專利名稱：監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法及裝置、刻蝕系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平面顯示器領(lǐng)域，涉及一種監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法及裝置、刻蝕系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
顯影和刻蝕工藝是薄膜晶體管-液晶顯示器(TFT-IXD)生產(chǎn)過(guò)程中常用的加工方法。其中，顯影工藝是將曝光圖樣放入顯影液中使圖樣顯現(xiàn)出來(lái)的工藝，刻蝕工藝是使金屬膜按照顯影后的圖樣刻蝕，以獲得所需圖樣的金屬膜。對(duì)于顯影系統(tǒng)/刻蝕系統(tǒng)而言，顯影工藝/刻蝕工藝所需的顯影液/刻蝕液是循環(huán)使用的，顯影液/刻蝕液的濃度會(huì)隨著生產(chǎn)過(guò)程而下降或隨著生產(chǎn)而被污染，導(dǎo)致顯影液/刻蝕液的加工能力下降，如果不及時(shí)的更換或添加新的顯影液/刻蝕液，則容易造成顯影/刻蝕不充分，即出現(xiàn)欠顯影/欠刻蝕現(xiàn)象。因此，在實(shí)際的生產(chǎn)過(guò)程中，需要對(duì)顯影液/刻蝕液進(jìn)行實(shí)時(shí)的監(jiān)測(cè)，并根據(jù)監(jiān)測(cè)結(jié)果更換或添加新的顯影液/刻蝕液，以確保顯影/刻蝕的效果。目前所采用的監(jiān)測(cè)方法是通過(guò)對(duì)顯影液/刻蝕液的某些物理或化學(xué)性質(zhì)，如電導(dǎo)率進(jìn)行監(jiān)測(cè)而計(jì)算獲得，如果監(jiān)測(cè)值超出能夠滿足顯影/刻蝕效果的范圍時(shí)，更換顯影液/刻蝕液。然而，上述監(jiān)測(cè)方法不能真實(shí)有效地對(duì)顯影液/刻蝕液的加工能力進(jìn)行評(píng)估，即不能真實(shí)有效地分析顯影液/刻蝕液的加工能力是否能夠滿足工藝的要求，從而容易造成顯影效果/刻蝕效果的不良，或者造成顯影液/刻蝕液的浪費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題就是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述缺陷，提供一種監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法，其可以實(shí)時(shí)、準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)溶液的加工能力是否滿足工藝要求，從而可以提高溶液的加工效果，同時(shí)避免溶液的浪費(fèi)。本發(fā)明還提供一種監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置，其可以實(shí)時(shí)、準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)溶液的加工能力是否滿足工藝要求，從而可以提高溶液的加工效果，同時(shí)避免溶液的浪費(fèi)。另外，本發(fā)明還提供一種刻蝕系統(tǒng)，其可以實(shí)時(shí)、準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)刻蝕液的加工能力是否滿足工藝要求，從而可以提高刻蝕液的加工效果，同時(shí)避免刻蝕液的浪費(fèi)。解決上述技術(shù)問(wèn)題的所采用的技術(shù)方案是提供一種監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法，其用于在溶液腐蝕被加工工件的流水生產(chǎn)線中監(jiān)測(cè)所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求，包括以下步驟在所述溶液腐蝕所述被加工工件的流水生產(chǎn)線的設(shè)定位置上，用光線照射所述被加工工件；獲得設(shè)定位置處透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度；根據(jù)透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求。
其中，評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求的方式包括所述透射光的強(qiáng)度包括透射光的下限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度，用于監(jiān)測(cè)溶液加工能力的下限；比較所述透射光的下限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的下限，若所述透射光的下限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度小于或等于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的下限，則表明所述溶液的加工能力偏低；或者，根據(jù)所述透射光的下限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度獲得透射光的下限監(jiān)測(cè)透過(guò)率，比較所述透射光 的下限監(jiān)測(cè)透過(guò)率與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過(guò)率的下限，若所述透射光的下限監(jiān)測(cè)透過(guò)率小于或等于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過(guò)率的下限，則表明所述溶液的加工能力偏低。