專利名稱：波前像差測(cè)定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種波前像差測(cè)定裝置，用于測(cè)定作為檢查對(duì)象的透鏡的波前像差。
背景技術(shù)：
作為波前像差的測(cè)定方法，夏克一哈特曼型傳感器為世人所知。例如，在鶴田匡夫著的「第4光0鉛筆」(新技術(shù)- ^工二夕一 3 > <、1997年、212頁(yè))中，有作為波前測(cè)定傳感器的代表例的解說(shuō)。測(cè)定由被測(cè)透鏡產(chǎn)生的波前像差的波前像差測(cè)定裝置的光學(xué)系統(tǒng)，一般使用照明光學(xué)系統(tǒng)，使光波入射到被測(cè)透鏡；測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)，測(cè)定來(lái)自被測(cè)透鏡的光束的波前像 差。在測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)中，當(dāng)解析通過(guò)被測(cè)透鏡產(chǎn)生的波前像差時(shí)，需要知道投影的開(kāi)口的形狀。因此，投影被測(cè)透鏡的開(kāi)口光圈，進(jìn)行其形狀測(cè)定。此時(shí)，為求出開(kāi)口的中心，會(huì)將開(kāi)口光圈縮小到最小，進(jìn)行投影的開(kāi)口的形狀和位置的測(cè)定。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問(wèn)題但是,為使開(kāi)口光圈縮小到最小而使被測(cè)透鏡內(nèi)的開(kāi)口光圈動(dòng)作時(shí)，通過(guò)開(kāi)口光圈的驅(qū)動(dòng)，被測(cè)透鏡的重心移動(dòng)、或產(chǎn)生透鏡部分的變形等影響，投影的開(kāi)口形狀和位置的測(cè)定結(jié)果可能產(chǎn)生誤差。其結(jié)果是，波前像差的測(cè)定結(jié)果可能產(chǎn)生誤差。本發(fā)明是鑒于這一情況而提出的，其目的在于提供一種可抑制測(cè)定結(jié)果誤差的波前像差測(cè)定裝置。用于解決問(wèn)題的手段本發(fā)明的第一方式提供一種波前像差測(cè)定裝置，其特征在于，具有設(shè)置在被測(cè)透鏡的入射側(cè)的照明光學(xué)系統(tǒng)、設(shè)置在上述被測(cè)透鏡的射出側(cè)的測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)，上述照明光學(xué)系統(tǒng)具有自由開(kāi)關(guān)的開(kāi)口光圈，上述照明光學(xué)系統(tǒng)沿著照明光學(xué)系統(tǒng)的光軸自由移動(dòng)，以將上述開(kāi)口光圈和上述被測(cè)透鏡的入射光瞳面調(diào)節(jié)到光學(xué)共軛關(guān)系的位置。本發(fā)明的第二方式提供一種波前像差測(cè)定裝置，其特征在于，具有設(shè)置在被測(cè)透鏡的入射側(cè)的照明光學(xué)系統(tǒng)、設(shè)置在上述被測(cè)透鏡的射出側(cè)的測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)，上述照明光學(xué)系統(tǒng)具有自由開(kāi)關(guān)的開(kāi)口光圈，上述測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)及上述被測(cè)透鏡沿著被測(cè)透鏡的光軸自由移動(dòng)，以將上述開(kāi)口光圈和上述被測(cè)透鏡的入射光瞳面調(diào)節(jié)到光學(xué)共軛關(guān)系的位置。本發(fā)明的第三方式提供一種透鏡系統(tǒng)的制造方法，該透鏡系統(tǒng)具有多個(gè)透鏡部件，其特征在于，在透鏡鏡筒內(nèi)配置上述多個(gè)透鏡部件而組裝上述透鏡系統(tǒng)，通過(guò)本發(fā)明的第一方式的波前像差測(cè)定裝置測(cè)定組裝的上述透鏡系統(tǒng)的波前像差，根據(jù)測(cè)定結(jié)果，判斷上述透鏡系統(tǒng)是否良好。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，可提供一種可抑制測(cè)定結(jié)果誤差的波前像差測(cè)定裝置。


