專利名稱：分選機(jī)以及部件檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對輸送對象物進(jìn)行輸送的分選機(jī)(Handler)以及具備該分選機(jī)的部件檢查裝置，特別涉及將輸送對象物輸送至設(shè)置于基臺的開口部的分選機(jī)以及具備該分選機(jī)的部件檢查裝置。
背景技術(shù)：
以往公知有檢查半導(dǎo)體芯片等電子部件的電氣特性的部件檢查裝置。這種部件檢查裝置例如構(gòu)成為包含具備安裝電子部件的檢查插座的測試器(tester)、搭載該測試器并且將檢查前的電子部件輸送至測試器的分選機(jī)。這樣的分選機(jī)具有輸送部，該輸送部具備利用真空吸附保持收納于供給托盤的多個(gè)電子部件的手部。輸送部使保持了電子部件的手部移動(dòng)至檢查插座上后，使該手部朝向 檢查插座下降，將電子部件壓入檢查插座。由此，檢查插座的端子和電子部件的端子電連接，檢查電子部件的電氣特性。若電子部件的檢查結(jié)束，則輸送部使手部移動(dòng)，使該手部保持的檢查后的電子部件從檢查插座脫離后，使該手部移動(dòng)至回收托盤，使該手部保持的電子部件排出至回收托盤。而且，輸送部使手部吸附收納于供給托盤的新的電子部件，使手部再次朝向檢查插座移動(dòng)。然而，為了高效進(jìn)行這種電子部件的檢查，優(yōu)選使檢查后的電子部件從檢查插座脫離后至將下一電子部件配置于檢查插座的時(shí)間較短。因此，為了縮短這樣的時(shí)間，在專利文獻(xiàn)I公開了以下的分選機(jī)。S卩，專利文獻(xiàn)I所記載的分選機(jī)具有相互獨(dú)立控制的一對輸送部，針對利用該一對輸送部輸送的電子部件的檢查在共用的檢查插座中交替進(jìn)行。在進(jìn)行保持于一方的輸送部的手部的電子部件的檢查期間，另一方的輸送部使從手部排出檢查后的電子部件，且使該手部重新保持檢查前的電子部件，使在檢查插座的附近待機(jī)。根據(jù)這樣的構(gòu)成，保持于一方的輸送部的手部的電子部件從檢查插座脫離后，立即將保持于另一方的輸送部的手部的電子部件配置于檢查插座。因此，能夠高效地進(jìn)行電子部件的檢查。專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-148307號公報(bào)近些年，為了提高電子部件的檢查效率，在一次的檢查中，嵌入至檢查插座的電子部件的個(gè)數(shù)逐漸增多。然而，若通過手部壓入的電子部件的個(gè)數(shù)增多，則會帶來手部本身的大型化、重量化，使得電子部件的輸送速度降低、電子部件的輸送距離增大。因此，在上述的分選機(jī)中，雖通過使手部大型化，能夠使嵌入至檢查插座的電子部件增加，但在抑制手部的大型化所引起的輸送速度降低、輸送距離增大的輸送效率降低的方面，依然留有改善的余地。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述實(shí)際情況而完成的，其目的在于提供維持手部能夠保持的輸送對象物的個(gè)數(shù)，且增加配置于設(shè)置在基臺的開口部的輸送對象物的個(gè)數(shù)，且能夠高效地進(jìn)行多個(gè)輸送對象物的輸送的分選機(jī)以及部件檢查裝置。本發(fā)明的方式之一的分選機(jī)具備基臺，其具有開口部；第I輸送部，其具有保持輸送對象物的第I手部，使該第I手部移動(dòng)至與上述開口部對置的位置后，朝向上述開口部移動(dòng)；第2輸送部，其具有保持輸送對象物的第2手部，使該第2手部移動(dòng)至與上述開口部對置的位置后，朝向上述開口部移動(dòng)；以及控制部，其控制上述第I輸送部的動(dòng)作和上述第2輸送部的動(dòng)作，具有上述第I手部以及上述第2手部從相互分離的位置以相互不同的方向移動(dòng)至與上述開口部對置的位置后，朝向上述開口部移動(dòng)，從而該第I手部和該第2手部鄰接配置于上述開口部的狀態(tài)。另外，本發(fā)明的方式之一的部件檢查裝置具備檢查電子部件的測試器；搭載上述測試器，且將上述電子部件壓入至該測試器的檢查插座的分選機(jī)，上述分選機(jī)具備基臺，其具有使上述檢查插座露出的開口部；第I輸送部，其具有保持輸送對象物的第I手部，使該第I手部移動(dòng)至與上述開口部對置的位置后，朝向上述開口部移動(dòng)；第2輸送部，其具有保持輸送對象物的第2手部，使該第2手部移動(dòng)至與上述開口部對置的位置后，朝向上述開口部移動(dòng)；控制部，其控制上述第I輸送部的動(dòng)作和上述第2輸送部的動(dòng)作，具有上述第I手部以及上述第2手部從相互分離的位置以相互不同的方向移動(dòng)至與上述開口部對置的位置后，朝向上述開口部移動(dòng)，從而該第I手部和該第2手部鄰接配置于上述開口部的狀態(tài)。 根據(jù)本發(fā)明的方式之一，具有第I手部和第2手部以朝向與開口部對置的位置相互靠近的方式移動(dòng)后，朝向開口部移動(dòng)，從而并排配置于開口部的狀態(tài)。因此，與僅通過第I手部將輸送對象物輸送至開口部的方式和僅通過第2手部將輸送對象物輸送至開口部的方式相比，能夠維持該手部能夠保持的輸送對象物的個(gè)數(shù)，且增加輸送至開口部的輸送對象物的個(gè)數(shù)。即，不使手部大型化，就能夠增加輸送至開口部的輸送對象物的個(gè)數(shù)。因此，手部的大型化引起的輸送速度的降低、輸送距離的增大被抑制，所以使向作為輸送目的地的開口部輸送的輸送對象物的個(gè)數(shù)增加，且能夠高效地進(jìn)行多個(gè)輸送對象物的輸送。在本發(fā)明的方式之一，上述第I輸送部使上述第I手部在上述開口部配置上述第I手部的第I位置和進(jìn)行利用上述第I手部的輸送對象物的保持以及排出的第I交接位置之間移動(dòng)，上述第2輸送部使上述第2手部在上述開口部配置上述第2手部的第2位置和進(jìn)行利用上述第2手部的輸送對象物的保持以及排出的第2交接位置之間移動(dòng)，具有配置于上述第I位置的上述第I手部以及配置于上述第2位置的上述第2手部以從上述開口部脫離的方式移動(dòng)后，朝向各自的交接位置向相互不同的方向移動(dòng)的狀態(tài)。根據(jù)本發(fā)明的方式之一，由于第I手部和第2手部以從與開口部對置的位置相互遠(yuǎn)離的方式移動(dòng)，所以第I手部一邊保持后續(xù)的輸送對象物一邊移動(dòng)的時(shí)刻和第2手部一邊保持后續(xù)的輸送對象物一邊移動(dòng)的時(shí)刻容易重合。其結(jié)果，通過第I輸送部移動(dòng)至開口部的第I手部和通過第2輸送部移動(dòng)至開口部的第2手部容易再次在開口部相互鄰接。因此，上述的效果更加顯著。本發(fā)明的方式之一具備第I梭動(dòng)構(gòu)件，其分別設(shè)置有將要由上述第I手部保持的上述輸送對象物供給至該第I手部的第I供給托盤和從該第I手部回收上述第I手部排出的上述輸送對象物的第I回收托盤；第2梭動(dòng)構(gòu)件，其分別設(shè)置有將要由上述第2手部保持的上述輸送對象物供給至該第2手部的第2供給托盤和從該第2手部回收上述第2手部保持的上述輸送對象物的第2回收托盤，上述控制部控制上述第I梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作和上述第2梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作，將配置于上述第I交接位置的托盤交替更換成上述第I供給托盤和上述第I回收托盤，且將配置于上述第2交接位置的托盤交替更換成上述第2供給托盤和上述第2回收托盤。這里，在供給托盤和回收托盤是共用的托盤的情況下，從手部排出該手部保持的輸送對象物后至保持下一輸送對象物的期間，依次執(zhí)行從托盤回收從該手部排出的輸送對象物，將下一輸送對象物供給至該托盤。即，手部必須待機(jī)至下一輸送對象物被供給至托盤，由此存在輸送對象物的輸送效率顯著下降的問題。在該點(diǎn)上，若是上述的方式，將配置于各交接位置的托盤交替更換成供給托盤和回收托盤。因此，在交接位置從供給托盤接受了輸送對象物的供給的手部再次返回至交接位置的期間，能夠?qū)⑴渲糜诮唤游恢玫耐斜P從供給托盤更換成回收托盤。而且，在回收托盤被配置于交接位置的期間，能夠?qū)⑾乱惠斔蛯ο笪锕┙o至供給托盤。另外，若從手部向配置于交接位置的回收托盤排出輸送對象物，則為了將新的輸送對象物供給至手部，將配置于交接位置的托盤更換成供給托盤。在供給托盤被配置于交接位置的期間，能夠回收排出至回收托盤的輸送對象物。換句話說，在上述的方式之一，能夠在各手部移動(dòng)的期間進(jìn)行向供給托盤的輸送對象物的供給和從回收托盤的輸送對象物的回收。其結(jié)果，與供給托盤和回收托盤為共用的托盤的情況相比，在輸送對象物的保持以及排出時(shí)，能夠縮短手部的待機(jī)時(shí)間。因此，能夠順暢地進(jìn)行利用手部的輸送對象物的供給以及回收。本發(fā)明的方式之一具有在上述第I交接位置配置有上述第I供給托盤，且在上述第2交接位置配置有上述第2供給托盤的狀態(tài)。根據(jù)本發(fā)明的方式之一，由于在第I交接位置配置第I供給托盤，且在第2交接位置配置第2供給托盤，所以在向第I手部供給輸送對象物時(shí)，能夠向第2手部供給輸送對象物。因此，能夠縮短在第I手部和第2手部朝向與開口部對置的位置相互靠近前，另一方的手部等待向一方的手部供給輸送對象物結(jié)束的期間。本發(fā)明的方式具有在上述第I交接位置配置上述第I回收托盤，且在上述第2交接位置配置上述第2回收托盤的狀態(tài)。根據(jù)本發(fā)明的方式之一，由于在第I交接位置配置第I回收托盤，且在第2交接位置配置第2回收托盤，因此在回收第I手部保持的輸送對象物時(shí)，能夠回收第2手部保持的輸送對象物。因此，能夠縮短在第I手部和第2手部從與開口部對置的位置相互遠(yuǎn)離后，另一方的手部等待針對一方的手部的回收輸送對象物結(jié)束的期間。在本發(fā)明的方式之一，上述控制部以在相同的時(shí)刻進(jìn)行對上述第I交接位置的上述第I供給托盤的配置和對上述第2交接位置的上述第2供給托盤的配置的方式控制上述第I梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作和上述第2梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作，并且，上述控制部以在相同的時(shí)刻進(jìn)行對上述第I交接位置的上述第I回收托盤的配置和對上述第2交接位置的上述第2回收托盤的配置的方式控制上述第I梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作和上述第2梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作。根據(jù)本發(fā)明的方式之一，由于第I梭動(dòng)構(gòu)件和第2梭動(dòng)構(gòu)件進(jìn)行相同的動(dòng)作，所以能夠有效縮短另一方的手部等待針對一方的手部的供給輸送對象物結(jié)束的期間。另外，也能夠更加有效地縮短另一方的手部等待針對一方的手部的回收輸送對象物結(jié)束的期間。
在本發(fā)明的方式之一中，上述控制部以在相同的時(shí)刻進(jìn)行利用上述第I手部的上述輸送對象物的保持和利用上述第2手部的上述輸送對象物的保持的方式控制上述第I輸送部的動(dòng)作和上述第2輸送部的動(dòng)作，并且，上述控制部以在相同的時(shí)刻進(jìn)行利用上述第I手部的上述輸送對象物的排出和利用上述第2手部的上述輸送對象物的排出的方式控制上述第I輸送部的動(dòng)作和上述第2輸送部的動(dòng)作。根據(jù)本發(fā)明的方式之一，由于第I輸送部和第2輸送部進(jìn)行相同的動(dòng)作,所以能夠更加有效地縮短另一方的手部等待針對一方的手部供給輸送對象物結(jié)束的期間。另外，也能夠更加有效地縮短另一方的手部等待針對一方的手部的回收輸送對象物結(jié)束的期間。