其中，，評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求的方式還包括為所述透射光的強(qiáng)度還包括透射光的上限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度，用于監(jiān)測(cè)溶液加工能力的上限；比較所述透射光的上限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的上限，若所述透射光的上限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度大于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的上限，則表明所述溶液的加工能力偏聞;或者，根據(jù)所述透射光的上限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度獲得光的上限監(jiān)測(cè)透過(guò)率，比較所述透射光的上限監(jiān)測(cè)透過(guò)率與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過(guò)率的上限，若所述透射光的上限監(jiān)測(cè)透過(guò)率大于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過(guò)率的上限，則表明所述溶液的加工能力偏高。本發(fā)明還提供一種監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置，其用于在溶液腐蝕被加工工件的流水生產(chǎn)線上監(jiān)測(cè)所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求，包括光學(xué)監(jiān)控單元，其用于在所述溶液腐蝕所述被加工工件的流水生產(chǎn)線的設(shè)定位置上，獲得透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度，并將獲得的透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號(hào)發(fā)送至分析單元；分析單元，其根據(jù)接收到的所述光學(xué)監(jiān)控單元獲得的透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號(hào)計(jì)算所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求。其中，所述光學(xué)監(jiān)控單元包括光發(fā)射裝置和光接受裝置，所述光發(fā)射裝置與所述光接受裝置相對(duì)地設(shè)置在所述被加工工件的兩側(cè)，其中，所述光發(fā)射裝置用于朝向所述被加工工件表面發(fā)出光；所述光接受裝置用于采集由所述光發(fā)射裝置發(fā)出的透過(guò)所述被加工工件的透射光，并將其獲得的透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號(hào)發(fā)送至所述分析單元。其中，所述分析單元包括信號(hào)接收子單元，其用于接收來(lái)自所述光學(xué)監(jiān)控單元獲得的透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號(hào)；計(jì)算子單元，其用于根據(jù)來(lái)自所述信號(hào)接收子單元的透射光的強(qiáng)度信號(hào)評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求；信號(hào)發(fā)射子單元，其用于根據(jù)所述計(jì)算子單元計(jì)算的結(jié)果發(fā)出相應(yīng)的溶液加工能力偏低或偏高的信號(hào)。本發(fā)明還提供一種刻蝕系統(tǒng)，包括刻蝕液罐、監(jiān)測(cè)裝置以及被加工工件的傳輸系統(tǒng)，所述刻蝕液罐用于儲(chǔ)存刻蝕液，監(jiān)測(cè)裝置用于監(jiān)測(cè)所述刻蝕液的加工能力是否滿足工藝要求，所述傳輸系統(tǒng)用于在刻蝕過(guò)程中傳輸被加工工件，所述監(jiān)測(cè)裝置采用權(quán)利要求5-6所述的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置。其中，還包括供給裝置，所述供給裝置用于根據(jù)所述監(jiān)測(cè)裝置的監(jiān)測(cè)結(jié)果更換或添加刻蝕液。其中，包括兩個(gè)所述監(jiān)測(cè)裝置，所述兩個(gè)以上個(gè)監(jiān)測(cè)裝置設(shè)置在被加工工件的流水生產(chǎn)線上的不同位置，分別用于監(jiān)測(cè)溶液加工能力的下限和上限。其中，所述的刻蝕系統(tǒng)用于顯影工藝。本發(fā)明具有以下有益效果本發(fā)明提供的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法，其是通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度來(lái)評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求，其能夠直觀、準(zhǔn)確地反應(yīng) 溶液的加工能力狀況，可以避免因錯(cuò)誤的判斷而導(dǎo)致溶液的浪費(fèi)。類似地，本發(fā)明提供的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置，其是通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度來(lái)評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求，其能夠直觀、準(zhǔn)確地反應(yīng)溶液的加工能力狀況，可以避免因錯(cuò)誤的判斷而導(dǎo)致溶液的浪費(fèi)。另外，本發(fā)明提供的刻蝕系統(tǒng)，借助本發(fā)明提供的監(jiān)測(cè)裝置實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度，并根據(jù)透射光的強(qiáng)度來(lái)評(píng)估所述刻蝕液的加工能力是否滿足工藝要求，從而能夠直觀、準(zhǔn)確地反應(yīng)刻蝕液的加工能力狀況，可以避免因錯(cuò)誤的判斷而導(dǎo)致刻蝕液的浪費(fèi)。