圖1A、1B表示本發(fā)明的波前像差測(cè)定裝置的一個(gè)實(shí)施方式，圖IA表示調(diào)節(jié)為光學(xué)共軛關(guān)系前的狀態(tài)，圖IB表示調(diào)節(jié)為該光學(xué)共軛關(guān)系后的狀態(tài)。圖2A、2B是表示圖1A、1B的調(diào)節(jié)詳情的圖，圖2A表示調(diào)節(jié)為光學(xué)共軛關(guān)系前的狀態(tài)，圖2B表不調(diào)節(jié)后的狀態(tài)。圖3A、3B表示本發(fā)明的波前像差測(cè)定裝置的其他實(shí)施方式，圖3A表示調(diào)節(jié)為光學(xué)共軛關(guān)系前的狀態(tài)，圖3B表示調(diào)節(jié)為該光學(xué)共軛關(guān)系后的狀態(tài)。圖4是圖3A、3B的被測(cè)透鏡3的放大圖。圖5是用于說(shuō)明本發(fā)明的透鏡系統(tǒng)的制造方法的概要的流程圖。
具體實(shí)施方式
接著根據(jù)表示本發(fā)明的實(shí)施方式的附圖，進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明波前像差測(cè)定裝置。此夕卜，為便于說(shuō)明，省略了機(jī)械、電氣驅(qū)動(dòng)部分的圖示。并且，對(duì)起到相同作用的部分給予同樣的附圖標(biāo)記，省略重復(fù)性說(shuō)明。圖1A、1B表示波前像差測(cè)定裝置I的一個(gè)實(shí)施方式。波前像差測(cè)定裝置I由照明光學(xué)系統(tǒng)10和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)20構(gòu)成。在照明光學(xué)系統(tǒng)10和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)20之間配置檢查對(duì)象的被測(cè)透鏡3，測(cè)定被測(cè)透鏡3的波前像差。上述照明光學(xué)系統(tǒng)10由通過(guò)光纖11引導(dǎo)的光源12、透鏡13、濾波器14、開(kāi)口光圈15、透鏡16、光圈17、投影透鏡18構(gòu)成，在被測(cè)透鏡3的入射側(cè)直線狀配置。上述照明光學(xué)系統(tǒng)10沿著光軸A自由移動(dòng)。并且，上述投影透鏡18沿著光軸A自由移動(dòng)。上述開(kāi)口光圈15相對(duì)光軸A垂直設(shè)置，自由開(kāi)關(guān)。上述開(kāi)口光圈15的開(kāi)口可設(shè)定為任意的直徑。上述光圈17配置在投影透鏡18的前側(cè)焦點(diǎn)處。投影透鏡18的后側(cè)焦點(diǎn)和被測(cè)透鏡3的入射光瞳一致。并且，上述開(kāi)口光圈15配置在上述透鏡16的前側(cè)焦點(diǎn)處。上述光圈17配置在上述透鏡16的后側(cè)焦點(diǎn)處。而且，上述開(kāi)口光圈15配置在上述透鏡13的后側(cè)焦點(diǎn)處。由此，上述開(kāi)口光圈15和上述被測(cè)透鏡3的入射光圈變?yōu)楣鈱W(xué)共軛關(guān)系，通過(guò)被測(cè)透鏡3，上述光圈17的圖像(虛像)形成在后述的像面光圈21的位置處。此外，上述被測(cè)透鏡3的入射光瞳是對(duì)被測(cè)透鏡3的開(kāi)口光圈35進(jìn)行了光學(xué)投影的位置。并且，被測(cè)透鏡3的開(kāi)口光圈35處于仍舊開(kāi)放的狀態(tài)。上述測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)20由像面光圈21、物鏡22、第I轉(zhuǎn)像透鏡23、濾波器光圈24、第2轉(zhuǎn)像透鏡25、夏克一哈爾曼型波面?zhèn)鞲衅?6、切換鏡27、拍攝元件28構(gòu)成，上述各部件在被測(cè)鏡頭3的射出側(cè)直線狀配置。上述波面?zhèn)鞲衅?6由多透鏡陣列26a及拍攝元件26b構(gòu)成。上述多透鏡陣列26a通過(guò)將多個(gè)透鏡元件(省略圖示)二元狀鄰接排列而成。