專利名稱：漏泄檢查裝置及漏泄檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在汽車部件、飛機部件等各種民用以及工業(yè)用的部件或容器中，定量檢查因這些構(gòu)造體本身或焊接等卡合部及密封部的缺陷而產(chǎn)生的漏泄的漏泄檢查裝置以及漏泄檢查方法。
背景技術(shù)：
以汽車、飛機的各種部件為首，在構(gòu)成煤氣設(shè)備、自來水設(shè)備的各種部件進(jìn)而在食品·醫(yī)藥用品等的容器等中，需要檢查因這些構(gòu)造體本身或焊接等接合部及密封部的缺陷而產(chǎn)生的漏泄，為此利用有表I所示的漏泄檢查法、即“加壓發(fā)泡法”、“水中發(fā)泡法”、“染色探傷法”、“超聲波法”、“差壓法”、“漏氣檢測法”等。
[表I]
漏泄檢查方法的檢測原理與定量性
權(quán)利要求
1.一種漏泄檢查裝置，該漏泄檢查裝置對被檢驗體的漏泄流量進(jìn)行檢查，該漏泄檢查裝置的特征在于，所述漏泄檢查裝置具備配置所述被檢驗體的能夠密閉的被檢驗體室；液體供給加壓單元，該液體供給加壓單元能夠與配置于所述被檢驗體室內(nèi)的被檢驗體連接，向所述被檢驗體的內(nèi)部供給探傷液體并進(jìn)行加壓；真空排氣單元；以及質(zhì)譜儀,該質(zhì)譜儀被連接于所述被檢驗體室，在將所述被檢驗體室密閉的狀態(tài)下利用所述真空排氣單元將所述被檢驗體室形成為真空，向與所述液體供給加壓單元連接且被密閉的所述被檢驗體的內(nèi)部供給探傷液體并加壓至O.1MPa以上，并利用所述質(zhì)譜儀對從所述被檢驗體漏出而在真空中氣化的探傷介質(zhì)的濃度進(jìn)行測定，由此測定從所述被檢驗體漏泄的漏泄流量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漏泄檢查裝置，其特征在于，所述漏泄檢查裝置具備向所述被檢驗體室供給已知的漏泄流量的探傷液體的探傷液體標(biāo)準(zhǔn)漏泄器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的漏泄檢查裝置，其特征在于，將2個系統(tǒng)以上的經(jīng)由真空閥的真空排氣單元連接于所述被檢驗體室。
4.根據(jù)權(quán)利要求廣3中任一項所述的漏泄檢查裝置，其特征在于，將用于測定被檢驗體室的真空度(壓力)的真空計與所述真空排氣單元連接于所述被檢驗體室，并將檢查室經(jīng)由真空閥連接于所述被檢驗體室，進(jìn)而將用于測定探傷介質(zhì)的濃度的質(zhì)譜儀與真空排氣單元連接于所述檢查室。
5.根據(jù)權(quán)利要求廣4中任一項所述的漏泄檢查裝置，其特征在于，作為所述探傷液體，使用分子量為500以下、并且室溫下的固化壓力為IMPa以上、飽和蒸氣壓為IOOPa以上、蒸發(fā)潛熱為80kJ · moF1以下的液體。
6.根據(jù)權(quán)利要求廣4中任一項所述的漏泄檢查裝置，其特征在于，作為所述探傷液體，使用使氣體溶解于分子量為500以下、并且室溫下的固化壓力為 IMPa以上、飽和蒸氣壓為IOOPa以上的液體而成的探傷介質(zhì)。
7.一種漏泄檢查方法，該漏泄檢查方法是對配置于被檢驗體室內(nèi)的被檢驗體的漏泄流量進(jìn)行檢查的方法，其中，所述被檢驗體室能夠密閉且能夠利用真空排氣單元進(jìn)行真空排氣，所述漏泄檢查方法的特征在于，所述漏泄檢查方法包括如下步驟將液體供給加壓單元連接于所述被檢驗體，并將所述被檢驗體以密閉的狀態(tài)配置于所述被檢驗體室內(nèi)；在將所述被檢驗體室形成為密閉的狀態(tài)下利用所述真空排氣單元將所述被檢驗體室內(nèi)形成為真空；利用所述液體供給加壓單元向配置于所述被檢驗體室內(nèi)的被檢驗體內(nèi)供給探傷液體并加壓至O.1MPa以上；以及利用質(zhì)譜儀對從所述被檢驗體漏出而在真空中氣化的探傷介質(zhì)的濃度進(jìn)行測定，由此測定從所述被檢驗體漏泄的漏泄流量。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的漏泄檢查方法，其特征在于，利用探傷液體標(biāo)準(zhǔn)漏泄器向所述被檢驗體室供給已知的漏泄流量的探傷液體。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的漏泄檢查方法，其特征在于，將2個系統(tǒng)以上的經(jīng)由真空閥的真空排氣單元連接于所述被檢驗體室。
10.根據(jù)權(quán)利要求疒9中任一項所述的漏泄檢查方法，其特征在于，將用于測定被檢驗體室的真空度(壓力)的真空計與所述真空排氣單元連接于所述被檢驗體室，進(jìn)而將檢查室經(jīng)由真空閥連接于所述被檢驗體室，將用于測定探傷介質(zhì)的濃度的質(zhì)譜儀與真空排氣單元連接于所述檢查室。
11.根據(jù)權(quán)利要求疒10中任一項所述的漏泄檢查方法，其特征在于，作為所述探傷液體，使用分子量為500以下、并且室溫下的固化壓力為IMPa以上、飽和蒸氣壓為IOOPa以上、蒸發(fā)潛熱為80kJ · moF1以下的液體。
12.根據(jù)權(quán)利要求疒10中任一項所述的漏泄檢查方法，其特征在于，作為所述探傷液體，使用使氣體溶解于分子量為500以下、并且室溫下的固化壓力為 IMPa以上、飽和蒸氣壓為IOOPa以上的液體而成的探傷介質(zhì)。
全文摘要
一種對被配置于被檢驗體室(21)內(nèi)的被檢驗體的漏泄流量進(jìn)行檢查的漏泄檢查裝置及漏泄檢查方法，具備向被檢驗體室(21)的內(nèi)部供給探傷液體并加壓至0.1MPa以上的高壓的液體供給加壓單元(11)；真空排氣單元(22-b、23-b)；四極質(zhì)譜儀(34)，將被檢驗體室(21)形成為真空，向被檢驗體的內(nèi)部供給探傷液體并加壓至0.1MPa以上，并利用四極質(zhì)譜儀(34)對從被檢驗體漏出而在真空中氣化的探傷介質(zhì)的濃度進(jìn)行測定，由此測定從被檢驗體漏泄的漏泄流量。作為探傷介質(zhì)使用液體能夠定量漏泄流量，并且同時能夠?qū)崿F(xiàn)0.1MPa以上的大氣壓以上尤其是1MPa以上到1GPa的高壓力的耐壓檢查。
文檔編號G01M3/20GK103069261SQ20118003336
公開日2013年4月24日 申請日期2011年7月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月5日
發(fā)明者山本節(jié)夫, 栗巢普揮, 高田直己, 中川貢, 柘植勝司, 石川享寬 申請人:國立大學(xué)法人山口大學(xué), 丸中工業(yè)株式會社