圖1是表示搭載有本發(fā)明的一實(shí)施方式的分選機(jī)的部件檢查裝置的全體構(gòu)成的構(gòu)成圖。圖2是示意地表示該實(shí)施方式的分選機(jī)的端面構(gòu)造的端面圖。圖3是表示該實(shí)施方式的分選機(jī)的電氣構(gòu)成的框圖。圖4是表不該實(shí)施方式的分選機(jī)的第I工作方式的時(shí)序圖。圖5(a) (d)是表示第I工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。圖6(a) (d)是表示第I工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。圖7是表不該實(shí)施方式的分選機(jī)中的第2工作方式的時(shí)序圖。圖8(a) (d)是表示第2工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。圖9(a)、(b)是表示第2工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。圖10是表不該實(shí)施方式的分選機(jī)中的第3工作方式的時(shí)序圖。圖11(a) (d)是表示第3工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。圖12(a) (C)是表示第3工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。圖13是表不該實(shí)施方式的分選機(jī)中的第4工作方式的時(shí)序圖。圖14(a) (d)是表示第4工作方式中的輸送單元的配置的端面圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照圖1 圖14對將本發(fā)明的分選機(jī)具體化的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。首先，參照圖1以及圖2對使用了分選機(jī)的部件檢查裝置的構(gòu)成進(jìn)行說明。部件檢查裝置的構(gòu)成如圖1所示，在分選機(jī)10的基臺11上設(shè)置有搭載各種機(jī)械手的搭載面Ila作為上表面，該搭載面Ila的大部分被罩部件12覆蓋。被上述罩部件12和搭載面Ila圍起的空間亦即輸送空間的濕度和溫度通過從部件檢查裝置的外部供給的干燥空氣維持在規(guī)定的值。在基臺11的搭載面Ila上,沿一個(gè)方向延伸的4個(gè)傳送帶沿與該傳送帶的輸送方向正交的方向排列。4個(gè)傳送帶中，在傳送帶的排列方向亦即X方向的一側(cè)敷設(shè)有一個(gè)供給用傳送帶Cl，在X方向的另一側(cè)敷設(shè)有3個(gè)回收用傳送帶C2、C3、C4。而且，利用供給用傳送帶Cl，將供給用傳送帶托盤Cla從罩部件12的外側(cè)輸送至內(nèi)側(cè)。而且，利用回收用傳送帶C2、C3、C4，將回收用傳送帶托盤C2a、C3a、C4a從罩部件12的內(nèi)側(cè)輸送至外側(cè)。此外，在供給用傳送帶托盤Cla收納有作為輸送對象物的多個(gè)電子部件T，而且，在回收用傳送帶托盤C2a、C3a、C4a收納有檢查后的多個(gè)電子部件T。此外，在本實(shí)施方式的供給用傳送帶托盤Cla以及回收用傳送帶托盤C2a、C3a、C4a中，沿X方向以及Y方向以矩陣狀收納多個(gè)電子部件T。在上述基臺11的搭載面Ila上搭載有在X方向相互相對的供給機(jī)械手20和回收機(jī)械手40。供給機(jī)械手20配置于供給用傳送帶Cl的Y方向，另外，回收機(jī)械手40配置于回收用傳送帶C2、C3、C4的Y方向。供給機(jī)械手20具有沿Y方向延伸的固定軸亦即供給側(cè)固定引導(dǎo)件21、與供給側(cè)固定引導(dǎo)件21連結(jié)的可動(dòng)軸亦即供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22、與供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22連結(jié)且沿供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22移動(dòng)的供給用手部單元23。供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22是從供給側(cè)固定引導(dǎo)件21向回收機(jī)械手40側(cè)延伸的可動(dòng)軸，以沿Y方向能夠往復(fù)運(yùn)動(dòng)的方式與供給側(cè)固定引導(dǎo)件21連結(jié)。供給用手部單元23是配置于供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22的搭載面Ila側(cè)的手端操作裝置，以沿X方向能夠往復(fù)運(yùn)動(dòng)的方式與供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22連結(jié)。而且，供給用手部單元23以能夠從供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22朝向搭載面IIa下降，和從搭載面IIa側(cè)朝向供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22上升的方式與供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22連結(jié)。而且，供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22沿供給側(cè)固定引導(dǎo)件21向供給用傳送帶Cl側(cè)移動(dòng)，且供給用手部單元23沿供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22移動(dòng)至供給用傳送帶托盤Cla的上方。由此，載置于供給用傳送帶托盤Cla的電子部件T被供給用手部單元23的吸盤吸附，然后從供給用傳送帶托盤被抬起。另外，從該狀態(tài)，供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22沿供給側(cè)固定引導(dǎo)件21從供給用傳送帶Cl上離開，從而被供給用手部單元23吸附的電子部件T被供給至上述的輸送空間內(nèi)的規(guī)定的位置。此外，本實(shí)施方式的供給用手部單元23同時(shí)吸附保持多個(gè)電子部件?；厥諜C(jī)械手40與供給機(jī)械手20相同，具有沿Y方向延伸的固定軸亦即回收側(cè)固定引導(dǎo)件41、與回收側(cè)固定引導(dǎo)件41連結(jié)的可動(dòng)軸亦即回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42、與回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42連結(jié)且沿回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42在X方向移動(dòng)的回收用手部單元43?；厥諅?cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42是從回收側(cè)固定引導(dǎo)件41向供給機(jī)械手20側(cè)延伸的可動(dòng)軸，以能夠沿Y方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)的方式與回收側(cè)固定引導(dǎo)件41連結(jié)。回收用手部單元43是配置于回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42的搭載面Ila側(cè)的手端操作裝置，以能夠沿X方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)的方式與回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42連結(jié)。另外，回收用手部單元43以能夠從回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42朝向搭載面Ila下降和從搭載面Ila側(cè)朝向回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42上升的方式與回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42連結(jié)。而且，回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42沿回收側(cè)固定引導(dǎo)件41向回收用傳送帶C2、C3、C4側(cè)移動(dòng)，且回收用手部單元43沿著回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42移動(dòng)至回收用傳送帶托盤C2a、C3a、C4a的上方。由此，被回收用手部單元43的吸盤吸附的電子部件T被載置在回收用傳送帶托盤C2a、C3a、C4a上。此外，本實(shí)施方式的回收用手部單元43與供給用手部單元23相同，同時(shí)吸附保持多個(gè)電子部件。另外，在罩部件12的內(nèi)側(cè)面且在該內(nèi)側(cè)面的X方向的大致中央固定有沿Y方向延伸的輸送引導(dǎo)件31。在該輸送引導(dǎo)件31的兩端部的下方配設(shè)有沿X方向延伸的第I梭動(dòng)構(gòu)件(shuttle) 32和同樣沿X方向延伸的第2梭動(dòng)構(gòu)件35。第I梭動(dòng)構(gòu)件32與固定設(shè)置于搭載面Ila的沿X方向延伸的第I梭動(dòng)構(gòu)件引導(dǎo)件32c連結(jié) 且沿X方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。在第I梭動(dòng)構(gòu)件32的上述供給機(jī)械手20側(cè)固定有作為第I供給托盤的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a，另外，在第I梭動(dòng)構(gòu)件32的上述回收機(jī)械手40側(cè)固定有作為第I回收托盤的回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b。在供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a收納有作為處理對象的檢查前的多個(gè)電子部件T，另外，在回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b收納有檢查后的多個(gè)電子部件T。而且，第I梭動(dòng)構(gòu)件32的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a配置于供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22的下方，且回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b配置于位于輸送引導(dǎo)件31的下方的位置的供給位置。而且，第I梭動(dòng)構(gòu)件32的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a配置于輸送引導(dǎo)件31的下方，且回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b配置于位于回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42的下方的位置的回收位置。而且，第I梭動(dòng)構(gòu)件32在供給位置和回收位置之間沿X方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。S卩，第I梭動(dòng)構(gòu)件32在利用供給用手部單元23能夠向供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a供給電子部件T的供給位置和利用回收用手部單元43能夠從回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b回收電子部件的回收位置之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)。除此之外，第2梭動(dòng)構(gòu)件35也與固定設(shè)置于搭載面Ila的沿X方向延伸的第2梭動(dòng)構(gòu)件引導(dǎo)件35c連結(jié)，沿X方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。在第2梭動(dòng)構(gòu)件35的上述供給機(jī)械手20側(cè)固定有作為第2供給托盤的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a，另外，在第2梭動(dòng)構(gòu)件35的上述回收機(jī)械手40側(cè)固定有作為第2回收托盤的回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b。在供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a收納作為輸送對象的檢查前的多個(gè)電子部件T，另外，在回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b收納檢查后的多個(gè)電子部件T。而且，第2梭動(dòng)構(gòu)件35的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a配置于供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22的下方，且回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b配置于位于輸送引導(dǎo)件31的下方的位置的供給位置。另外，第2梭動(dòng)構(gòu)件35的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a配置于輸送引導(dǎo)件31的下方，且回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b配置于位于回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42的下方的位置的回收位置。而且，第2梭動(dòng)構(gòu)件35在供給位置和回收位置之間沿X方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。S卩，第2梭動(dòng)構(gòu)件35在利用供給用手部單元23能夠向供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a供給電子部件T的供給位置和利用回收用手部單元43能夠從回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b回收電子部件T的回收位置之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)。另外，在本實(shí)施方式的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a、35a以及回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b、35b，在X方向以及Y方向以矩陣狀收納多個(gè)電子部件T。