專利名稱：基板檢查系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于對(duì)在液晶顯示器(IXD)、等離子體顯示器(rop)等平板顯示器 (FPD)的制造中所使用的大型基板進(jìn)行檢查的基板檢查系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
以往，在對(duì)平板顯示器所使用的基板進(jìn)行的檢查中存在如下所述的目視檢查(人工宏觀檢查)在將基板立起成規(guī)定角度的狀態(tài)下從基板表面?zhèn)日丈浜暧^照明光而利用目視根據(jù)來(lái)自基板的反射光的散射狀況來(lái)判斷缺陷，或者，在將基板垂直地立起的狀態(tài)下從基板背面?zhèn)日丈浔彻?back light)照明光而利用目視根據(jù)透射光的散射狀況來(lái)判斷缺陷。 另外，存在利用顯微鏡等微觀檢查部將基板上的任意部位放大而觀察缺陷的微觀檢查。不過(guò)，隨著近年來(lái)的平板顯示器的大型化，切割為多個(gè)平板顯示器的母玻璃基板也大型化，例如，出現(xiàn)了 1500_X 1800mm以上的大型母玻璃基板。隨著該母玻璃的大型化， 包括人工宏觀檢查裝置及微觀檢查裝置在內(nèi)的基板的生產(chǎn)線也大型化。因此，提出有通過(guò)用簡(jiǎn)單的裝置進(jìn)行人工宏觀檢查及微觀檢查而謀求節(jié)省空間的技術(shù)(例如，參照專利文獻(xiàn)I及專利文獻(xiàn)2)。這樣的用于進(jìn)行人工宏觀檢查及微觀檢查的裝置如下這樣設(shè)置例如，具有用于使微觀檢查裝置的基板搭載部(基板保持件)立起到作業(yè)者側(cè)的驅(qū)動(dòng)部，在使基板搭載部立起的狀態(tài)下從基板的上方照射宏觀照明光而利用目視進(jìn)行檢查。專利文獻(xiàn)I :日本特開2003-344294號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2000-28537號(hào)公報(bào)不過(guò)，在以往的人工宏觀檢查過(guò)程中，在使保持有基板的基板保持件立起成適于檢查者的目視觀察的傾斜角度的狀態(tài)下從基板的上方照射宏觀照明光而檢測(cè)反射光，或者，為了在使基板保持件鉛垂地立起的狀態(tài)下從基板的后方照射背光照明光而檢測(cè)透射光，基板保持件優(yōu)選使用僅保持基板的周緣的、中空結(jié)構(gòu)的構(gòu)件。但是，使用中空的基板保持件時(shí)，在基板中間部的基板保持力較弱，因此，基板易于發(fā)生晃動(dòng)，在進(jìn)行放大觀察的微觀檢查過(guò)程中發(fā)生影像晃動(dòng)等不良情況。因此，在微觀檢查過(guò)程中，優(yōu)選使用用于水平地保持基板整體的由一張板形成的基板保持件。這樣，用簡(jiǎn)單的裝置進(jìn)行人工宏觀檢查和微觀檢查時(shí)，如果優(yōu)先進(jìn)行微觀檢查，則應(yīng)該選擇由一張板形成的基板保持件。使用一張板的基板保持件時(shí)，不僅因玻璃基板透明而基板保持件上的劃痕等可見(jiàn)而成為誤檢測(cè)的主要原因，而且存在不能進(jìn)行利用背光照明進(jìn)行的目視檢查這樣的問(wèn)題。而且，在使用共用的基板保持件進(jìn)行人工宏觀檢查和微觀檢查時(shí)，通過(guò)使微觀檢查裝置的基板搭載部立起而進(jìn)行人工宏觀檢查，因此，不能同時(shí)進(jìn)行人工宏觀檢查和微觀檢查，從而也產(chǎn)生檢查生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間變長(zhǎng)、進(jìn)而產(chǎn)生不能提高基板的生產(chǎn)效率這樣的問(wèn)題
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于鑒于上述以往的情況、提供一種不降低生產(chǎn)效率及檢查性能就能夠謀求節(jié)省空間的大型基板用的基板檢查系統(tǒng)。本發(fā)明提供一種基板檢查系統(tǒng)，其用于用多種檢查方法對(duì)被檢查對(duì)象基板進(jìn)行檢查，在該基板檢查系統(tǒng)中，包括自動(dòng)檢查裝置，其用于利用攝像部拍攝上述被檢查對(duì)象基板而進(jìn)行檢查；架臺(tái)，其具有橫跨上述自動(dòng)檢查裝置的門型形狀的腿部；人工宏觀檢查裝置，其配置在上述架臺(tái)上，用于直視上述被檢查對(duì)象基板而進(jìn)行目視檢查；基板輸送機(jī)器人，其用于對(duì)于上述自動(dòng)檢查裝置和上述人工宏觀檢查裝置輸入、輸出上述被檢查對(duì)象基板，上述人工宏觀檢查裝置借助上述架臺(tái)獨(dú)立于上述自動(dòng)檢查裝置地配置在上述自動(dòng)檢查裝置的上方。在本發(fā)明中，人工宏觀檢查裝置與自動(dòng)檢查裝置是相互獨(dú)立的裝置，因此，能夠同時(shí)進(jìn)行利用人工宏觀檢查裝置進(jìn)行的檢查和利用自動(dòng)檢查裝置進(jìn)行的檢查，不會(huì)降低兩檢查的運(yùn)轉(zhuǎn)效率，即使將人工宏觀檢查裝置配置在自動(dòng)檢查裝置的上方而謀求節(jié)省空間，生產(chǎn)效率也不降低。而且，人工宏觀檢查裝置與自動(dòng)檢查裝置能夠不使用共用的基板保持部而是使用適于各檢查裝置的基板保持部，因此，檢查性能不降低。因此，采用本發(fā)明，不降低生產(chǎn)效率及檢查性能就能夠謀求基板檢查系統(tǒng)的節(jié)省空間。


圖I是透視地表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的基板檢查系統(tǒng)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的主視圖。圖2是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的基板檢查系統(tǒng)的基板輸入狀態(tài)的概略左視圖。圖3是透視地表示本發(fā)明的其他的實(shí)施方式的基板檢查系統(tǒng)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的主視圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的基板檢查系統(tǒng)進(jìn)行說(shuō)明。圖I是透視地表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的基板檢查系統(tǒng)I的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的主視圖。