圖I為本發(fā)明提供的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法的流程圖；圖2為發(fā)明提供的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)框圖；圖3為本發(fā)明提供的刻蝕系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖；以及圖4為本發(fā)明提供的另一刻蝕系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。
具體實(shí)施例方式為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明提供的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法及裝置、刻蝕系統(tǒng)進(jìn)行詳細(xì)描述。圖I為本發(fā)明提供的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法的流程圖。請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)施例提供的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法包括步驟slO，在所述溶液腐蝕所述被加工工件的流水生產(chǎn)線的設(shè)定位置上，用光線照射所述被加工工件。溶液可以根據(jù)具體的加工要求進(jìn)行選擇。如果實(shí)施顯影工藝，則溶液選擇顯影液。如果實(shí)施刻蝕工藝，則溶液選擇刻蝕液。被加工工件可以是加工TFT-IXD時(shí)的基板，也可以是用于制作其它產(chǎn)品，如電路板時(shí)所采用的基板。步驟s20，獲得設(shè)定位置處透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度。步驟s30，根據(jù)透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求。本實(shí)施例評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求的方式可以是比對(duì)透射光的強(qiáng)度，也可以首先通過(guò)透射光的強(qiáng)度和入射光的強(qiáng)度計(jì)算出透射光的透過(guò)率(透射光的強(qiáng)度/入射光的強(qiáng)度)，然后比對(duì)透射光的透過(guò)率。在步驟s30中，評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求的步驟包括監(jiān)測(cè)溶液加工能力的下限，即評(píng)估透射光的下限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度。具體地，比較所述透射光的下限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的下限，若所述透射光的下限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度小于或等于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的下限，則表明所述溶液的加工能力偏低。造成溶液加工能力偏低的原因可能是溶液的濃度偏低或溶液已失效。或者，首先根據(jù)所述透射光的下限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度獲得透射光的下限監(jiān)測(cè)透過(guò)率，再比較所述透射光的下限監(jiān)測(cè)透過(guò)率與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過(guò)率的下限，若所述透射光的下限監(jiān)測(cè) 透過(guò)率小于或等于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過(guò)率的下限，則表明所述溶液加工能力偏低。優(yōu)選地，在步驟s30中，評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求的步驟還包括監(jiān)測(cè)溶液加工能力的上限，即評(píng)估透射光的上限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度。具體地，比較透射光的上限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的上限，若透射光的上限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度大于預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的上限，則表明溶液的加工能力偏高；或者，根據(jù)透射光的上限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度獲得光的上限監(jiān)測(cè)透過(guò)率，比較透射光的上限監(jiān)測(cè)透過(guò)率與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過(guò)率的上限，若透射光的上限監(jiān)測(cè)透過(guò)率大于預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過(guò)率的上限，則表明溶液的加工能力偏高。由于被加工工件在被溶液腐蝕的過(guò)程中，透射光的透過(guò)率不斷地發(fā)生變化，即透射光的透過(guò)率與腐蝕程度相對(duì)應(yīng)。因此，通過(guò)透過(guò)被加工工件的透射光的強(qiáng)度很容易獲得溶液對(duì)被加工工件的加工狀況。如果在流水生產(chǎn)線上某一設(shè)定位置得知被加工工件沒(méi)有達(dá)到對(duì)應(yīng)的理想加工狀況，則表明溶液的加工能力不能滿足加工要求。加工狀況未能達(dá)到理想的加工狀況主要是由于腐蝕溶液的加工能力較低，導(dǎo)致加工狀況滯后，即腐蝕較少，需要更換或添加新的溶液。