即，供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a、35a通過利用供給用手部單元23接受兩次電子部件T的供給，而載滿電子部件T。另外，回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b、35b通過利用回收用手部單元43接受兩次電子部件T的回收，而回收全部的電子部件T。另外，搭載面Ila中，在輸送空間的大致中央形成有貫通搭載面Ila的矩形狀的開口部45。在該開口部45安裝有與分選機(jī)10獨(dú)立的裝置亦即測試器的測試頭33。測試頭33是嵌入電子部件T的插座，與用于檢查該電子部件T的檢查電路電連接。在測試頭33的上表面凹設(shè)有能夠同時(shí)收納多個(gè)電子部件T的檢查用凹部33a，另夕卜，在檢查用凹部33a的底面凹設(shè)有能夠與電子部件T的陽端子嵌合的多個(gè)陰端子。而且，通過將電子部件T所具有的陽端子嵌入至檢查用凹部33a的陰端子，能夠利用測試器檢查電子部件T的電氣特性。測試器從分選機(jī)接受表示檢查開始的電信號，開始電子部件T的檢查，將其檢查結(jié)果輸出至分選機(jī)10。另外，在上述輸送引導(dǎo)件31上沿Y方向排列連結(jié)有第I輸送單元34和第2輸送單元36。如圖2所示，構(gòu)成第I輸送單元34的水平移動(dòng)臂51以能夠沿輸送引導(dǎo)件31往復(fù)運(yùn)動(dòng)的方式連結(jié)。水平移動(dòng)臂51通過內(nèi)置的輸送馬達(dá)MA正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，沿輸送引導(dǎo)件31進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)。在水平移動(dòng)臂51的下端部連結(jié)有相對水平移動(dòng)臂51能夠上升以及下降的垂直移動(dòng)臂52。垂直移動(dòng)臂52通過內(nèi)置于水平移動(dòng)臂51的按壓馬達(dá)MB正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，相對水平移動(dòng)臂51上升或下降。另外，在垂直移動(dòng)臂52的下端部例如連結(jié)有具有多個(gè)吸附部54的第I手部53，其中，上述吸附部54是能夠利用真空吸附來吸附電子部件T的手端操作裝置。吸附部54例如由吸嘴、與該吸嘴連接的吸引泵、將壓縮空氣供給至該吸嘴的放氣閥等構(gòu)成。此外，包含這些輸送引導(dǎo)件31、水平移動(dòng)臂51、輸送馬達(dá)MA、垂直移動(dòng)臂52、按壓馬達(dá)MB以及第I手部53而構(gòu)成第I輸送部。S卩，第I輸送單元34具有第I手部53與第I梭動(dòng)構(gòu)件32相互相對的狀態(tài)和第I手部53與開口部45相互相對的狀態(tài)。另外，第I輸送單兀34使第I手部53在輸送引導(dǎo)件31和搭載面Ila之間沿Z方向上升以及下降。而且，第I輸送單元34利用第I手部53保持收納于第I梭動(dòng)構(gòu)件32的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a的檢查前的電子部件T，將電子部件T從作為輸送源的第I梭動(dòng)構(gòu)件32的上方輸送至測試頭33的上方。另外，第I輸送單元34以第I手部53保持處于測試頭33的檢查后的電子部件T，使第I手部53返回作為輸送源的第I往返機(jī)32的上方。而且，第I輸送單元34將第I手部53保持的電子部件T輸送至第I梭動(dòng)構(gòu)件32的回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b。此外，本實(shí)施方式中，在第I手部53移動(dòng)的范圍內(nèi)，在第I手部53配置于第I檢查位置的狀態(tài)下，將電子部件T嵌入至測試頭33。另外，在第I手部53移動(dòng)的范圍內(nèi)，在第I手部53配置于第I交接位置的狀態(tài)下，利用第I梭動(dòng)構(gòu)件32中的任意的托盤進(jìn)行電子部件T的交接。如圖2所示，構(gòu)成第2輸送單元36的水平移動(dòng)臂56以沿輸送引導(dǎo)件31能夠往復(fù)運(yùn)動(dòng)的方式連結(jié)。水平移動(dòng)臂56通過內(nèi)置的輸送馬達(dá)MA正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，沿輸送引導(dǎo)件31往復(fù)運(yùn)動(dòng)。在水平移動(dòng)臂56的下端部連結(jié)有相對水平移動(dòng)臂56能夠上升以及下降的垂直移動(dòng)臂57。垂直移動(dòng)臂57通過內(nèi)置于水平移動(dòng)臂51的按壓馬達(dá)MB正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，相對水平移動(dòng)臂51上升或下降。另外，在垂直移動(dòng)臂57的下端部例如連結(jié)有具有多個(gè)吸附部59的第2手部58，其中，上述吸附部59是利用能夠真空吸附來吸附電子部件T的手端操作裝置。吸附部59例如由吸附用的吸嘴、與該吸嘴連接的吸引泵、向該吸嘴供給壓縮空氣的放氣閥等構(gòu)成。此夕卜，包含這些輸送引導(dǎo)件31、水平移動(dòng)臂56、輸送馬達(dá)MA、垂直移動(dòng)臂57、按壓馬達(dá)MB以及第2手部58而構(gòu)成第2輸送部。S卩，第2輸送單元36具有第2手部58與第2梭動(dòng)構(gòu)件35相互相對的狀態(tài)和第2手部58與開口部45相互相對的狀態(tài)。另外，第2輸送單兀36使第2手部58在輸送引導(dǎo)件31和搭載面Ila之間沿Z方向上升以及下降。而且，第2輸送單元36利用第2手部58保持收納于第2梭動(dòng)構(gòu)件35的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a的檢查前的電子部件T，將電子部件T從作為輸送源的第2梭動(dòng)構(gòu)件35的上方輸送至測試頭33的上方。另外，第2輸送單元36利用第2手部58保持處于測試頭33的檢查后的電子部件T，使第2手部58返回至作為輸送源的第2梭動(dòng)構(gòu)件35的上方。而且，第2輸送單元36將第2手部58所保持的電子部件T輸送至第2梭動(dòng)構(gòu)件35的回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b。此外，本實(shí)施方式中，在第2手部58移動(dòng)的范圍內(nèi)，在第2手部58配置于第2檢查位置的狀態(tài)下，將電子部件T嵌入至測試頭33。另外，在第2手部58移動(dòng)的范圍內(nèi)，在第2手部58配置于第2交接位置的狀態(tài)下，利用第2梭動(dòng)構(gòu)件35中的任意的托盤進(jìn)行電子部件T的交接。另外，分選機(jī)10的開口部45形成為第I手部53和第2手部58在Y方向能夠排列插入的大小。即，開口部45形成為，沿Y方向排列配置第I手部53保持的電子部件T和第2手部58保持的電子部件T，能夠?qū)⑦@些電子部件T安裝到測試頭33的大小。分選機(jī)10的電氣構(gòu)成參照圖3，以分選機(jī)10的電氣構(gòu)成為中心對上述部件檢查裝置的電氣構(gòu)成進(jìn)行說明。上述分選機(jī)10所具備的構(gòu)成控制部的控制裝置60以具有中央處理裝置(CPU)、非易失性存儲器(ROM)以及易失性存儲器(RAM)的微型計(jì)算機(jī)為中心而構(gòu)成?？刂蒲b置60基于存儲于上述ROM以及RAM的各種數(shù)據(jù)以及程序，進(jìn)行分選機(jī)10的動(dòng)作所涉及的各種控制。在控制裝置60電連接有使傳送帶馬達(dá)MC旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的傳送帶驅(qū)動(dòng)部61。在傳送帶驅(qū)動(dòng)部61連接有檢測傳送帶馬達(dá)MC的旋轉(zhuǎn)位置的編碼器EMC。傳送帶驅(qū)動(dòng)部61基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMC輸入的傳送帶馬達(dá)MC的旋轉(zhuǎn)位置，生成傳送帶馬達(dá)MC的驅(qū)動(dòng)電流，且將該驅(qū)動(dòng)電流輸出至傳送帶馬達(dá)MC。傳送帶馬達(dá)MC通過進(jìn)行與上述驅(qū)動(dòng)電流對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)，來驅(qū)動(dòng)上述傳送帶Cl C4。此外,按每個(gè)傳送帶Cl C4設(shè)置有上述傳送帶驅(qū)動(dòng)部61以及傳送帶馬達(dá)MC，而且，針對各傳送帶馬達(dá)MC設(shè)置編碼器EMC。即，控制裝置60在使各傳送帶Cl C4的動(dòng)作相互獨(dú)立的方式下進(jìn)行控制。另外，在控制裝置60電連接有使X軸馬達(dá)MX旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的X軸引導(dǎo)件驅(qū)動(dòng)部62。在X軸引導(dǎo)件驅(qū)動(dòng)部62連接有檢測X軸馬達(dá)MX的旋轉(zhuǎn)位置的編碼器EMX。X軸引導(dǎo)件驅(qū)動(dòng)部62基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMX輸入的旋轉(zhuǎn)位置，生成X軸馬達(dá)MX的驅(qū)動(dòng)電流，且將該驅(qū)動(dòng)電流輸出至X軸馬達(dá)MX。X軸馬達(dá)MX通過進(jìn)行與輸入的上述驅(qū)動(dòng)電流對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)，來使上述手部單元23、43沿可動(dòng)引導(dǎo)件22、42往復(fù)運(yùn)動(dòng)。此外，分別針對供給用手部單元23以及回收用手部單元43設(shè)置有上述X軸引導(dǎo)件驅(qū)動(dòng)部62以及X軸馬達(dá)MX，而且，針對各X軸馬達(dá)MX設(shè)置編碼器EMX。在控制裝置60連接有使Y軸馬達(dá)MY旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的Y軸引導(dǎo)件驅(qū)動(dòng)部63。在Y軸引導(dǎo)件驅(qū)動(dòng)部63連接有檢測Y軸馬達(dá)MY的旋轉(zhuǎn)位置的編碼器EMY。Y軸引導(dǎo)件驅(qū)動(dòng)部63基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMY輸入的旋轉(zhuǎn)位置，生成Y軸馬達(dá)MY的驅(qū)動(dòng)電流，且將該驅(qū)動(dòng)電流輸出至Y軸馬達(dá)MY。Y軸馬達(dá)MY通過進(jìn)行與輸入的上述驅(qū)動(dòng)電流對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)，使上述可動(dòng)引導(dǎo)件22、42沿固定引導(dǎo)件21、41往復(fù)運(yùn)動(dòng)。此外，分別針對供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件22以及回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件42設(shè)置有上述Y軸引導(dǎo)件驅(qū)動(dòng)部63以及Y軸馬達(dá)MY，另外，針對各Y軸馬達(dá)MY設(shè)置編碼器EMY。在控制裝置60連接有具有手部馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部64a和閥驅(qū)動(dòng)部64b的手部單元驅(qū)動(dòng)部64。其中，在手部馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部64a連接有檢測手部馬達(dá)MZ的旋轉(zhuǎn)位置的編碼器EMZ。手部馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部64a基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMZ輸入的旋轉(zhuǎn)位置，生成手部馬達(dá)MZ的驅(qū)動(dòng)電流，且將該驅(qū)動(dòng)電流輸出至手部馬達(dá)MZ。手部馬達(dá)MZ通過進(jìn)行與輸入的上述驅(qū)動(dòng)電流對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)，使上述手部單元23、43上升以及下降。在閥驅(qū)動(dòng)部64b連接有設(shè)置于手部單元23、43的前端的吸引閥SVl和放氣閥DVl。閥驅(qū)動(dòng)部64b基于從控制裝置60輸入的吸引閥SVl的開閉指令，生成吸引閥SVl的驅(qū)動(dòng)信號，且將該驅(qū)動(dòng)信號輸出至吸引閥SV1。吸引閥SVl通過進(jìn)行與輸入的上述驅(qū)動(dòng)信號對應(yīng)的開閉動(dòng)作，以規(guī)定的吸引力吸引上述電子部件T。另外，閥驅(qū)動(dòng)部64b基于從控制裝置60輸入的放氣閥DVl的開閉指令，生成放氣閥DVl的驅(qū)動(dòng)信號，且將該驅(qū)動(dòng)信號輸出至放氣閥DV1。放氣閥DVl通過進(jìn)行與輸入的上述驅(qū)動(dòng)信號對應(yīng)的開閉動(dòng)作，從吸盤送出壓縮空氣。