上述各透鏡元件的各微小開(kāi)口(省略圖示)相對(duì)光軸A正交設(shè)置。上述各鏡頭元件的微小開(kāi)口分別具有正的折射力，例如外周邊形成4個(gè)四角形狀體。上述透鏡元件中，例如與光軸方向平行的面的截面形狀形成為，僅入射面在整個(gè)上述微小開(kāi)口上凸弧狀隆起，外周邊均由曲線構(gòu)成。并且，相對(duì)的外周邊分別形成為朝向外側(cè)的凸弧狀及與其對(duì)應(yīng)的朝向內(nèi)側(cè)的凹弧狀，其他的相對(duì)的外周邊分別形成為朝向外側(cè)的凸弧狀及與其對(duì)應(yīng)的朝向內(nèi)側(cè)的凹弧狀。上述多透鏡陣列26a如上所述，通過(guò)將元件形狀相同的多個(gè)透鏡元件二元狀鄰接排列而成，因此各透鏡元件之間無(wú)間隙連接。拍攝元件26b由電荷耦合元件(CXD)構(gòu)成，設(shè)置在上述多透鏡陣列26a的焦點(diǎn)處。上述多透鏡陣列26a和上述拍攝元件28通過(guò)上述切換鏡27使光路直角切換，因此位于光學(xué)共軛關(guān)系的位置處。上述濾波器光圈24適當(dāng)限制光束的頻率。被測(cè)鏡頭3如圖4所示，由多個(gè)鏡頭31、32、33、34的組構(gòu)成，具有固有的開(kāi)口光圈35。在圖4中，A表不入射光的主光線，B表不上述鏡頭組31 34的光軸,3a表不被測(cè)鏡頭3的入射光瞳的中心，3b表不被測(cè)鏡頭3的射出光瞳的中心，35a表不開(kāi)口光圈的中心。在照明光學(xué)系統(tǒng)10中,光束的光波La由透鏡13校準(zhǔn),通過(guò)開(kāi)口光圈15進(jìn)行開(kāi)口的調(diào)節(jié)，通過(guò)透鏡16聚光后，照明到光圈17。照明到光圈17的光波La經(jīng)過(guò)投影透鏡18入射到被測(cè)鏡頭3，在像面光圈21的位置處形成光圈17的圖像。入射到測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)20的光波Lb通過(guò)物鏡22校準(zhǔn)為平行光束，通過(guò)第I轉(zhuǎn)像透鏡23及第2轉(zhuǎn)像透鏡25放大，投影到波前傳感器26。在第I轉(zhuǎn)像透鏡23和第2轉(zhuǎn)像透鏡25之間形成中間像面，但通過(guò)濾波器光圈24適當(dāng)限制光束的頻率。 在波前傳感器26中，通過(guò)多透鏡陣列26a分割聚光。該分割聚光的光波Lb在和波前像差對(duì)應(yīng)的位置處成像，通過(guò)拍攝元件26b測(cè)量多透鏡陣列26a各自的成像位置M。該測(cè)量數(shù)據(jù)通過(guò)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置(省略圖示)記錄，而且通過(guò)分析裝置(省略圖示)解析，顯示到顯示裝置(省略圖示)。圖IA所示的開(kāi)口光圈15是相對(duì)被測(cè)鏡頭3的開(kāi)口光圈35不處于光學(xué)共軛關(guān)系位置的狀態(tài)。因此，光波La通過(guò)被測(cè)透鏡3后，包括投影透鏡18及被測(cè)透鏡3的像差在內(nèi)的波面入射到上述測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)20。因此，通過(guò)拍攝元件26b測(cè)量的成像位置相對(duì)理想波面MO偏移，因此表示為波前像差M’，但該偏移量未正確表現(xiàn)被測(cè)透鏡3的波前像差。因此，為校正上述“偏移”，需要使投影的光圈17的位置和投影透鏡18的射出光瞳的中心一致。圖2是詳細(xì)表示該調(diào)節(jié)的圖，如圖2A所示，首先，使投影透鏡18向光軸A方向移動(dòng)，決定了投影位置后，使照明光學(xué)系統(tǒng)10整體向光軸A方向移動(dòng)，如圖2B所示進(jìn)行調(diào)節(jié)，使投影透鏡18的射出光瞳E到達(dá)被測(cè)透鏡3的入射光瞳位置35。此時(shí)，根據(jù)需要，使照明光學(xué)系統(tǒng)10整體向和光軸A垂直的方向移動(dòng)并調(diào)節(jié)。由此,可使開(kāi)口光圈15相對(duì)被測(cè)鏡頭3調(diào)節(jié)到光學(xué)共軛關(guān)系的位置。