圖2是表示基板檢查系統(tǒng)I的基板輸入狀態(tài)的概略左視圖。如圖I所示，基板檢查系統(tǒng)I包括人工宏觀檢查裝置10，其作為目視觀察裝置， 用于作業(yè)者以目視進(jìn)行觀察；微觀檢查裝置20，其作為自動(dòng)檢查裝置，用于對(duì)用數(shù)字顯微鏡(攝像部)拍攝到的圖像進(jìn)行圖像處理而檢測(cè)缺陷；外殼2(以雙點(diǎn)劃線圖示)，基板檢查系統(tǒng)I對(duì)作為被檢查對(duì)象基板的、例如作為一邊為1500_以上的大型玻璃基板的平板顯示器用的母玻璃基板(以下，簡(jiǎn)稱為玻璃基板)G進(jìn)行檢查。人工宏觀檢查裝置10具有基板保持件11，其作為基板保持部，用于保持玻璃基板G ;擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，其用于使該基板保持件11傾斜成適于作業(yè)者的目視檢查的角度；宏觀照明光源16，其用于從上方對(duì)被保持于基板保持件11的玻璃基板G進(jìn)行照射，該基板保持件11 被該擺動(dòng)機(jī)構(gòu)傾斜。而且，人工宏觀檢查裝置10具有用于在立起基板保持件11的狀態(tài)下從玻璃基板G的背面?zhèn)日丈渫干涔獾谋彻庹彰鞴庠?7 (以雙點(diǎn)劃線圖示)。擺動(dòng)機(jī)構(gòu)具有兩個(gè)滑動(dòng)部12，其用于樞軸支承保持件轉(zhuǎn)動(dòng)軸11a，該保持件轉(zhuǎn)動(dòng)軸Ila設(shè)在基板保持件11的兩側(cè)邊的大致中央；兩個(gè)框架13，其用于以該滑動(dòng)部12能夠滑動(dòng)的方式支承該滑動(dòng)部12 ;驅(qū)動(dòng)部，其用于使這些框架13轉(zhuǎn)動(dòng)到規(guī)定的角度。驅(qū)動(dòng)部例如由兩個(gè)傾斜軸15構(gòu)成，該兩個(gè)傾斜軸15將各框架13以各框架13能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于人工宏觀檢查裝置的架臺(tái)，該兩個(gè)傾斜軸15使兩個(gè)臂部14連接于各框架13的與下述的固定軸18相反側(cè)的一端，該兩個(gè)傾斜軸15作為用于使臂部14上下運(yùn)動(dòng)的滑動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)部。 驅(qū)動(dòng)部也可以是使驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)連接于兩個(gè)框架13的旋轉(zhuǎn)軸而成的機(jī)構(gòu)。另外，雖然分別配置有兩個(gè)滑動(dòng)部12、兩個(gè)框架13、兩個(gè)臂部14及兩個(gè)傾斜軸15， 但在圖I的主視圖中位于重疊的位置，因此，在圖中僅圖示了跟前側(cè)。人工宏觀檢查裝置10配置在微觀檢查裝置20的上方，能夠與利用該微觀檢查裝置20進(jìn)行的微觀檢查相互獨(dú)立地進(jìn)行目視檢查。人工宏觀檢查裝置10所采用的基板保持件11呈用于對(duì)形成為矩形狀的玻璃基板 G的周緣進(jìn)行保持的中空的矩形框結(jié)構(gòu)，能夠以保持件轉(zhuǎn)動(dòng)軸Ila為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。另外， 如圖2所示，基板保持件11利用多個(gè)周緣保持部Ilb對(duì)玻璃基板G的周緣進(jìn)行保持。為了將較薄的玻璃基板G不至于發(fā)生撓曲那樣水平地保持，該基板保持件11優(yōu)選是將截面形狀被形成為長(zhǎng)方形的支承構(gòu)件以比基板保持件11的上表面低的方式呈格子狀配置在矩形框的內(nèi)部，并在支承構(gòu)件上設(shè)置用于吸附保持玻璃基板G的吸盤而形成的。通過(guò)利用該吸盤吸附玻璃基板G的背面，能夠在基板保持件11擺動(dòng)時(shí)抑制玻璃基板G的晃動(dòng)。用于在例如基板保持件11的彼此相對(duì)的兩個(gè)邊的中央對(duì)基板保持件11進(jìn)行樞軸支承的左右一對(duì)的滑動(dòng)部12成I組地配置，滑動(dòng)部12與平行配置的一對(duì)框架13相卡合， 并能夠在圖示實(shí)線所示的位置與圖示單點(diǎn)劃線所示的位置之間(附圖標(biāo)記12-2、12-3)相對(duì)于一對(duì)框架13滑動(dòng)。由于該滑動(dòng)部12沿著框架13滑動(dòng)，被滑動(dòng)部12樞軸支承的基板保持件11也沿著框架13在圖示實(shí)線所示的位置與圖示雙點(diǎn)劃線所示的位置之間滑動(dòng)(附圖標(biāo)記 11_2、11-3)。各框架13利用凸緣13a以各框架13能夠旋轉(zhuǎn)的方式被固定軸18支承，該固定軸 18被固定于未圖示的目視檢查用架臺(tái)，該凸緣13a作為形成在各框架13的與連接有臂部 14側(cè)相反一側(cè)的一端側(cè)的軸承部。與各框架13連接的臂部14沿著在鉛垂方向上延伸的傾斜軸15進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)(附圖標(biāo)記14-1、14-2)，從而各框架13在輸出、輸入玻璃基板G時(shí)的水平狀態(tài)(附圖標(biāo)記13-1)與適于檢查者3的目視觀察的傾斜狀態(tài)(附圖標(biāo)記13-2)之間轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，由于這些框架13的轉(zhuǎn)動(dòng)，基板保持件11及滑動(dòng)部12也一起轉(zhuǎn)動(dòng)(附圖標(biāo)記 11-1、11-2、12-1、12-2)。另外，人工宏觀檢查裝置用的架臺(tái)具有門型形狀的腿部，以橫跨作為自動(dòng)檢查裝置的微觀檢查裝置20的方式配置。人工宏觀檢查裝置10的架臺(tái)與微觀檢查裝置20的架臺(tái)相互獨(dú)立地單獨(dú)配置。該人工宏觀檢查裝置10由于是供檢查者3通過(guò)目視觀看玻璃基板而進(jìn)行觀察的裝置，因此，受來(lái)自外部及內(nèi)部的振動(dòng)的影響較小，能夠不在無(wú)塵室的地面設(shè)置除振臺(tái)就直接設(shè)置該人工宏觀檢查裝置10。作為自動(dòng)檢查裝置的微觀檢查裝置因來(lái)自外部的振動(dòng)的影響而拍攝到的圖像晃動(dòng)而不能進(jìn)行準(zhǔn)確的檢查，因此，優(yōu)選在架臺(tái)上設(shè)置用于使來(lái)自外部的振動(dòng)衰減的除振臺(tái)。優(yōu)選這樣相互獨(dú)立地構(gòu)成人工宏觀檢查裝置用架臺(tái)和微觀檢查用架臺(tái)24。
