天線管腳LI和L2呈對角線布局,布局分散。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體射頻器件在晶圓多管芯并行測試過程中，基于垂直式探針卡的跳格式探針制作方法，奇數(shù)行隔一個管芯制作探針，偶數(shù)行不制作探針；探卡測試過程中的步進距離設(shè)置為第一次為一個管芯寬度，第二次為15個管芯寬度；本發(fā)明解決了射頻器件多管芯并行測試相互干擾問題，提高了測試效率，適用于量產(chǎn)測試。
文檔編號G01R1/073GK102998497SQ20121052988
公開日2013年3月27日 申請日期2012年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月11日
發(fā)明者石志剛, 張琳, 吉國凡 申請人:北京確安科技股份有限公司