此外，分別針對供給用手部單元23以及回收用手部單元43設(shè)置有上述手部單元驅(qū)動(dòng)部64、手部馬達(dá)MZ、吸引閥SVl以及放氣閥DV1，而且，分別針對手部馬達(dá)MZ設(shè)置有編碼器EMZ。 即，控制裝置60以使供給用手部單元23的動(dòng)作和回收用手部單元43的動(dòng)作相互獨(dú)立的方式進(jìn)行控制。另外，在控制裝置60連接有使梭動(dòng)構(gòu)件馬達(dá)MS旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的梭動(dòng)構(gòu)件驅(qū)動(dòng)部65。在梭動(dòng)構(gòu)件驅(qū)動(dòng)部65連接有檢測梭動(dòng)構(gòu)件馬達(dá)MS的旋轉(zhuǎn)位置的編碼器EMS。梭動(dòng)構(gòu)件驅(qū)動(dòng)部65基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMS輸入的旋轉(zhuǎn)位置，生成梭動(dòng)構(gòu)件馬達(dá)MS的驅(qū)動(dòng)電流，且將該驅(qū)動(dòng)電流輸出至梭動(dòng)構(gòu)件馬達(dá)MS。梭動(dòng)構(gòu)件馬達(dá)MS通過進(jìn)行與輸入的上述驅(qū)動(dòng)電流對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)，使梭動(dòng)構(gòu)件32、35沿上述引導(dǎo)件32c、35c滑動(dòng)。此夕卜，分別針對第I梭動(dòng)構(gòu)件32以及第2梭動(dòng)構(gòu)件35設(shè)置有上述梭動(dòng)構(gòu)件驅(qū)動(dòng)部65以及梭動(dòng)構(gòu)件馬達(dá)MS，而且，針對各梭動(dòng)構(gòu)件馬達(dá)MS設(shè)置有編碼器EMS。S卩，控制裝置60以使第I梭動(dòng)構(gòu)件32的動(dòng)作和第2梭動(dòng)構(gòu)件35的動(dòng)作相互獨(dú)立的方式進(jìn)行控制。另外，在控制裝置60連接有具有輸送馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部66a、按壓馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部66b以及吸引閥驅(qū)動(dòng)部66c的輸送單元驅(qū)動(dòng)部66。在輸送馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部66a連接有檢測輸送馬達(dá)MA的旋轉(zhuǎn)位置的編碼器EMA。輸送馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部66a基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMA輸入的旋轉(zhuǎn)位置，生成輸送馬達(dá)MA的驅(qū)動(dòng)電流，且將該驅(qū)動(dòng)電流輸出至輸送馬達(dá)MA。輸送馬達(dá)MA通過進(jìn)行與輸入的上述驅(qū)動(dòng)電流對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)，使上述水平移動(dòng)臂沿上述輸送引導(dǎo)件31往復(fù)運(yùn)動(dòng)。此外，分別針對第I輸送單元34以及第2輸送單元36設(shè)置有上述輸送馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部66a，而且，分別針對第I輸送單元34以及第2輸送單元36也設(shè)置有編碼器EMA。在按壓馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部66b連接有檢測按壓馬達(dá)MB的旋轉(zhuǎn)位置的編碼器EMB。按壓馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部66b基于從控制裝置60輸入的位置指令和從編碼器EMB輸入的旋轉(zhuǎn)位置，生成按壓馬達(dá)MB的驅(qū)動(dòng)電流，且將該驅(qū)動(dòng)電流輸出至按壓馬達(dá)MB。按壓馬達(dá)MB通過進(jìn)行與輸入的上述驅(qū)動(dòng)電流對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)，使垂直移動(dòng)臂上升以及下降。此外，分別針對第I輸送單元34以及第2輸送單元36設(shè)置有上述按壓馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部66b，而且，分別針對第I輸送單元34以及第2輸送單元36也設(shè)置有編碼器EMB。在閥驅(qū)動(dòng)部66c連接有分別設(shè)置于第I手部53以及第2手部58的吸引閥SV2和放氣閥DV2。閥驅(qū)動(dòng)部66c基于從控制裝置60輸入的吸引閥SV2的開閉指令，生成吸引閥SV2的驅(qū)動(dòng)信號，且將該驅(qū)動(dòng)信號輸出至吸引閥SV2。而且，吸引閥SV2通過進(jìn)行與輸入的上述驅(qū)動(dòng)信號對應(yīng)的開閉動(dòng)作，以規(guī)定的吸引力吸引上述電子部件T。另外，閥驅(qū)動(dòng)部66c基于從控制裝置60輸入的放氣閥DV2的開閉指令，生成放氣閥DV2的驅(qū)動(dòng)信號，且將該驅(qū)動(dòng)信號輸出至放氣閥DV2。而且，放氣閥DV2通過進(jìn)行與輸入的上述驅(qū)動(dòng)信號對應(yīng)的開閉動(dòng)作，從手部的吸附部送出壓縮空氣。此外，分別針對第I輸送單元34以及第2輸送單元36設(shè)置有吸引閥SV2以及放氣閥DV2，而且，分別針對第I輸送單元34以及第2輸送單元36也設(shè)置有閥驅(qū)動(dòng)部66c。即，控制裝置60以使第I輸送單元34的動(dòng)作和第2輸送單元36的動(dòng)作相互獨(dú)立的方式進(jìn)行控制。另外，在控制裝置60電連接有收納于分選機(jī)10的測試器69?？刂蒲b置60在第I手部53配置于第I檢查位置,且第2手部58配置于第2檢查位置時(shí)，向測試器69輸出表示開始檢查的信號。測試器69通過接受檢查開始信號，開始電子部件T的檢查，若檢查結(jié)束，則將表示檢查結(jié)束的信號與其檢查結(jié)果一起輸出至控制裝置60。分選機(jī)10的工作方式接下來，參照圖4 圖14對上述的構(gòu)成的分選機(jī)10的工作方式進(jìn)行說明。其中，以下對相互不同的4個(gè)工作方式進(jìn)行說明，在各工作方式中，說明用測試器69實(shí)施電子部件T的檢查的期間亦即指數(shù)循環(huán)時(shí)間(index cycle time)最少的情況。圖4、7、10、13分別是表不相互不同的4個(gè)工作方式的時(shí)序圖,橫軸的I個(gè)刻度表不0.2秒。首先,對分選機(jī)10進(jìn)行的動(dòng)作中的、下述動(dòng)作A 動(dòng)作J進(jìn)行說明。供給動(dòng)作A供給用手部單元23在吸附了收納于供給用傳送帶托盤的電子部件T后，向作為供給對象的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤的上方移動(dòng)。而且，使手部在Z方向往復(fù)移動(dòng)后，將電子部件T供給至該供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤。這些一系列動(dòng)作亦即供給動(dòng)作A需要2. 2秒。S卩，若通過I次的供給動(dòng)作A輸送8個(gè)電子部件T，則供給用手部單元23每I小時(shí)能夠向供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤輸送最多13090個(gè)供給用傳送帶托盤的電子部件T。供給升降動(dòng)作B在上述供給動(dòng)作A中，供給用手部單元23在Z方向下降以及上升來吸附供給用傳送帶托盤的電子部件T的動(dòng)作、在Z方向下降以及上升將電子部件T載置到供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤上的動(dòng)作這些各動(dòng)作的供給升降動(dòng)作B需要0. 4秒。輸送動(dòng)作C輸送單元34、36在使手部53、58從交接位置的上方移動(dòng)至檢查位置的上方的動(dòng)作、使手部53、58從檢查位置的上方移動(dòng)至交接位置的上方的動(dòng)作這些各動(dòng)作的輸送動(dòng)作C需要0. 5秒。此時(shí)，輸送單元34、36使2個(gè)手部53、58朝向檢查位置的上方的開口部45的上方相互靠近，在使2個(gè)手部53、58并排的狀態(tài)下配置在各自的檢查位置。另外，輸送單元34、36使2個(gè)手部53、58移動(dòng)，使得從并排在各自的檢查位置的狀態(tài)，從開口部45上升后2個(gè)手部53、58相互遠(yuǎn)離。手部升降動(dòng)作D輸送單元34、36在使手部在交接位置的上方下降以及上升從而將供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤的電子部件T吸附于手部的動(dòng)作、使手部在交接位置的上方下降以及上升從而將電子部件排出至回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤的動(dòng)作這些各動(dòng)作的升降動(dòng)作需要0. 3秒。梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F各梭動(dòng)構(gòu)件32、35在供給位置和回收位置之間移動(dòng)需要0. 4秒?；厥談?dòng)作G回收用手部單元43吸附回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤的電子部件T后，向回收用傳送帶托盤的上方移動(dòng)。而且，將手部 在Z方向往復(fù)移動(dòng)后，移動(dòng)至收納作為下次的回收對象的電子部件T的回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤的上方。針對這些一系列的動(dòng)作的回收動(dòng)作G，回收用手部單元43需要2. 2秒。S卩，若通過I次的回收動(dòng)作G回收的電子部件T為8個(gè)，則回收用手部單元43每I小時(shí)能夠?qū)⒆疃?3090個(gè)回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤的電子部件T輸送至回收用傳送帶托盤?；厥丈祫?dòng)作H在上述回收動(dòng)作G中，回收用手部單元43在Z方向下降以及上升吸附回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤的電子部件T的動(dòng)作、在Z方向下降以及上升將電子部件T載置到回收用傳送帶托盤上的動(dòng)作這些各動(dòng)作的回收升降動(dòng)作H需要0. 4秒。待機(jī)動(dòng)作J回收用手部單元43在為了吸附供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a的電子部件T而第I手部53在Z方向的往復(fù)移動(dòng)期間，不從回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b回收電子部件T,而是待機(jī)。而且，回收用手部單元43在為了吸附供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a的電子部件T而第2手部58在Z方向的往復(fù)移動(dòng)的期間，也不從回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b回收電子部件T，而是待機(jī)。第I工作方式接下來，參照圖4 圖6對分選機(jī)10中的第I工作方式進(jìn)行說明。在第I工作方式中，各梭動(dòng)構(gòu)件32、35和各輸送單元34、36以滿足下述條件I 條件5的方式動(dòng)作。<條件1>各輸送單元34、36的輸送動(dòng)作C相互同步。<條件2>在各輸送單元34、36的手部升降動(dòng)作D中，相對于回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤的手部升降動(dòng)作D相互同步。<條件3>在各輸送單元34、36的手部升降動(dòng)作D中，相對于供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤的手部升降動(dòng)作D相互同步。<條件4>朝向各梭動(dòng)構(gòu)件32、35的供給位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F相互同步。<條件5>朝向各梭動(dòng)構(gòu)件32、35的回收位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F相互同步。首先，在圖4所示的時(shí)刻t0，各梭動(dòng)構(gòu)件32、35均配置于供給位置，各手部53、58配置于檢查位置，進(jìn)行被各手部53、58吸附的電子部件T的檢查(參照圖5(a))。而且，若從時(shí)刻t0經(jīng)過0. 8秒，則在時(shí)刻tl，電子部件T的檢查結(jié)束。若電子部件T的檢查結(jié)束，則各手部53、58從檢查位置向上方移動(dòng)，接著，以朝向交接位置的上方相互遠(yuǎn)離的方式進(jìn)行輸送動(dòng)作C后，進(jìn)而針對回收梭動(dòng)構(gòu)件托盤進(jìn)行上述手部升降動(dòng)作D (參照圖5(b))。若利用各手部53、58結(jié)束手部升降動(dòng)作D，則在時(shí)刻t2，各梭動(dòng)構(gòu)件32、35開始朝向回收位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F (參照圖5 (c))。接下來，若各梭動(dòng)構(gòu)件32、35到達(dá)回收位置，則在時(shí)刻t3，各手部53、58針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤開始手部升降動(dòng)作D。而且，若供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a、35a的電子部件T被各手部53、58吸附，則各手部53、58在時(shí)刻t4以朝向檢查位置的上方相互靠近的方式開始輸送動(dòng)作C。