微觀檢查裝置20具有工作臺(tái)21，其安裝于微觀檢查裝置用架臺(tái)24，用于水平地載置玻璃基板G ;固定式的機(jī)架22，其呈門型形狀，以橫跨該工作臺(tái)21的方式配置；顯微鏡 23，其設(shè)于該機(jī)架22，在線性電動(dòng)機(jī)等驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)下在與玻璃基板G的輸送方向正交的I軸線方向(與圖I的紙面垂直的方向)上移動(dòng)；未圖示的基板輸送部，其用于保持玻璃基板G并沿著輸送方向輸送玻璃基板G。作為工作臺(tái)21，例如能夠使用如下述的基板輸送工作臺(tái)等懸浮工作臺(tái)，其在利用空氣使玻璃基板G懸浮的狀態(tài)下利用基板輸送部對(duì)玻璃基板G的端部進(jìn)行保持并進(jìn)行輸送或者利用基板輸送部在通過(guò)玻璃基板G的重心的中心線上保持玻璃基板G并進(jìn)行輸送; 旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，其在利用自由輥等旋轉(zhuǎn)體支承玻璃基板G的狀態(tài)下利用基板輸送部保持玻璃基板G并進(jìn)行輸送；輥輸送帶，其利用被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)輥在與玻璃基板G的背面接觸來(lái)支承玻璃基板G的狀態(tài)下進(jìn)行輸送。另外，在采用使機(jī)架22沿著工作臺(tái)21移動(dòng)的移動(dòng)型機(jī)架時(shí)，能夠采用使工作臺(tái)21 固定于架臺(tái)24上的固定型工作臺(tái)。人工宏觀檢查裝置10的基板保持件11及框架13等以不與微觀檢查裝置20的機(jī)架22、工作臺(tái)21或基板輸送機(jī)器人4的手臂4a相干涉的方式配置在微觀檢查裝置20的空間區(qū)域中。在用于將人工宏觀檢查裝置10的整體和微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)整體覆蓋起來(lái)的外殼2上，形成有用于對(duì)于人工宏觀檢查裝置10輸出、輸入玻璃基板G的基板輸出輸入用窗部2a、用于對(duì)于微觀檢查裝置20輸出、輸入玻璃基板G的基板輸出輸入用窗部 2b。人工宏觀檢查裝置10側(cè)的基板輸出輸入用窗部2a與微觀檢查裝置20側(cè)的基板輸出輸入用窗部2b為相同形狀、相同面積且窗部2a設(shè)在窗部2b的正上方?；遢敵鲚斎胗么安?a、2b以與用于將玻璃基板G輸送到I層的微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)和2層的人工宏觀檢查裝置中的圖2所示的基板輸送機(jī)器人4的手臂4a的上下移動(dòng)方向相一致的方式配置。通過(guò)如上所述地將兩裝置的與基板輸出輸入用窗部2a、2b相對(duì)應(yīng)的基板輸入空間配置為(與基板輸送機(jī)器人4的移動(dòng)方向)相同的上下關(guān)系，能夠利用I個(gè)基板輸送機(jī)器人4將玻璃基板G供給到配置于I層的微觀檢查裝置20的基板輸入空間、配置于2層的人工宏觀檢查裝置10的基板輸入空間中。另外，只要在將基板輸送機(jī)器人4固定于地面的狀態(tài)下使手臂4a上下移動(dòng)，就能使手臂4a易于相對(duì)于基板輸出輸入用窗部2a、2b進(jìn)行對(duì)位。在人工宏觀檢查裝置10的架臺(tái)上形成有作為供檢查者3進(jìn)行目視檢查的檢查作業(yè)空間2c的檢查作業(yè)臺(tái)。以下，說(shuō)明使用上述的基板檢查系統(tǒng)I進(jìn)行的玻璃基板G的檢查。在基板檢查系統(tǒng)I中，人工宏觀檢查裝置10與微觀檢查裝置20是相互獨(dú)立的裝置，因此，能夠同時(shí)進(jìn)行人工宏觀檢查及微觀檢查。首先，說(shuō)明人工宏觀檢查。利用圖2所示的基板輸送機(jī)器人4將用多條手臂4a支承著的玻璃基板G從外殼2 的基板輸出輸入用窗部2a輸入到人工宏觀檢查裝置10中。此時(shí)，傾斜軸15使臂部14移動(dòng)到下方，框架13被保持成水平狀態(tài)(13-1)。另外，基板保持件11也被保持成與框架13 平行的水平狀態(tài)(11-1)。
將玻璃基板G定位并保持在基板保持件11上的基準(zhǔn)位置時(shí)，傾斜軸15使臂部14 向上方移動(dòng)。由此，與臂部14連接的框架13以固定軸18為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，傾斜到供檢查者3 進(jìn)行目視檢查的位置(13-2)。然后，一邊使基板保持件11以保持件轉(zhuǎn)動(dòng)軸Ila為中心轉(zhuǎn)動(dòng)并利用滑動(dòng)部12使基板保持件11相對(duì)于檢查者的視野位置(眼的高度位置)在上下方向上移動(dòng)，一邊通過(guò)檢查者3目視宏觀照明光源16照射的光的反射光或者背光照明光源17照射的光的透射光而對(duì)玻璃基板G進(jìn)行人工宏觀檢查。另外，對(duì)玻璃基板G的背面進(jìn)行人工宏觀檢查時(shí)，在使框架13稍稍放倒到在基板保持件11進(jìn)行翻轉(zhuǎn)時(shí)不與宏觀照明光源16相干涉的位置的狀態(tài)下，使基板保持件11以保持件轉(zhuǎn)動(dòng)軸Ila為中心翻轉(zhuǎn)。另外，使用背光照明光源17照射的光的透射光，通過(guò)目視進(jìn)行宏觀檢查時(shí)，也可以將基板保持件11立起到基板保持件11不與宏觀照明光源16相干涉那樣的程度，并且也可以以使基板保持件11接近檢查者3的方式將框架13立起。而且，也可以設(shè)為在將基板保持件11立起的狀態(tài)下、背光照明光源17能夠以接近基板保持件11的背面的方式移動(dòng)。 宏觀檢查結(jié)束之后，通過(guò)利用傾斜軸15使臂部14降低而使框架13轉(zhuǎn)動(dòng)到水平狀態(tài)，并且使基板保持件11返回到水平狀態(tài)，利用基板輸送機(jī)器人4從基板輸出輸入用窗部2a輸出玻璃基板G。對(duì)于微觀檢查，首先，利用圖2所不的基板輸送機(jī)器人4從外殼2的輸出輸入用窗部2b將玻璃基板G輸入到微觀檢查裝置20中。將玻璃基板G載置在工作臺(tái)21上時(shí)，將該玻璃基板G定位于基準(zhǔn)位置。進(jìn)行定位之后，利用未圖示的基板輸送部使玻璃基板G移動(dòng)到規(guī)定位置，顯微鏡23沿著與該基板輸送部的輸送方向(圖I的左右方向)正交的方向(與圖I的紙面垂直的方向)移動(dòng)，從而利用顯微鏡23對(duì)玻璃基板G進(jìn)行微觀檢查。