表示上述狀態(tài)的是圖1B、圖2B。此時(shí)，通過(guò)了被測(cè)透鏡3的光波Lb的成像位置M和理想波面MO—致。由此，通過(guò)沿著光軸A入射的光波La可測(cè)定由被測(cè)透鏡3產(chǎn)生的波前像差。此外在圖IB中，“C”表示通過(guò)開(kāi)口光圈15限制并入射的最外周的光束。為正確獲知光波Lb的光束的中心M，縮小開(kāi)口光圈15。并且，以拍攝元件28拍攝開(kāi)口光圈15的圖像,正確掌握其形狀和位置。由此，可不縮小被測(cè)透鏡3的光圈35而正確獲得光束的中心M。因此，可抑制測(cè)定結(jié)果的誤差并且測(cè)定波前像差。圖3A、3B表示波前像差測(cè)定裝置I的其他實(shí)施方式，是測(cè)定向相對(duì)被測(cè)透鏡3的光軸B傾斜的方向入射的光束的波前像差的情況。此時(shí)，測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)20相對(duì)光軸A傾斜設(shè)置，因此如圖4所示，作為照明光學(xué)系統(tǒng)10的光軸A和被測(cè)透鏡3的光軸B的交點(diǎn)的被測(cè)透鏡3的入射光瞳的中心3a、和被測(cè)透鏡3的射出光瞳的中心3b向被測(cè)透鏡3的光軸B方向偏移。其他和圖I的實(shí)施方式相同，因此省略說(shuō)明。此外在圖3A中，“D”表示應(yīng)朝向被測(cè)透鏡3的入射光瞳的光束的中心。
波前像差測(cè) 定裝置不限于上述實(shí)施方式。例如，自由移動(dòng)的構(gòu)成部分可以不是照明光學(xué)系統(tǒng)10，而是測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)20。此時(shí)，照明光學(xué)系統(tǒng)10是固定的，僅開(kāi)口光圈15自由開(kāi)關(guān)。并且，使測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)20沿著光軸B自由移動(dòng)，并和自由開(kāi)關(guān)的開(kāi)口光圈15相配合，將開(kāi)口光圈15和被測(cè)透鏡3的入射光瞳調(diào)節(jié)到光學(xué)共軛關(guān)系的位置。此時(shí)，可進(jìn)一步使波前傳感器26沿著光軸B自由移動(dòng)，將開(kāi)口光圈15和被測(cè)透鏡3的入射光瞳調(diào)節(jié)到光學(xué)共軛關(guān)系的位置。并且，可考慮以下情況相對(duì)固定的照明光學(xué)系統(tǒng)10，使測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)20的波前傳感器26沿著光軸B自由移動(dòng)，并和自由開(kāi)關(guān)的開(kāi)口光圈15相配合,將開(kāi)口光圈15和被測(cè)透鏡3的入射光瞳調(diào)節(jié)到光學(xué)共軛關(guān)系的位置。這種情況下，也可進(jìn)一步使照明光學(xué)系統(tǒng)10沿著光軸A自由移動(dòng)，將開(kāi)口光圈15和被測(cè)透鏡3的入射光瞳調(diào)節(jié)到光學(xué)共軛關(guān)系的位置。而且，也可使照明光學(xué)系統(tǒng)10的全部或一部分(具體而言是投影透鏡18)、和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)20的全部或一部分(具體而言是波前傳感器26)均可自由移動(dòng)，使開(kāi)口光圈15和被測(cè)透鏡3的入射光瞳與光學(xué)共軛關(guān)系的位置一致。此時(shí)，可更正確測(cè)量被測(cè)透鏡的射出光瞳的形狀和位置。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，可不驅(qū)動(dòng)被測(cè)透鏡的開(kāi)口光圈，測(cè)量被測(cè)透鏡的射出光瞳的正確的形狀和位置。并且，在近年來(lái)的電氣化的相機(jī)用透鏡等中，為開(kāi)關(guān)開(kāi)口光圈需要進(jìn)行電氣動(dòng)作，但可省略驅(qū)動(dòng)用的電路、外部接點(diǎn)。