本發(fā)明涉及圖表監(jiān)控技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于真空環(huán)境下的趨勢圖監(jiān)控系統(tǒng)及其應(yīng)用方法。

背景技術(shù)：
趨勢圖是實(shí)時(shí)或歷史標(biāo)簽數(shù)據(jù)的一種可視化表示或圖表，它可以幫助操作員跟蹤工廠中正在發(fā)生的活動(dòng)，是監(jiān)控系統(tǒng)的重要組成部分。以往老的基于真空環(huán)境下的趨勢圖主要有以下缺點(diǎn)：1.由于真空壓強(qiáng)的特殊關(guān)系，在抽真空的時(shí)候，真空度非常小，接近于零，常為1.0E-6至9.0E-3豪巴左右，而濺射電源參數(shù)功率、電壓、電流又常為100以上的常數(shù)，這就造成了在一個(gè)趨勢圖內(nèi)現(xiàn)實(shí)的時(shí)候真空變化非常小，電源參數(shù)變化非常大，經(jīng)常是我們關(guān)系的區(qū)域看不清，不關(guān)心的區(qū)域又很明顯地在趨勢圖內(nèi)變化，干擾我們的視線，影響設(shè)備監(jiān)控基本功能。2.導(dǎo)入趨勢圖中的畫筆有限，不能根據(jù)具體情況，導(dǎo)入我們需要觀察變化的數(shù)據(jù)。3.不能比較相同參數(shù)的兩條曲線的歷史變化。本發(fā)明能克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，提供一種在高真空計(jì)數(shù)下真空度的變化曲線與電流電壓在同一張趨勢圖下清晰明顯的表現(xiàn)情況。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
針對目前趨勢圖監(jiān)控技術(shù)存在的上述問題，本發(fā)明提供一種基于真空環(huán)境下的趨勢圖監(jiān)控系統(tǒng)及其應(yīng)用方法技術(shù)方案。一種基于真空環(huán)境下的趨勢圖監(jiān)控系統(tǒng)，其中，包括數(shù)據(jù)捕捉裝置、操作裝置、處理裝置和顯示裝置；所述數(shù)據(jù)捕捉裝置用于捕捉數(shù)據(jù)并錄入，所述操作裝置用于向系統(tǒng)發(fā)送執(zhí)行命令，所述處理裝置用于處理數(shù)據(jù)并將所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成趨勢圖表，所述顯示裝置用于讀取所述處理裝置中經(jīng)轉(zhuǎn)換的趨勢圖表并顯示；所述處理裝置與所述數(shù)據(jù)捕捉裝置、所述操作裝置和所述顯示裝置分別連接。上述的基于真空環(huán)境下的趨勢圖監(jiān)控系統(tǒng)，其中，所述處理裝置包括圖表轉(zhuǎn)換模塊和量度調(diào)整模塊，所述圖表轉(zhuǎn)換模塊用于將捕捉到的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成趨勢圖表，所述趨勢圖表用曲線表示數(shù)據(jù)的變化情況；所述量度調(diào)整模塊用于調(diào)整所述趨勢圖表中的數(shù)據(jù)集合的量度標(biāo)準(zhǔn)；所述圖表轉(zhuǎn)換模塊與所述數(shù)據(jù)捕捉裝置、所述顯示裝置和所述量度調(diào)整模塊分別連接，所述操作裝置與所述圖表轉(zhuǎn)換模塊和所述量度調(diào)整模塊分別連接。上述的基于真空環(huán)境下的趨勢圖監(jiān)控系統(tǒng)，其中，所述數(shù)據(jù)捕捉裝置包括壓強(qiáng)檢測模塊、電壓檢測模塊、電流檢測模塊和功率檢測模塊，所述壓強(qiáng)檢測模塊用于測量所述真空環(huán)境下的真空壓強(qiáng)，所述電壓檢測模塊用于測量所述真空環(huán)境下的電源電壓，所述電流檢測模塊用于測量所述真空環(huán)境下的電源電流，所述功率檢測模塊用于測量所述真空環(huán)境下的電源功率。上述的基于真空環(huán)境下的趨勢圖監(jiān)控系統(tǒng)，其中，還包括存儲(chǔ)裝置，所述存儲(chǔ)裝置用于儲(chǔ)存趨勢圖表數(shù)據(jù)；所述存儲(chǔ)裝置與所述處理裝置中的所述圖表轉(zhuǎn)換模塊連接。一種基于真空環(huán)境下的趨勢圖監(jiān)控系統(tǒng)的應(yīng)用方法，其中，具體步驟包括：步驟1，所述數(shù)據(jù)捕捉裝置測量所述真空環(huán)境下的真空壓強(qiáng)以及電源的電壓、電流和功率參數(shù)并傳送至所述處理裝置中；步驟2，所述操作裝置向所述處理裝置中的所述量度調(diào)整模塊發(fā)送調(diào)整量度的命令，所述量度調(diào)整模塊按預(yù)置策略調(diào)整所述趨勢圖中的量度標(biāo)準(zhǔn)；步驟3，所述處理裝置中的所述圖表轉(zhuǎn)換模塊接收所述數(shù)據(jù)捕捉裝置傳送的數(shù)據(jù)并處理，依據(jù)調(diào)整后的所述量度標(biāo)準(zhǔn)，將所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成趨勢圖表，并將所述趨勢圖表傳送至所述顯示裝置，同時(shí)將所述趨勢圖表傳送至所述存儲(chǔ)裝置儲(chǔ)存；步驟4，所述顯示裝置顯示接收的所述趨勢圖表。上述的一種基于真空環(huán)境下的趨勢圖監(jiān)控系統(tǒng)的應(yīng)用方法，其中，所述步驟2中，所述預(yù)置策略是指所述量度調(diào)整模塊在所述趨勢圖中設(shè)定一個(gè)最大值，并根據(jù)所述最大值將量度標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定為按百分比顯示。