此外，在從時(shí)刻t3至?xí)r刻t4的期間，各梭動(dòng)構(gòu)件32、35配置于回收位置，回收用手部單元43在回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b的上方進(jìn)行上述待機(jī)動(dòng)作J。若該待機(jī)動(dòng)作J結(jié)束，則回收用手部單元43針對回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b開始上述回收動(dòng)作G。此時(shí)，在從時(shí)刻t3經(jīng)過0.8秒后的時(shí)刻t5，如圖5(d)所示，首先，從回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b回收一部分的電子部件T。接下來，在從時(shí)刻t4經(jīng)過4. 4秒后的時(shí)刻t6，如圖6(a)所示，回收回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b的全部的電子部件T。
若回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b的電子部件T被回收，則回收用手部單元43在時(shí)刻t6繼續(xù)針對回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b開始上述回收動(dòng)作G。此時(shí)，回收用手部單元43首先在回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b和回收用傳送帶托盤C4a之間往復(fù)I次，將回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b的一部分的電子部件T回收至回收用傳送帶托盤C4a。接下來，為了吸附處于回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b的剩余的電子部件T，回收用手部單元43進(jìn)行回收升降動(dòng)作H。而且，在從時(shí)刻t6經(jīng)過2. 6秒后的時(shí)刻t7，如圖6(b)所示，回收回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b的全部的電子部件T。若第2梭動(dòng)構(gòu)件35的電子部件T被回收，則各梭動(dòng)構(gòu)件32、35從時(shí)刻t7進(jìn)行朝向供給位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F (參照圖6 (c))。而且，若結(jié)束梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F，則供給用手部單元23從時(shí)刻t8針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a開始上述供給動(dòng)作A。此時(shí)，為了在第I梭動(dòng)構(gòu)件32配置于供給位置的時(shí)刻t8準(zhǔn)時(shí)開始電子部件T的供給，從時(shí)刻t8的1. 8秒前，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T在第I梭動(dòng)構(gòu)件32的上方待機(jī)。而且，在時(shí)刻t8，供給用手部單元23開始供給升降動(dòng)作B。接下來，供給用手部單元23再次在供給用傳送帶托盤Cla和供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a之間往復(fù)，進(jìn)行向供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a供給剩余的電子部件T的供給動(dòng)作A (參照圖6(d))。若向第I梭動(dòng)構(gòu)件32供給電子部件T，則供給用手部單元23在時(shí)刻t9，繼續(xù)針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a開始上述供給動(dòng)作A。此時(shí)，供給用手部單元23在第2梭動(dòng)構(gòu)件35的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a和供給用傳送帶托盤Cla之間往復(fù)2次，將供給用傳送帶托盤Cla的電子部件T供給至供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a。而且，若向第2梭動(dòng)構(gòu)件35供給電子部件T，則各梭動(dòng)構(gòu)件32、35在時(shí)刻tl I，成為與前面的時(shí)刻t2的狀態(tài)相同的狀態(tài)。這里，與相對于前面的時(shí)刻t2的時(shí)刻tl相當(dāng)?shù)臅r(shí)刻是相對于時(shí)刻til的時(shí)刻tio。在第I工作方式中，若設(shè)定該時(shí)刻tio作為檢查結(jié)束的時(shí)刻，則從時(shí)刻tl至?xí)r刻tio的15. 2秒成為指數(shù)循環(huán)時(shí)間，從時(shí)刻t5至?xí)r刻tio的13. 2秒成為測試時(shí)間。換句話說，在第I工作方式中，若電子部件T的測試時(shí)間為13. 2秒以下，則維持指數(shù)循環(huán)時(shí)間15. 2秒。此時(shí)的每I個(gè)小時(shí)的電子部件T的處理數(shù)為，3600 秒 +15. 2 秒 X 32 個(gè)=236. 8. .. X 32 ^ 236X 32 = 7552 個(gè)。另一方面，在第I手部53保持的電子部件T和第2手部58保持的電子部件T交替配置于開口部45的構(gòu)成的分選機(jī)中，若將各手部53、58的調(diào)換時(shí)間設(shè)為0. 4秒，將測試時(shí)間設(shè)為7. 3秒,則每I個(gè)小時(shí)的處理數(shù)為，3600 秒 +7. 7 秒父16個(gè)=467. 5. . . X 16 ^ 467X16 = 7472 個(gè)。S卩，若電子部件T的測試時(shí)間為7. 3秒以上，則第I工作方式的分選機(jī)10能夠檢查更多的電子部件T。
第2工作方式接下來，參照圖7 圖9對分選機(jī)10中的第2工作方式進(jìn)行說明。在第2工作方式中，各梭動(dòng)構(gòu)件32、35和各輸送單元34、36以僅滿足上述的條件中的、條件I 4的方式進(jìn)行動(dòng)作。其中，在第2工作方式中，圖7中的從時(shí)刻tl至?xí)r刻t5的期間與第I工作方式中的從時(shí)刻tl至?xí)r刻t5的期間進(jìn)行相同的動(dòng)作。因此，在第2工作方式中，對與第I工作方式不同的部分進(jìn)行詳細(xì)說明。與第I工作方式相同，回收用手部單元43在時(shí)刻t4針對回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b開始上述回收動(dòng)作G。此時(shí)，回收用手部單元43在回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b和回收用傳送帶托盤C3a之間往復(fù)I次，將回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b的電子部件T回收至回收用傳送帶托盤C3a。接下來，為了吸附處于回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b的剩余的電子部件T，回收用手部單元43進(jìn)行回收升降動(dòng)作H，之后，第I梭動(dòng)構(gòu)件32向供給位置移動(dòng)。由此，在時(shí)刻t4的2. 6秒后的時(shí)刻t6，如圖8(a)所示，回收回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b的全部的電子部件T。而且，在時(shí)刻t6的0. 4秒后的時(shí)刻t7，如圖8(b)所示，第I梭動(dòng)構(gòu)件32配置于供給位置。若第I梭動(dòng)構(gòu)件32配置于供給位置，則供給用手部單元23在時(shí)刻t7，針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a開始上述供給動(dòng)作A。此時(shí)，為了在第I梭動(dòng)構(gòu)件32配置于供給位置的時(shí)刻t7準(zhǔn)時(shí)地供給電子部件T，從時(shí)刻t7的1. 8秒前，供給用手部單元23預(yù)先使供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第I梭動(dòng)構(gòu)件32的上方待機(jī)。而且，在時(shí)刻t7，供給用手部單元23開始供給升降動(dòng)作B。而且，供給用手部單元23在供給用傳送帶托盤Cla和供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a之間再次往復(fù)，將電子部件T供給至供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a。由此，在時(shí)刻t7的2. 6秒后的時(shí)刻t9，第I梭動(dòng)構(gòu)件32的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a載滿電子部件T。另一方面，在時(shí)刻t7和時(shí)刻t9之間的時(shí)刻t8，回收用手部單元43針對回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b開始上述回收動(dòng)作G。此時(shí)，時(shí)刻t8從由回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b回收電子部件T的時(shí)刻t6經(jīng)過1. 8秒。因此，回收用手部單元43在時(shí)刻t8之前，移動(dòng)至回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b的上方(參照圖8(c))。而且，回收用手部單元43從時(shí)刻t8在第2梭動(dòng)構(gòu)件35的回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b和回收用傳送帶托盤C4a之間往復(fù)I次，將回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b的電子部件T回收至回收用傳送帶托盤C4a(參照圖8(d))。接下來，為了吸附處于回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b的剩余的電子部件T，回收用手部單元43開始回收升降動(dòng)作H，如圖9 (a)所示，在從時(shí)刻t8經(jīng)過2. 6秒后的時(shí)刻tlO，回收回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b的全部的電子部件T。若從回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b回收電子部件T，則第2梭動(dòng)構(gòu)件35從時(shí)刻tlO進(jìn)行朝向供給位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F (參照圖9 (b))。而且，若梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F結(jié)束，則供給用手部單元23針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a從時(shí)刻til開始上述供給動(dòng)作A。此時(shí)，為了在第2梭動(dòng)構(gòu)件35配置于供給位置的時(shí)刻til準(zhǔn)時(shí)地開始電子部件T的供給，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第I梭動(dòng)構(gòu)件32的上方待機(jī)。此夕卜，在時(shí)刻tlO的1. 8秒前的時(shí)刻t9，供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a載滿電子部件T。因此，供給用手部單元23連續(xù)進(jìn)行針對第I梭動(dòng)構(gòu)件32的電子部件T的供給和針對第2梭動(dòng)構(gòu)件35的電子部件T的供給。