如果在流水生產(chǎn)線上某一設(shè)定位置得知被加工工件過(guò)早達(dá)到某一加工狀況，則表明所述溶液加工能力偏高，從而到生產(chǎn)線的終點(diǎn)時(shí)會(huì)造成過(guò)度刻蝕。本實(shí)施例提供的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法，其是通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)透過(guò)被加工工件的透射光的強(qiáng)度來(lái)評(píng)估溶液的加工能力是否滿足工藝要求，其能夠直觀、準(zhǔn)確地反應(yīng)被加工工件的實(shí)際加工狀況，由此可以準(zhǔn)確地判斷溶液的加工能力狀況，并根據(jù)該判斷結(jié)果對(duì)溶液的加工能力進(jìn)行調(diào)整，從而避免因錯(cuò)誤的判斷而導(dǎo)致溶液的浪費(fèi)。本實(shí)施例還提供一種監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置，用于在腐蝕被加工工件的流水生產(chǎn)線的設(shè)定位置上監(jiān)測(cè)溶液的加工能力是否滿足工藝要求。圖2為發(fā)明提供的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)框圖。請(qǐng)參閱圖2，監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置包括光學(xué)監(jiān)控單元I和分析單元2，其中，光學(xué)監(jiān)控單元1，其用于在溶液腐蝕被加工工件表面流水生產(chǎn)線的設(shè)定位置上，獲得透過(guò)被加工工件的透射光的強(qiáng)度，并將其獲得的透過(guò)被加工工件的透射光的強(qiáng)度的信號(hào)發(fā)送至分析單元2。光學(xué)監(jiān)控單元I包括光發(fā)射裝置11和光接受裝置12，光發(fā)射裝置11與光接受裝置12相對(duì)地設(shè)置在被加工工件的兩側(cè)。其中，光發(fā)射裝置11用于朝向被加工工件發(fā)出光。光發(fā)射裝置11可以采用如白熾燈、LED燈、激光發(fā)射器等光源。
光接受裝置12用于采集由光發(fā)射裝置11發(fā)出且透過(guò)被加工工件的透射光，并將其獲得的透過(guò)被加工工件的透射光的強(qiáng)度的信號(hào)發(fā)送至分析單元2。分析單元2，其根據(jù)接收到的光學(xué)監(jiān)控單元I獲得的透過(guò)被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號(hào)計(jì)算溶液的加工能力是否滿足工藝要求。分析單元2包括信號(hào)接收子單元21、計(jì)算子單元22和信號(hào)發(fā)射子單元23，其中，信號(hào)接收子單元21，其用于接收來(lái)自光學(xué)監(jiān)控單元I獲得的透過(guò)被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號(hào)。計(jì)算子單元22，其用于根據(jù)來(lái)自信號(hào)接收單元21的透射光的強(qiáng)度信號(hào)評(píng)估溶液的加工能力是否滿足工藝要求。計(jì)算子單元22評(píng)估溶液的加工能力是否滿足工藝要求與上述監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法中的評(píng)估方法相同，這里不再贅述。信號(hào)發(fā)射子單元23，其用于根據(jù)計(jì)算子單元22的計(jì)算結(jié)果發(fā)出相應(yīng)的溶液加工能力偏低或偏高的信號(hào)。另外，監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置還包括移動(dòng)單元(圖中未示出)，光學(xué)監(jiān)控單元I設(shè)置在移動(dòng)單元上。借助移動(dòng)單元可以將光學(xué)監(jiān)控單元I根據(jù)不同的加工環(huán)境或加工工藝設(shè)置在所需的位置，從而提高光學(xué)監(jiān)控單元I、乃至整個(gè)監(jiān)測(cè)裝置的使用靈活性。本實(shí)施例提供的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置，其是通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)到的透過(guò)被加工工件的透射光的強(qiáng)度來(lái)評(píng)估溶液的加工能力是否滿足工藝要求，其能夠直觀、準(zhǔn)確地反應(yīng)被加工工件的實(shí)際加工狀況，由此可以準(zhǔn)確地判斷溶液的加工能力狀況，并根據(jù)該判斷結(jié)果對(duì)溶液的加工能力進(jìn)行調(diào)整，從而可以避免因錯(cuò)誤的判斷而導(dǎo)致溶液的浪費(fèi)。本實(shí)施例還提供一種刻蝕系統(tǒng)，其采用本實(shí)施例提供的監(jiān)測(cè)裝置來(lái)監(jiān)測(cè)刻蝕液的使用狀況。圖3為本發(fā)明提供的刻蝕系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。請(qǐng)參閱圖3，刻蝕系統(tǒng)包括刻蝕液罐41、監(jiān)測(cè)裝置42、供給裝置43、噴嘴46以及被加工工件的傳輸裝置44，刻蝕液罐41用于儲(chǔ)存刻蝕液，監(jiān)測(cè)裝置42用于監(jiān)測(cè)刻蝕液罐41內(nèi)刻蝕液的加工能力是否滿足工藝要求。供給裝置43與刻蝕液罐41連通，以用于根據(jù)監(jiān)測(cè)裝置42的監(jiān)測(cè)結(jié)果來(lái)更換或添加刻蝕液。傳輸裝置44是用于在刻蝕過(guò)程中傳輸被加工工件的。噴嘴46通過(guò)管路與刻蝕液罐41連通，其用于將刻蝕液噴灑在被加工工件的表面。本實(shí)施例中，監(jiān)測(cè)裝置42設(shè)置在被加工工件的流水生產(chǎn)線上，且光發(fā)射裝置11和光接受裝置12相對(duì)地設(shè)置在被加工工件45的上下兩側(cè)。