并且，通過(guò)照明光學(xué)系統(tǒng)的光圈的開(kāi)關(guān)、和沿著光軸移動(dòng)照明光學(xué)系統(tǒng)的全部或一部分或者測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的全部或一部分，可測(cè)量被測(cè)透鏡的射出光瞳的形狀和位置。并且，無(wú)需開(kāi)關(guān)被測(cè)透鏡的開(kāi)口光圈，因此是誤差因素少的測(cè)定方法，所以可以進(jìn)行更精密的測(cè)定。因此，可測(cè)量被測(cè)透鏡的射出光瞳的正確形狀和位置。構(gòu)成多透鏡陣列26a的透鏡元件的形狀是任意的。并且，作為拍攝元件，除了 CXD外還可考慮攝像管、互補(bǔ)型金屬氧化膜半導(dǎo)體(CMOS)。以下參照?qǐng)D5說(shuō)明具有多個(gè)透鏡部件的透鏡系統(tǒng)的制造方法的概要。首先，在透鏡鏡筒內(nèi)配置多個(gè)透鏡部件，組裝透鏡系統(tǒng)。使用圖1A、IB所示的波前像差測(cè)定裝置測(cè)定組裝的透鏡系統(tǒng)的波前像差。根據(jù)測(cè)定結(jié)果判斷組裝的透鏡系統(tǒng)是否良好。本發(fā)明的波前像差測(cè)定裝置例如一般可應(yīng)用于望遠(yuǎn)鏡、相機(jī)、顯微鏡的物鏡等光學(xué)設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種波前像差測(cè)定裝置，其特征在于， 具有設(shè)置在被測(cè)透鏡的入射側(cè)的照明光學(xué)系統(tǒng)、設(shè)置在上述被測(cè)透鏡的射出側(cè)的測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)， 上述照明光學(xué)系統(tǒng)具有自由開(kāi)關(guān)的開(kāi)口光圈， 上述照明光學(xué)系統(tǒng)沿著照明光學(xué)系統(tǒng)的光軸自由移動(dòng)，以將上述開(kāi)口光圈和上述被測(cè)透鏡的入射光瞳面調(diào)節(jié)到光學(xué)共軛關(guān)系的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的波前像差測(cè)定裝置，其特征在于， 上述照明光學(xué)系統(tǒng)具有投影透鏡， 上述投影透鏡和其他照明光學(xué)系統(tǒng)的構(gòu)成部件沿著照明光學(xué)系統(tǒng)的光軸相對(duì)自由移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或權(quán)利要求2所述的波前像差測(cè)定裝置，其特征在于， 上述測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)沿著上述被測(cè)透鏡的光軸自由移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或權(quán)利要求2所述的波前像差測(cè)定裝置，其特征在于， 上述測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)具有沿著上述被測(cè)透鏡的光軸自由移動(dòng)的波前傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或權(quán)利要求2所述的波前像差測(cè)定裝置，其特征在于， 具有拍攝元件，其設(shè)置在相對(duì)上述開(kāi)口光圈及上述被測(cè)透鏡的入射光瞳面為光學(xué)共軛關(guān)系的位置處。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的波前像差測(cè)定裝置，其特征在于， 具有透鏡陣列，其設(shè)置在相對(duì)上述開(kāi)口光圈及上述被測(cè)透鏡的入射光瞳面為光學(xué)共軛關(guān)系的位置處。