而且，供給用手部單元23在針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a進(jìn)行供給升降動(dòng)作B后，進(jìn)行針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a的供給動(dòng)作A，向供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a供給剩余的電子部件T。由此，各梭動(dòng)構(gòu)件32、35在時(shí)刻tl3成為與前面的時(shí)刻t2中的狀態(tài)相同的狀態(tài)。這里，與相對于前面的時(shí)刻t2的時(shí)刻tl相當(dāng)?shù)臅r(shí)刻是相對于時(shí)刻tl3的時(shí)刻tl2。在第2工作方式中，若設(shè)定該時(shí)刻tl2作為檢查結(jié)束的時(shí)刻，則從時(shí)刻tl至?xí)r刻tl2的10. 8秒為指數(shù)循環(huán)時(shí)間，從時(shí)刻t5至?xí)r刻tl2的8. 8秒為測試時(shí)間。換句話說，在第2工作方式中，若電子部件T的測試時(shí)間為8. 8秒以下，則維持指數(shù)循環(huán)時(shí)間10. 8秒。此時(shí)的每I個(gè)小時(shí)的電子部件T的處理數(shù)為，3600 秒 +10. 8 秒 X 32 個(gè)=333. 3. .. X 32 ^ 333X 32 = 10656 個(gè)。另一方面，在第I手部53保持的電子部件T和第2手部58保持的電子部件T被 交替配置于開口部45的構(gòu)成的分選機(jī)中，若將各手部53、58的調(diào)換時(shí)間設(shè)為0.4秒，將測試時(shí)間設(shè)為5. 0秒，則每I個(gè)小時(shí)的處理數(shù)為，3600 秒 +5. 4 秒 X 16 個(gè)=666. 6. .. X 16 ^ 666X 16 = 10656 個(gè)。S卩，若電子部件T的測試時(shí)間超過5. 0秒，則第2工作方式的分選機(jī)10能夠檢查處理更多的電子部件T。第3工作方式接下來，參照圖10 圖12對分選機(jī)10中的第3工作方式進(jìn)行說明。在第3工作方式中，各梭動(dòng)構(gòu)件32、35和各輸送單元34、36以僅滿足上述的條件中的、條件I以及條件2的方式進(jìn)行動(dòng)作。首先，在圖10所示的時(shí)刻t0，第I梭動(dòng)構(gòu)件32配置于供給位置，第2梭動(dòng)構(gòu)件35配置于回收位置，另外，各手部53、58配置于檢查位置，進(jìn)行被各手部53、58吸附的電子部件T的檢查(參照圖11(a))。而且，若從時(shí)刻t0經(jīng)過0.6秒，則在時(shí)刻tl，第2梭動(dòng)構(gòu)件35開始朝向供給位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F。若第2梭動(dòng)構(gòu)件35到達(dá)供給位置，則在時(shí)刻t3，供給用手部單元23針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a開始供給動(dòng)作A。此時(shí)，為了在第2梭動(dòng)構(gòu)件35配置于供給位置的時(shí)刻t3準(zhǔn)時(shí)地開始電子部件T的供給，從時(shí)刻t3的1. 8秒前，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第I梭動(dòng)構(gòu)件32的上方待機(jī)。而且，若成為時(shí)刻t3，則供給用手部單元23進(jìn)行供給升降動(dòng)作B后，在供給用傳送帶托盤Cla和供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a之間往復(fù)，進(jìn)行供給動(dòng)作A。另一方面，若從時(shí)刻tl經(jīng)過0. 2秒，則在時(shí)刻t2，結(jié)束電子部件T的檢查。若電子部件T的檢查結(jié)束，則各手部53、58從檢查位置向上方移動(dòng)，接著，以朝向各交接位置的上方相互遠(yuǎn)離的方式進(jìn)行輸送動(dòng)作C，之后，針對回收梭動(dòng)構(gòu)件托盤進(jìn)行手部升降動(dòng)作D (參照圖11 (b))。而且，若從時(shí)刻t2經(jīng)過0. 8秒，則第I梭動(dòng)構(gòu)件32從時(shí)刻t4進(jìn)行朝向回收位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F(參照圖11(c))。若朝向第I梭動(dòng)構(gòu)件32的回收位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F結(jié)束，則第I手部53在時(shí)刻t5，針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤開始手部升降動(dòng)作D。而且，通過第I手部53結(jié)束手部升降動(dòng)作D，第I手部53在時(shí)刻t6吸附供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a的電子部件T (參照圖11 (d))。另一方面，回收用手部單元43在時(shí)刻t6，針對回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b開始上述回收動(dòng)作G0此外，在從時(shí)刻t5至?xí)r刻t6期間，回收用手部單元43在回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b的上方進(jìn)行上述待機(jī)動(dòng)作J。此時(shí)，回收用手部單元43在回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b和回收用傳送帶托盤C3a之間往復(fù)I次，將回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b的一部分的電子部件T回收至回收用傳送帶托盤C3a。接下來，為了吸附處于回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b的剩余的電子部件T，回收用手部單元43進(jìn)行回收升降動(dòng)作H。另一方面，若針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a結(jié)束供給動(dòng)作A，則第2梭動(dòng)構(gòu)件35在時(shí)刻t7，開始朝向回收位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F。由此，在從時(shí)刻t7經(jīng)過了 0. 4秒的時(shí)刻t8，如圖12(a)所示，在供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a載滿電子部件T的狀態(tài)下，第2梭動(dòng)構(gòu)件35被配置于回收位置，且從第I梭動(dòng)構(gòu)件32的回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b回收一部分的電子部件T。另外，第2手部58在時(shí)刻t8，針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a進(jìn)行手部升降動(dòng)作D。而且，第2手部58和已經(jīng)吸附電子部件T的第I手部53以朝向各自的檢查位置的上方相互靠近的方式開始輸送動(dòng)作C。由此，在從時(shí)刻t8經(jīng)過了 0. 8秒的時(shí)刻t9，開始電子部件 T的檢查。若開始電子部件T的檢查，則各手部53、58在時(shí)刻tlO配置于檢查位置，且從回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b回收全部的電子部件T(參照圖12(b))。另外，第I梭動(dòng)構(gòu)件32在時(shí)刻tlO，開始朝向供給位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F。而且，若從時(shí)刻tlO經(jīng)過0. 4秒，則第I梭動(dòng)構(gòu)件32在時(shí)刻til配置于供給位置(參照圖12(c))。若第I梭動(dòng)構(gòu)件32配置于供給位置，則供給用手部單元23針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a開始供給動(dòng)作A。此時(shí)，為了在第I梭動(dòng)構(gòu)件32配置于供給位置的時(shí)刻til準(zhǔn)時(shí)地供給電子部件T，從時(shí)刻til的1. 8秒前，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第I梭動(dòng)構(gòu)件32的上方待機(jī)。而且，在時(shí)刻tll，供給用手部單元23開始供給升降動(dòng)作B。接下來，供給用手部單元23在供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a和供給用傳送帶托盤Cla之間再次往復(fù)，在時(shí)刻tl3之前，進(jìn)行將剩余的電子部件T供給至供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a的供給動(dòng)作A。另外，在處于時(shí)刻tll和時(shí)刻113之間的時(shí)刻tl2，回收用手部單元43針對回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b開始回收動(dòng)作G。此外，從時(shí)刻tlO至?xí)r刻tl2，回收用手部單元43將電子部件T排出至回收用傳送帶托盤C3a，移動(dòng)至回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b的上方。回收用手部單元43在時(shí)刻tl2在回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b和回收用傳送帶托盤C4a之間往復(fù)，回收回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b的電子部件T。而且，為了吸附處于回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b的剩余的電子部件T，回收用手部單元43進(jìn)行回收升降動(dòng)作H。S卩，在時(shí)刻tl2的2. 6秒后的時(shí)刻tl4，與圖11 (a)所示的時(shí)刻tl相同，針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a的電子部件T的供給結(jié)束的第I梭動(dòng)構(gòu)件32配置于供給位置。另外，在供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a以及回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b為空的狀態(tài)下，將第2梭動(dòng)構(gòu)件35配置于回收位置。第2梭動(dòng)構(gòu)件35在時(shí)刻tl4開始朝向供給位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F。而且，供給用手部單元23在時(shí)刻tl4的0. 4秒后的時(shí)刻tl6，針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a開始供給動(dòng)作A。此時(shí)，為了在第2梭動(dòng)構(gòu)件35配置于供給位置的時(shí)刻tl6準(zhǔn)時(shí)地開始電子部件T的供給，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第I梭動(dòng)構(gòu)件32的上方待機(jī)。此夕卜，在時(shí)刻tl6的1. 8秒前亦即時(shí)刻tl3，供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a載滿電子部件T。因此，供給用手部單元23連續(xù)進(jìn)行對第I梭動(dòng)構(gòu)件32的電子部件T的供給和對第2梭動(dòng)構(gòu)件35的電子部件T的供給。而且，供給用手部單元23針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a進(jìn)行供給升降動(dòng)作B后，進(jìn)行針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a的供給動(dòng)作A，向供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a供給剩余的電子部件T。由此，各梭動(dòng)構(gòu)件32、35在時(shí)刻tl6成為與前面的時(shí)刻t3的狀態(tài)相同的狀態(tài)。這里，與相對于前面的時(shí)刻t3的時(shí)刻t2相當(dāng)?shù)臅r(shí)刻是相對于時(shí)刻tl5的時(shí)刻tl6。若作為檢查結(jié)束的時(shí)刻設(shè)定該時(shí)刻tl5，則從時(shí)刻t2至?xí)r刻tl5的8. 8秒為指數(shù)循環(huán)時(shí)間，從時(shí)刻t9至?xí)r刻tl5的4. 8秒為測試時(shí)間。