在刻蝕過(guò)程中，當(dāng)傳輸裝置44將被加工工件傳輸至監(jiān)測(cè)裝置42位置時(shí)，光發(fā)射裝置11發(fā)出光，同時(shí)光接受裝置12采集透過(guò)被加工工件45的光，并將采集到的透過(guò)被加工工件45的透射光的強(qiáng)度信號(hào)傳輸至分析單元2，由分析單元2根據(jù)透射光的強(qiáng)度信號(hào)評(píng)估溶液的加工能力是否滿足工藝要求，并將溶液加工能力偏低或偏高的加工能力信號(hào)發(fā)送至供給裝置43，供給裝置43根據(jù)溶液加工能力偏低或偏高的加工能力信號(hào)相應(yīng)地向刻蝕液罐41內(nèi)更換/添加新的刻蝕液。本實(shí)施例中，在被加工工件45的流水生產(chǎn)線上可以設(shè)置有監(jiān)測(cè)裝置42，該監(jiān)測(cè)裝置采用本實(shí)施例提供的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置，借助該監(jiān)測(cè)裝置監(jiān)測(cè)刻蝕液的加工能力是否可以滿足刻蝕的要求，從而及時(shí)的對(duì)刻蝕液罐41內(nèi)刻蝕液的加工能力進(jìn)行調(diào)整，進(jìn)而提高刻蝕的效果。
本實(shí)施例刻蝕系統(tǒng)可以用于實(shí)施顯影工藝，在刻蝕液罐41內(nèi)裝入顯影液，在顯影的過(guò)程中，光刻膠的脫落會(huì)在某一特定時(shí)間段有明顯的變化，換言之，在顯影的初期，光刻膠不會(huì)發(fā)生明顯的脫落，因此透射光的透過(guò)率較低，而且變化不明顯。另一方面，在顯影的后期，光刻膠已經(jīng)基本脫落，透射光的透過(guò)率也無(wú)不明顯變化。需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例刻蝕系統(tǒng)中，在被加工工件45的流水生產(chǎn)線上可以設(shè)置兩個(gè)監(jiān)測(cè)裝置42，如圖4所述，一個(gè)監(jiān)測(cè)裝置42用于監(jiān)測(cè)溶液加工能力的下限，另一個(gè)監(jiān)測(cè)裝置42用于監(jiān)測(cè)溶液加工能力的上限。借助兩個(gè)監(jiān)測(cè)裝置監(jiān)測(cè)刻蝕液的加工能力是否可以滿足刻蝕的要求,可以更準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)刻蝕液罐41內(nèi)刻蝕液的加工能力，以對(duì)刻蝕液及時(shí)進(jìn)行調(diào)整，從而提高刻蝕系統(tǒng)的刻蝕效果。本實(shí)施例提供的刻蝕系統(tǒng)，借助本實(shí)施例提供的監(jiān)測(cè)裝置實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)到的透過(guò)被加工工件的透射光的強(qiáng)度，并根據(jù)透射光的強(qiáng)度來(lái)評(píng)估刻蝕液的加工能力是否滿足工藝要求，該刻蝕系統(tǒng)能夠直觀、準(zhǔn)確地反應(yīng)被加工工件的實(shí)際加工狀況，并由此可以準(zhǔn)確地判斷刻蝕液的加工能力狀況，根據(jù)該判斷結(jié)果對(duì)刻蝕液的加工能力進(jìn)行調(diào)整，從而可以避免因錯(cuò)誤的判斷而導(dǎo)致刻蝕液的浪費(fèi)。 可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法，其用于在溶液腐蝕被加工工件的流水生產(chǎn)線中監(jiān)測(cè)所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求，其特征在于，包括以下步驟 在所述溶液腐蝕所述被加工工件的流水生產(chǎn)線的設(shè)定位置上，用光線照射所述被加工工件； 獲得設(shè)定位置處透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度； 根據(jù)透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法，其特征在于，評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求的方式包括 所述透射光的強(qiáng)度包括透射光的下限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度，用于監(jiān)測(cè)溶液加工能力的下限； 比較所述透射光的下限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的下限，若所述透射光的下限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度小于或等于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的下限，則表明所述溶液的加工能力偏低；或者， 根據(jù)所述透射光的下限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度獲得透射光的下限監(jiān)測(cè)透過(guò)率，比較所述透射光的下限監(jiān)測(cè)透過(guò)率與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過(guò)率的下限，若所述透射光的下限監(jiān)測(cè)透過(guò)率小于或等于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過(guò)率的下限，則表明所述溶液的加工能力偏低。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法，其特征在于，評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求的方式還包括為 所述透射光的強(qiáng)度還包括透射光的上限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度，用于監(jiān)測(cè)溶液加工能力的上限； 比較所述透射光的上限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的上限，若所述透射光的上限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度大于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的強(qiáng)度的上限，則表明所述溶液的加工能力偏聞; 或者，根據(jù)所述透射光的上限監(jiān)測(cè)強(qiáng)度獲得光的上限監(jiān)測(cè)透過(guò)率，比較所述透射光的上限監(jiān)測(cè)透過(guò)率與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過(guò)率的上限，若所述透射光的上限監(jiān)測(cè)透過(guò)率大于所述預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)透射光的透過(guò)率的上限，則表明所述溶液的加工能力偏高。