7.一種波前像差測(cè)定裝置，其特征在于， 具有設(shè)置在被測(cè)透鏡的入射側(cè)的照明光學(xué)系統(tǒng)、設(shè)置在上述被測(cè)透鏡的射出側(cè)的測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)， 上述照明光學(xué)系統(tǒng)具有自由開(kāi)關(guān)的開(kāi)口光圈， 上述測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)及上述被測(cè)透鏡沿著被測(cè)透鏡的光軸自由移動(dòng)，以將上述開(kāi)口光圈和上述被測(cè)透鏡的入射光瞳面調(diào)節(jié)到光學(xué)共軛關(guān)系的位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的波前像差測(cè)定裝置，其特征在于， 上述測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)具有沿著上述被測(cè)透鏡的光軸自由移動(dòng)的波前傳感器。
9.一種波前像差測(cè)定裝置，其特征在于， 具有設(shè)置在被測(cè)透鏡的入射側(cè)的照明光學(xué)系統(tǒng)、設(shè)置在上述被測(cè)透鏡的射出側(cè)的測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)， 上述照明光學(xué)系統(tǒng)具有自由開(kāi)關(guān)的開(kāi)口光圈， 上述測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)具有波前傳感器，其沿著被測(cè)透鏡的光軸自由移動(dòng)，以將上述開(kāi)口光圈和上述被測(cè)透鏡的入射光瞳面調(diào)節(jié)到光學(xué)共軛關(guān)系的位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的波前像差測(cè)定裝置，其特征在于， 上述測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)沿著上述被測(cè)透鏡的光軸自由移動(dòng)。
11.根據(jù)權(quán)利要求I至2、權(quán)利要求7至10的任意一項(xiàng)所述的波前像差測(cè)定裝置，其特征在于， 上述測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)相對(duì)上述照明光學(xué)系統(tǒng)直線狀配置。
12.根據(jù)權(quán)利要求I至2、權(quán)利要求7至10的任意一項(xiàng)所述的波前像差測(cè)定裝置，其特征在于， 上述測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)相對(duì)上述照明光學(xué)系統(tǒng)傾斜配置。
13.—種透鏡系統(tǒng)的制造方法，該透鏡系統(tǒng)具有多個(gè)透鏡部件，其特征在于， 在透鏡鏡筒內(nèi)配置上述多個(gè)透鏡部件，組裝上述透鏡系統(tǒng)， 通過(guò)權(quán)利要求I所述的波前像差測(cè)定裝置測(cè)定組裝的上述透鏡系統(tǒng)的波前像差， 根據(jù)測(cè)定結(jié)果，判斷上述透鏡系統(tǒng)是否良好。
全文摘要
一種波前像差測(cè)定裝置，具有設(shè)置在被測(cè)透鏡的入射側(cè)的照明光學(xué)系統(tǒng)、設(shè)置在上述被測(cè)透鏡的射出側(cè)的測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)，上述照明光學(xué)系統(tǒng)具有自由開(kāi)關(guān)的開(kāi)口光圈，上述照明光學(xué)系統(tǒng)沿著照明光學(xué)系統(tǒng)的光軸自由移動(dòng)，以將上述開(kāi)口光圈和上述被測(cè)透鏡的入射光瞳面調(diào)節(jié)到光學(xué)共軛關(guān)系的位置。由此，提供一種可抑制測(cè)定結(jié)果的誤差的波前像差測(cè)定裝置。
文檔編號(hào)G01M11/02GK102844651SQ20118001750
公開(kāi)日2012年12月26日 申請(qǐng)日期2011年4月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月5日
發(fā)明者大瀧達(dá)朗 申請(qǐng)人:株式會(huì)社尼康