微觀檢查結(jié)束之后，利用未圖示的基板輸送部使玻璃基板G返回到輸出位置，利用基板輸送機(jī)器人4從窗部2b輸出玻璃基板G。在以上說(shuō)明的本實(shí)施方式中，檢查者3不因進(jìn)行檢查而介于微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)20的裝置內(nèi)，因此，能夠?qū)⑽⒂^檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)20的高度較低地抑制成與機(jī)架22同等的高度。利用該微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)20的上空的空間來(lái)配置人工宏觀檢查裝置10而采用2層結(jié)構(gòu)，由此，與并列設(shè)有兩裝置的基板檢查系統(tǒng)相比，能夠減小設(shè)置空間。另外，人工宏觀檢查裝置10與微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)20是相互獨(dú)立的裝置，因此，能夠同時(shí)進(jìn)行利用宏觀檢查裝置10進(jìn)行的檢查與利用微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)20進(jìn)行的檢查，不會(huì)降低兩檢查的運(yùn)轉(zhuǎn)效率，即使將人工宏觀檢查裝置10配置在微觀檢查裝置20的上方而謀求節(jié)省空間，生產(chǎn)效率也不降低。而且，能夠不使用人工宏觀檢查裝置10與微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)20共用的基板保持部而是使用適于各檢查裝置10、20的基板保持部(基板保持件11、工作臺(tái)21)， 因此，檢查性能不降低。因此，采用本實(shí)施方式，能夠不降低生產(chǎn)效率及檢查性能就謀求基板檢查系統(tǒng)I 的節(jié)省空間。另外，在本實(shí)施方式中，能夠?qū)⒈热斯ず暧^檢查裝置10易于受到振動(dòng)的影響的微觀檢查裝置20配置在人工宏觀檢查裝置10的下方，并且能夠使人工宏觀檢查裝置10與微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)20分離而設(shè)置于地面，因此，來(lái)自人工宏觀檢查裝置10的振動(dòng)不會(huì)傳遞到微觀檢查裝置20而能夠進(jìn)行精度較高的微觀檢查。另外，通過(guò)使人工宏觀檢查裝置10與微觀檢查裝置20為相互獨(dú)立的結(jié)構(gòu)，能夠易于在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行組裝，并且能夠使人工宏觀檢查裝置10與微觀檢查裝置20分開而易于輸送。另外，作為自動(dòng)檢查裝置，不限于本實(shí)施方式的微觀檢查裝置20，例如，也可以設(shè)為如線寬測(cè)量裝置、分光測(cè)光裝置、激光修補(bǔ)(laser repair)裝置等那樣包括放大檢查裝置的檢查裝置，該放大檢查裝置具有放大檢查部(例如顯微鏡)和用于拍攝被放大檢查部放大了的影像的攝像部。另外，作為自動(dòng)檢查裝置，也包括利用線傳感器照相機(jī)拍攝玻璃基板整體的自動(dòng)宏觀檢查裝置。即，自動(dòng)檢查裝置只要是與人工檢查裝置那樣的讓檢查者貼著裝置并直視玻璃基板來(lái)進(jìn)行檢查的裝置不同，讓檢查者在離開裝置的位置能夠作業(yè)的裝置即可。該自動(dòng)檢查裝置在進(jìn)行檢查、觀察時(shí)不需要使檢查者貼著裝置。因此，在自動(dòng)檢查裝置中，檢查者不會(huì)進(jìn)入到運(yùn)轉(zhuǎn)中的裝置內(nèi)來(lái)進(jìn)行檢查，因此，不需要供檢查者移動(dòng)的檢查作業(yè)空間，能夠相應(yīng)地將自動(dòng)檢查裝置的最大高度抑制得較低。例如，自動(dòng)檢查裝置的最大高度以用于支承檢查頭的門型的機(jī)架的上表面為最大高度。在自動(dòng)檢查裝置中，用于拍攝基板的檢查頭成為決定裝置的高度的主要原因，因此， 安裝有該檢查頭的機(jī)架的上表面成為自動(dòng)檢查裝置的最大高度位置。通過(guò)使人工宏觀檢查裝置以人工宏觀檢查裝置不與該自動(dòng)檢查裝置的機(jī)架相干涉的方式接近該自動(dòng)檢查裝置的機(jī)架而配置人工宏觀檢查裝置，能夠降低人工宏觀檢查裝置的設(shè)置高度。另外，對(duì)于本實(shí)施方式的微觀檢查裝置20，說(shuō)明了機(jī)架22為固定式且在工作臺(tái)21 上輸送玻璃基板G的例，但通過(guò)使機(jī)架22為移動(dòng)式并在使玻璃基板G靜止的狀態(tài)下進(jìn)行檢查或者觀察，能夠減小用于水平地載置玻璃基板G的工作臺(tái)，能夠進(jìn)一步謀求節(jié)省空間。另外，在采用了移動(dòng)型機(jī)架的情況下，通過(guò)將人工宏觀檢查裝置的檢查作業(yè)臺(tái)配置在機(jī)架的移動(dòng)空間之上，能夠與使檢查作業(yè)臺(tái)降低了的高度相對(duì)應(yīng)地將人工宏觀檢查裝置的設(shè)置高度抑制得較低。能夠與這樣使檢查作業(yè)臺(tái)降低了的高度相對(duì)應(yīng)地將人工宏觀檢查裝置的高度抑制得較低。在此情況下，將微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)的基板輸入空間設(shè)在靠人工宏觀檢查裝置的檢查作業(yè)臺(tái)側(cè)，使該微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)向與人工宏觀檢查裝置的檢查作業(yè)臺(tái)遠(yuǎn)離的方向與之錯(cuò)開配置，由此，能夠?qū)⑷斯ず暧^檢查裝置的檢查作業(yè)臺(tái)配置在將微觀檢查裝置錯(cuò)開后的I層部分的空間區(qū)域中。通過(guò)設(shè)置該空間區(qū)域，不會(huì)與微觀檢查裝置相干涉就能夠?qū)⑷斯ず暧^檢查裝置的檢查作業(yè)臺(tái)配置在較低的位置。<其他的實(shí)施方式>圖3是透視地表示本發(fā)明的其他的實(shí)施方式的基板檢查系統(tǒng)31的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的主視圖。在上述的一實(shí)施方式的基板檢查系統(tǒng)I中，為了在微觀檢查裝置20的上方的空間中對(duì)作為大型基板的玻璃基板G進(jìn)行人工宏觀檢查，有時(shí)裝置的總高度也超過(guò)例如6m，由于工廠的不同，有時(shí)考慮到頂棚高度這一點(diǎn)而不能配置基板檢查系統(tǒng)I。因此，本實(shí)施方式的基板檢查系統(tǒng)31采用了能夠比上述基板檢查系統(tǒng)I進(jìn)一步抑制高度的結(jié)構(gòu)。