4.一種監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置，其用于在溶液腐蝕被加工工件的流水生產(chǎn)線上監(jiān)測(cè)所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求，其特征在于，包括 光學(xué)監(jiān)控單元，其用于在所述溶液腐蝕所述被加工工件的流水生產(chǎn)線的設(shè)定位置上，獲得透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度，并將獲得的透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號(hào)發(fā)送至分析單元； 分析單元，其根據(jù)接收到的所述光學(xué)監(jiān)控單元獲得的透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號(hào)計(jì)算所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述光學(xué)監(jiān)控單元包括光發(fā)射裝置和光接受裝置，所述光發(fā)射裝置與所述光接受裝置相對(duì)地設(shè)置在所述被加工工件的兩側(cè)，其中， 所述光發(fā)射裝置用于朝向所述被加工工件表面發(fā)出光； 所述光接受裝置用于采集由所述光發(fā)射裝置發(fā)出的透過(guò)所述被加工工件的透射光，并將其獲得的透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號(hào)發(fā)送至所述分析單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于，所述分析單元包括 信號(hào)接收子單元，其用于接收來(lái)自所述光學(xué)監(jiān)控單元獲得的透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度信號(hào)； 計(jì)算子單元，其用于根據(jù)來(lái)自所述信號(hào)接收子單元的透射光的強(qiáng)度信號(hào)評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求； 信號(hào)發(fā)射子單元，其用于根據(jù)所述計(jì)算子單元計(jì)算的結(jié)果發(fā)出相應(yīng)的溶液加工能力偏低或偏高的信號(hào)。
7.一種刻蝕系統(tǒng)，包括刻蝕液罐、監(jiān)測(cè)裝置以及被加工工件的傳輸系統(tǒng)，所述刻蝕液罐用于儲(chǔ)存刻蝕液，監(jiān)測(cè)裝置用于監(jiān)測(cè)所述刻蝕液的加工能力是否滿足工藝要求，所述傳輸系統(tǒng)用于在刻蝕過(guò)程中傳輸被加工工件，其特征在于，所述監(jiān)測(cè)裝置采用權(quán)利要求5-6所述的監(jiān)測(cè)溶液加工能力的監(jiān)測(cè)裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的刻蝕系統(tǒng)，其特征在于，還包括供給裝置，所述供給裝置用于根據(jù)所述監(jiān)測(cè)裝置的監(jiān)測(cè)結(jié)果更換或添加刻蝕液。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的刻蝕系統(tǒng)，其特征在于，包括兩個(gè)所述監(jiān)測(cè)裝置，所述兩個(gè)以上個(gè)監(jiān)測(cè)裝置設(shè)置在被加工工件的流水生產(chǎn)線上的不同位置，分別用于監(jiān)測(cè)溶液加工能力的下限和上限。
10.根據(jù)權(quán)利要求8-9任意一項(xiàng)所述的刻蝕系統(tǒng)，其特征在于，所述的刻蝕系統(tǒng)用于顯影工藝。
全文摘要
本發(fā)明提供一種監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法及裝置、刻蝕系統(tǒng)，監(jiān)測(cè)溶液加工能力的方法其用于在溶液腐蝕被加工工件的流水生產(chǎn)線中監(jiān)測(cè)所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求，包括以下步驟在所述溶液腐蝕所述被加工工件的流水生產(chǎn)線的設(shè)定位置上，用光線照射所述被加工工件；獲得設(shè)定位置處透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度；根據(jù)透過(guò)所述被加工工件的透射光的強(qiáng)度評(píng)估所述溶液的加工能力是否滿足工藝要求。該方法能夠直觀、準(zhǔn)確地反應(yīng)溶液的加工能力狀況，從而可以避免因錯(cuò)誤的判斷而導(dǎo)致溶液的浪費(fèi)。
文檔編號(hào)G01N21/17GK102650588SQ20121007221
公開(kāi)日2012年8月29日 申請(qǐng)日期2012年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月16日
發(fā)明者王燦, 郭煒 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司