換句話說，在第3工作方式中，若電子部件T的測試時(shí)間為4. 8秒以下，則維持指數(shù)循環(huán)時(shí)間8. 8秒。此時(shí)的每I個(gè)小時(shí)的電子部件T的處理數(shù)為，3600 秒 +8. 8 秒 X 32 個(gè)=409. 0. . . X 32 ^ 409X 32 = 13088 個(gè)。另一方面，在第I手部53保持的電子部件T和第2手部58保持的電子部件T被交替配置于開口部45的構(gòu)成的分選機(jī)中，若將各手部53、58的調(diào)換時(shí)間設(shè)為0. 4秒，將測試時(shí)間設(shè)為4. 0秒，則每I個(gè)小時(shí)的處理數(shù)為，3600 秒 +4. 4 秒父16個(gè)=818.1. . . X 16 ^ 818X16 = 13088 個(gè)。S卩，若電子部件T的測試時(shí)間超過4. 0秒，則第3工作方式的分選機(jī)10能夠檢查處理更多的電子部件T。第4工作方式接下來，參照圖13 圖14對分選機(jī)10中的第4工作方式進(jìn)行說明。在第4工作方式中，與其他的工作方式相比，供給動(dòng)作A以及回收動(dòng)作G所需要的時(shí)間不同。S卩，供給動(dòng)作A以及回收動(dòng)作G分別需要1、4秒。另外，在第4工作方式中，各梭動(dòng)構(gòu)件32、35和各輸送單元34、36以僅滿足上述的條件中的、條件I的方式動(dòng)作。此外，在第4工作方式中，在時(shí)刻tl電子部件T的檢查結(jié)束。該時(shí)刻tl中的分選機(jī)10的各梭動(dòng)構(gòu)件32、35是與第3工作方式中的時(shí)刻t0相同的狀態(tài)。因此，針對第4工作方式的時(shí)刻tl，通過圖14(a)圖示，省略其詳細(xì)的說明。若在時(shí)刻tl電子部件T的檢查結(jié)束，則各手部53、58從檢查位置向上方移動(dòng)，接著，以朝向各交接位置的上方相互遠(yuǎn)離的方式進(jìn)行輸送動(dòng)作C，之后，僅第I手部53針對回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b進(jìn)行手部升降動(dòng)作D。第2梭動(dòng)構(gòu)件35在從時(shí)刻tl經(jīng)過0. 6秒后的時(shí)刻t2，開始朝向供給位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F。而且，在從時(shí)刻t2經(jīng)過了 0. 4秒后的時(shí)刻t4，第2手部58針對回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b進(jìn)行手部升降動(dòng)作D。另外，在時(shí)刻t4，供給用手部單元23針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a開始供給動(dòng)作A。此時(shí)，為了在第2梭動(dòng)構(gòu)件35配置于供給位置的時(shí)刻t4準(zhǔn)時(shí)地供給電子部件T，從時(shí)刻t4的1. 0秒前亦即時(shí)刻tl，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第2梭動(dòng)構(gòu)件35的上方待機(jī)。而且，若到時(shí)刻t4，則供給用手部單元23進(jìn)行供給升降動(dòng)作B后，在供給用傳送帶托盤Cla和供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a之間往復(fù)，進(jìn)行供給動(dòng)作A。另一方面，第I梭動(dòng)構(gòu)件32在從時(shí)刻11經(jīng)過了 0.8秒后的時(shí)刻t3，開始朝向回收位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F。而且，在時(shí)刻t3的0. 4秒后的時(shí)刻t5，第I手部53針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a進(jìn)行手部升降動(dòng)作D。另外，回收用手部單元43在從時(shí)刻t5經(jīng)過0. 4秒后的時(shí)刻t6，針對回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b開始回收動(dòng)作G。此外，從時(shí)刻t5至?xí)r刻t6的期間，回收用手部單元43在回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b的上方進(jìn)行待機(jī)動(dòng)作J。而且，回收用手部單元43在時(shí)刻t6在回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b和回收用傳送帶托盤C3a之間往復(fù)I次，進(jìn)行回收動(dòng)作G (參照圖14(b))。接著，為了吸附處于回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b的剩余的電子部件T，回收用手部單元43進(jìn)行回收升降動(dòng)作H。即，在從時(shí)刻t6經(jīng)過1. 8秒后的時(shí)刻t9，從回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b回收全部的電子部件T。第I梭動(dòng)構(gòu)件32在上述時(shí)刻t9開始朝向供給位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F。供給用手部單元23在從時(shí)刻t9經(jīng)過0. 4秒后的時(shí)刻tlO，針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a開始供給動(dòng)作A。此時(shí)，為了在第I梭動(dòng)構(gòu)件32配置于供給位置的時(shí)刻tlO準(zhǔn)時(shí)地供給電子部件T， 從時(shí)刻tlO的1. 0秒前的時(shí)刻t7，供給用手部單元23吸附檢查前的電子部件T，在第I梭動(dòng)構(gòu)件32的上方待機(jī)。而且，若到時(shí)刻tlO，則供給用手部單元23針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a開始供給升降動(dòng)作B。接著，供給用手部單元23在供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a和供給用傳送帶托盤Cla之間再次往復(fù)，進(jìn)行將剩余的電子部件T供給至供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a的供給動(dòng)作A。S卩，在時(shí)刻tlO的1.8秒后的時(shí)刻tl3，供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a載滿電子部件T。另一方面，第2梭動(dòng)構(gòu)件35在上述時(shí)刻t7，開始朝向回收位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F。即，如圖14 (c)所示，在向供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a供給了電子部件T的狀態(tài)下，開始朝向回收位置的梭動(dòng)構(gòu)件動(dòng)作F。而且,在從時(shí)刻t7經(jīng)過了 0. 4秒后的時(shí)刻t8,第2手部58進(jìn)行針對供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35a的供給升降動(dòng)作B，之后，各手部53、58以朝向各自的檢查位置的上方相互靠近的方式進(jìn)行輸送動(dòng)作C。S卩，如圖14(d)所示，在時(shí)刻t8的0. 8秒后的時(shí)刻tll，將各手部53、58配置于檢查位置，且將一部分的電子部件T供給至第I梭動(dòng)構(gòu)件32的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a?；厥沼檬植繂卧?3在從上述時(shí)刻tll經(jīng)過0. 4秒后的時(shí)刻tl2，針對回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b開始回收動(dòng)作G。此外，回收用手部單元43在從時(shí)刻t9至?xí)r刻tl2，將回收的電子部件T排出至回收用傳送帶托盤C3a，并移動(dòng)至回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b的上方。而且，回收用手部單元43在時(shí)刻tl2在回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b和回收用傳送帶托盤C4a之間往復(fù)，進(jìn)行回收動(dòng)作G。接著，回收用手部單元43為了吸附處于回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b的剩余的電子部件T，進(jìn)行回收升降動(dòng)作H。即，在從時(shí)刻tl2經(jīng)過了 1.8秒后的時(shí)刻^4，從第2梭動(dòng)構(gòu)件35的回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b回收全部的電子部件T。由此，各梭動(dòng)構(gòu)件32、35在時(shí)刻tl4成為與前面的時(shí)刻t2的狀態(tài)相同的狀態(tài)。這里，與相對于前面的時(shí)刻t2的時(shí)刻tl相當(dāng)?shù)臅r(shí)刻是相對于時(shí)刻tl4的時(shí)刻tl3。若作為檢查結(jié)束的時(shí)刻設(shè)定該時(shí)刻tl3，則從時(shí)刻tl至?xí)r刻tl3的5. 6秒為指數(shù)循環(huán)時(shí)間，從時(shí)刻tll至?xí)r刻tl3的1. 6秒為測試時(shí)間。換句話說，若電子部件T的測試時(shí)間為1. 6秒以下，則維持指數(shù)循環(huán)時(shí)間5. 6秒。此時(shí)的每I個(gè)小時(shí)的電子部件T的處理數(shù)為，3600 秒 +5. 6 秒 X32 個(gè)=642. 8. .. X32 ^ 642X32 = 20544 個(gè)。另一方面，在第I手部53保持的電子部件T和第2手部58保持的電子部件T被交替地配置于開口部45的構(gòu)成的分選機(jī)中，若將測試時(shí)間設(shè)為1. 6秒，則由于測試時(shí)間過短，僅處理與供給用以及回收用手部單元23、43的輸送能力對應(yīng)的部分。即，若電子部件T的測試時(shí)間為1. 6秒以下，第4工作方式的分選機(jī)10能夠檢查處理更多的電子部件T。如以上說明所示，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠得到以下列舉的效果。(I)在基臺11形成有第I手部53和第2手部58能夠并排配置的開口部45。因此，第I手部53的電子部件T和第2手部的電子部件T被并排嵌入至測試頭33。S卩，在這樣的以2個(gè)手部構(gòu)成的分選機(jī)10中，能夠在同時(shí)期檢查最多的電子部件T。其結(jié)果，無需像僅將各手部53、58的一方保持的電子部件T嵌入至測試頭33的構(gòu)成的分選機(jī)那樣，增加同時(shí)期配置于開口部45的電子部件T的數(shù)量，而使各手部53、58大型化。即，抑制裝置的大型化，維持各手部53、58能夠保持的電子部件T的數(shù)量，且能夠使配置于開口部45的電子 部件T的數(shù)量增加。因此，抑制手部的大型化所帶來的輸送速度的降低、輸送距離的增大，所以使向開口部45輸送的電子部件T的個(gè)數(shù)增加，能夠高效地進(jìn)行電子部件T的輸送。(2)由于在相同的第I交接位置進(jìn)行基于第I手部53的電子部件T的吸附和排出，所以與在不同的位置進(jìn)行這些動(dòng)作的構(gòu)成相比，能夠抑制第I手部53的移動(dòng)路徑以及使第I手部53移動(dòng)的機(jī)構(gòu)的復(fù)雜化。同樣，由于在相同的第2交接位置進(jìn)行基于第2手部58的電子部件T的吸附和排出，所以與不同的位置進(jìn)行這些動(dòng)作的構(gòu)成相比，能夠抑制第2手部58的移動(dòng)路徑以及使第2手部58移動(dòng)的機(jī)構(gòu)的復(fù)雜化。據(jù)此能夠抑制分選機(jī)10的大型化。(3)由于使第I手部53以及第2手部58沿著輸送引導(dǎo)件31移動(dòng)的輸送馬達(dá)相互不同，所以能夠在Z方向與開口部45對置的位置以相同的時(shí)刻或不同的時(shí)刻分別配置各手部 53、58。(4)在第I梭動(dòng)構(gòu)件32中，收納檢查前的電子部件T的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a和收納檢查后的電子部件T的回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤35b不同，且任意一方配置于第I交接位置。因此，在回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b配置于第I交接位置的情況下，能夠向供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a供給電子部件T。