如圖3所示，基板檢查系統(tǒng)31包括作為人工檢查裝置的人工宏觀檢查裝置40、作為自動(dòng)檢查裝置的微觀檢查裝置50、外殼32。人工宏觀檢查裝置40具有基板保持件41，其用于保持作為大型基板的玻璃基板 G ;擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，其用于將該基板保持件41傾斜成適于檢查者33的目視觀察的角度；宏觀照明光源46，其用于從保持于被該擺動(dòng)機(jī)構(gòu)傾斜了的基板保持件41的被檢查對(duì)象基板(玻璃基板)G的上方進(jìn)行照射。而且，人工宏觀檢查裝置40具有用于利用透射光進(jìn)行的檢查的背光照明光源47。擺動(dòng)機(jī)構(gòu)具有兩個(gè)滑動(dòng)部42，其用于樞軸支承基板保持件41的保持件轉(zhuǎn)動(dòng)軸 41a ;兩個(gè)框架43，其用于以該滑動(dòng)部42能夠滑動(dòng)的方式支承該滑動(dòng)部42 ;驅(qū)動(dòng)部，其用于使這些框架43轉(zhuǎn)動(dòng)規(guī)定角度。該驅(qū)動(dòng)部具有兩個(gè)臂部44，其一端與各框架43連接；兩個(gè)傾斜軸45，其傾斜地配置在微觀檢查裝置50的上方，用于推拉臂部44的剩下的另一端。采用本實(shí)施方式時(shí)，框架43只要處于傾斜成規(guī)定角度的狀態(tài)即可，例如，也可以在使框架43 傾斜成圖3的實(shí)線所示的規(guī)定的角度的狀態(tài)下固定框架43。在此情況下，在使框架43傾斜成規(guī)定角度的狀態(tài)下，如果框架43的一端側(cè)(基端側(cè))延伸到比微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)50的最大高度位置S低的位置，則能夠?qū)⒒灞３旨?1推出到微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)50的外側(cè)。優(yōu)選通過(guò)使框架43延伸到微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)50的工作臺(tái)51的外側(cè)而能夠?qū)⒒灞３旨?1推出到工作臺(tái)51的外側(cè)。在將框架43固定成規(guī)定角度的情況下，可以在利用輸送機(jī)器人4進(jìn)行基板輸入的位置使基板保持件41轉(zhuǎn)動(dòng)成水平狀態(tài)并在目視觀察位置使基板保持件41轉(zhuǎn)動(dòng)成適于基板目視觀察的角度。另外，在本實(shí)施方式中，也分別配置有兩個(gè)滑動(dòng)部42、兩個(gè)框架43、兩個(gè)臂部44及兩個(gè)傾斜軸45，但在圖3的主視圖中位于重疊的位置，因此，在圖中僅表示了跟前側(cè)。在人工宏觀檢查裝置40中，框架43的一部分、臂部44、傾斜軸45、背光照明光源 47等(臨時(shí)說(shuō)成基板保持件41及滑動(dòng)部42)配置在微觀檢查裝置50的上方。在此情況下， 在微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)50中，在接近被配置在上方的人工宏觀檢查裝置40的檢查作業(yè)空間32c的一側(cè)設(shè)有玻璃基板G的基板輸入空間(32b)，在該基板輸入空間(32b)的內(nèi)側(cè)配置有以橫跨工作臺(tái)51的方式呈門型形狀的固定式的機(jī)架52。在該微觀檢查裝置50 的基板輸入空間(32b)中設(shè)定有供圖2所示的輸送機(jī)器人4將玻璃基板G相對(duì)于工作臺(tái)51 上輸入、輸出用的手臂4a的上下移動(dòng)動(dòng)作空間。通過(guò)以微觀檢查裝置50的基板輸入空間(32b)與人工宏觀檢查裝置40的輸入空間(32a)對(duì)齊的方式將人工宏觀檢查裝置40配置在微觀檢查裝置50的上方，能夠?qū)⑷斯ず暧^檢查裝置40降低到不與微觀檢查裝置50相干涉的較低的位置而設(shè)置?；灞３旨?1呈用于對(duì)被形成為矩形狀的玻璃基板G的周緣進(jìn)行保持的中空的矩形框構(gòu)造，能夠以保持件轉(zhuǎn)動(dòng)軸41a為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。用于在例如基板保持件41的彼此相對(duì)的兩個(gè)邊的中央對(duì)基板保持件41進(jìn)行樞軸支承的左右一對(duì)的滑動(dòng)部42成I組地配置，滑動(dòng)部42以相對(duì)于平行配置的一對(duì)框架43能夠移動(dòng)的方式與一對(duì)框架43 (附圖標(biāo)記42-2、42_3)相卡合。由于該滑動(dòng)部42的移動(dòng),被滑動(dòng)部42樞軸支承的基板保持件41也移動(dòng)(附圖標(biāo)記41-2、41-3)。另外，基板保持件41在位于微觀檢查裝置50的上方的位置(附圖標(biāo)記41-2)與一部分(也可以是全部)處于比微觀檢查裝置50的上端(面S)靠下方的位置(附圖標(biāo)記 41-3)之間沿著框架43移動(dòng)。各框架43利用被形成在一端(下側(cè))的凸緣43a與被固定于未圖示的架臺(tái)的固定軸48相連接。該固定軸48被設(shè)在比微觀檢查裝置50的工作臺(tái)51靠前方的位置，并且被設(shè)在比微觀檢查裝置50的最高高度位置(面S)靠下方的位置?？蚣?3以固定軸48為旋轉(zhuǎn)中心而以不與微觀檢查裝置50的工作臺(tái)51相干涉的方式在圖示箭頭的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。這樣將固定軸48配置在與微觀檢查裝置50的工作臺(tái)51分開的前方，從而將框架 43的一端側(cè)(基端側(cè))推出到比微觀檢查裝置50的工作臺(tái)51靠外側(cè)的位置。通過(guò)使滑動(dòng)部42移動(dòng)到該框架43的被推出的部分，能夠?qū)⒖梢苿?dòng)地設(shè)于滑動(dòng)部42的基板保持件41 推出到比微觀檢查裝置50的最高高度位置低的工作臺(tái)51的前方。在本實(shí)施方式中，通過(guò)將基板保持件41推出到作為自動(dòng)檢查裝置的微觀檢查裝置50的前方，能夠?qū)⒆鳛闄z查作業(yè)空間32c的檢查作業(yè)臺(tái)設(shè)在與微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)50分開的前方。