本發(fā)明的有益效果：將導(dǎo)入的參數(shù)自動(dòng)換算成百分比形式，在趨勢圖上清晰完整地展現(xiàn)零到百分之百之間的變化關(guān)系，解決了真空變化小，其他參數(shù)變化大，在同一個(gè)趨勢圖中無法正常顯示的問題，讓用戶隨意添加自己需要的參數(shù)曲線，而不用擔(dān)心縱坐標(biāo)量程問題；用戶還能從存儲(chǔ)裝置中導(dǎo)出相同參數(shù)的兩條或幾條歷史曲線進(jìn)行比較和分析歷史數(shù)據(jù)，做好調(diào)試和生產(chǎn)工作。附圖說明圖1為本發(fā)明一種基于真空環(huán)境下的趨勢圖監(jiān)控系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明一種基于真空環(huán)境下的趨勢圖監(jiān)控系統(tǒng)的應(yīng)用方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，但不作為本發(fā)明的限定。如圖1所示為一種基于真空環(huán)境下的趨勢圖監(jiān)控系統(tǒng)的組成結(jié)構(gòu)，其中包括數(shù)據(jù)捕捉裝置、操作裝置、處理裝置、顯示裝置和存儲(chǔ)裝置；數(shù)據(jù)捕捉裝置用于捕捉數(shù)據(jù)并錄入，操作裝置用于向系統(tǒng)發(fā)送執(zhí)行命令，處理裝置用于處理數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成趨勢圖表，顯示裝置用于讀取處理裝置中經(jīng)轉(zhuǎn)換的趨勢圖表并顯示，存儲(chǔ)裝置用于儲(chǔ)存趨勢圖表數(shù)據(jù)；處理裝置包括圖表轉(zhuǎn)換模塊和量度調(diào)整模塊，圖表轉(zhuǎn)換模塊用于將捕捉到的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成趨勢圖表；量度調(diào)整模塊用于調(diào)整趨勢圖表中的量度標(biāo)準(zhǔn)；圖表轉(zhuǎn)換模塊與數(shù)據(jù)捕捉裝置、顯示裝置和坐標(biāo)調(diào)整模塊分別連接，操作裝置與圖表轉(zhuǎn)換模塊和量度調(diào)整模塊分別連接。操作裝置是鍵盤和鼠標(biāo)，顯示裝置是顯示屏；數(shù)據(jù)捕捉裝置包括壓強(qiáng)檢測模塊、電壓檢測模塊、電流檢測模塊和功率檢測模塊等設(shè)備，用于測量真空環(huán)境下的真空壓強(qiáng)以及電源的電壓、電流和功率參數(shù)。處理裝置中的圖表轉(zhuǎn)換模塊與處理裝置中的量度調(diào)整模塊、數(shù)據(jù)捕捉裝置、顯示裝置和存儲(chǔ)裝置分別連接，操作裝置與圖表轉(zhuǎn)換模塊和量度調(diào)整模塊分別連接。如圖2所示為一種基于真空環(huán)境下的趨勢圖監(jiān)控系統(tǒng)的應(yīng)用方法的流程示意圖，具體包括：步驟1，通過壓強(qiáng)檢測模塊、電壓檢測模塊、電流檢測模塊和功率檢測模塊等數(shù)據(jù)捕捉裝置采集真空環(huán)境下的真空壓強(qiáng)以及電源的電壓、電流和功率參數(shù)并傳送至處理裝置；步驟2，操作裝置向處理裝置中的量度調(diào)整模塊發(fā)送調(diào)整量度標(biāo)準(zhǔn)的命令，量度調(diào)整模塊按預(yù)置策略調(diào)整趨勢圖中的量度標(biāo)準(zhǔn)；按照預(yù)置策略調(diào)整量度刻度具體指用戶通過操作界面向量度調(diào)整模塊發(fā)送調(diào)整執(zhí)行命令，量度調(diào)整模塊通過更改VBA程序?qū)⒘慷葮?biāo)準(zhǔn)更改為按百分比形式顯示，同時(shí)通過設(shè)定最大值的方法來顯示和限制曲線，這樣每條曲線就會(huì)通過程序內(nèi)部轉(zhuǎn)換乘直接可閱讀的清晰的可按百分比顯示的曲線，輕易實(shí)現(xiàn)了觀察無限趨進(jìn)于零的真空度趨勢與濺射電源參數(shù)變化情況在同一個(gè)趨勢圖里變化的曲線的目的。步驟3，處理裝置中的圖表轉(zhuǎn)換模塊接收數(shù)據(jù)捕捉裝置傳送的數(shù)據(jù)并處理，依據(jù)調(diào)整后的最大值，將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的百分比形式并構(gòu)成趨勢圖表，將趨勢圖表傳送至顯示裝置，同時(shí)將趨勢圖表傳送至存儲(chǔ)裝置儲(chǔ)存；步驟4，顯示裝置顯示接收的趨勢圖表。用戶還可以通過操作裝置增加需要的數(shù)據(jù)記錄模型，將需要監(jiān)視的標(biāo)簽添加進(jìn)趨勢圖中并運(yùn)行。用戶還可以根據(jù)需要從存儲(chǔ)裝置中調(diào)出相同參數(shù)的兩條或多條歷史曲線，進(jìn)行比較和分析歷史數(shù)據(jù)，做好調(diào)試和生產(chǎn)工作。以上所述僅為本發(fā)明較佳的實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的申請專利范圍，所以凡運(yùn)用本發(fā)明說明書及圖示內(nèi)容所作出的等效結(jié)構(gòu)變化，均包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。