另一方面，在供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a配置于第I交接位置的情況下，能夠回收排出至回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b的電子部件T。第2梭動(dòng)構(gòu)件35也相同。即，能夠順利地進(jìn)行基于各手部53、58的電子部件T的吸附以及排出。(5)檢查前的電子部件T被供給用手部單元23供給至各梭動(dòng)構(gòu)件32、35的供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32a、35a。另外，檢查后的電子部件T被回收用手部單元43從各梭動(dòng)構(gòu)件32,35的回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤32b、35b回收。根據(jù)這樣的構(gòu)成，與分別和各梭動(dòng)構(gòu)件32、35對應(yīng)地設(shè)置供給用手部單元23以及回收用手部單元43的構(gòu)成相比，能夠抑制分選機(jī)大型化。(6)在第I工作方式以及第2工作方式中，能夠在短期間進(jìn)行基于各手部53、58的檢查后的電子部件T的排出和檢查前的電子部件T的吸附，所以與其他的工作方式相比，SP便是測試時(shí)間較長的電子部件T，也能夠維持指數(shù)循環(huán)時(shí)間。(7)在第2工作方式、第3工作方式以及第4工作方式中，以在供給位置配置各梭動(dòng)構(gòu)件32、35的時(shí)刻以及在回收位置配置各梭動(dòng)構(gòu)件32、35的時(shí)刻中，至少一個(gè)不同的時(shí)刻來進(jìn)行。根據(jù)這樣的構(gòu)成，例如能夠同時(shí)期進(jìn)行使用了供給用手部單元23的針對第I梭動(dòng)構(gòu)件32的電子部件T的供給，和使用了回收用手部單元43的針對第2梭動(dòng)構(gòu)件35的電子部件T的回收。因此，與第I工作方式相比，能夠使指數(shù)循環(huán)時(shí)間縮短。(8)在第3工作方式以及第4工作方式中，以在各手部53、58吸附電子部件T的時(shí)刻，以及各手部53、58排出電子部件T的時(shí)刻中至少一個(gè)不同的時(shí)刻來進(jìn)行。根據(jù)這樣的構(gòu)成，例如，能夠使與向各梭動(dòng)構(gòu)件供給電子部件T的時(shí)刻，從各梭動(dòng)構(gòu)件回收電子部件T的時(shí)刻相關(guān)的自由度提高。因此，預(yù)計(jì)指數(shù)循環(huán)時(shí)間的進(jìn)一步縮短化。此外，也能夠像以下那樣適當(dāng)變更上述實(shí)施方式來實(shí)施。也可以是輸送對象物被多個(gè)供給用手部單元分別供給至多個(gè)供給用托盤的構(gòu)成。根據(jù)這樣的構(gòu)成，也能夠在相同的時(shí)刻分別向多個(gè)供給用托盤供給輸送對象物。也可以是輸送對象物被多個(gè)回收用手部單元分別從多個(gè)回收用托盤回收的構(gòu)成。根據(jù)這樣的構(gòu)成，也能夠在相同的時(shí)刻針對多個(gè)回收用托盤進(jìn)行輸送對象物的回收。還可以是針對一個(gè)手部供給輸送對象物的位置，和從該一個(gè)手部回收輸送對象物的位置相互不同的構(gòu)成。使2個(gè)手部移動(dòng)的輸送馬達(dá)可以是共用的一個(gè)馬達(dá)。根據(jù)這樣的構(gòu)成，容易使2個(gè)手部的動(dòng)作同步。也可以是從開口部上升的2個(gè)手部在相互不同的時(shí)刻返回至輸送源的方式。在部件檢查裝置中，不限于測試器和分選機(jī)分別設(shè)置的方式，也可以是測試器和分選機(jī)一體設(shè)置的方式。符號說明T...電子部件；C1...供給用傳送帶；C2、C3、C4...回收用傳送帶；Cla...供給用傳送帶托盤；C2a、C3a、C4a...回收用傳送帶托盤；MA...輸送馬達(dá)；MC...傳送帶馬達(dá)；MS...梭動(dòng)構(gòu)件馬達(dá)；MX. . . X軸馬達(dá)；MY. . . Y軸馬達(dá)；MZ...手部馬達(dá)；EMA、EMC、EMS、EMX、EMY、EMZ...編碼器；SV1、SV2...吸引閥；DV1、DV2...放氣閥；10...分選機(jī)；11...基臺；Ila...搭載面；12...罩部件；20...供給機(jī)械手；21...供給側(cè)固定引導(dǎo)件；22...供給側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件；23...供給用手部單兀；31...輸送引導(dǎo)件；32...弟I fe動(dòng)構(gòu)件；32a...供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤；32b...回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤；32c...第I梭動(dòng)構(gòu)件引導(dǎo)件；33...測試頭；32a...檢查用凹部；34...第I輸送單元；35...第2梭動(dòng)構(gòu)件；35a...供給用梭動(dòng)構(gòu)件托盤；35b...回收用梭動(dòng)構(gòu)件托盤；35c...第2梭動(dòng)構(gòu)件引導(dǎo)件；36...第2輸送單元；
40...回收機(jī)械手；41...回收側(cè)固定引導(dǎo)件；42...回收側(cè)可動(dòng)引導(dǎo)件；43...回收用手部單元；45...開口部；51...水平移動(dòng)臂；52...垂直移動(dòng)臂；53...第I手部；54...吸附部；56...水平移動(dòng)臂；57...垂直移動(dòng)臂；58...第2手部；59...吸附部；60...控制裝置；
61...傳送帶驅(qū)動(dòng)部；62...X軸引導(dǎo)件驅(qū)動(dòng)部；63...Y軸引導(dǎo)件驅(qū)動(dòng)部；64...手部單元驅(qū)動(dòng)部；64a...手部馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部；64b...吸引閥驅(qū)動(dòng)部；65...梭動(dòng)構(gòu)件驅(qū)動(dòng)部；66...輸送單元驅(qū)動(dòng)部；66a...輸送馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部；66b...按壓馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部；66c...吸引閥驅(qū)動(dòng)部；
69...測試器。
權(quán)利要求
1.一種分選機(jī)，其特征在于，所述分選機(jī)具備 基臺，其具有開ロ部； 第I輸送部，其具有保持輸送對象物的第I手部，且使該第I手部朝向所述開ロ部移動(dòng)； 第2輸送部，其具有保持輸送對象物的第2手部，且使該第2手部朝向所述開ロ部移動(dòng)；以及 控制部，其控制所述第I輸送部的動(dòng)作和所述第2輸送部的動(dòng)作，具有所述第I手部以及所述第2手部從相互分離的位置以相互不同的方向沿水平方向移動(dòng)至與所述開ロ部對置的位置后，沿垂直方向朝向所述開ロ部移動(dòng)，從而該第I手部和該第2手部鄰接配置于所述開ロ部的狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的分選機(jī)，其特征在于，所述第I輸送部使所述第I手部在所述開ロ部配置所述第I手部的第I位置和利用所述第I手部進(jìn)行輸送對象物的保持以及排出的第I交接位置之間移動(dòng)，所述第2輸送部使所述第2手部在所述開ロ部配置所述第2手部的第2位置和利用所述第2手部進(jìn)行輸送對象物的保持以及排出的第2交接位置之間移動(dòng)，具有配置于所述第I位置的所述第I手部以及配置于所述第2位置的所述第2手部以從所述開ロ部脫離的方式移動(dòng)后，朝向各自的交接位置而向相互不同的方向移動(dòng)的狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分選機(jī)，其特征在于，所述分選機(jī)具備 第I梭動(dòng)構(gòu)件，其分別設(shè)置有將要由所述第I手部保持的所述輸送對象物供給至該第I手部的第I供給托盤和將所述第I手部排出的所述輸送對象物從該第I手部回收的第I回收托盤，第2梭動(dòng)構(gòu)件，其分別設(shè)置有將要由所述第2手部保持的所述輸送對象物供給至該第2手部的第2供給托盤和將所述第2手部保持的所述輸送對象物從該第2手部回收的第2回收托盤，所述控制部控制所述第I梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作和所述第2梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作，將配置于所述第I交接位置的托盤交替更更換成所述第I供給托盤和所述第I回收托盤，且將配置于所述第2交接位置的托盤交替更更換成所述第2供給托盤和所述第2回收托盤。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分選機(jī)，其特征在于，具有在所述第I交接位置配置所述第I供給托盤，且在所述第2交接位置配置所述第2供給托盤的狀態(tài)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的分選機(jī)，其特征在干，具有在所述第I交接位置配置所述第I回收托盤，且在所述第2交接位置配置所述第2回收托盤的狀態(tài)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的分選機(jī)，其特征在于，所述控制部以在相同的時(shí)刻進(jìn)行對所述第I交接位置的所述第I供給托盤的配置和對所述第2交接位置的所述第2供給托盤的配置的方式控制所述第I梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作和所述第2梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作，并且，所述控制部以在相同的時(shí)刻進(jìn)行對所述第I交接位置的所述第I回收托盤的配置和對所述第2交接位置的所述第2回收托盤的配置的方式控制所述第I梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作和所述第2梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的分選機(jī)，其特征在于，所述控制部以在相同的時(shí)刻進(jìn)行對所述第I交接位置的所述第I供給托盤的配置和對所述第2交接位置的所述第2供給托盤的配置的方式控制所述第I梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作和所述第2梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作，并且，所述控制部以在相同的時(shí)刻進(jìn)行對所述第I交接位置的所述第I回收托盤的配置和對所述第2交接位置的所述第2回收托盤的配置的方式控制所述第I梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作和所述第2梭動(dòng)構(gòu)件的動(dòng)作。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的分選機(jī)，其特征在于，所述控制部以在相同的時(shí)刻進(jìn)行利用所述第I手部的所述輸送對象物的保持和利用所述第2手部的所述輸送對象物的保持的方式控制所述第I輸送部的動(dòng)作和所述第2輸送部的動(dòng)作，并且，所述控制部以在相同的時(shí)刻進(jìn)行利用所述第I手部的所述輸送對象物的排出和利用所述第2手部的所述輸送對象物的排出的方式控制所述第I輸送部的動(dòng)作和所述第2輸送部的動(dòng)作。
9.ー種部件檢查裝置，其特征在于，所述部件檢查裝置具備檢查電子部件的測試器，和搭載所述測試器且將所述電子部件壓入至該測試器的檢查插座的分選機(jī)，所述分選機(jī)具備 基臺，其具有使所述檢查插座露出的開ロ部； 第I輸送部，其具有保持輸送對象物的第I手部，且使該第I手部移動(dòng)至與所述開ロ部對置的位置后，朝向所述開ロ部移動(dòng)； 第2輸送部，其具有保持輸送對象物的第2手部，且使該第2手部移動(dòng)至與所述開ロ部對置的位置后，朝向所述開ロ部移動(dòng)； 控制部，其控制所述第I輸送部的動(dòng)作和所述第2輸送部的動(dòng)作，具有所述第I手部以及所述第2手部從相互分離的位置以相互不同的方向移動(dòng)至與所述開ロ部對置的位置后，朝向所述開ロ部移動(dòng)，從而該第I手部和該第2手部鄰接配置于所述開ロ部的狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明提供分選機(jī)以及部件檢查裝置，其中，分選機(jī)具備基臺，其具有開口部；第1手部，其輸送輸送對象物；第1輸送部，其將第1手部向開口部的上方輸送并下降；第2手部，其輸送輸送對象物；第2輸送部，其將第2手部向開口部的上方輸送并下降；以及控制部，其控制第1輸送部的動(dòng)作和第2輸送部的動(dòng)作，具有第1手部和第2手部朝向開口部的上方相互靠近，并排配置于開口部的狀態(tài)。
文檔編號G01R31/26GK102974554SQ201210310719
公開日2013年3月20日 申請日期2012年8月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月6日
發(fā)明者長谷川信夫, 藤森廣明, 下島聰興 申請人:精工愛普生株式會社