檢查作業(yè)空間32c沿著人工宏觀檢查裝置40的目視觀察用窗配置。人工宏觀檢查裝置40的目視觀察用窗以與基板保持件41沿著框架43移動(dòng)到最靠下方位置時(shí)的停止位置相對(duì)齊的方式設(shè)置。檢查作業(yè)空間32c的檢查作業(yè)臺(tái)(作業(yè)用床部分)配置得比目視觀察用窗靠下側(cè)，成為檢查者33為了進(jìn)行目視觀察而進(jìn)行移動(dòng)的通路。該檢查作業(yè)臺(tái)設(shè)在比目視觀察用窗的下側(cè)開口邊低的位置、例如以檢查者的腰的位置為下側(cè)開口邊的位置的方式從目視觀察用窗的下側(cè)開口邊降低了 750mm IOOOmm的位置。通過(guò)降低該檢查作業(yè)臺(tái)， 能夠降低用于從基板上方照射宏觀照明光的宏觀照明光源46的安裝位置，因此，能夠降低人工宏觀檢查裝置40的高度。作為檢查者33的觀察高度位置的目視觀察用窗與宏觀照明光源46的配置位置關(guān)系為具有恒定距離，因此，能夠與使目視觀察用窗降低了的高度相對(duì)應(yīng)地使宏觀照明光源 46的安裝位置降低，從而能夠?qū)⒀b置整體的高度抑制得較低。另外，在檢查作業(yè)空間32c的至少一端設(shè)有供檢查者33攀登的臺(tái)階。在各框架43的另一端側(cè)連接有臂部44。該臂部44被傾斜地配置的傾斜軸45推拉，從而各框架43在相對(duì)于水平面傾斜的范圍內(nèi)，在本實(shí)施方式中在輸出、輸入玻璃基板 G時(shí)的傾斜狀態(tài)(附圖標(biāo)記43-1)與適于檢查者33進(jìn)行目視觀察的傾斜狀態(tài)(附圖標(biāo)記 43-2)之間轉(zhuǎn)動(dòng)。由于該框架43的轉(zhuǎn)動(dòng)，基板保持件41及滑動(dòng)部42也一起轉(zhuǎn)動(dòng)(附圖標(biāo)記 41_1、41_2、42_1、42_2)。另外，固定軸48位于比作為微觀檢查裝置50的最大高度位置的機(jī)架52的上端 (面S)靠下方的位置，因此，框架43的一部分位于比微觀檢查裝置50的最大高度靠下方的位置。微觀檢查裝置50與上述的一實(shí)施方式的微觀檢查裝置20同樣具有工作臺(tái)51、 固定式的機(jī)架52、作為檢查部的顯微鏡53、架臺(tái)54、未圖示的基板輸送部。另外，在本實(shí)施方式中，作為微觀檢查裝置50的最大高度的上端(面S)是機(jī)架52的上端。在外殼32中，與上述的一實(shí)施方式的外殼2同樣形成有兩個(gè)基板輸出輸入用窗部 32a,32b和檢查作業(yè)空間32c。以下，說(shuō)明了使用上述的基板檢查系統(tǒng)31進(jìn)行的基板檢查。首先，說(shuō)明人工宏觀檢查。
與上述第I實(shí)施方式同樣利用基板輸送機(jī)器人4將玻璃基板G從外殼32的基板輸出輸入用窗部32a輸入到人工宏觀檢查裝置40中。此時(shí)，如上所述，框架43因?yàn)樵趶乃綘顟B(tài)傾斜的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)而不轉(zhuǎn)動(dòng)成水平狀態(tài)(43-1)，但基板保持件41以保持件轉(zhuǎn)動(dòng)軸 41a為中心而與框架43相對(duì)獨(dú)立地轉(zhuǎn)動(dòng)成水平狀態(tài)(41-1)。將玻璃基板G保持在水平狀態(tài)的基板保持件41上時(shí)，首先，以保持件轉(zhuǎn)動(dòng)軸41a 為中心，使基板保持件41轉(zhuǎn)動(dòng)成與框架43平行的狀態(tài)。然后，傾斜軸45推壓臂部44，從而與臂部44連接的框架43以固定軸48為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，傾斜到供檢查者33進(jìn)行目視檢查的位置(43-2)。通過(guò)這樣按照基板保持件41、框架43的順序使基板保持件41、框架43轉(zhuǎn)動(dòng)，或者，通過(guò)使基板保持件41及框架43同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠減小基板保持件41的移動(dòng)空間。然后，一邊使基板保持件43擺動(dòng)并利用滑動(dòng)部42使基板保持件41移動(dòng)，一邊由檢查者33目視宏觀照明光源46照射的光的反射光或者背光照明光源47照射的光的透射光而對(duì)玻璃基板G進(jìn)行人工宏觀檢查。另外，對(duì)玻璃基板G的背面進(jìn)行人工宏觀檢查時(shí)，在使框架43略微倒伏到基板保持件41不與宏觀照明光源46相干涉的狀態(tài)下，使基板保持件 41以保持件轉(zhuǎn)動(dòng)軸41a為中心翻轉(zhuǎn)。人工宏觀檢查結(jié)束之后，利用傾斜軸45拉回臂部44，使框架43放倒之后(43_1)， 使基板保持件41轉(zhuǎn)動(dòng)成水平狀態(tài)(41-1)，利用未圖示的基板輸送機(jī)器人從基板輸出輸入用窗部32a輸出玻璃基板G。此時(shí)，通過(guò)按照框架43、基板保持件41的順序使框架43、基板保持件41轉(zhuǎn)動(dòng)，或者,通過(guò)使框架43及基板保持件41同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠減小基板保持件41 的移動(dòng)空間。對(duì)于微觀檢查,與上述的一實(shí)施方式相同，因此省略說(shuō)明。在以上說(shuō)明的本實(shí)施方式中，也與上述的一實(shí)施方式同樣檢查者33不因進(jìn)行檢查而介于微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)50的裝置內(nèi)，因此，能夠?qū)⑽⒂^檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)50的高度較低地抑制成與機(jī)架52同等的高度。通過(guò)利用該微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)50的上空的空間來(lái)配置人工宏觀檢查裝置40，與并列設(shè)有兩裝置的基板檢查系統(tǒng)相比，能夠減小設(shè)置空間。另外，人工宏觀檢查裝置40與微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)50是相互獨(dú)立的裝置，因此，能夠同時(shí)進(jìn)行利用人工宏觀檢查裝置40進(jìn)行的宏觀檢查和利用微觀檢查裝置 (自動(dòng)檢查裝置)50進(jìn)行的微觀檢查，不會(huì)降低兩檢查的運(yùn)轉(zhuǎn)效率，即使將人工宏觀檢查裝置40配置在微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)50的上方而謀求節(jié)省空間，生產(chǎn)效率也不降低。而且，能夠不使用人工宏觀檢查裝置40與微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)50共用的基板保持部(基板保持件41)而是使用適于各檢查裝置40、50的基板保持部，因此，檢查性能不降低。因此，采用本實(shí)施方式，也能夠不降低生產(chǎn)效率及檢查性能就謀求基板檢查系統(tǒng) 31的節(jié)省空間。另外，在本實(shí)施方式中，能夠?qū)⒈热斯ず暧^檢查裝置40易于受到振動(dòng)的影響的微觀檢查裝置50配置在人工宏觀檢查裝置40的下方，并且能夠使人工宏觀檢查裝置40與微觀檢查裝置50分離而設(shè)置于地面，因此，來(lái)自人工宏觀檢查裝置40的振動(dòng)不會(huì)傳遞到微觀檢查裝置50而能夠進(jìn)行精度較高的微觀檢查。另外，通過(guò)使人工宏觀檢查裝置40與微觀檢查裝置50分離，易于在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行組裝，并且也易于輸送。另外，將玻璃基板G的輸入空間設(shè)在檢查作業(yè)空間32c側(cè)，將機(jī)架52固定設(shè)置在從作為該基板輸入空間的圖2所示的基板輸送機(jī)器人4的手臂4a的上下移動(dòng)動(dòng)作空間遠(yuǎn)離的位置。通過(guò)使該機(jī)架52從檢查作業(yè)空間(檢查作業(yè)臺(tái))32c側(cè)遠(yuǎn)離，能夠在作為工作臺(tái)51的靠檢查作業(yè)空間32c側(cè)的上方的基板輸入空間32b、即手臂4a的上下移動(dòng)動(dòng)作空間之上形成大的空間。通過(guò)這樣將人工宏觀檢查裝置40的檢查作業(yè)空間(檢查作業(yè)臺(tái))配置在不與微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)50相干涉的空間區(qū)域中，能夠?qū)z查作業(yè)臺(tái)降低到較低的位置而設(shè)置，能夠與降低了該檢查作業(yè)臺(tái)的高度相對(duì)應(yīng)地將裝置整體的高度抑制得較低。另外，通過(guò)將人工宏觀檢查裝置40配置在處于微觀檢查裝置50的基板輸入空間的上方的空間中，能夠使微觀檢查裝置50的一部分與人工宏觀檢查裝置40的一部分重疊而進(jìn)行配置，因此，與將微觀檢查裝置50與人工宏觀檢查裝置40并列配置的情況相比，能夠與重合部分相對(duì)應(yīng)地謀求基板檢查系統(tǒng)31的節(jié)省空間。另外，在本實(shí)施方式中，作為框架43的轉(zhuǎn)動(dòng)中心的固定軸48位于比作為微觀檢查裝置50的最大高度位置的上端(面S)靠下方的位置，因此，能夠?qū)⑷斯ず暧^檢查裝置40 的框架43推出到微觀檢查裝置50的工作臺(tái)51的前方、并推出到微觀檢查裝置50的工作臺(tái)51的下方。由此，能夠與框架43被推出到下方的部分相應(yīng)地使人工宏觀檢查裝置40的目視觀察用窗降低到下方，因此，能夠進(jìn)一步將裝置整體的高度抑制得較低。另外，將滑動(dòng)部42以能夠移動(dòng)的方式設(shè)于框架43，而且將基板保持件41以能夠移動(dòng)的方式設(shè)于該滑動(dòng)部42，由此，能夠使基板保持件41移動(dòng)到比框架43的基端部更靠下方的位置。通過(guò)采用這樣使基板保持件41分兩個(gè)階段滑動(dòng)的結(jié)構(gòu)，能夠使基板保持件41移動(dòng)到比微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)50的最高高度位置更低的位置。由此，能夠降低目視觀察用窗，能夠?qū)⑴c該目視觀察用窗具有恒定的距離關(guān)系的宏觀照明位置抑制得較低， 因此，能夠易于抑制裝置整體的高度。另外，傾斜軸45位于微觀檢查裝置50的上方，從而能夠謀求基板檢查系統(tǒng)31的節(jié)省空間。另外，在本實(shí)施方式中，框架43在相對(duì)于水平面傾斜的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)(43-1、43_2)， 基板保持件41在進(jìn)行玻璃基板G的輸出、輸入時(shí)與框架43相對(duì)獨(dú)立地轉(zhuǎn)動(dòng)成水平狀態(tài)。由此，能夠抑制框架43的移動(dòng)空間，從而能夠進(jìn)一步謀求基板檢查系統(tǒng)31的節(jié)省空間。另外，如本實(shí)施方式這樣，在輸入玻璃基板G時(shí)，按照基板保持件41、框架43的順序(或者同時(shí))使基板保持件41、框架43轉(zhuǎn)動(dòng)，在輸出玻璃基板G時(shí)，按照框架43、基板保持件41的順序(或者同時(shí))使框架43、基板保持件41轉(zhuǎn)動(dòng)，由此,能夠減小基板保持件41 的移動(dòng)空間，因而，能夠進(jìn)一步謀求基板檢查系統(tǒng)31的節(jié)省空間。另外，在本實(shí)施方式中，如上所述，將作為框架驅(qū)動(dòng)部的傾斜軸45配置在微觀檢查裝置的上方，因此，能夠謀求基板檢查系統(tǒng)31的進(jìn)一步節(jié)省空間，但也可以采用將框架驅(qū)動(dòng)部與固定軸48直接連接的結(jié)構(gòu)。在此情況下，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的容量變大，但框架驅(qū)動(dòng)部不是被配置在玻璃基板G的上方而是被配置在側(cè)方，從而能夠進(jìn)行具有優(yōu)異的清潔性的檢查，能夠進(jìn)一步提高檢查性能。另外，在上述的各實(shí)施方式中，以將自動(dòng)檢查裝置的機(jī)架固定在與基板輸入空間分開的位置的例進(jìn)行了說(shuō)明，但也能夠采用可移動(dòng)地設(shè)在基板輸入空間中的移動(dòng)式機(jī)架。 在采用該移動(dòng)式機(jī)架的情況下，也能夠使框架13、43的基端(下端)延伸到比基板輸送機(jī)器人的上下運(yùn)動(dòng)移動(dòng)動(dòng)作空間靠上方的位置。附圖標(biāo)記說(shuō)明I、基板檢查系統(tǒng)；2、外殼；2a、2b、基板輸出輸入用窗部；2c、檢查作業(yè)空間；3、檢查者；4、基板輸送機(jī)器人；4a、手臂；10、人工宏觀檢查裝置；11、基板保持件；lla、保持件轉(zhuǎn)動(dòng)軸；llb、周緣保持部；12、滑動(dòng)部；13、框架；13a、凸緣；14、臂部；15、傾斜軸；16、宏觀照明光源；17、背光照明光源；18、固定軸；20、微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)；21、工作臺(tái)； 22、機(jī)架；23、顯微鏡；24、架臺(tái)；31、基板檢查系統(tǒng)；32、外殼；32a、32b、基板輸出輸入用窗部；32c、檢查作業(yè)空間；33、檢查者；40、人工宏觀檢查裝置；41、基板保持件；41a、保持件轉(zhuǎn)動(dòng)軸；42、滑動(dòng)部；43、框架；43a、凸緣；44、臂部；45、傾斜軸；46、宏觀照明光源；47、背光照明光源；48、固定軸；50、微觀檢查裝置(自動(dòng)檢查裝置)；51、工作臺(tái)；52、機(jī)架；53、顯微鏡； 54、架臺(tái)。
權(quán)利要求
1.一種基板檢查系統(tǒng)，其用于用多種檢查方法對(duì)被檢查對(duì)象基板進(jìn)行檢查，其特征在于，該基板檢查系統(tǒng)包括自動(dòng)檢查裝置，其用于利用攝像部拍攝上述被檢查對(duì)象基板而進(jìn)行檢查；架臺(tái)，其具有橫跨上述自動(dòng)檢查裝置的門型形狀的腿部；人工宏觀檢查裝置，其配置在上述架臺(tái)上，用于直視上述被檢查對(duì)象基板而進(jìn)行目視檢查；基板輸送機(jī)器人，其用于對(duì)于上述自動(dòng)檢查裝置和上述人工宏觀檢查裝置輸入、輸出上述被檢查對(duì)象基板，上述人工宏觀檢查裝置借助上述架臺(tái)獨(dú)立于上述自動(dòng)檢查裝置地配置在上述自動(dòng)檢查裝置的上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述人工宏觀檢查裝置具有基板保持部，其用于保持上述被檢查對(duì)象基板；一對(duì)框架，其具有規(guī)定的角度地配置，用于以上述基板保持部能夠滑動(dòng)的方式支承上述基板保持部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述框架的基端側(cè)延伸到比上述自動(dòng)檢查裝置的最大高度位置低的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述自動(dòng)檢查裝置具有機(jī)架，該機(jī)架的上端作為上述最大高度位置，該機(jī)架用于支承攝像部，該機(jī)架固定設(shè)置在比上述基板輸送機(jī)器人的上下移動(dòng)動(dòng)作空間靠外側(cè)的位置，上述框架的基端側(cè)延伸到不與上述機(jī)架及上述上下移動(dòng)動(dòng)作空間相干涉的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述自動(dòng)檢查裝置具有機(jī)架，該機(jī)架的上端作為上述最大高度位置，該機(jī)架用于支承攝像部，該機(jī)架以能沿著上述被檢查對(duì)象基板的輸入空間移動(dòng)的方式設(shè)置，上述框架的基端部延伸到不與上述機(jī)架的移動(dòng)區(qū)域相干涉的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述框架的基端側(cè)推出到比上述自動(dòng)檢查裝置的工作臺(tái)靠外側(cè)的位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述基板保持部的至少一部分移動(dòng)到位于比上述自動(dòng)檢查裝置的上端靠下方的位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述人工宏觀檢查裝置具有用于供檢查者進(jìn)行目視觀察的檢查作業(yè)臺(tái)，該檢查作業(yè)臺(tái)配置在不與上述自動(dòng)檢查裝置相干涉的空間區(qū)域中。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述檢查作業(yè)臺(tái)配置在上述自動(dòng)檢查裝置與上述人工宏觀檢查裝置錯(cuò)開地配置的空間區(qū)域中。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述自動(dòng)檢查裝置具有用于安裝檢查頭的移動(dòng)型機(jī)架，上述檢查作業(yè)臺(tái)配置在比上述移動(dòng)型機(jī)架的移動(dòng)空間靠上方的空間區(qū)域中。
11.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述自動(dòng)檢查裝置借助除振臺(tái)設(shè)置在地面上，上述人工宏觀檢查裝置借助上述架臺(tái)設(shè)置在地面上。
12.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板檢查系統(tǒng)，其特征在于，上述基板輸送機(jī)器人具有能夠向被配置在I層的上述自動(dòng)檢查裝置和被配置在2層的上述人工宏觀檢查裝置移動(dòng)的手臂，沿著上述手臂的上下移動(dòng)方向，使上述人工宏觀檢查裝置的基板輸入空間配置在上述自動(dòng)檢查裝置的基板輸入空間之上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板檢查系統(tǒng)。在大型基板用的基板檢查系統(tǒng)中，不降低生產(chǎn)效率及檢查性能就能謀求節(jié)省空間。在用多種檢查方法對(duì)被檢查對(duì)象基板(G)進(jìn)行檢查的基板檢查系統(tǒng)(31)中，包括自動(dòng)檢查裝置(50)，其用于利用攝像部拍攝被檢查對(duì)象基板(G)而進(jìn)行檢查；架臺(tái)，其具有橫跨該自動(dòng)檢查裝置(50)的門型形狀的腿部；人工宏觀檢查裝置(40)，其配置在該架臺(tái)上，用于直視被檢查對(duì)象基板(G)而進(jìn)行目視檢查；基板輸送機(jī)器人，其用于對(duì)于自動(dòng)檢查裝置(50)和人工宏觀檢查裝置(40)輸入、輸出被檢查對(duì)象基板(G)，人工宏觀檢查裝置(40)借助上述架臺(tái)獨(dú)立于自動(dòng)檢查裝置(50)地配置在自動(dòng)檢查裝置(50)的上方。
文檔編號(hào)G01N21/88GK102608121SQ201210003880
公開日2012年7月25日 申請(qǐng)日期2012年1月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月6日
發(fā)明者岡平裕幸 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社